一種線列式多片傳輸系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種線列式多片傳輸系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備，其中，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)包括支撐架和兩個(gè)以上線列式的裝載單元，所述裝載單元包括相互固連的承載支架和支架傳送裝置，所述支架傳送裝置滑動(dòng)內(nèi)嵌于所述支撐架內(nèi)，所述支架傳送裝置帶動(dòng)所述承載支架做線性運(yùn)動(dòng)；且在所述支撐架上設(shè)有檢測(cè)處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器。使用所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備可以一次投入多片待沉積基板，解決了現(xiàn)有技術(shù)中一次只能投放一片而造成的生產(chǎn)效率低下的問(wèn)題，可有效提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，應(yīng)用前景廣闊。
【專利說(shuō)明】一種線列式多片傳輸系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種基材傳輸系統(tǒng)，具體地講是涉及一種可一次傳輸多片基材的傳輸 系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0002] 線列式薄膜沉積設(shè)備是一種應(yīng)用廣泛的薄膜沉積生產(chǎn)設(shè)備，現(xiàn)有的線列式薄膜沉 積設(shè)備的工作過(guò)程為：通過(guò)人工或者機(jī)械手將需要鍍膜的基板放到進(jìn)載臺(tái)上，進(jìn)載臺(tái)根據(jù) 設(shè)備的工藝進(jìn)行狀況，按時(shí)將玻璃送入預(yù)處理腔進(jìn)行預(yù)處理，然后由預(yù)處理腔送入沉積腔 內(nèi)完成薄膜的沉積，完成沉積之后的基板被送入冷卻腔進(jìn)行冷卻，冷卻完成的基板被送入 到出載臺(tái)，出載臺(tái)再將基板送入回傳模塊中，經(jīng)回傳模塊送回進(jìn)載臺(tái)，最后由人工或者機(jī)械 手將成品取出?，F(xiàn)有的線列式薄膜沉積設(shè)備每次只能將一片玻璃送入到進(jìn)載臺(tái)，當(dāng)多臺(tái)設(shè) 備同時(shí)工作時(shí)，則需要多人或者多臺(tái)機(jī)械手配合工作以保證正常生產(chǎn)，不利于節(jié)約生產(chǎn)成 本和提商生廣效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的是提供一種能大幅提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本的線列式多片傳輸 系統(tǒng)及使用其的薄膜沉積設(shè)備。
[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案： 一種線列式多片傳輸系統(tǒng)，包括支撐架和兩個(gè)以上線列式的裝載單元，所述裝載單元 包括相互固連的承載支架和支架傳送裝置，所述支架傳送裝置滑動(dòng)內(nèi)嵌于所述支撐架內(nèi)， 所述支架傳送裝置帶動(dòng)所述承載支架做線性運(yùn)動(dòng)；且在所述支撐架上設(shè)有檢測(cè)處于兩端的 所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器。該所述線列式多片傳輸系統(tǒng)可以一次運(yùn)輸多片基 材，一個(gè)系統(tǒng)可以對(duì)應(yīng)多個(gè)進(jìn)載臺(tái)的工作，可有效提高基材的運(yùn)輸效率、降低生產(chǎn)成本。
[0005] 進(jìn)一步地，為了監(jiān)控每一個(gè)所述裝載單元內(nèi)的工件的具體情況，在所述裝載單元 上設(shè)有用于檢測(cè)工件安全狀況的輔助光電傳感器。
[0006] 本發(fā)明還公開(kāi)了一種使用上述線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備，包括上片 機(jī)、進(jìn)載臺(tái)、預(yù)處理腔、沉積腔、冷卻腔、出載臺(tái)和下片機(jī)，在所述上片機(jī)和所述進(jìn)載臺(tái)之間 設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述上片機(jī) 向所述進(jìn)載臺(tái)運(yùn)動(dòng)，且在所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的所述支撐架上設(shè)有檢測(cè)所述裝載單元 運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的限位傳感器。
[0007] 進(jìn)一步地，為了提高加工后的成品的取出效率，在所述出載臺(tái)和所述下片機(jī)之間 設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述出載臺(tái) 向所述下片機(jī)運(yùn)動(dòng)。
[0008] 本發(fā)明的線列式多片傳輸系統(tǒng)由于包括多個(gè)裝載單元，可一次性運(yùn)輸多片基板， 從而可以實(shí)現(xiàn)利用一個(gè)所述線列式多片傳輸系統(tǒng)對(duì)應(yīng)多個(gè)進(jìn)載臺(tái)的工作模式，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單，可大大降低人工或機(jī)械成本、有效提高工作效率，并通過(guò)所述光電傳感器檢測(cè)處于兩端 的所述承載支架的裝載狀況，從而有效保證系統(tǒng)工作的可靠性；將所述線列式多片傳輸系 統(tǒng)應(yīng)用在薄膜沉積設(shè)備上，可有效提高設(shè)備的進(jìn)片和出片效率，大幅降低生產(chǎn)成本，且實(shí)用 性強(qiáng)，具有廣闊的應(yīng)用前景。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009] 下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0010] 圖1是本發(fā)明所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)的支架傳送裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3是本發(fā)明所述的使用所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備的原理示意圖， 圖中： 1、支撐架；2、承載支架；3、支架傳送裝置；4、光電傳感器；5、輔助光電傳感器；6、驅(qū)動(dòng) 電機(jī)；7、承載支架滾動(dòng)輪；8、承載支架導(dǎo)軌；9、支架連接器；10、工件。

