專(zhuān)利名稱(chēng)：用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流真空管道結(jié)構(gòu)及其控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)及其控制系統(tǒng)，屬于真空涂層設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
油擴(kuò)散泵因?yàn)榫哂薪Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、造價(jià)低、維護(hù)成本低廉等優(yōu)點(diǎn)，所以在高真空設(shè)備及真空涂層領(lǐng)域中應(yīng)用非常廣泛。但是，現(xiàn)有常規(guī)油擴(kuò)散泵的最佳抽速是在油擴(kuò)散泵入口壓力為KT1Pa以下的工況，如果高于這個(gè)壓力，油擴(kuò)散泵的抽速就會(huì)不穩(wěn)定，而且抽氣能力急速下降，這樣將導(dǎo)致涂層工藝操作時(shí)，真空室的壓力波動(dòng)很大。隨著真空涂層工藝技術(shù)的發(fā)展，真空涂層工藝壓力已經(jīng)提升到IO1Pa左右，現(xiàn)有常規(guī)油擴(kuò)散泵其技術(shù)參數(shù)已經(jīng)不能完全滿(mǎn)足真空涂層工藝的需要，所以如何對(duì)真空系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)備進(jìn)行技術(shù)改進(jìn)，使真空室壓力符合涂層工藝參數(shù)要求，以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定油擴(kuò)散泵抽速，保證涂層工藝壓力穩(wěn)定性，是本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題之一。在現(xiàn)有常規(guī)的油擴(kuò)散泵應(yīng)用上，在油擴(kuò)散泵入口處一般設(shè)置有水冷冷井，用于防止擴(kuò)散泵的油蒸氣返回到真空室。但是實(shí)際應(yīng)用時(shí)依然會(huì)有微量的油分子越過(guò)水冷冷井，并通過(guò)連接管道返回到真空室。如何進(jìn)一步降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，也是本發(fā)明需要解決的技術(shù)問(wèn)題。在真空涂層設(shè)備工作中，真空室開(kāi)門(mén)時(shí)，真空室內(nèi)壁都會(huì)暴露在空氣中，這時(shí)真空室內(nèi)壁會(huì)吸附空氣中的 水氣，當(dāng)真空室重新關(guān)門(mén)抽真空時(shí)，所吸附的水氣會(huì)緩慢地釋放出來(lái)，影響涂層系統(tǒng)抽真空的速度，降低生產(chǎn)效率。提高真空室的抽真空速度，也是本發(fā)明需要解決的技術(shù)問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)證明，連接真空室到油擴(kuò)散泵的管道結(jié)構(gòu)對(duì)維持穩(wěn)定真空室的壓力，降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，同時(shí)提高對(duì)真空室的抽真空速度，起著非常重要的作用。為此，申請(qǐng)人對(duì)用于真空涂層的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)及其控制系統(tǒng)進(jìn)行了深入的研究。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的之一，是為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的油擴(kuò)散泵不能滿(mǎn)足涂層工藝壓力的問(wèn)題，提供一種用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，采用這種真空管道連接在油擴(kuò)散泵入口閥門(mén)與真空室之間，通過(guò)控制真空管道內(nèi)的通徑，調(diào)節(jié)氣體通過(guò)量以穩(wěn)定抽速。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、成本低的特點(diǎn)。本發(fā)明的目的之二，是為了提供一種用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流控制系統(tǒng)。本發(fā)明的目的之一可以通過(guò)采取以下技術(shù)方案達(dá)到:用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)在于:在真空管道的兩端設(shè)有連接法蘭和密封圈，在真空管道的外側(cè)壁設(shè)有冷卻套，在真空管道的內(nèi)腔設(shè)有若干個(gè)節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)。節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)由擋板連接角度調(diào)節(jié)單元構(gòu)成，角度調(diào)節(jié)單元的驅(qū)動(dòng)輸出端與擋板活動(dòng)連接，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)擋板的角度，控制真空管道內(nèi)的氣體通過(guò)量以穩(wěn)定抽速；密封圈設(shè)置在連接法蘭端面的環(huán)形凹槽內(nèi)，冷卻套環(huán)繞在真空管道的四周，形成對(duì)真空管道的包裹結(jié)構(gòu)。冷卻套的首、尾端連接到連接法蘭的端面上，在冷卻套的內(nèi)腔設(shè)有冷媒，冷卻套的內(nèi)腔與連接法蘭連通。本發(fā)明的目的之一還可以通過(guò)采取以下技術(shù)方案達(dá)到:進(jìn)一步地，可以在冷卻套的一端設(shè)置有冷媒入口、在冷卻套的另一端設(shè)有冷媒出口。