專利名稱：晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，為禁斷供應(yīng)晶圓研磨液產(chǎn)出當(dāng)中，任一過濾器阻塞換新后，能自動(dòng)對(duì)清洗換上新過濾器內(nèi)部回補(bǔ)注壓晶圓研磨液，讓研磨液供應(yīng)不會(huì)產(chǎn)生整體系統(tǒng)壓降保持供應(yīng)流量及供應(yīng)壓力穩(wěn)定的新穎自動(dòng)化結(jié)構(gòu)技術(shù)。
背景技術(shù)：
由于研磨晶圓用的晶圓研磨液非長久的時(shí)間不流動(dòng)就會(huì)凝固損壞，因此供應(yīng)晶圓研磨液的供應(yīng)晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)需24小時(shí)持續(xù)供應(yīng)，又系統(tǒng)混成晶圓研磨液過程中，一經(jīng)混酸完畢后會(huì)傳送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再泵送到過濾器模組過濾除較大的晶圓研磨液顆粒再供應(yīng)至晶圓研磨機(jī)主管路，以避免大顆粒造成刮傷晶圓表面，因此過濾器模組的每個(gè)過濾器也會(huì)輪流阻塞，需要系統(tǒng)不停轉(zhuǎn)情形下，以人工或以自控方式對(duì)通往或流出該個(gè)阻塞過濾器兩端閥體關(guān)閉，實(shí)施此局部管路短暫封閉，進(jìn)行排空積留的晶圓研磨液，并對(duì)此段封閉管路加以清洗吹干換上新過濾器，再使開通此段管路讓研磨液供應(yīng)槽的晶圓研磨液重新流往新過濾器，回復(fù)原先過濾器模組的全效過濾。然而重新開啟通往或流出該個(gè)阻塞過濾器兩端閥體讓晶圓研磨液通過新過濾器時(shí)，使來自供應(yīng)主系統(tǒng)各研磨液供應(yīng)槽內(nèi)的晶圓研磨液油量，須等待過濾器模組管路內(nèi)晶圓研磨液重新注滿新過濾器及流通該段阻塞過濾器兩端閥體間的管路，在此注滿過程中，很容易牽連系統(tǒng)整體供應(yīng)晶圓研磨液壓力及流量下降，因此必須需極小心注意避免供應(yīng)系統(tǒng)會(huì)有壓力下降影響良率，以免影響整個(gè)供應(yīng)系統(tǒng)的壓力及流量，而造成晶圓研磨時(shí)的流量及壓力不穩(wěn)定。有鑒于現(xiàn)有晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的更換過濾器后容易牽連系統(tǒng)整體供應(yīng)晶圓研磨液壓力及流量下降，導(dǎo)致晶圓研磨不良率提升的缺失，因而，本發(fā)明人乃積極研究改進(jìn)之道，經(jīng)過一番艱辛的苦思及試驗(yàn)過程，終于有本實(shí)用新型產(chǎn)生。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的主要技術(shù)問題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，而提供一種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，在換新過濾器后，自動(dòng)對(duì)新過濾器進(jìn)行回補(bǔ)注入晶圓研磨液壓壓力，其系伴設(shè)于主混合槽后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再通往晶圓研磨機(jī)途中的每個(gè)過濾器換洗管路旁，其由備用混合槽、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥、排放管、數(shù)個(gè)感應(yīng)器，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，其中備用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，備用混合槽流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥叉連接到臨近過濾器流入端，且臨近過濾器流入端所接的一氣動(dòng)控制閥為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，其二出之一流出端叉連接到臨近過濾器流入端，另流出端接設(shè)排放管，另于備用混合槽流出端連接一氣動(dòng)控制閥后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，再于每一過濾器頂部的排流端設(shè)置感應(yīng)傳出端電接往電腦的一感應(yīng)器，由此能自動(dòng)對(duì)清洗換上新過濾器內(nèi)部回補(bǔ)注壓晶圓研磨液，讓研磨液供應(yīng)不會(huì)產(chǎn)生整體系統(tǒng)壓降保持供應(yīng)流量及供應(yīng)壓力穩(wěn)定。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:—種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，不同于現(xiàn)有由供應(yīng)晶圓研磨液主管路新注入新過濾器及及其相連管路的管路裝置，其特征在于:伴設(shè)于主混合槽后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再通往晶圓研磨機(jī)途中的每個(gè)過濾器換洗管路旁，由備用混合槽、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥、排放管、數(shù)個(gè)過濾器，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，其中備用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，備用混合槽流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥叉連接到臨近過濾器流入端，且臨近過濾器流入端所接的一氣動(dòng)控制閥為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，其二出之一流出端叉連接到臨近過濾器流入端，另流出端接設(shè)排放管，另于備用混合槽流出端連接一氣動(dòng)控制閥后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，再于過濾器換洗管路的每一過濾器頂部的排流端設(shè)置感應(yīng)傳出端電接往電腦的一感應(yīng)器。