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一種研磨石英晶片用游星輪的制作方法

文檔序號(hào):3272439閱讀:236來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):一種研磨石英晶片用游星輪的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
—種研磨石英晶片用游星輪技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及石英晶片技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種研磨石英晶片用游星輪。
背景技術(shù)
[0002]目前,研磨石英晶片用游星輪的矩形孔與直徑固定90°夾角,這種游星輪在使用時(shí)強(qiáng)度不是很好,特別是游星輪厚度小于O. Imm時(shí),容易損壞,研磨晶片合格率不是很高, 使用壽命較短。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)目前研磨石英晶片用游星輪的矩形孔與直徑固定 90°夾角,這種游星輪在使用時(shí)強(qiáng)度不是很好,特別是游星輪厚度小于O. Imm時(shí),容易損壞,研磨晶片合格率不是很高,使用壽命較短之不足,而提供一種研磨石英晶片用游星輪。[0004]本實(shí)用新型包括游星輪,游星輪周邊設(shè)有一組齒,游星輪上開(kāi)有一組矩形孔,且每個(gè)矩形孔圍繞游星輪的中心孔均勻排列在游星輪上,每個(gè)矩形孔的一邊與游星輪直徑的夾角α范圍為110° 170°。[0005]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)改變傳統(tǒng)的矩形孔與游星輪的夾角,使得新型游星輪強(qiáng)度優(yōu)于傳統(tǒng)的游星輪的強(qiáng)度,并且使用壽命大大提高,研磨晶片合格率提高I 2個(gè)百分
[0006]圖I是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0007]圖2是現(xiàn)有研磨石英晶片用游星輪結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
[0008]如圖I所示,本實(shí)用新型包括游星輪1,游星輪I周邊設(shè)有一組齒1-1,游星輪I上開(kāi)有一組矩形孔2,且每個(gè)矩形孔2圍繞游星輪I的中心孔1-2均勻排列在游星輪I上,每個(gè)矩形孔的一邊與游星輪I直徑的夾角α范圍為110° 170°。
權(quán)利要求1. 一種研磨石英晶片用游星輪,它包括游星輪(1),游星輪(I)周邊設(shè)有一組齒(1-1 ),其特征在于游星輪(I)上開(kāi)有一組矩形孔(2),且每個(gè)矩形孔(2)圍繞游星輪(I)的中心孔(1-2)均勻排列在游星輪(I)上,每個(gè)矩形孔的一邊與游星輪(I)直徑的夾角a范圍為110° 170°。
專(zhuān)利摘要一種研磨石英晶片用游星輪,它包括游星輪(1),游星輪(1)周邊設(shè)有一組齒(1-1),游星輪(1)上開(kāi)有一組矩形孔(2),且每個(gè)矩形孔(2)圍繞游星輪(1)的中心孔(1-2)均勻排列在游星輪(1)上,每個(gè)矩形孔的一邊與游星輪(1)直徑的夾角α范圍為110°~170°。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)改變傳統(tǒng)的矩形孔與游星輪的夾角,使得新型游星輪強(qiáng)度優(yōu)于傳統(tǒng)的游星輪的強(qiáng)度,并且使用壽命大大提高,研磨晶片合格率提高1~2個(gè)百分點(diǎn)。
文檔編號(hào)B24B37/34GK202804917SQ201220406229
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月16日
發(fā)明者童小剛 申請(qǐng)人:湖北東光電子股份有限公司
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