【具體實(shí)施方式】
[0011] 實(shí)施例1 如圖1、圖2所示的線列式多片傳輸系統(tǒng)，包括支撐架1和兩個(gè)以上線列式的裝載單元， 所述裝載單元包括相互固連的承載支架2和支架傳送裝置3,所述支架傳送裝置3滑動(dòng)內(nèi)嵌 于所述支撐架1內(nèi)，所述支架傳送裝置3帶動(dòng)所述承載支架2做線性運(yùn)動(dòng)；且在所述支撐架 1上設(shè)有檢測(cè)處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器4。為了監(jiān)控每一個(gè)所述裝 載單元內(nèi)的工件10的具體情況，在所述裝載單元上還設(shè)有用于檢測(cè)所述工件10安全狀況 的輔助光電傳感器5。
[0012] 其中，所述支架傳送裝置3的動(dòng)力由驅(qū)動(dòng)電機(jī)6提供，所述承載支架2的背部安裝 有承載支架滾動(dòng)輪7,所述承載支架滾動(dòng)輪7在承載支架導(dǎo)軌8上滑動(dòng)，從而保證承載支架 2的流暢、穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。所述承載支架2是通過(guò)支架連接器9固定于所述支架傳送裝置3上 的，工件10置于所述承載支架2上。
[0013] 實(shí)施例2 如圖3所示的使用實(shí)施例1中所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備原理圖，該設(shè) 備包括上片機(jī)、進(jìn)載臺(tái)、預(yù)處理腔、沉積腔、冷卻腔、出載臺(tái)和下片機(jī)，在所述上片機(jī)和所述 進(jìn)載臺(tái)之間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由 所述上片機(jī)向所述進(jìn)載臺(tái)運(yùn)動(dòng)，且在所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的所述支撐架1上設(shè)有檢測(cè) 所述裝載單元運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的限位傳感器。進(jìn)一步地，為了提高加工后的成品的取出效率，在所 述出載臺(tái)和所述下片機(jī)之間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的 所述裝載單元由所述出載臺(tái)向所述下片機(jī)運(yùn)動(dòng)，且在該所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的所述 支撐架上也設(shè)有檢測(cè)所述裝載單元運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的限位傳感器。
[0014] 以上實(shí)施例僅用于對(duì)本發(fā)明進(jìn)行具體說(shuō)明，其并不對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍起到任何 限定作用，本發(fā)明的保護(hù)范圍由權(quán)利要求確定。根據(jù)本領(lǐng)域的公知技術(shù)和本發(fā)明所公開(kāi)的 技術(shù)方案，可以推導(dǎo)或聯(lián)想出許多變型方案，所有這些變型方案，也應(yīng)認(rèn)為是本發(fā)明的保護(hù) 范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種線列式多片傳輸系統(tǒng)，其特征在于：包括支撐架（1)和兩個(gè)以上線列式的裝載 單元，所述裝載單元包括相互固連的承載支架（2)和支架傳送裝置（3)，所述支架傳送裝置 (3 )滑動(dòng)內(nèi)嵌于所述支撐架（1)內(nèi)，所述支架傳送裝置（3 )帶動(dòng)所述承載支架（2 )做線性運(yùn) 動(dòng)；且在所述支撐架（1)上設(shè)有檢測(cè)處于兩端的所述裝載單元裝載狀況的光電傳感器（4)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)，其特征在于：在所述裝載單元上設(shè)有 用于檢測(cè)工件（10)安全狀況的輔助光電傳感器（5)。
3. -種使用權(quán)利要求1所述的線列式多片傳輸系統(tǒng)的薄膜沉積設(shè)備，包括上片機(jī)、進(jìn) 載臺(tái)、預(yù)處理腔、沉積腔、冷卻腔、出載臺(tái)和下片機(jī)，其特征在于：在所述上片機(jī)和所述進(jìn)載 臺(tái)之間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述 上片機(jī)向所述進(jìn)載臺(tái)運(yùn)動(dòng)，且在所述線列式多片傳輸系統(tǒng)的所述支撐架（1)上設(shè)有檢測(cè)所 述裝載單元運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的限位傳感器。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜沉積設(shè)備，其特征在于：在所述出載臺(tái)和所述下片機(jī)之 間設(shè)有所述線列式多片傳輸系統(tǒng)，所述線列式多片傳輸系統(tǒng)中的所述裝載單元由所述出載 臺(tái)向所述下片機(jī)運(yùn)動(dòng)。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK104120401SQ201310149342
【公開(kāi)日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2013年4月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月26日
【發(fā)明者】張超, 梁敏敏, 彭侃 申請(qǐng)人:漢能新材料科技有限公司