車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法，其裝置包括呈直線式連續(xù)排列的多個(gè)真空室，第一個(gè)真空室的入口處、最后一個(gè)真空室的出口處以及任意相鄰的兩個(gè)真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個(gè)真空室分別外接抽真空機(jī)構(gòu)；多個(gè)真空室兩端分別設(shè)有通過(guò)輸送帶連接的前旋轉(zhuǎn)臺(tái)和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)；其方法是將車燈玻璃工件依次送入各個(gè)工藝段相應(yīng)的真空室進(jìn)行處理，通過(guò)前選擇轉(zhuǎn)臺(tái)、輸送帶和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)實(shí)現(xiàn)工件架的輸送。本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置呈連續(xù)式的直線結(jié)構(gòu)，將各個(gè)工藝段分開(kāi)在獨(dú)立的真空室內(nèi)進(jìn)行，可使工件在較好的真空氣氛內(nèi)加工，避免因真空氣氛被破壞或真空度達(dá)不到要求而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題，有效提高工件質(zhì)量，降低工件加工成本。
【專利說(shuō)明】車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及車燈玻璃鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)用于車燈玻璃鍍膜的設(shè)備一般為單真空室設(shè)備，工件的整個(gè)鍍膜工藝(包括抽氣、離子清洗、鍍膜、鍍保護(hù)層等)均在同一真空室內(nèi)完成，由于各工序?qū)φ婵帐业恼婵斩纫蟾鞑幌嗤虼?，該設(shè)備在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中存在以下缺陷:
[0003](I)由于工件的整個(gè)鍍膜工藝均在同一真空室內(nèi)完成，使得該真空室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，真空室內(nèi)的真空度也必須按最高要求設(shè)備，設(shè)備維護(hù)成本相當(dāng)高；
[0004](2)該設(shè)備 只設(shè)有一個(gè)真空室，當(dāng)工件加工完成后，必須打開(kāi)真空室才能更換工件，這就容易破壞整個(gè)鍍膜工藝的真空氣氛，影響后續(xù)鍍膜工藝的正常進(jìn)行，也容易影響產(chǎn)品質(zhì)量；同時(shí)，該真空室內(nèi)無(wú)法完成工件表面的清潔即沉積等工藝，對(duì)工件的表面處理工藝必須采用其它專用設(shè)備完成，這就加大了工藝的復(fù)雜性，工件的表面質(zhì)量也難以得到較好的控制。
[0005](3)傳統(tǒng)的單真空室設(shè)備中普遍采用平面靶作為鍍膜靶材，由于車燈玻璃帶有弧形面，所以經(jīng)常存在工件表面鍍膜不均勻的現(xiàn)象。
[0006]另外，目前常用于鍍膜機(jī)真空室的真空插板閥一般為翻板式結(jié)構(gòu)，即通過(guò)翻轉(zhuǎn)閥板實(shí)現(xiàn)真空室工件通孔的啟閉，但該結(jié)構(gòu)的真空插板閥中，由于閥板采用翻轉(zhuǎn)式，所占的空間較大，真空插板閥關(guān)閉時(shí)由于閥板靠自重?fù)踝」ぜ祝瑩醢宓撞繘](méi)有相應(yīng)的固定機(jī)構(gòu)，其密封效果不好；另外，真空插板閥必須設(shè)于真空室內(nèi)部，其加工難度大，閥板易變形，日常的維護(hù)也相當(dāng)困難。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種原理簡(jiǎn)單、工件表面鍍膜效果較好的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置。
[0008]本發(fā)明的另一目的在于提供一種通過(guò)上述裝置實(shí)現(xiàn)的車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法。
[0009]本發(fā)明的技術(shù)方案為:車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，包括呈直線式連續(xù)排列的多個(gè)真空室，第一個(gè)真空室的入口處、最后一個(gè)真空室的出口處以及任意相鄰的兩個(gè)真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個(gè)真空室分別外接抽真空機(jī)構(gòu)；第一個(gè)真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺(tái)，最后一個(gè)真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺(tái)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)與后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間通過(guò)輸送帶連接，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)、多個(gè)真空室和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
[0010]按照玻璃工件的輸送方向，所述多個(gè)真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、如精抽室、王鍛I吳室、保護(hù)層鍛I吳室、后精抽室和后粗抽室；
[0011]前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護(hù)層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥，保護(hù)層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥；
[0012]前粗抽室外接第一抽真空機(jī)構(gòu)，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機(jī)構(gòu)，前精抽室、主鍍膜室和保護(hù)層鍍膜室分別外接第三抽真空機(jī)構(gòu)，后粗抽室外接第四抽真空機(jī)構(gòu)；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨(dú)立的擴(kuò)散泵，并通過(guò)擴(kuò)散泵外接相應(yīng)的抽真空機(jī)構(gòu)。
[0013]所述主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。采用旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶作為鍍膜靶材，可實(shí)現(xiàn)工件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0014]所述前旋轉(zhuǎn)臺(tái)呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓周方向上均勻分布有多個(gè)工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺(tái)相同；前旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有卸件工位。前旋轉(zhuǎn)臺(tái)及后旋轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)配合多個(gè)真空室的分布，可使整個(gè)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機(jī)械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
[0015]所述真空插板閥包括閥板、閥板開(kāi)關(guān)氣缸和閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，兩個(gè)真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開(kāi)關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運(yùn)動(dòng)通道，閥板運(yùn)動(dòng)通道貼緊于其中一個(gè)真空室的工件通孔，閥板設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道內(nèi)。