所述晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其中，該些氣動(dòng)控制閥分成單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥及單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，由單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥布設(shè)為關(guān)閉備用混合槽流出端選擇開放導(dǎo)入純水或氮?dú)?，以及開啟排放管排放之用，且備用混合槽流出端接一單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥控制開通后，分歧管接第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，再由第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端管接第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，而第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端管接第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥另一流出端管接第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，并使第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端叉連接到臨近一過濾器流入端，第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端叉連接到臨近另一過濾器流入端，而第三及第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥未接往過濾器流入端的另流出端連接排放管。所述晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其中，該電腦為可程控器(PLC)型式。所述晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其中，該過濾器換洗管路由至少兩個(gè)過濾器、數(shù)個(gè)氣壓控制閥連接而成，所有過濾器并聯(lián)管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應(yīng)槽流出端，且所有過濾器并聯(lián)管接的匯流出端管接晶圓研磨機(jī)流入端，而每個(gè)過濾器頂部的排流端管接氣壓控制閥排放，又于每個(gè)過濾器流入端分?jǐn)?shù)叉路管接氣壓控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)猓⒂诿恳贿^濾器流出端叉分管接氣壓控制閥排放，另于每個(gè)過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設(shè)置氣壓控制閥，且對(duì)經(jīng)過濾器頂部排流端管接氣壓控制閥排放，而過濾器換洗管路的所有氣壓控制閥亦受過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的電腦管控。所述晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其中，該些氣壓控制閥皆為單進(jìn)單出的閥體。本實(shí)用新型的有益效果是，在換新過濾器后，自動(dòng)對(duì)新過濾器進(jìn)行回補(bǔ)注入晶圓研磨液壓壓力，其系伴設(shè)于主混合槽后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再通往晶圓研磨機(jī)途中的每個(gè)過濾器換洗管路旁，其由備用混合槽、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥、排放管、數(shù)個(gè)感應(yīng)器，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，其中備用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，備用混合槽流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥叉連接到臨近過濾器流入端，且臨近過濾器流入端所接的一氣動(dòng)控制閥為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，其二出之一流出端叉連接到臨近過濾器流入端，另流出端接設(shè)排放管，另于備用混合槽流出端連接一氣動(dòng)控制閥后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，再于每一過濾器頂部的排流端設(shè)置感應(yīng)傳出端電接往電腦的一感應(yīng)器，由此能自動(dòng)對(duì)清洗換上新過濾器內(nèi)部回補(bǔ)注壓晶圓研磨液，讓研磨液供應(yīng)不會(huì)產(chǎn)生整體系統(tǒng)壓降保持供應(yīng)流量及供應(yīng)壓力穩(wěn)定。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。