冷媒由外置的超低溫冷媒設(shè)備提供，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，保持真空管道的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，把越過(guò)油擴(kuò)散泵水冷冷井的油分子冷凝在真空管道內(nèi)，同時(shí)也將真空室內(nèi)的水氣分子冷凝并凍結(jié)在真空管道的內(nèi)壁，從而達(dá)到降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，以及提高真空設(shè)備的抽真空速度的目的。冷媒由外置的超低溫冷媒設(shè)備提供，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，保持真空管道的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，使真空管道內(nèi)的油分子和水氣分子被冷凝下來(lái)，從而達(dá)到降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，以及提高真空設(shè)備的抽真空速度的目的。進(jìn)一步地，所述真空管道為圓形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)中，擋板可以為圓形節(jié)流板，角度調(diào)節(jié)單元可以由轉(zhuǎn)軸構(gòu)成；轉(zhuǎn)軸的下端在真空管道的內(nèi)腔與圓形節(jié)流板活動(dòng)連接，轉(zhuǎn)軸的上端穿過(guò)真空管道的內(nèi)腔壁外露、形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端。進(jìn)一步地，所述真空管道為方形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)中，擋板可以為方形節(jié)流擋板，可以由若干片百頁(yè)窗簾片構(gòu)成，該若干片百頁(yè)窗簾片與角度調(diào)節(jié)單元連接構(gòu)成百頁(yè)窗式連接結(jié)構(gòu)，角度調(diào)節(jié)單元的調(diào)節(jié)控制端伸出真空管道外壁，形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端。進(jìn)一步地，所述冷卻套的首、尾兩端可以各通過(guò)焊接方式焊接到連接法蘭端面上。本發(fā)明的目的之二可以通過(guò)采取以下技術(shù)方案達(dá)到:用于真空涂層設(shè)備多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的節(jié)流控制系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)在于:包括計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、真空室、油擴(kuò)散泵和多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)；多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)通過(guò)兩端的連接法蘭與真空室、油擴(kuò)散泵的高真空擋板閥連接；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的輸入端之一通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管之一連通真空室內(nèi)腔，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的輸入端之二通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管之二連接高真空擋板閥，即油擴(kuò)散泵入口端；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的輸出端之一通過(guò)比例調(diào)節(jié)器連接節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的輸出端之二通過(guò)氣體流量計(jì)連接真空室工藝氣體輸入端，形成智能型油擴(kuò)散泵的壓力控制系統(tǒng)。本發(fā)明的有益效果:1、本發(fā)明由于在真空管道中氣流流動(dòng)方向上設(shè)有一個(gè)或多個(gè)節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板可根據(jù)工藝需要旋轉(zhuǎn)角度調(diào)整，當(dāng)需要對(duì)真空室進(jìn)行快速抽氣時(shí)，擋板調(diào)整到與真空管道氣流方向平行位置，擋板不影響真空系統(tǒng)的抽速。當(dāng)需要進(jìn)行涂層工藝時(shí)，擋板根據(jù)工藝需要可調(diào)整到與真空氣流呈一定角度，最大90度，使真空室壓力在滿(mǎn)足涂層工藝要求的同時(shí)，保證油擴(kuò)散泵的入口壓力不會(huì)超過(guò)K^Pa。該發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便和成本低等有益效果。
2、本發(fā)明在真空管道圓周上包裹有冷卻套，冷卻套連接有超低溫冷媒設(shè)備，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，保持真空管道的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，使真空管道內(nèi)的油分子和水氣分子被冷凝下來(lái)，從而達(dá)到降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，以及提高真空設(shè)備的抽真空速度的目的。該冷卻套既冷卻兩端法蘭上的密封圈，也可減少油擴(kuò)散泵的返油現(xiàn)象，并且提高真空設(shè)備的抽真空速度，兼具實(shí)現(xiàn)油擴(kuò)散泵抽速穩(wěn)定的有益效果。


