專利名稱：真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有串聯(lián)地配置的多個(gè)真空蒸鍍腔體與在上述串聯(lián)上并在各安裝腔體之間搬運(yùn)進(jìn)行蒸鍍的工件的真空搬運(yùn)腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法，尤其涉及適于利用蒸鍍法進(jìn)行的制造的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。
背景技術(shù)：
具有在真空基板等工件上蒸鍍有機(jī)EL等的真空蒸鍍法。在一般的真空蒸鍍法中，為了持續(xù)進(jìn)行穩(wěn)定的蒸鍍，需要以從蒸發(fā)源將材料蒸發(fā)速度保持為一定的方式進(jìn)行控制。在使用電阻加熱或感應(yīng)加熱等方法加熱蒸鍍材料并進(jìn)行物理蒸鍍(PVC)的場(chǎng)合，為了蒸發(fā)速度穩(wěn)定，需要一定的時(shí)間，需要將材料蒸發(fā)速度保持為一定而一直蒸發(fā)。因此，當(dāng)將工件一個(gè)個(gè)搬入真空蒸鍍腔體中并進(jìn)行處理時(shí)，當(dāng)在工件的蒸鍍后將工件從真空蒸鍍腔體搬出，搬入新的工件期間從蒸發(fā)源蒸發(fā)的材料對(duì)蒸鍍工序毫無用處，會(huì)成為材料損失。作為解決降低該材料損失的課題的方法具有專利文獻(xiàn)I。在專利文獻(xiàn)I中公開了在真空搬運(yùn)腔體的周圍設(shè)置真空蒸鍍腔體的群集形式的真空蒸鍍系統(tǒng)中在上述真空蒸鍍腔體中交替地搬入、搬出兩個(gè)工件，并進(jìn)行蒸鍍的方法?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-227477號(hào)公報(bào)但是，如圖1所示，即使在串聯(lián)地配置真空搬運(yùn)腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中，也期望降低搬運(yùn)工件時(shí)的材料損失
發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供在串聯(lián)地配置真空搬運(yùn)腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中，能夠降低材料損失的經(jīng)濟(jì)性好的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，至少具有以下特征。本發(fā)明是一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運(yùn)工件的真空搬運(yùn)腔體與對(duì)上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，由具有多個(gè)上述真空蒸鍍腔體的線構(gòu)成，該真空蒸鍍系統(tǒng)的特征在于，互相并列地設(shè)置N (N為2以上)條上述線，上述真空蒸鍍腔體是橫跨各個(gè)上述N條線而設(shè)置的N條線真空蒸鍍腔體，上述N條線真空蒸鍍腔體在每條線上具有蒸鍍上述工件的蒸鍍位置，當(dāng)在上述N條線中的第一線上對(duì)第一上述工件進(jìn)行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體，并從上游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體搬入第三上述工件。另外，本發(fā)明是一種真空蒸鍍方法，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運(yùn)工件的真空搬運(yùn)腔體與對(duì)上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，使具有多個(gè)上述真空蒸鍍腔體的線互相并列，具有N (N為2以上)條上述線，在橫跨上述N條線的上述真空蒸鍍腔體而設(shè)置的各個(gè)N條線真空蒸鍍腔體中對(duì)上述工件進(jìn)行蒸鍍，當(dāng)在上述N條線中第一線上對(duì)上述工件進(jìn)行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體，從上游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體搬入第三上述工件。 