圖1為設(shè)置本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的整體系統(tǒng)構(gòu)成方塊圖。圖2為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的自動(dòng)控流換洗過濾器裝置的電腦傳訊示意圖。圖3為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的管線路圖。圖4為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作前階段圖。圖5為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作 示圖一。圖6為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作
示圖二。圖7為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作
示圖三。圖8為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作示圖四。圖9為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的運(yùn)作示圖五。圖中標(biāo)號(hào)說明:I原料槽 40電腦2純水41、42感應(yīng)器3主混合槽4A，4B晶圓研磨液供應(yīng)槽5過濾器換洗管路5A, 5B 過濾器5a過濾器置座6晶圓研磨機(jī)Cl, C2, C3, C4, C5, C6, C7, C8C9, CIO, Cll, C12, C13, C14, C15,C16, C17, C18, C19, C20, C21, C22 氣動(dòng)控制閥8收集處理槽9 氮?dú)鈁0036]9A品質(zhì)檢查槽10備用混合槽30排放管
具體實(shí)施方式
圖1為設(shè)置本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的整體構(gòu)成方塊圖，由該圖所示可知，整套本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)先由儲(chǔ)放晶圓研磨液原液的原料槽I流出定量晶圓研磨液原液與定量純水2 —同流到主混合槽3混成濃度合宜的晶圓研磨液，抽泵到晶圓研磨液供應(yīng)槽4A, 4B暫儲(chǔ)，再經(jīng)數(shù)個(gè)過濾器5A，5B流往晶圓研磨機(jī)6，而本實(shí)用新型此種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置7，伴設(shè)于主混合槽3后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽4A，4B,再通往晶圓研磨機(jī)6途中的每個(gè)過濾器換洗管路5旁，該換洗管路5以電腦自控關(guān)閉Cl、C2、C3、C4閥體以閉管，并以人工更換過濾器清洗設(shè)施。詳細(xì)構(gòu)成如圖3為本實(shí)用新型晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的管線路圖所示，并請(qǐng)同時(shí)參照?qǐng)D2的電腦傳訊示意圖(在該圖2中所示線箭頭指向旁的標(biāo)號(hào)Cl C22，是代表該傳訊線傳至其余各圖對(duì)應(yīng)標(biāo)示Cl C22的元件)，本實(shí)用新型此種裝置 由備用混合槽10、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥Cl，C2，C3，C4，C5，C6，C7，C8，C9，CIO, Cll,C12，C13，C14，C15，C16，C17，C18，C19，C20，C21，C22、排放管 30、數(shù)個(gè)感應(yīng)器 41,42,及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥 Cl，C2，C3，C4，C5，C6，C7，C8，C9，CIO, Cll, C12，C13，C14，C15，C16，C17，C18，C19，C20, C21，C22的電腦40連接而成，其中備用混合槽10流入端接到主混合槽3溢流端，備用混合槽10流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥C14，C18，C19，C20, C21叉連接到臨近過濾器換洗管路5的過濾器5A，5B流入端，且臨近過濾器5A，5B流入端所接的一氣動(dòng)控制閥C20，C21為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20，C21，其二出之一流出端叉連接到臨近過濾器5A流入端，另流出端接設(shè)排放管30，另于備用混合槽10流出端連接一氣動(dòng)控制閥C14后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣 動(dòng)控制閥C15，C6，C17選換導(dǎo)入純水2或氮?dú)?，再于每一過濾器5A，5B頂部的排流端設(shè)置感應(yīng)傳出端電接往電腦40的一感應(yīng)器41，42，而電腦40亦可為可程控器(PLC)型式。