圖1為本發(fā)明具體實(shí)施例1中節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)剖視圖。圖2是本發(fā)明涉及的節(jié)流控制系統(tǒng)的一種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明具體實(shí)施例2中節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)剖視圖。
具體實(shí)施例方式具體實(shí)施例1參照?qǐng)D1，本實(shí)施例涉及的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，包括真空管道3，在真空管道3的兩端設(shè)有連接法蘭I和密封圈2，在真空管道3的外側(cè)壁設(shè)有冷卻套4，在真空管道3的內(nèi)腔設(shè)有節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5。節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5由擋板和角度調(diào)節(jié)單元連接構(gòu)成，角度調(diào)節(jié)單元的驅(qū)動(dòng)輸出端與擋板活動(dòng)連接，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)擋板的角度控制真空管道內(nèi)的氣體通過(guò)量以穩(wěn)定抽速。密封圈2設(shè)置在連接法蘭I端面的環(huán)形凹槽內(nèi)，冷卻套4環(huán)繞在真空管道3的四周形成對(duì)真空管道3的包裹結(jié)構(gòu)，冷卻套4的首、尾端連接到連接法蘭I的端面上，在冷卻套4的內(nèi)腔設(shè)有冷媒，冷卻套4的內(nèi)腔與連接法蘭I相接。冷媒由外置的超低溫冷媒設(shè)備17提供，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套4內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，保持真空管道3的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，把越過(guò)油擴(kuò)散泵水冷冷井16的油分子冷凝在真空管道3內(nèi)，同時(shí)也將真空室11內(nèi)的水氣分子冷凝并凍結(jié)在真空管道3的內(nèi)壁，從而達(dá)到降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，以及提高真空設(shè)備的抽真空速度的目的。

本實(shí)施例中:所述節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5可以設(shè)置一個(gè)或二個(gè)以上，在冷卻套4的一端設(shè)置有冷媒入口 41、在冷卻套4的另一端設(shè)有冷媒出口 42。所述真空管道3為圓形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5中，擋板為圓形節(jié)流板，角度調(diào)節(jié)單元由轉(zhuǎn)軸6構(gòu)成；轉(zhuǎn)軸6的下端在真空管道3的內(nèi)腔與圓形節(jié)流板活動(dòng)連接，轉(zhuǎn)軸6的上端穿過(guò)真空管道的內(nèi)腔壁外露，形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端。所述冷卻套4的首、尾兩各通過(guò)焊接方式焊接到連接法蘭I端面上。參照?qǐng)D2，本實(shí)施例1涉及的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流控制系統(tǒng)，包括計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10、真空室11、油擴(kuò)散泵12和多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)。多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)通過(guò)兩端的連接法蘭I與真空室11、油擴(kuò)散泵12的高真空擋板閥12-1連接。計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10的輸入端之一，通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管15-1連通真空室11內(nèi)腔，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10的輸入端之二通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管15-2連接高真空擋板閥12-1，即油擴(kuò)散泵12入口端；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10的輸出端之一，通過(guò)比例調(diào)節(jié)器13連接節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10的輸出端之二連接氣體質(zhì)量流量計(jì)14，控制真空室11工藝氣體的輸入量，形成智能型油擴(kuò)散泵的壓力控制系統(tǒng)。實(shí)際應(yīng)用中:位于真空管道3兩端的法蘭I分別連接到真空涂層系統(tǒng)的真空室11和油擴(kuò)散泵12入口處的真空閥門(mén)12-1。真空管道3和法蘭I的直徑根據(jù)所述真空閥門(mén)端的連接法蘭的大小而定，真空管道3內(nèi)沿氣流運(yùn)動(dòng)方向上均勻設(shè)置有節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5，本實(shí)施例節(jié)流擋板采用圓形結(jié)構(gòu)。