并且，上述N是2，上述另一線是第二線。另外，上述真空搬運(yùn)腔體可以具有送料機(jī)構(gòu)，該送料機(jī)構(gòu)具有在上述工件的搬運(yùn)方向上沿前后伸縮的多級(jí)直動(dòng)軸。另外，從上游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或裝入室搬出上述工件，將上述工件向下游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或卸載室搬入。另外，上述搬入或上述搬出通過設(shè)在蒸鍍位置的上方且在上述蒸鍍位置與搬入搬出位置之間升降的交接機(jī)構(gòu)來進(jìn)行。另外，上述N條線真空蒸鍍腔體具有從上述蒸鍍位置在下部的區(qū)域使蒸發(fā)源二維移動(dòng)的蒸發(fā)源驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，上述真空搬運(yùn)腔體的真空部設(shè)在比上述蒸鍍位置高的位置，上述N條線真空蒸鍍腔體具有向上述真空搬運(yùn)腔體的真空部的下側(cè)突出的結(jié)構(gòu)。另外，上述真空搬運(yùn)腔體分別是橫跨上述N條線而設(shè)置的N條線真空搬運(yùn)腔體，上述N條線真空搬運(yùn)腔體具有使上述送料機(jī)構(gòu)在上述N條線間移動(dòng)的機(jī)構(gòu)、或一臺(tái)水平多關(guān)節(jié)式搬運(yùn)機(jī)器人。另外，上述真空搬運(yùn)腔體只搬運(yùn)上述工件、或搬運(yùn)與保持上述工件的工件搬運(yùn)體或掩蔽件為一體的上述工件。本發(fā)明的效果如下。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在串聯(lián)地配置真空搬運(yùn)腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中能夠降低材料損失的經(jīng)濟(jì)性好的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的真空蒸鍍系統(tǒng)的圖。圖2是表示真空蒸鍍腔體與真空搬運(yùn)腔體的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。圖3是真空搬運(yùn)腔體內(nèi)的送料機(jī)構(gòu)的說明圖。圖4是表示橫跨兩條線移動(dòng)蒸發(fā)源，蒸鍍兩條線的工件的蒸鍍?cè)打?qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖。圖5是表示橫跨兩條線進(jìn)行的蒸鍍處理流程及蒸發(fā)源的動(dòng)作流程的圖。圖6是示意地表示蒸發(fā)源的動(dòng)作的圖。圖中:1—蒸鍍部，2—交接部，4一工件搬運(yùn)體，9—低溫泵，10—閘門閥，11—防鍍板,20一交接機(jī)構(gòu)，40—控制裝置,51一兩聯(lián)桿的空心臂機(jī)構(gòu)，60—AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu),71—蒸發(fā)源，80—線內(nèi)移動(dòng)機(jī)構(gòu)，100—真空蒸鍍系統(tǒng)，C、CA、CB、CC一真空蒸鍍腔體，EA、EB—卸載室，F(xiàn)—送料機(jī)構(gòu)，H、HAl至HA3、HBl至HB4:真空搬運(yùn)腔體，IA、IB—裝入室，W—工件。
具體實(shí)施例方式
