專利名稱：一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及熱解氮化硼坩堝技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是ー種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝。
背景技術(shù)：
分子束外延是一種在晶體基片上生長(zhǎng)聞質(zhì)量的晶體薄I旲的新技術(shù)。在超聞?wù)婵諚l件下，由裝有各種所需組分的爐子加熱而產(chǎn)生的蒸氣，經(jīng)小孔準(zhǔn)直后形成的分子束或原子束，直接噴射到適當(dāng)溫度的單晶基片上，同時(shí)控制分子束對(duì)襯底掃描，就可使分子或原子按晶體排列ー層層地“長(zhǎng)”在基片上形成薄膜。由于熱解氮化硼在高溫下與絕大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體材料不潤(rùn)濕、不反應(yīng)；電絕緣性能好和高溫下無(wú)雜質(zhì)揮發(fā)；熱導(dǎo)性好和熱膨脹系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)。因此，分子束外延一般使用熱解氮化硼坩堝。但現(xiàn)有的熱解氮化硼坩堝蒸發(fā)出的分子束流不穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。有鑒于上述現(xiàn)有的熱解氮化硼蒸發(fā)坩堝在使用中存在的諸多問(wèn)題，本實(shí)用新型的設(shè)計(jì)人依靠多年的工作經(jīng)驗(yàn)和豐富的專業(yè)知識(shí)積極加以研究和創(chuàng)新，最終研發(fā)出ー種新穎的熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，提供了穩(wěn)定的分子束流。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，能提供穩(wěn)定的分子束流，提高產(chǎn)品的質(zhì)量。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，包括呈圓柱形的坩堝本體，所述圓柱形的坩堝本體的上部連接逐漸收縮的頸部，頸部的上端逐漸擴(kuò)大形成坩堝出ロ。進(jìn)ー步，所述熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的壁厚為0. 5_5mm。進(jìn)ー步，所述頸部?jī)?nèi)徑與坩堝本體內(nèi)徑的比例為1:2 10。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于本實(shí)用新型的一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的本體呈圓柱形，其上部收縮成細(xì)頸，有效保證了蒸汽量的穩(wěn)定，從而提供了穩(wěn)定的分子束流。

圖1為本實(shí)用新型的一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。實(shí)施例1圖1為本實(shí)用新型的一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I所示，一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，包括呈圓柱形的坩堝本體1，圓柱形的坩堝本體I的上部連接逐漸收縮的頸部2，頸部2的上端逐漸擴(kuò)大形成坩堝出ロ 3。熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的壁厚為3mm。頸部?jī)?nèi)徑與坩堝本體內(nèi)徑的比例為1:2 10。頸部?jī)?nèi)徑與坩堝本體內(nèi)徑的比例優(yōu)選為為1:5。以上實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的示 例性實(shí)施例，不用于限制本實(shí)用新型，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍由權(quán)利要求書限定。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和保護(hù)范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型做出各種修改或等同替換，這種修改或等同替換也應(yīng)視為落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，其特征在于，包括呈圓柱形的坩堝本體，所述圓柱形的坩堝本體的上部連接逐漸收縮的頸部，頸部的上端逐漸擴(kuò)大形成坩堝出口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，其特征在于，所述熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的壁厚為O. 5-5mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，其特征在于，所述頸部?jī)?nèi)徑與坩堝本體內(nèi)徑的比例為1:2 10。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝，包括呈圓柱形的坩堝本體，所述圓柱形的坩堝本體的上部連接逐漸收縮的頸部，頸部的上端逐漸擴(kuò)大形成坩堝出口。所述熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝的壁厚為0.5-5mm。所述頸部?jī)?nèi)徑與坩堝本體內(nèi)徑的比例為12～10。本實(shí)用新型的熱解氮化硼細(xì)頸蒸發(fā)坩堝可以提供穩(wěn)定的蒸汽量，保證分子束流的穩(wěn)定。
文檔編號(hào)C23C16/448GK202865337SQ20122042845
公開日2013年4月10日 申請(qǐng)日期2012年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月27日
發(fā)明者何軍舫, 王軍勇 申請(qǐng)人:北京博宇半導(dǎo)體工藝器皿技術(shù)有限公司