專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)是新興的一種平板顯示器，因它有主動發(fā)光，對比度高，能薄型化，響應(yīng)速度快等諸多優(yōu)點(diǎn)，被公認(rèn)為替代LCD的第三代顯示器，其發(fā)光原理是在兩個電極之間積木式蒸鍍?nèi)舾蓪佑袡C(jī)材料(包括有機(jī)發(fā)光材料)，在兩電極之間通上直流電使其發(fā)光。在有機(jī)電致發(fā)光顯示器制作中，為了獲得有效的像素單元，需要使用蒸鍍掩膜版，這種掩膜版厚度在0.030 0.100mm，工藝制作難度較大，良率較低，而且只有少數(shù)廠家可以生產(chǎn)，因此價格昂貴。在整個有機(jī)電致發(fā)光顯示器制作費(fèi)用中，掩膜版費(fèi)用占制造成本的10%以上，是直接影響器件制造成本的主要因素。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，能夠?qū)崿F(xiàn)降低成本而不影響效果的目的。一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，包括掩膜版本體，其特別之處在于:其中掩膜版本體由至少兩塊小掩膜版組成，并且在每兩塊小掩膜之間均設(shè)有遮縫條，還包括至少一根支持條，該支持條與所有小掩膜版和遮縫條均固定連接成一體。其中遮縫條和支持條均為不銹鋼材質(zhì)。其中支持條的寬度在0.5 10mm，遮縫條的寬度在0.1 10mm。其中所述支持條的厚度在0.02 0.1mm,遮縫條的厚度在0.02 0.1mm。本實(shí)用新新提供了一種分割(型)掩膜版，將目前業(yè)界普遍采用的整張掩膜版分割成條帶型，以便某處有問題時只更換該條帶，既方便操作又降低制造成本，但分割型掩膜版存在強(qiáng)度不足，同時粘貼到框架上時兩條掩膜版之間有一定縫隙，本實(shí)用新型有增加了支持條和遮縫條，配合分割型掩膜版使用完全能夠達(dá)到與普通的整張掩膜版相同的使用效果O

附圖1為背景技術(shù)中的蒸鍍用常規(guī)整體式掩膜版的結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2為本實(shí)用新型的分割型掩膜版結(jié)構(gòu)示意圖；附圖3為本實(shí)用新型中使用遮縫條(7)和支持條(6)的示意圖；附圖4為本實(shí)用新型中使用遮縫條(7)的示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖2、3、4所示，一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，包括掩膜版本體，其中掩膜版本體由至少兩塊小掩膜版I組成，并且在每兩塊小掩膜之間均設(shè)有遮縫條7，還包括至少一根支持條6，該支持條6與所有小掩膜版I和遮縫條7均固定連接成一體。其中遮縫條7和支持條6均為SUS (steel use stainless)不銹鋼材質(zhì),支持條6的寬度在0.5 10mm，遮縫條7的寬度在0.1 10mm，而支持條6的厚度在0.02 0.1mm,遮縫條7的厚度在0.02 0.1_。通常730*460基板用支持條6的數(shù)量一般在4 7條，730*460基板用遮縫條7的數(shù)量為分割型掩膜版條數(shù)-1，即有幾個縫隙就用幾個遮縫條7，精度上要求支持條6的寬度偏差小于50um,遮縫條7的寬度偏差小于50um。本實(shí)用新型的技術(shù)特點(diǎn)是:有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割型掩膜版必須配合輔助條才能取得理想的蒸鍍效果，才能充分發(fā)揮使用分割型掩膜版降低掩膜版使用成本的目的。而本實(shí)用新型的分割型掩膜版輔助條包含兩部分:一是支持條6，二是遮縫條7。使用支持條6以增強(qiáng)分割型掩膜版強(qiáng)度，有效控制其在使用中的形變，保證蒸鍍位置準(zhǔn)確，提高位置精度重復(fù)性。使用遮縫條7以遮掩分割型掩膜版在張貼中產(chǎn)生的縫隙，避免蒸鍍材料通過縫隙蒸著在不需要蒸著的區(qū)域。
權(quán)利要求1.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，包括掩膜版本體，其特征在于:其中掩膜版本體由至少兩塊小掩膜版(I)組成，并且在每兩塊小掩膜之間均設(shè)有遮縫條(7)，還包括至少一根支持條￠)，該支持條(6)與所有小掩膜版(I)和遮縫條(7)均固定連接成一體。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，其特征在于:其中遮縫條(7)和支持條(6)均為不銹鋼材質(zhì)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，其特征在于:其中支持條(6)的寬度在0.5 10臟，遮縫條(7)的寬度在0.1 10mm。
4.如權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，其特征在于:其中所述支持條(6)的厚度在0.02 0.1_，遮縫條(7)的厚度在0.02 0.1_。
專利摘要本實(shí)用新型涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示器蒸鍍用分割掩膜版，包括掩膜版本體，其特點(diǎn)是其中掩膜版本體由至少兩塊小掩膜版(1)組成，并且在每兩塊小掩膜之間均設(shè)有遮縫條(7)，還包括至少一根支持條(6)，該支持條(6)與所有小掩膜版(1)和遮縫條(7)均固定連接成一體。本實(shí)用新新提供了一種分割(型)掩膜版，將目前業(yè)界普遍采用的整張掩膜版分割成條帶型，以便某處有問題時只更換該條帶，既方便操作又降低制造成本，但分割型掩膜版存在強(qiáng)度不足，同時粘貼到框架上時兩條掩膜版之間有一定縫隙，本實(shí)用新型有增加了支持條和遮縫條，配合分割型掩膜版使用完全能夠達(dá)到與普通的整張掩膜版相同的使用效果。
文檔編號C23C14/24GK203034082SQ201220660680
公開日2013年7月3日 申請日期2012年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月4日
發(fā)明者趙建明, 蔣謙, 王春飛 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司