使用圖1至圖6說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1表示本發(fā)明的實(shí)施方式的真空蒸鍍系統(tǒng)100。真空蒸鍍系統(tǒng)100具有兩條并列線LA、LB與管理整體并控制各部的控制裝置40。真空蒸鍍系統(tǒng)100具有橫跨兩線的三個(gè)真空蒸鍍腔體CA、CB、CC、將工件W搬入各線的裝入室IA、IB、以及從各線搬出處理后的工件W的卸載室EA、EB。另外，真空蒸鍍系統(tǒng)100具有真空搬運(yùn)腔體HAl至HA4以及HBl至HB4 (作為代表表示時(shí)只記為H)，各搬運(yùn)腔體具有搬運(yùn)工件W的后述的送料機(jī)構(gòu)。各送料機(jī)構(gòu)在各真空蒸鍍腔體C (作為代表表示時(shí)只記為C)間、或裝入室IA、IB或卸載室EA、EB與該真空蒸鍍腔體C之間搬運(yùn)工件W。例如，箭頭符號(hào)KA表示各送料機(jī)構(gòu)的工件W的搬運(yùn)范圍。例如，箭頭KAl表示真空搬運(yùn)腔體HAl的送料機(jī)構(gòu)的搬運(yùn)范圍。另外，各線的裝入室IA、IB及卸載室EA、EB所示的小的箭頭符號(hào)表示工件W的搬運(yùn)方向。即，左側(cè)為上游側(cè)，右側(cè)為下游側(cè)。利用這種結(jié)構(gòu)，本實(shí)施方式能夠構(gòu)成一樣地蒸鍍工件W的下表面的裝置?？梢栽诟髡婵照翦兦惑wC間蒸鍍相同蒸鍍材料，也可以蒸鍍不同的蒸鍍材料。另外，各真空蒸鍍腔體C的數(shù)量未限定于三個(gè)，只要是多個(gè)即可。另外，代替裝入室或卸載室，也可以連接前工序或后工序。圖2是表示真空蒸鍍腔體C與真空搬運(yùn)腔體H的結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖，是從箭頭符號(hào)D的方向觀察線LA的HA2、CB及HA3的向視圖。基本來說，由于真空蒸鍍腔體C與真空搬運(yùn)腔體H的各結(jié)構(gòu)是相同的，因此在各結(jié)構(gòu)上未表示表示場(chǎng)所所示的CB、HA2、HA3等。真空蒸鍍腔體C大致具有在與送料機(jī)構(gòu)F間進(jìn)行工件W的交接的交接部2、對(duì)工件W蒸鍍蒸鍍材料的蒸鍍部I。另外，真空蒸鍍腔體C具有將真空蒸鍍腔體內(nèi)保持為規(guī)定的真空度的低溫泵9、設(shè)在與真空搬運(yùn)腔體H之間的閘門閥10。閘門閥10不需要設(shè)在全部的真空搬運(yùn)腔體H上。只要以至少在各線LA、LB中存在關(guān)系的閘門閥不全部為大氣開放狀態(tài)的方式設(shè)置即可。例如，可以在最上游側(cè)及最下游側(cè)的真空搬運(yùn)腔體或裝入室或卸載室的搬入搬出口上設(shè)置閘門閥。另外，工件W被在中央部上具有用于進(jìn)行蒸鍍的開口部的工件搬運(yùn)體4保持并搬運(yùn)。當(dāng)然，也可以直接搬運(yùn)工件。該場(chǎng)合期望保持與蒸鍍面相反側(cè)的面。在交接部2上具有交接機(jī)構(gòu)20，該交接機(jī)構(gòu)20在交接位置UP從上游的送料機(jī)構(gòu)F接受工件搬運(yùn)體4，并移動(dòng)到虛線所示的蒸鍍位置JP，在蒸鍍后返回到原來的交接位置UP，將工件搬運(yùn)體4交接到下游 側(cè)的送料機(jī)構(gòu)F上。圖2所示的交接機(jī)構(gòu)20用于線LA，在紙面背側(cè)存在具有相同結(jié)構(gòu)的線LB用交接機(jī)構(gòu)20。交接機(jī)構(gòu)20具有與工件搬運(yùn)體4相同地在蒸鍍側(cè)具有開口部的交接體21、將前端固定在交接體21的四角部(在圖2中只表示兩處)，在通過真空蒸鍍腔體C的上部的真空密封件(未圖示)設(shè)置的鞘23內(nèi)移動(dòng)的支撐棒22。交接體21利用將前端固定在相對(duì)的兩邊(在圖2中只記一邊)的中央部的滾珠絲杠軸25b升降。此時(shí)，滾珠絲杠軸25b由利用未圖示的磁性流體密封件對(duì)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行傳動(dòng)的螺母25η驅(qū)動(dòng)，并在鞘24內(nèi)移動(dòng)。接著，在說明蒸鍍部I前，使用圖3與圖2 —起說明真空搬運(yùn)腔體H內(nèi)的送料機(jī)構(gòu)F。圖3 Ca)表示送料機(jī)構(gòu)F未完全延伸的中立的狀態(tài)，圖3 (b)表示送料機(jī)構(gòu)F沿工件W的搬運(yùn)方向移動(dòng)伸長到最右側(cè)的狀態(tài)。與圖3 (b)相同地也移動(dòng)伸長到左側(cè)。送料機(jī)構(gòu)F具備由移動(dòng)基體31b、在移動(dòng)基體31b上與工件W的搬運(yùn)方向平行地設(shè)置的兩條軌道軸32 (在圖3中只表示紙面?zhèn)鹊囊粭l)、以及在距各軌道軸的兩端部規(guī)定位置X的驅(qū)動(dòng)軸32上移動(dòng)的共計(jì)四個(gè)直動(dòng)軸承33 (在圖3中只表示圖示的軌道軸的兩個(gè))構(gòu)成的一級(jí)直動(dòng)軸。