而該些氣動(dòng)控制閥Cl, C2, C3, C4, C5, C6, C7, C8, C9, CIO, Cll, C12, C13, C14, C15,C16，C17，C18，C19，C20, C21，C22分成單進(jìn)二出與單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥，其中C18，C19，C20，C21為單進(jìn)二出氣動(dòng)控制閥，其余均為單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥Cl，C2，C3，C4，C5，C6，C7, C8, C9, CIO, Cll, C12, C13, C14, C15, C16, C17, C22,由單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥 C14, C15,C16，C17，C22布設(shè)為關(guān)閉備用混合槽10流出端選擇開放導(dǎo)入純水2或氮?dú)?，以及開啟排放管30排放至外界收集處理槽8的用，且備用混合槽10流出端接一單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥C14控制開通后，分歧管接第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C18流入端，再由第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C18 —流出端管接第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C19流入端，而第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C19 一流出端管接第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20流入端，第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C19另一流出端管接第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C21流入端，并使第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20 —流出端叉連接到臨近過濾器5A流入端，第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C21 —流出端叉連接到臨近過濾器5B流入端，而第三及第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20，C21未接往過濾器5A，5B流入端的另流出端就連接前述的排放管30，另夕卜，第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C18未接往第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C19流入端的另一流出端可管接至外界的品質(zhì)檢查槽9A，對(duì)備用混合槽10內(nèi)儲(chǔ)的晶圓研磨液抽驗(yàn)品質(zhì)。其運(yùn)作前階段如圖4所示，由于運(yùn)作本實(shí)用新型裝置7必在拆下阻塞任一阻塞過濾器5A清洗并吹干換洗管路5換好新過濾器5A的后，因而在此先略敘過濾器換洗管路5構(gòu)成及更換過濾器5A及清洗并吹干過濾器換洗管路5過程，以方便連貫了解，此每個(gè)過濾器換洗管路5由至少兩個(gè)過濾器5A，5B、數(shù)個(gè)氣壓控制閥Cl，C2，C3，C4，C5，C6，C7，C8C9，CIO, Cll, C12，C13連接而成，所有過濾器5A，5B并聯(lián)管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應(yīng)槽4A，4B流出端，且所有過濾器5A，5B并聯(lián)管接的匯流出端管接晶圓研磨機(jī)6流入端，而每個(gè)過濾器5A，5B頂部的排流端管接氣壓控制閥C5，C6排放，又于每個(gè)過濾器5A，5B流入端分?jǐn)?shù)叉路管接氣壓控制閥C7，C8，C9，CIO, Cll選換導(dǎo)入純水2或氮?dú)?，并于每一過濾器5A，5B流出端叉分管接氣壓控制閥C12，C13排放，另于每個(gè)過濾器5A，5B臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設(shè)置氣壓控制閥Cl，C2，C3，C4，另且對(duì)經(jīng)過濾器5A，5B頂部排流端管接氣壓控制閥C5，C6的排放，及對(duì)每一過濾器5A，5B流出端叉分管接氣壓控制閥C12，C13的排放，接管匯集流到收集處理槽8收置，而氣壓控制閥Cl，C2, C3, C4，C5，C6，C7，C8，C9，C10，C11，C12，C13皆為單進(jìn)單出的閥體，亦受前述過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置7的電腦40管控開啟或關(guān)閉。當(dāng)一過濾器5A阻塞欲更換時(shí)，以電腦自控氣動(dòng)閥Cl，C2關(guān)閉過濾器換洗管路5，使過濾器5A及相連管路內(nèi)的晶圓研磨液停流往晶圓研磨機(jī)6，再使氣動(dòng)控制閥C12，C5開啟，使過濾器5A內(nèi)積留的晶圓研磨液經(jīng)氣動(dòng)控制閥C12流往收集處理槽8排光，接著使氣動(dòng)控制閥C7，CS開啟，使純水2流入欲拆換的過濾器5A及過濾器置座5a沖洗，沖流的不純凈純水2就經(jīng)氣動(dòng)控制閥C12以及氣動(dòng)控制閥C5流到收集處理槽8收置，等純水沖洗畢后，驅(qū)控氣動(dòng)控制閥C7關(guān)閉，不再供應(yīng)純水2清洗，讓過濾器5A及過濾器置座5a內(nèi)積留的不純凈純水2經(jīng)氣動(dòng)控制閥C12流到收集處理槽8收置，隨之使氣動(dòng)控制閥C9開啟，使氮?dú)?