當(dāng)需要對(duì)真空室11進(jìn)行快速抽氣時(shí)，旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元使節(jié)流擋板處于與真空管道3氣流方向平行的位置，節(jié)流擋板不會(huì)影響真空系統(tǒng)的抽速。當(dāng)需要進(jìn)行涂層工藝時(shí)，旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)單元，使節(jié)流擋板與真空管道3氣流方向夾角慢慢變大，從而增大節(jié)流擋板對(duì)氣流的阻力，使真空室11的壓力滿(mǎn)足工藝要求的同時(shí)，保證油擴(kuò)散泵的入口壓力不會(huì)超過(guò) 10 1Pa0另外，在抽真空過(guò)程中，通過(guò)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)10的控制，使超低溫冷媒設(shè)備17為冷卻套4供應(yīng)冷媒，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套4內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，保持真空管道內(nèi)的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，使真空管道內(nèi)的油分子和水氣分子被冷凝下來(lái)，從而達(dá)到降低擴(kuò)散泵油的返油污染問(wèn)題，以及提高真空設(shè)備的抽真空速度的目的。具體實(shí)施例2參見(jiàn)圖3，本具體實(shí)施例2的特點(diǎn)是:所述真空管道3為方形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)5中，擋板為方形節(jié)流擋板，由若干片百頁(yè)窗簾片構(gòu)成，該若干片百頁(yè)窗簾片與角度調(diào)節(jié)單元連接構(gòu)成百頁(yè)窗式連接結(jié)構(gòu)，角度調(diào)節(jié)單元的調(diào)節(jié)控制端為操作柄6，操作柄6采用直桿結(jié)構(gòu)伸出真空管道外壁，形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端，通過(guò)操作柄6推動(dòng)或旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)擋板進(jìn)行角度調(diào)整。其余結(jié)構(gòu)同具體實(shí)施例1。當(dāng)需要對(duì)真空室進(jìn)行快速抽氣時(shí)，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元使節(jié)流擋板葉片旋轉(zhuǎn)打開(kāi)，節(jié)流擋板處于與真空管道3氣流方 向平行的位置，形成通風(fēng)形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板不會(huì)影響真空系統(tǒng)的抽速。當(dāng)需要進(jìn)行涂層工藝時(shí)，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元，使節(jié)流擋板5與真空管道3氣流方向夾角慢慢變大，最終形成密閉形結(jié)構(gòu)，從而增大節(jié)流擋板對(duì)氣流的阻力，使真空室的壓力在滿(mǎn)足工藝要求的同時(shí)，保證油擴(kuò)散泵的入口壓力不會(huì)超過(guò)KT1Pa,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空室和油擴(kuò)散泵入口壓力調(diào)節(jié)。應(yīng)用本發(fā)明的目的，是通過(guò)應(yīng)用上述多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，在真空管道冷卻套內(nèi)通入超低溫冷媒，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，使真空管道的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，把越過(guò)油擴(kuò)散泵水冷冷井的擴(kuò)散泵油分子冷凝在真空管道內(nèi)，進(jìn)一步減少現(xiàn)有油擴(kuò)散泵的擴(kuò)散泵油越過(guò)水冷冷井，并返回真空室的現(xiàn)象。應(yīng)用本發(fā)明的目的，也可以是通過(guò)應(yīng)用前述多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，在真空管道冷卻套內(nèi)通入超低溫冷媒，通過(guò)超低溫冷媒在冷卻套內(nèi)的蒸發(fā)吸熱現(xiàn)象，使真空管道的溫度在抽真空過(guò)程中處于超低溫的狀態(tài)，把真空室里面的水蒸氣冷凝在真空管道內(nèi)，從而達(dá)到提高抽真空速度的目的。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施例，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，包括真空管道(3)，其特征在于:在真空管道(3)的兩端設(shè)有連接法蘭(I)和密封圈(2)，在真空管(3)的外側(cè)壁設(shè)有冷卻套(4)，在真空管道(3)的內(nèi)腔設(shè)有若干個(gè)節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5);節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5)由擋板連接角度調(diào)節(jié)單元構(gòu)成，角度調(diào)節(jié)單元的驅(qū)動(dòng)輸出端與擋板活動(dòng)連接，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)擋板的角度控制真空管道內(nèi)的氣體通過(guò)量以穩(wěn)定抽速；密封圈(2)設(shè)置在連接法蘭(I)端面的環(huán)形凹槽內(nèi)，冷卻套(4)環(huán)繞在真空管道(3)的四周，形成對(duì)真空管道(3)的包裹結(jié)構(gòu)，冷卻套(4)的首、尾端連接到連接法蘭(I)的端面上，在冷卻套(4)的內(nèi)腔設(shè)有冷媒，冷卻套(4)的內(nèi)腔與 