并且，送料機(jī)構(gòu)F通過將直動(dòng)軸承33固定在上級(jí)的移動(dòng)基體31b上而構(gòu)成多級(jí)直動(dòng)軸。另外，可以使最上級(jí)直動(dòng)軸的載置工件搬運(yùn)體4的部分為工作臺(tái)34，將固定基體31a固定在真空搬運(yùn)腔體H的底部。使這樣構(gòu)成的送料機(jī)構(gòu)F的各級(jí)直動(dòng)軸承33向右側(cè)移動(dòng)并延伸的狀態(tài)為圖3(b)，最縮短的狀態(tài)為圖3(a)，各真空搬運(yùn)腔體H的送料機(jī)構(gòu)能夠使工件W在圖1所示的箭頭符號(hào)KA的范圍內(nèi)移動(dòng)。在圖2中，真空搬運(yùn)腔體H與真空蒸鍍腔體C的搬運(yùn)方向的中心距離、即一側(cè)的工件搬運(yùn)距離是KA / 2。在使圖3的固定基體31a及移動(dòng)基體31b的長度L為L=KA / 2，并且使直動(dòng)軸承33支承工作臺(tái)34的寬度為L / 2時(shí)，由軌道軸32與直動(dòng)軸承33構(gòu)成的直動(dòng)導(dǎo)向件35的一軸的一側(cè)移動(dòng)量X為L / 4。送料機(jī)構(gòu)F的必要的一側(cè)路程只要是搬運(yùn)距離KA / 2=L以上即可，因此必要的直動(dòng)導(dǎo)向件35的個(gè)數(shù)是四軸。另外，考慮需要閘門閥10位于各腔體間、或在各腔體的內(nèi)壁與機(jī)構(gòu)部上需要一些間隙，如果使固定基體31a及移動(dòng)基體31b的長度L為L=2 / 5KA，直動(dòng)軸承33支承工作臺(tái)34的寬度為L / 2，則X=L /4=1 / 10KA，搬運(yùn)距離是KA / 2，因此直動(dòng)導(dǎo)向件35是五級(jí)重疊即可。另外，在圖2中，為了避免圖的復(fù)雜，表示三級(jí)臂的送料機(jī)構(gòu)F。就送料機(jī)構(gòu)F的具體的驅(qū)動(dòng)而言，移動(dòng)基體31b的各級(jí)與工作臺(tái)34例如以如果最下級(jí)的移動(dòng)基體31b移動(dòng)，則各級(jí)為等距離移動(dòng)的方式配置聯(lián)桿機(jī)構(gòu)。另外，在固定基體31a上設(shè)置滾珠絲杠，從腔體的外部導(dǎo)入馬達(dá)等旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)并傳送到滾珠絲杠。通過將滾珠絲杠的螺母固定到最下級(jí)的移動(dòng)基體31b上，各移動(dòng)基體31b及工作臺(tái)34能夠等速移動(dòng)。其結(jié)果，絕對(duì)的工作臺(tái)34的移動(dòng)距離相對(duì)于最下級(jí)的移動(dòng)基體31b的移動(dòng)距離X，根據(jù)移動(dòng)基體31b的數(shù)N分別為(N+1)倍。接著，返回圖2，說明蒸鍍部I。蒸鍍部I具有用于不使用于將各種實(shí)用程序供給到移動(dòng)的蒸發(fā)源71的配線、配管等在真空中露出地連接的兩聯(lián)桿的空心臂機(jī)構(gòu)51、設(shè)在蒸鍍位置JP的防鍍板11?？招谋蹤C(jī)構(gòu)51的移動(dòng)端側(cè)與大氣箱51k連接，固定側(cè)通過真空密封件51s固定在真空蒸鍍腔體C的底壁。蒸發(fā)源71固定在大氣箱51k上。大氣箱5lk、兩聯(lián)桿51a、51b的互相的連接部能旋轉(zhuǎn)地被真空密封，其等內(nèi)部為大氣環(huán)境。因此，對(duì)蒸發(fā)源71必要的供電線或信號(hào)線等、配管類從真空環(huán)境隔離，能夠防止對(duì)蒸鍍產(chǎn)生不良影響的外部氣體從配線或樹脂配管釋放到真空中，能夠進(jìn)行可靠性高的蒸鍍。
·
