專利名稱：管式爐管定位加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種生產(chǎn)輔件工裝，具體為一種管式爐管定位裝置，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式系統(tǒng)的加熱裝置的生產(chǎn)中。
背景技術(shù)：
太陽能資源豐富，分布廣泛，隨著全球能源短缺和環(huán)境污染等問題日益突出，太陽能光伏發(fā)電因其清潔、安全、便利、高效等特點，已成為世界各國普遍關(guān)注和重點發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)。在此背景下，近幾年太陽能光伏產(chǎn)業(yè)增長迅速，產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大。對于光伏設(shè)備生產(chǎn)線中的擴(kuò)散爐、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)等關(guān)鍵設(shè)備需求量將會持續(xù)穩(wěn)定地增長。隨著半導(dǎo)體材料技術(shù)的發(fā)展，對硅片的規(guī)格和質(zhì)量也提出更高的要求，適合微細(xì)加工的大直徑硅片在市場的需求比例將日益加大。目前，硅片主流產(chǎn)品是200mm，逐漸向300mm過渡，研制水平達(dá)到400mm 450mm。目前在中國管式PECVD占據(jù)著市場的主流，板式系統(tǒng)較少，而管式PECVD使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室，使用電阻爐作為加熱體，將一個可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積，所以管式系統(tǒng)的加熱裝置在光伏產(chǎn)業(yè)市場是較大的，也將在一定的時間內(nèi)占據(jù)市場主流。

實用新型內(nèi)容針對等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)等設(shè)備中使用的管式系統(tǒng)的加熱裝置的加工問題，本實用新型旨在提供一種管式爐管定位裝置，該定位裝置通過其保證爐管生產(chǎn)中的直線度、圓度，同時縮短工藝過程，達(dá)到提升生產(chǎn)效率與提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:一種管式爐管定位裝置，其結(jié)構(gòu)特點是，包括兩個法蘭，在兩個法蘭之間設(shè)有支撐盤，所述兩個法蘭和支撐盤通過連接桿連接一起；所述法蘭、支撐盤和連接桿之間具有容納管式爐的空間。進(jìn)一步地，所述法蘭、支撐盤具有中心孔，且法蘭中心孔和支撐盤中心孔同軸線。本實用新型所述的連接桿為三根。藉由上述結(jié)構(gòu)，法蘭，連接桿及支撐盤三者組合成一整體形成一個密繞時的工裝形態(tài)。本實用新型的法蘭孔位置與連接桿外形尺寸相配合，通過其相關(guān)聯(lián)尺寸保證加熱體的內(nèi)徑要求，同時利用支撐盤的作用保持整體的剛性及形成整體的圓柱面。本實用新型必須保證法蘭、連接桿和支撐盤之間的快捷裝配性與易拆卸性，在保證設(shè)計要求的同時在裝置上一次完成加熱體的加工，減免后續(xù)加工，提升加工效率。本實用新型的技術(shù)原理是，在密繞的加熱爐絲中穿入爐管定位裝置，將兩端連接法蘭盤與連接桿進(jìn)行裝配，并在連接桿中心位置裝入支撐盤，利用三點確定面的原理在鎖緊后達(dá)到加熱體內(nèi)徑的尺寸要求；同時利用支撐桿與支撐盤產(chǎn)生的剛性效果保證加熱體整體的圓度與直線度要求，保證產(chǎn)品的質(zhì)量要求。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是:采用本爐管定位加工裝置，一能有效保證設(shè)計要求的爐絲內(nèi)徑尺寸，保證爐絲在絕緣仔串絲穿成后整體電熱體的圓度與真線度；二能在完成加工絕緣仔穿絲后免電熱體校圓、減免穿絲桿在均勻分布要求上的整形工作，從而縮短工步，提高了加工效率。
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步闡述。

圖1、圖2是本實用新型一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖在附圖中:1-法蘭2-連接桿； 3-支撐盤。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖說明本實用新型的實施方式一種管式爐管定位裝置，如圖1和2所示，包括兩個法蘭1，在兩個法蘭I之間設(shè)有支撐盤3，所述兩個法蘭I和支撐盤3通過三根連接桿2連接一起；所述法蘭1、支撐盤3和連接桿2之間具有容納管式爐的空間。所述法蘭1、支撐盤3具有中心孔，且法蘭I中心孔和支撐盤3中心孔同軸線。`在管式系統(tǒng)加熱裝置的前期加熱體的加工中，首先以一件兩端連續(xù)接法蘭與連接桿用標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行隨意裝配，完成后將連接桿穿入密繞的加熱絲中，將另一件兩端連接法蘭與連接桿裝配好并緊固好，同時在定連接桿中心位置裝入支撐盤，保證管式爐管定位工裝成形。爐管定位工裝成形后，將一端加熱絲用相同尺寸的絕緣仔利用連接桿上的螺孔壓緊，將加熱絲整形至與工裝完全貼合并保持大致的間距，在尾端再用絕緣仔固定好。利用支撐桿三等分的位置根據(jù)設(shè)計要求再進(jìn)行相應(yīng)的絕緣仔的串絲穿成，保證第根穿絲桿的直線度；全部完成后在定位工裝進(jìn)行加熱體的緊固(穿絲桿的均勻堅固)，然后下架按前面所述裝配部驟完成拆除，進(jìn)入下一道工序。上述實施例闡明的內(nèi)容應(yīng)當(dāng)理解為這些實施例僅用于更清楚地說明本實用新型，而不用于限制本實用新型的范圍，在閱讀了本實用新型之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權(quán)利要求所限定的范圍。
權(quán)利要求1.種管式爐管定位裝置，其特征在于，包括兩個法蘭(I )，在兩個法蘭(I)之間設(shè)有支撐盤(3)，所述兩個法蘭(I)和支撐盤(3)通過連接桿(2)連接一起；所述法蘭(I)、支撐盤(3)和連接桿(2)之間具有容納管式爐的空間。
2.據(jù)權(quán)利要求1所述管式爐管定位裝置，其特征在于，所述法蘭(I)、支撐盤(3)具有中心孔，且法蘭(I)中心孔和支撐盤(3)中心孔同軸線。
3.據(jù)權(quán)利要求1所述管式爐管定位裝置，其特征在于，所述連接桿(2)為三根。
專利摘要本實用新型公開了一種管式爐管定位裝置。為了解決等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)等設(shè)備中使用的管式系統(tǒng)的加熱裝置的加工問題，所述管式爐管定位裝置包括兩個法蘭，在兩個法蘭之間設(shè)有支撐盤，所述兩個法蘭和支撐盤通過連接桿連接一起；所述法蘭、支撐盤和連接桿之間具有容納管式爐的空間。本實用新型通過其保證爐管生產(chǎn)中的直線度、圓度，同時縮短工藝過程，達(dá)到了提升生產(chǎn)效率與提高產(chǎn)品質(zhì)量的目的。
文檔編號C23C16/46GK202925095SQ20122051712
公開日2013年5月8日 申請日期2012年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月10日
發(fā)明者謝龍星, 舒勇東, 劉洪文, 方燦東 申請人:中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所