連接法蘭(I)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空涂層設(shè)備的多功能節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，其特征在于:在冷卻套(4)的一端設(shè)置有冷媒入口(41)，在冷卻套(4)的另一端設(shè)有冷媒出口(42)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述真空管道(3)為圓形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5)中，擋板為圓形節(jié)流板，角度調(diào)節(jié)單元由轉(zhuǎn)軸(6)構(gòu)成；轉(zhuǎn)軸(6)的下端在真空管道(3)的內(nèi)腔與圓形節(jié)流板活動(dòng)連接，轉(zhuǎn)軸(3)的上端穿過(guò)真空管道的內(nèi)腔壁外露、形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述真空管道(3)為方形結(jié)構(gòu)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5)中，擋板為方形節(jié)流擋板、由若干片百頁(yè)窗簾片構(gòu)成，該若干片百頁(yè)窗簾片與角度調(diào)節(jié)單元連接構(gòu)成百頁(yè)窗式連接結(jié)構(gòu)，角度調(diào)節(jié)單元的調(diào)節(jié)控制端伸出真空管道外壁、形成角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述冷卻套(4)的首、尾兩端各通過(guò)焊接方式焊接到連接法蘭(I)端面上。
6.具有權(quán)利要求1所述的節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流控制系統(tǒng)，其特征在于:包括計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)、真空室(11)、油擴(kuò)散泵(12)和節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)，節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)通過(guò)兩端的連接法蘭(I)與真空室(11)、油擴(kuò)散泵(12)的高真空擋板閥(12-1)連接，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)的輸入端之一通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管(15-1)連通真空室(11)內(nèi)腔，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)的輸入端之二通過(guò)真空測(cè)量規(guī)管(15-2)連接高真空擋板閥(12-1)即油擴(kuò)散泵(12)入口端；計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)的輸出端之一通過(guò)比例調(diào)節(jié)器(13)連接節(jié)流型真空管道結(jié)構(gòu)的角度調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)端，計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)的輸出端之二連接氣體質(zhì)量流量計(jì)(14)，控制真空室(11)工藝氣體的輸入量，形成智能型油擴(kuò)散泵的壓力控制系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)用于真空涂層設(shè)備的節(jié)流型管道結(jié)構(gòu)及節(jié)流控制系統(tǒng)，節(jié)流型管道結(jié)構(gòu)包括真空管(3)，其特征在于在真空管(3)中設(shè)有連接法蘭(1)、密封圈(2)和冷卻套(4)，在真空管(3)內(nèi)腔設(shè)有若干個(gè)節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5)，節(jié)流擋板結(jié)構(gòu)(5)由擋板連接角度調(diào)節(jié)單元構(gòu)成，通過(guò)角度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)擋板的角度控制真空管內(nèi)的氣體通過(guò)量以穩(wěn)定抽速；冷卻套(4)環(huán)繞在真空管(3)的四周形成對(duì)真空管(3)的包裹結(jié)構(gòu)，在冷卻套(4)的內(nèi)腔設(shè)有冷媒，冷卻套(4)的內(nèi)腔與連接法蘭(1)連通；節(jié)流控制系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(10)、真空室(11)、擴(kuò)散泵(12)和水冷式真空節(jié)流連接管。本發(fā)明具有實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散油泵穩(wěn)速抽氣、持續(xù)保持真空室高真空的有益效果。
文檔編號(hào)C23C14/56GK103173736SQ20131008663
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2013年3月18日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月18日
發(fā)明者董小虹, 張中弦, 梁航, 黃拿燦 申請(qǐng)人:廣東世創(chuàng)金屬科技有限公司