技術總結
本發(fā)明涉及利用受控的固體形態(tài)學的流體的基于固體前體的傳送。具體地，本發(fā)明揭一種用于揮發(fā)來源試劑的裝置及方法，該來源試劑易于在對應的來源試劑蒸氣中產生顆粒或存有顆粒，其中此顆粒產生或存在可藉由蒸氣產生系統(tǒng)的結構或處理特性元件而壓抑。此裝置及方法可用于液體及固體來源試劑，特別是固體來源試劑，如金屬鹵化物，如氯化鉿。在一特定實施例中，此來源試劑系以該來源試劑材料之一多孔性單塊型整體形式構成。本發(fā)明之裝置及方法用于提供來源試劑蒸氣于如原子層沉積(ALD)及離子植入的應用中。

技術研發(fā)人員：約翰·M·克利里;喬斯·I·阿爾諾;布賴恩·C·亨德里克斯;多恩·納伊托;斯科特·巴特勒;約翰·格雷格;邁克爾·J·伍德延斯基;許從應
受保護的技術使用者：恩特格里斯公司
文檔號碼：201310190193
技術研發(fā)日：2007.08.31
技術公布日：2016.12.07