如圖2所示，將真空搬運(yùn)腔體H的真空部Hp設(shè)在比蒸鍍位置JP高的位置，并且在交接部2上設(shè)置能夠使工件在與蒸鍍位置間升降的交接機(jī)構(gòu)20，縮短交接部2的搬運(yùn)方向的長度。其結(jié)果，能夠縮短真空蒸鍍腔體C的搬運(yùn)方向的長度，并且能給縮短送料機(jī)構(gòu)F的路程，能夠縮短真空搬運(yùn)腔體H的搬運(yùn)方向的長度。另外，還具有在真空搬運(yùn)腔體H具有未圖示的低溫泵的場(chǎng)合，該部分也能夠設(shè)在比真空蒸鍍腔體C的蒸鍍部I間等的蒸鍍位置JP低的位置。另一方面，在蒸鍍部I中，為使位于蒸鍍位置JP的下側(cè)的蒸發(fā)源71 二維地移動(dòng)的區(qū)域向真空搬運(yùn)腔體H的下部突出的突出結(jié)構(gòu)。其結(jié)果，能夠?qū)⑽凑翦儠r(shí)的待機(jī)區(qū)域設(shè)為突出結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，低溫泵9也設(shè)在真空搬運(yùn)腔體H的下部。這些結(jié)果，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠縮短圖1所示的真空蒸鍍系統(tǒng)100的線LA、LB的線長度。圖4是表示橫跨蒸發(fā)源71的線LA、LB移動(dòng)，并蒸鍍兩條線LA、LB的工件W的蒸發(fā)源驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)的圖。圖4 (a)是從工件W的蒸鍍面俯視腔體C的平面剖視圖，圖4 (b)是以能從圖4 (a)的下側(cè)看見內(nèi)部的方式剖切的正面剖視圖。蒸發(fā)源驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有使蒸發(fā)源71及配線配管部72在線LA、LB間移動(dòng)的AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu)60、使蒸發(fā)源71在線LA、LB間掃掠的線內(nèi)掃掠機(jī)構(gòu)80。首先，說明AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu)60。AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu)60具有使搭載蒸發(fā)源71的大氣箱51k在圖4 (a)所示的上下移動(dòng)，并移動(dòng)到工件WA或WB所處的蒸鍍掃掠線的作用。為了起到上述作用，AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu)60具有由固定在腔體底部Ia上的AB線間移動(dòng)直動(dòng)導(dǎo)向件61支承的AB線間移動(dòng)工作臺(tái)62、由用于為了使上述AB線間移動(dòng)工作臺(tái)在AB間移動(dòng)而將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換為直線運(yùn)動(dòng)的小齒輪65p及齒條65r構(gòu)成的輥式齒條、小齒輪
65、用于將驅(qū)動(dòng)傳送到上述小齒輪的AB線間驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部64、從腔體C的外部、即大氣側(cè)將旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入上述驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入部63。通過輥式小齒輪65p旋轉(zhuǎn)，固定齒條65r的AB線間移動(dòng)工作臺(tái)62利用AB線間移動(dòng)直動(dòng)導(dǎo)向件61的引導(dǎo)而進(jìn)行直線移動(dòng)。AB線間移動(dòng)馬達(dá)63m為了抑制在發(fā)熱及真空蒸鍍腔體C內(nèi)的塵埃而設(shè)置在真空蒸鍍腔體的外部。因此，需要連結(jié)能夠?qū)B線間驅(qū)動(dòng)馬達(dá)63m的旋轉(zhuǎn)傳遞到真空環(huán)境中的AB線間驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部64，并且能夠?qū)φ婵者M(jìn)行密封的磁性流體密封件63s、上述磁性流體密封件與AB線間驅(qū)動(dòng)馬達(dá)63m，并且吸收組裝時(shí)的誤差或偏角的聯(lián)軸節(jié)63c。