[0016]所述閥板開(kāi)關(guān)氣缸設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道外端，閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運(yùn)動(dòng)通道，且閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機(jī)構(gòu)連接。
[0017]所述閥板鎖緊機(jī)構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機(jī)構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉(zhuǎn)軸`，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸；
[0018]閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)；
[0019]閥板壓緊氣缸的運(yùn)動(dòng)方向與閥板開(kāi)關(guān)氣缸的運(yùn)動(dòng)方向互相垂直。
[0020]其中，鎖緊轉(zhuǎn)軸的主要作用是擠壓閥板，使閥板與真空室的外壁貼緊密封。為了使閥板受力更均勻，閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂。其中，輔助壓緊臂的結(jié)構(gòu)可與閥板壓緊臂相同。此時(shí)，鎖緊轉(zhuǎn)軸還起到帶動(dòng)輔助壓緊臂壓緊閥板的作用。
[0021]各個(gè)真空插板閥采用相同的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可有效簡(jiǎn)化鍍膜裝置結(jié)構(gòu)，降低鍍膜裝置的制造成本。各真空插板閥使用時(shí)，其原理是:當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時(shí)，閥板開(kāi)關(guān)氣缸動(dòng)作，推動(dòng)閥板沿著閥板運(yùn)動(dòng)通道運(yùn)動(dòng)；閥板運(yùn)動(dòng)至封住真空室的工件通孔后，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)中的閥板壓緊氣缸動(dòng)作，推動(dòng)相應(yīng)的閥板壓緊臂壓緊閥板頂部，閥板壓緊臂帶動(dòng)鎖緊轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并擠壓閥板的板面，使閥板與工件通孔周圍的真空室外壁密封連接，從而起到密封作用。設(shè)置兩組閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，其目的是使閥板受力平衡，有效提高其密封效果。根據(jù)閥板的實(shí)際大小，也可相應(yīng)調(diào)整閥板鎖緊機(jī)構(gòu)的數(shù)量。
[0022]本發(fā)明通過(guò)上述裝置實(shí)現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，包括以下步驟:[0023](I)帶有車燈玻璃工件的工件架進(jìn)入前旋轉(zhuǎn)臺(tái)上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥打開(kāi)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥；
[0024](2)第一抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)前粗抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到50Pa ；
[0025](3)第二真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入離子清洗室，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對(duì)車燈玻璃工件進(jìn)行離子清洗；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子清洗室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達(dá)到SXKT1Pa;
[0026](4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入前精抽室，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)前精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X 10_2Pa ；
[0027](5)第四真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入主鍍膜室，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)主鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2 X KT1Pa ；
[0028](6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入保護(hù)層鍍膜室，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護(hù)層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)開(kāi)啟保護(hù)層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護(hù)層；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)保護(hù)層鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至保護(hù)層鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2 X KT1Pa ；
[0029](7)保護(hù)層鍍膜 完成后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入后精抽室，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子后精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X KT2Pa ；
[0030](8)第四抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)后粗抽室進(jìn)行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到IOPa ；然后第七真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥；
[0031 ] (9)對(duì)后粗抽室進(jìn)行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達(dá)到大氣平衡；然后打開(kāi)第八真空插板閥，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜裝置。
[0032]本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果:
[0033]本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置呈連續(xù)式的直線結(jié)構(gòu)，將車燈玻璃鍍膜工藝的各個(gè)工序分開(kāi)，并在獨(dú)立密封的真空室內(nèi)進(jìn)行，可使工件在較好的真空氣氛內(nèi)進(jìn)行加工，避免因真空氣氛被破壞或真空度達(dá)不到要求而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題，有效提高工件質(zhì)量，降低工件加工成本。