氣壓噴射流過欲拆換的過濾器5A及過濾器置座5a，再經(jīng)氣動(dòng)控制閥C12流到收集處理槽8，將過濾器5A及過濾器置座5a內(nèi)剩余的水份吹干排出直接干燥，接著操作員就從過濾器置座5a拆出舊個(gè)過濾器5A換上新個(gè)過濾器5A，換好新個(gè)過濾器5A后，也對(duì)新個(gè)過濾器5A進(jìn)行開通導(dǎo)入純水2清洗及開通導(dǎo)入氮?dú)?吹干，確保新過濾器5A內(nèi)潔凈，爾后即進(jìn)行本實(shí)用新型此種裝置7運(yùn)作。其運(yùn)作首先如圖5所示，由電腦40發(fā)訊驅(qū)控氣動(dòng)控制閥C14，C18，C19，C20開通由備用混合槽10流往新過濾器5A流入端間的管路(電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖2)，使備用混合槽10內(nèi)預(yù)留的晶圓研磨液流入新個(gè)過濾器5A，且此時(shí)前述過濾器換洗管路5的氣動(dòng)控制閥C5，C12仍開啟，使備用混合槽10預(yù)留的晶圓研磨液流入新個(gè)過濾器5A盈滿經(jīng)氣動(dòng)控制閥C5向收集處理槽8流出，得以不須由供應(yīng)晶圓研磨液主管路向新個(gè)過濾器5A及該新個(gè)過濾器5A相關(guān)連管路補(bǔ)注晶圓研磨液，維持供應(yīng)晶圓研磨液主管路的供壓供流穩(wěn)定。當(dāng)晶圓研磨液注入新過濾器5A灌滿溢出至感應(yīng)器41感應(yīng)到晶圓研磨液流經(jīng)后，感應(yīng)器41即發(fā)訊到電腦40，電腦40即停止晶圓研磨液注入，并使新過濾器5A及其相連管路內(nèi)的剩余氮?dú)馀葸B同滿溢出的晶圓研磨液全排出后，如圖6所示，關(guān)閉氣動(dòng)控制閥C5，C12，且電腦40 (電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖2)發(fā)訊使第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20流向新過濾器5A的出口端關(guān)閉(電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖)，封留注滿新過濾器5A及相臨管路內(nèi)的晶圓研磨液，同時(shí)使第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥C20流向排放管30的出口開啟，也開啟排放管30上的氣動(dòng)控制閥C22，使備用混合槽10慣性流來的晶圓研磨液改由排放管30向收集處理槽8排收。緊接著如圖7所示，電腦40發(fā)訊關(guān)閉氣動(dòng)控制閥C14且開啟氣動(dòng)控制閥C15，C16(電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖2)，使純水2流入排放管30對(duì)流往該管30及該管30本身進(jìn)行清洗后，向收集處理槽8排放，清洗一段時(shí)間后，隨即如圖8所示，由電腦40發(fā)訊關(guān)閉氣動(dòng)控制閥C16并開啟氣動(dòng)控制閥C17(電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖2)，使氮?dú)?噴入排放管30對(duì)流往該管30及該管30本身進(jìn)行風(fēng)干，等風(fēng)干時(shí)間一到，如圖9所示，電腦40發(fā)訊令氣動(dòng)控制閥C17，C22關(guān)閉(電腦40圖中未示，請(qǐng)參見前圖2)，封閉洗潔吹干的排放管30，至此，操作過濾器換洗管路5的氣動(dòng)控制閥Cl，C2開啟，就使新過濾器5A及其相連管路與供應(yīng)晶圓研磨液主管路相通，回復(fù)正常過濾效率作用，此刻由于新過濾器5A及其相連管路內(nèi)早已自動(dòng)灌滿晶圓研磨液，使整體系統(tǒng)不會(huì)為了還要對(duì)新過濾器5A及其相連管路填注晶圓研磨液，而產(chǎn)生壓降。由此構(gòu)成，在不能斷止供應(yīng)晶圓研磨液產(chǎn)出當(dāng)中，任一過濾器阻塞更換后時(shí)，能自動(dòng)對(duì)清洗換上新過濾器內(nèi)部回補(bǔ)注壓晶圓研磨液，讓研磨液供應(yīng)不會(huì)產(chǎn)生整體系統(tǒng)壓降保持供應(yīng)流量及供應(yīng)壓力穩(wěn)定。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。綜上所述，本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、使用實(shí)用性及成本效益上，完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需，且所揭示的結(jié)構(gòu)亦是具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造，具有新穎性、創(chuàng)造性、實(shí)用性，符合有關(guān)新型專利要件的規(guī)定，故依法提起申請(qǐng)。