另外，AB線間驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部64包括連結(jié)磁性流體密封件63s與小齒輪軸64s并且吸收組裝時(shí)的誤差或偏角的聯(lián)軸節(jié)64c、支承作為輥式小齒輪65p的旋轉(zhuǎn)軸的部位的小齒輪軸64s的軸承64b。另一方面，線內(nèi)掃掠機(jī)構(gòu)80設(shè)置在腔體C的內(nèi)部。線內(nèi)掃掠機(jī)構(gòu)80具有用于對(duì)大氣箱51k進(jìn)行直線引導(dǎo)的設(shè)在AB線間移動(dòng)工作臺(tái)62上的線內(nèi)掃掠直動(dòng)導(dǎo)向件81、由設(shè)在大氣箱51k的內(nèi)部的大氣環(huán)境中的線內(nèi)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)82m、以及連結(jié)作為真空用旋轉(zhuǎn)密封件的磁性流體密封件82s及上述線內(nèi)驅(qū)動(dòng)馬達(dá)與上述磁性流體密封件，并且吸收 組裝時(shí)的誤差或偏角的聯(lián)軸節(jié)82c構(gòu)成的線內(nèi)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入部82、用于從旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)的由輥式小齒輪83p與齒條83r構(gòu)成的輥式齒條、小齒輪83。利用將線內(nèi)掃掠機(jī)構(gòu)80的輥式小齒輪83p與齒條83r的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變換為直線運(yùn)動(dòng)的移動(dòng)關(guān)系是與AB線間移動(dòng)機(jī)構(gòu)60的場(chǎng)合相對(duì)地相反的關(guān)系。齒條83r固定在AB線間移動(dòng)工作臺(tái)上，輥式小齒輪83p旋轉(zhuǎn)并移動(dòng)。即，大氣箱51k及蒸發(fā)源71在包圍線內(nèi)驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入部82的狀態(tài)下被線內(nèi)掃掠直動(dòng)導(dǎo)向件81引導(dǎo)并自行而掃掠。在以上的實(shí)施方式中，說明具有兩條線的場(chǎng)合。例如，在圖4 (a)中，通過在移動(dòng)方向上擴(kuò)大腔體，與AB線間移動(dòng)工作臺(tái)62的路程一致地在適當(dāng)?shù)奈恢米芳邮笰B線間驅(qū)動(dòng)導(dǎo)入部63與AB線間驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)部64及棍式小齒輪65p為一式的結(jié)構(gòu)，能夠構(gòu)成橫跨三條以上的線的真空蒸鍍腔體。接著，使用圖5說明實(shí)施方式的蒸鍍處理流程。圖5表示橫跨線LA、LB進(jìn)行的蒸鍍處理流程及蒸發(fā)源71的動(dòng)作流程。圖6是示意地表示此時(shí)的蒸發(fā)源71的動(dòng)作的圖。圖6的兩聯(lián)桿的空心臂機(jī)構(gòu)51的實(shí)線或虛線表示在線LA、LB的右端或左端的姿勢(shì)。以下說明的各線的構(gòu)成的各真空蒸鍍腔體C及各真空搬運(yùn)腔體H的處理或動(dòng)作在各線單位同步地進(jìn)行。圖5所示的蒸鍍處理流程從蒸發(fā)源71結(jié)束線LB的工件WB的蒸鍍，行駛到LB線的左端，在線LA上工件WA已經(jīng)定位到各真空蒸鍍腔體的蒸鍍位置JP并待機(jī)的狀態(tài)(AS0、BS0、JS0)表示。首先，蒸發(fā)源71如圖6的箭頭符號(hào)JI所示，從線LB的左端移動(dòng)到線LA的左端。此時(shí)，在線LB中，使工件WB上升到交接位置UP (BSl )，開始向下游側(cè)的真空搬運(yùn)腔體H搬出。蒸發(fā)源71在移動(dòng)到線LA的左端后，在線LA的工件WA的下表面從左移動(dòng)到右，(圖6的箭頭符號(hào)J2)，再次返回到左端(圖6的箭頭符號(hào)J3)。伴隨進(jìn)行一次至多次該蒸發(fā)源71的動(dòng)作，在線LA上蒸鍍工件WA (ASl).