[0034]本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置中采用的真空插板閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，對(duì)鍍膜裝置中各個(gè)真空室可起到較好的隔離作用，可保證各個(gè)真空室內(nèi)的真空度可達(dá)到工藝要求，方便工藝控制、裝置日常維護(hù)及清洗等，可較好地保持裝置中各個(gè)真空室內(nèi)的真空氣氛，避免因真空氣氛被破壞所引起的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題；相對(duì)于傳統(tǒng)的翻板式插板閥，該真空插板閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，占用空間小，密封效果也更好，應(yīng)用后可有效簡(jiǎn)化整個(gè)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)，也方便其工藝控制。
[0035]另外，本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置采用前旋轉(zhuǎn)臺(tái)和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)配合多個(gè)真空室，可使整個(gè)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機(jī)械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0036]圖1為本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]圖2為本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置中真空插板閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0038]圖3為圖2的A-A方向視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于此。
[0040]實(shí)施例
[0041]本實(shí)施例一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，如圖1所示，包括呈直線式連續(xù)排列的多個(gè)真空室，第一個(gè)真空室的入口處、最后一個(gè)真空室的出口處以及任意相鄰的兩個(gè)真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個(gè)真空室分別外接抽真空機(jī)構(gòu)；第一個(gè)真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺(tái)10，最后一個(gè)真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺(tái)11，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)與后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間通過(guò)輸送帶12連接，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)、多個(gè)真空室和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
[0042]按照玻璃工件的輸送方向，多個(gè)真空室包括依次連接的前粗抽室13、離子清洗室14、前精抽室15、主鍍膜室16、保護(hù)層鍍膜室17、后精抽室18和后粗抽室19 ；
[0043]前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥20，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥21，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥22，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥23，主鍍膜室與保護(hù)層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥24，保護(hù)層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥25，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥26，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥27 ；
[0044]前粗抽室外接第一抽真空機(jī)構(gòu)28，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機(jī)構(gòu)29，前精抽室、主鍍膜室和保護(hù)層鍍膜室分別外接第三抽真空機(jī)構(gòu)30，后粗抽室外接第四抽真空機(jī)構(gòu)31 ;離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨(dú)立的擴(kuò)散泵，并通過(guò)擴(kuò)散泵外接相應(yīng)的抽真空機(jī)構(gòu)。
[0045]其中，各抽真空機(jī)構(gòu)可采用傳統(tǒng)的抽真空裝置；第一抽真空機(jī)構(gòu)、第二抽真空機(jī)構(gòu)和第三抽真空機(jī)構(gòu)的參數(shù)根據(jù)相應(yīng)真空室的真空度要求進(jìn)行調(diào)整即可。
[0046]主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。磁控濺射靶可采用市面已有的磁控濺射靶，采用旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶作為鍍膜靶材，可實(shí)現(xiàn)工件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0047]前旋轉(zhuǎn)臺(tái)呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓周方向上均勻分布有多個(gè)工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺(tái)相同；前旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有卸件工位。前旋轉(zhuǎn)臺(tái)及后旋轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)配合多個(gè)真空室的分布，可使整個(gè)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機(jī)械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
[0048]真空插板閥包括閥板2、閥板開(kāi)關(guān)氣缸3和閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，兩個(gè)真空室的工件通孔之間為連接通道4，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開(kāi)關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運(yùn)動(dòng)通道5，閥板運(yùn)動(dòng)通道貼緊于其中一個(gè)真空室的工件通孔6，閥板設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道內(nèi)。
[0049]閥板開(kāi)關(guān)氣缸設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道外端，閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運(yùn)動(dòng)通道，且閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機(jī)構(gòu)連接。
[0050]閥板鎖緊機(jī)構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機(jī)構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸7、閥板壓緊臂8和鎖緊轉(zhuǎn)軸9，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸；
[0051]閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)；