權(quán)利要求1.一種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，不同于現(xiàn)有由供應(yīng)晶圓研磨液主管路新注入新過濾器及及其相連管路的管路裝置，其特征在于:伴設(shè)于主混合槽后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再通往晶圓研磨機(jī)途中的每個(gè)過濾器換洗管路旁，由備用混合槽、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥、排放管、數(shù)個(gè)過濾器，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，其中備用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，備用混合槽流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥叉連接到臨近過濾器流入端，且臨近過濾器流入端所接的一氣動(dòng)控制閥為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，其二出之一流出端叉連接到臨近過濾器流入端，另流出端接設(shè)排放管，另于備用混合槽流出端連接一氣動(dòng)控制閥后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，再于過濾器換洗管路的每一過濾器頂部的排流端設(shè)置感應(yīng)傳出端電接往電腦的一感應(yīng)器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其特征在于，所述該些氣動(dòng)控制閥分成單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥及單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，由單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥布設(shè)為關(guān)閉備用混合槽流出端選擇開放導(dǎo)入純水或氮?dú)?，以及開啟排放管排放之用，且備用混合槽流出端接一單進(jìn)單出的氣動(dòng)控制閥控制開通后，分歧管接第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，再由第一個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端管接第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，而第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端管接第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，第二個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥另一流出端管接第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥流入端，并使第三個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端叉連接到臨近一過濾器流入端，第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥一流出端叉連接到臨近另一過濾器流入端，而第三及第四個(gè)單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥未接往過濾器流入端的另流出端連接排放管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其特征在于，所述電腦為可程控器型式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其特征在于，所述過濾器換洗管路由至少兩個(gè)過濾器、數(shù)個(gè)氣壓控制閥連接而成，所有過濾器并聯(lián)管接的匯流入端管接晶圓研磨液供應(yīng)槽流出端，且所有過濾器并聯(lián)管接的匯流出端管接晶圓研磨機(jī)流入端，而每個(gè)過濾器頂部的排流端管接氣壓控制閥排放，又于每個(gè)過濾器流入端分?jǐn)?shù)叉路管接氣壓控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，并于每一過濾器流出端叉分管接氣壓控制閥排放，另于每個(gè)過濾器臨近匯流入端及臨近匯流出端的接管部位設(shè)置氣壓控制閥，且對(duì)經(jīng)過濾器頂部排流端管接氣壓控制閥排放，而過濾器換洗管路的所有氣壓控制閥亦受過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置的電腦管控。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，其特征在于，所述該些氣壓控制閥皆為單進(jìn)單出的閥體。
專利摘要一種晶圓研磨液供應(yīng)系統(tǒng)的過濾器拆換自動(dòng)回補(bǔ)注壓裝置，伴設(shè)于主混合槽后送至晶圓研磨液供應(yīng)槽，再通往晶圓研磨機(jī)途中的每個(gè)過濾器換洗管路旁，其由備用混合槽、數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥、排放管、數(shù)個(gè)傳感器，及管控氣壓源氣壓流向氣動(dòng)控制閥的電腦連接而成，其中備用混合槽流入端接到主混合槽溢流端，備用混合槽流出端管接數(shù)個(gè)氣動(dòng)控制閥叉連接到臨近過濾器換洗管路的過濾器流入端，且臨近過濾器流入端所接的一氣動(dòng)控制閥為單進(jìn)二出的氣動(dòng)控制閥，備用混合槽流出端連接一氣動(dòng)控制閥后，旁分?jǐn)?shù)個(gè)叉路管接氣動(dòng)控制閥選換導(dǎo)入純水或氮?dú)?，于每一過濾器頂部的排流端設(shè)置一感應(yīng)器。本實(shí)用新型讓研磨液供應(yīng)不會(huì)產(chǎn)生整體系統(tǒng)壓降保持供應(yīng)流量及供應(yīng)壓力穩(wěn)定。
文檔編號(hào)B24B57/02GK203019229SQ20122054040
公開日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月22日
發(fā)明者黃怡文 申請(qǐng)人:宸沅國際股份有限公司