另一方面，在線LB中，在上述的BSl后也在線LA的蒸鍍期間繼續(xù)工件WB的搬出動(dòng)作。即，利用下游側(cè)的送料機(jī)構(gòu)F從真空蒸鍍腔體C向下游側(cè)的真空搬運(yùn)腔體H搬出工件WB(BS2 )。之后，利用上游側(cè)的送料機(jī)構(gòu)F從上游側(cè)的真空搬運(yùn)腔體H將新的工件WB搬入真空蒸鍍腔體C的交接位置UP (BS3)。并且，根據(jù)場(chǎng)合，在進(jìn)行定位等的動(dòng)作后(BS4)，固定下降到蒸鍍位置JP的新的工件WB，并待機(jī)到線LA的蒸鍍結(jié)束(BS5)。接著，當(dāng)在線LA蒸鍍結(jié)束時(shí)，如圖6的箭頭符號(hào)J4所示，蒸發(fā)源71從線LA的左端移動(dòng)到線LB的左端(JS3)，之后，與步驟JS2相同，如圖6的箭頭符號(hào)J5、J6所示，在線LB的工件WB的下表面反復(fù)一次至多次(JS4)，蒸鍍工件WB (BS6)。在這期間，在線LA中，從步驟AS2到AS6進(jìn)行從線LB的步驟BSl到BS5所示的處理。之后，反復(fù)進(jìn)行上述步驟。另外，在以上的說明中，在左端側(cè)進(jìn)行AB線間的移動(dòng)，也可以如以雙點(diǎn)劃線所示的箭頭符號(hào)J7、J8所示，在右端側(cè)進(jìn)行。另外，反復(fù)進(jìn)行一次至多次工件的下表面的掃掠，但也可以不反復(fù)，進(jìn)行一次或多次利用箭頭符號(hào)J1、J2、J8、J6或J4、J5、J8、J3的環(huán)形的單方向掃掠。根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式，能夠提供在各真空蒸鍍腔體中，當(dāng)在一方的線上蒸鍍工件期間，通過搬出另一方的線的蒸鍍的工件并搬入新的工件，能夠減少無助于蒸鍍工序而成為損失的材料的蒸鍍線或真空蒸鍍方法。另外，根據(jù)以上說明的本實(shí)施方式，與利用獨(dú)立的兩個(gè)單線構(gòu)成的蒸鍍線比較，能夠在各真空蒸鍍腔體中，當(dāng)在一方的線上蒸鍍工件期間，通過搬出另一方的線的蒸鍍的工件并搬入新的工件，能 給縮短不進(jìn)行處理的時(shí)間，從而能夠提供吞吐量高的蒸鍍線或真空蒸鍍方法。在以上實(shí)施方式中，不使用掩蔽件地一樣地在工件面上進(jìn)行蒸鍍，但也可以在蒸鍍位置在下側(cè)設(shè)置掩蔽件，進(jìn)行圖案蒸鍍。在該場(chǎng)合，可以設(shè)置使掩蔽件與工件相對(duì)地移動(dòng)并對(duì)準(zhǔn)的機(jī)構(gòu)。例如，在以上說明的本實(shí)施方式中，可以使交接機(jī)構(gòu)相對(duì)地移動(dòng)而進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。另外，也可以使掩蔽件與工件一體地進(jìn)行搬運(yùn)而進(jìn)行蒸鍍。另外，在以上實(shí)施方式中，在每條線上設(shè)置送料機(jī)構(gòu)，但真空搬運(yùn)腔體也可以與真空蒸鍍腔體相同，橫跨兩條線設(shè)置，在線間移動(dòng)一臺(tái)送料機(jī)構(gòu)并共用。另外，可以使真空搬運(yùn)腔體與真空蒸鍍腔體相同，橫跨兩條線設(shè)置，在其中心代替送料機(jī)構(gòu)設(shè)置進(jìn)行兩條線的工件的搬入或搬出的一臺(tái)水平多關(guān)節(jié)式搬運(yùn)機(jī)器人。
權(quán)利要求
1.一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運(yùn)工件的真空搬運(yùn)腔體與對(duì)上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，由具有多個(gè)上述真空蒸鍍腔體的線構(gòu)成，該真空蒸鍍系統(tǒng)的特征在于， 互相并列地設(shè)置N條上述線，其中N為2以上，上述真空蒸鍍腔體是橫跨各個(gè)上述N條線而設(shè)置的N條線真空蒸鍍腔體，上述N條線真空蒸鍍腔體在每條線上具有對(duì)上述工件進(jìn)行蒸鍍的蒸鍍位置，當(dāng)在上述N條線中的第一線上對(duì)第一上述工件進(jìn)行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線上將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體，并從上游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體搬入第三上述工件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述N是2，上述另一線是第二線。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體具有送料機(jī)構(gòu)，該送料機(jī)構(gòu)具有在上述工件的搬運(yùn)方向上沿前后伸縮的多級(jí)直動(dòng)軸，從上游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或裝入室搬出上述工件，將上述工件向下游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或卸載室搬入。