[0052]閥板壓緊氣缸的運(yùn)動(dòng)方向與閥板開(kāi)關(guān)氣缸的運(yùn)動(dòng)方向互相垂直。
[0053]其中，鎖緊轉(zhuǎn)軸的主要作用是擠壓閥板，使閥板與真空室的外壁貼緊密封。為了使閥板受力更均勻，閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂。其中，輔助壓緊臂的結(jié)構(gòu)可與閥板壓緊臂相同。此時(shí)，鎖緊轉(zhuǎn)軸還起到帶動(dòng)輔助壓緊臂壓緊閥板的作用。
[0054]各個(gè)真空插板閥采用相同的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可有效簡(jiǎn)化鍍膜裝置結(jié)構(gòu)，降低鍍膜裝置的制造成本。各真空插板閥使用時(shí)，其原理是:當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時(shí)，閥板開(kāi)關(guān)氣缸動(dòng)作，推動(dòng)閥板沿著閥板運(yùn)動(dòng)通道運(yùn)動(dòng)；閥板運(yùn)動(dòng)至封住真空室的工件通孔后，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)中的閥板壓緊氣缸動(dòng)作，推動(dòng)相應(yīng)的閥板壓緊臂壓緊閥板頂部，閥板壓緊臂帶動(dòng)鎖緊轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并擠壓閥板的板面，使閥板與工件通孔周圍的真空室外壁密封連接，從而起到密封作用。設(shè)置兩組閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，其目的是使閥板受力平衡，有效提高其密封效果。根據(jù)閥板的實(shí)際大小，也可相應(yīng)調(diào)整閥板鎖緊機(jī)構(gòu)的數(shù)量。
[0055]本實(shí)施例通過(guò)上述裝置實(shí)`現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，包括以下步驟:
[0056](I)帶有車燈玻璃工件的工件架I進(jìn)入前旋轉(zhuǎn)臺(tái)10上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥20打開(kāi)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室13內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥；
[0057](2)第一抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)前粗抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到50Pa ；
[0058](3)第二真空插板閥21打開(kāi)，工件架進(jìn)入離子清洗室14，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對(duì)車燈玻璃工件進(jìn)行離子清洗；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子清洗室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X KT1Pa ；
[0059](4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥22打開(kāi)，工件架進(jìn)入前精抽室15，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)前精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X KT2Pa ；
[0060](5)第四真空插板閥23打開(kāi)，工件架進(jìn)入主鍍膜室16，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)主鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2 X KT1Pa;
[0061](6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥24打開(kāi)，工件架進(jìn)入保護(hù)層鍍膜室17，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護(hù)層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)開(kāi)啟保護(hù)層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護(hù)層；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)保護(hù)層鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至保護(hù)層鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到ZXlO-1Pa ；
[0062](7)保護(hù)層鍍膜完成后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥25打開(kāi)，工件架進(jìn)入后精抽室18，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子后精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X KT2Pa ；
[0063](8)第四抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)后粗抽室19進(jìn)行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到IOPa ;然后第七真空插板閥26打開(kāi)，工件架進(jìn)入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥；
[0064](9)對(duì)后粗抽室進(jìn)行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達(dá)到大氣平衡；然后打開(kāi)第八真空插板閥27，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺(tái)11上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜裝置。
[0065]如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本發(fā)明，上述實(shí)施例僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用來(lái)限定本發(fā)明的實(shí)施范圍；即凡依本
【發(fā)明內(nèi)容】
所作的均等變化與修飾，都為本發(fā)明權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍所涵 蓋。
【權(quán)利要求】
1.車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，包括呈直線式連續(xù)排列的多個(gè)真空室，第一個(gè)真空室的入口處、最后一個(gè)真空室的出口處以及任意相鄰的兩個(gè)真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個(gè)真空室分別外接抽真空機(jī)構(gòu)；第一個(gè)真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺(tái)，最后一個(gè)真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺(tái)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)與后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間通過(guò)輸送帶連接，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)、多個(gè)真空室和后旋轉(zhuǎn)臺(tái)之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，按照玻璃工件的輸送方向，所述多個(gè)真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍛月吳室、后精抽室和后粗抽室； 