技術(shù)特征：
1.一種用于化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的載具頭，其特征在于，包括：基座；連接于基座的下側(cè)部分的基板接收構(gòu)件，所述基板接收構(gòu)件具有外表面倚靠所述外表面基板可被安裝；位于基板接收構(gòu)件內(nèi)側(cè)并與基座的下側(cè)部分連接的由柔性材料制成的至少兩個(gè)氣囊，其中所述至少兩個(gè)氣囊相互物理間隔設(shè)置，且所述至少兩個(gè)氣囊可通過(guò)膨脹和接觸來(lái)擠壓內(nèi)表面并獨(dú)立的施加壓力于基板接收構(gòu)件的內(nèi)表面的預(yù)定區(qū)域并可通過(guò)收縮來(lái)脫離內(nèi)表面；和連接于基座的下側(cè)部分的至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)，其中所述至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)由具有保持硬度性能的材料制成，且可限制所述至少兩個(gè)氣囊的橫向膨脹。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述基板接收構(gòu)件包括平板部分，周邊部分，和固定部分。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載具頭，其特征在于，所述平板部分包括第一平板和連接于第一平板上部表面的第二平板。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載具頭，其特征在于，所述第二平板由具有比第一平板更高硬度的材料制成。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述預(yù)定區(qū)域可被劃分為內(nèi)表面的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域每一集在中心區(qū)域和邊緣區(qū)域之間的中間區(qū)域。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述至少兩個(gè)氣囊分別的通過(guò)至少一個(gè)氣囊?jiàn)A具連接于基座的下側(cè)部分。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載具頭，其特征在于，所述至少一個(gè)氣囊?jiàn)A具和至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)為整體的成形為一體。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述至少兩個(gè)氣囊通過(guò)在所述至少兩個(gè)氣囊被夾持于連接構(gòu)件之后固定所述連接構(gòu)件到基座來(lái)被連接至基座的下側(cè)部分。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，進(jìn)一步包括可限制基 板接收構(gòu)件的周邊部分和位于所述至少兩個(gè)氣囊之中的內(nèi)表面的邊緣區(qū)域上的氣囊之間的接觸的墻壁結(jié)構(gòu)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)通過(guò)在所述至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)被夾持于連接構(gòu)件之后固定連接構(gòu)件到基座被連接于基座的下側(cè)部分。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的載具頭，其特征在于，所述至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)和連接構(gòu)件被整體的成形為一體。12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具頭，其特征在于，所述至少一個(gè)墻壁結(jié)構(gòu)可進(jìn)一步限制在所述至少兩個(gè)氣囊之中的兩個(gè)毗鄰氣囊之間的接觸。