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述N條線真空蒸鍍腔體具有在上述蒸鍍位置的上方進(jìn)行上述工件的交接的交接機(jī)構(gòu)，上述交接機(jī)構(gòu)具有使上述工件升降的升降機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述N條線真空蒸鍍腔體具有從上述蒸鍍位置在下部的區(qū)域使蒸發(fā)源二維移動(dòng)的蒸發(fā)源驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體的真空部設(shè)在比上述蒸鍍位置高的位置，上述N條線真空蒸鍍腔體具有向上述真空搬運(yùn)腔體的真空部的下側(cè)突出的結(jié)構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體分別是橫跨上述N條線而設(shè)置的N條線真空搬運(yùn)腔體，上述N條線真空搬運(yùn)腔體具有使上述送料機(jī)構(gòu)在上述N條線間移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體分別是橫跨上述N條線而設(shè)置的N條線真空搬運(yùn)腔體，上述N條線真空搬運(yùn)腔體具有一臺(tái)水平多關(guān)節(jié)式搬運(yùn)機(jī)器人，上述搬運(yùn)機(jī)器人從上游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或裝入室搬出上述工件，并將上述工件向下游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或卸載室搬入。
9.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的真空蒸鍍系統(tǒng)，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體只搬運(yùn)上述工件、或搬運(yùn)與保持上述工件的工件搬運(yùn)體或掩蔽件為一體的上述工件。
10.一種真空蒸鍍方法，其交替且串聯(lián)地配置水平地搬運(yùn)工件的真空搬運(yùn)腔體與對(duì)上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，使具有多個(gè)上述真空蒸鍍腔體的線互相并列，具有N條上述線，其中N為2以上，在橫跨上述N條線的上述真空蒸鍍腔體而設(shè)置的各個(gè)N條線真空蒸鍍腔體中對(duì)上述工件進(jìn)行蒸鍍，該真空蒸鍍方法的特征在于， 當(dāng)在上述N條線中第一線上對(duì)第一上述工件進(jìn)行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線將第二上述工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體，從上游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體搬入第三上述工件。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空蒸鍍方法，其特征在于， 上述N是2，上述另一線是第二線。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的真空蒸鍍方法，其特征在于， 從上游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或裝入室搬出上述工件，將上述工件搬入下游側(cè)的上述N條線真空蒸鍍腔體或卸載室。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的真空蒸鍍方法，其特征在于， 上述搬入或上述搬出通過設(shè)在蒸鍍位置的上方且在上述蒸鍍位置與搬入搬出位置之間升降的交接機(jī)構(gòu)進(jìn)行。
14.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的真空蒸鍍方法，其特征在于， 上述真空搬運(yùn)腔體只搬運(yùn)上述工件、或搬運(yùn)與保持上述工件的工件搬運(yùn)體或掩蔽件為一體的上述工件。
全文摘要
本發(fā)明提供能夠在串聯(lián)地配置真空搬運(yùn)腔體與真空蒸鍍腔體的真空蒸鍍系統(tǒng)中降低材料損失的經(jīng)濟(jì)性好的真空蒸鍍系統(tǒng)及真空蒸鍍方法。本發(fā)明是一種真空蒸鍍系統(tǒng)，其交替且串聯(lián)地配置水平搬運(yùn)工件的真空搬運(yùn)腔體與對(duì)上述工件蒸鍍蒸鍍材料的真空蒸鍍腔體，由具有多個(gè)上述真空蒸鍍腔體的線構(gòu)成，互相并列地設(shè)置N條上述線，其中N為2以上，上述真空蒸鍍腔體是橫跨各個(gè)上述N條線而設(shè)置的N條線真空蒸鍍腔體，上述N條線真空蒸鍍腔體在每條線上具有對(duì)工件進(jìn)行蒸鍍的蒸鍍位置，當(dāng)在上述N條線中的第一線對(duì)第一上述工件進(jìn)行蒸鍍期間，在與上述第一線不同的另一線上將第二工件搬出到下游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體，并從上游側(cè)的上述真空搬運(yùn)腔體搬入第三工件。
文檔編號(hào)C23C14/56GK103255375SQ201310046198
公開日2013年8月21日 申請(qǐng)日期2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月16日
發(fā)明者若林雅, 加藤升, 石澤泰明 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)