前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護(hù)層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥，保護(hù)層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥； 前粗抽室外接第一抽真空機(jī)構(gòu)，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機(jī)構(gòu)，前精抽室、主鍍膜室和保護(hù)層鍍膜室分別外接第三抽真空機(jī)構(gòu)，后粗抽室外接第四抽真空機(jī)構(gòu)；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護(hù)層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨(dú)立的擴(kuò)散泵，并通過(guò)擴(kuò)散泵外接相應(yīng)的抽真空機(jī)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述前旋轉(zhuǎn)臺(tái)呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的圓周方向上均勻分布有多個(gè)工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺(tái)的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺(tái)相同；前旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有卸件工位。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述真空插板閥包括閥板、閥板開(kāi)關(guān)氣缸和閥板鎖緊機(jī)構(gòu)，兩個(gè)真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開(kāi)關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機(jī)構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運(yùn)動(dòng)通道，閥板運(yùn)動(dòng)通道貼緊于其中一個(gè)真空室的工件通孔，閥板設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板開(kāi)關(guān)氣缸設(shè)于閥板運(yùn)動(dòng)通道外端，閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運(yùn)動(dòng)通道，且閥板開(kāi)關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機(jī)構(gòu)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板鎖緊機(jī)構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機(jī)構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉(zhuǎn)軸，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸； 閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)； 閥板壓緊氣缸的運(yùn)動(dòng)方向與閥板開(kāi)關(guān)氣缸的運(yùn)動(dòng)方向互相垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或3任一項(xiàng)所述裝置實(shí)現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，其特征在于，包括以下步驟: (1)帶有車燈玻璃工件的工件架進(jìn)入前旋轉(zhuǎn)臺(tái)上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥打開(kāi)，前旋轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥； (2)第一抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)前粗抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到50Pa； (3)第二真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入離子清洗室，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對(duì)車燈玻璃工件進(jìn)行離子清洗；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子清洗室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X 10? ； (4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入前精抽室，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)前精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5 X 10_2Pa ； (5)第四真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入主鍍膜室，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)主鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到 2 X KT1Pa ； (6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入保護(hù)層鍍膜室，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護(hù)層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時(shí)開(kāi)啟保護(hù)層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護(hù)層；第三抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)保護(hù)層鍍膜室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至保護(hù)層鍍膜室內(nèi)的真空度達(dá)到2 X KT1Pa ； (7)保護(hù)層鍍膜完成后 ，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入后精抽室，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機(jī)構(gòu)通過(guò)擴(kuò)散泵對(duì)離子后精抽室內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達(dá)到5X10_2Pa ； (8)第四抽真空機(jī)構(gòu)對(duì)后粗抽室進(jìn)行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達(dá)到IOPa;然后第七真空插板閥打開(kāi)，工件架進(jìn)入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥； (9)對(duì)后粗抽室進(jìn)行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達(dá)到大氣平衡；然后打開(kāi)第八真空插板閥，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜>J-U裝直。
【文檔編號(hào)】C23C14/56GK103451614SQ201310404050
【公開(kāi)日】2013年12月18日 申請(qǐng)日期:2013年9月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】朱建明 申請(qǐng)人:肇慶市科潤(rùn)真空設(shè)備有限公司