一種真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置。真空鍍膜系統(tǒng)包括真空閘門裝置及真空閘門板，真空閘門裝置包括支撐座、彈性密封機構(gòu)、雙搖桿機構(gòu)及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件；彈性密封機構(gòu)包括固定件、金屬密封板及彈性組件；雙搖桿機構(gòu)連接在彈性密封機構(gòu)與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件之間。利用雙搖桿機構(gòu)實現(xiàn)彈性密封機構(gòu)的弧線運動，結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，且便于安裝及維護(hù)；采用簡單的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置即可實現(xiàn)真空閘門裝置的致動，金屬密封板與真空閘門板面面貼合實現(xiàn)密封，提高密封性能；金屬密封板具備良好的耐腐蝕和耐高溫性能；由于彈性組件的彈性作用與金屬密封板的配合具備一定柔性變形補償作用，從而降低了真空閘門板及密封板的機械精度，降低加工及裝配難度。
【專利說明】一種真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及一種真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]真空閘門的主要功能是實現(xiàn)真空腔室與腔室或真空腔室與外界之間的隔絕和聯(lián)通，其廣泛應(yīng)用于各種真空鍍膜裝置。
[0003]在現(xiàn)代真空鍍膜技術(shù)中，為了提高膜層質(zhì)量，減低交差污染和是滲透污染對膜層質(zhì)量的影響，采用了一種回型真空腔室成為真空系統(tǒng)的必然發(fā)展趨勢。其具體結(jié)構(gòu)是:在一個真空腔室的內(nèi)部，設(shè)置了多個工藝反應(yīng)室，工藝反應(yīng)室和真空腔室之間設(shè)置了一個多通道密封結(jié)構(gòu)真空閘閥，用于實現(xiàn)工藝反應(yīng)室和真空腔室之間的隔絕和聯(lián)通。當(dāng)進(jìn)行工藝時，閘閥門關(guān)閉，工藝室和真空腔室處于兩種獨立的真空環(huán)境中，這就大大的降低了外部雜質(zhì)進(jìn)入工藝室的幾率，進(jìn)而 避免了膜層的滲透污染。在該種鍍膜系統(tǒng)，一種合適的真空閘閥裝置就顯得非常重要?，F(xiàn)有的真空閘閥裝置中，一方面，其結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜，且需要的空間較大，成本高且不利用系統(tǒng)安裝維護(hù)，另一方面，由于工藝反應(yīng)室具有高溫和腐蝕性，而現(xiàn)有閘閥裝置采用的O圈作為密封材料，因而不能滿足該種鍍膜系統(tǒng)的閘閥需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置，結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，耐腐蝕耐高溫，便于加工裝配，且可有效保證密封效果。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，一方面，本發(fā)明的實施例提供了一種真空閘門裝置，用于開關(guān)真空閘門板上的開口，其特征在于，所述真空閘門裝置包括支撐座、彈性密封機構(gòu)、雙搖桿機構(gòu)及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件；
[0006]所述支撐座相對所述真空閘門板固定設(shè)置；
[0007]所述彈性密封機構(gòu)包括固定件、金屬密封板及彈性組件；所述固定件位于所述金屬密封板遠(yuǎn)離所述真空閘門板的一側(cè)；所述金屬密封板為平板狀，用于與所述真空閘門板面面貼合以將所述開口封閉；所述彈性組件連接在所述固定件與所述金屬密封板之間，用于提供彈力使所述金屬密封板壓緊于所述真空閘門板；
[0008]所述雙搖桿機構(gòu)連接在所述彈性密封機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件之間，其包括主動搖桿、從動搖桿、連桿，所述主動搖桿的一端傳動連接于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件、另一端轉(zhuǎn)動連接于所述連桿，所述從動搖桿的兩端分別轉(zhuǎn)動連接于所述支撐座及所述連桿；所述連桿與所述固定件固定連接；
[0009]所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件固定于所述支撐座，用于帶動所述主動搖桿擺動，并驅(qū)動所述彈性密封機構(gòu)與所述真空閘門板抵接或分離。
[0010]其中,所述金屬密封板的厚度小于或等于4_。
[0011]其中，所述金屬密封板為長條狀，所述金屬密封板上靠近所述固定件的板面上設(shè)有加強筋；所述加強筋為條狀，沿所述金屬密封板的寬度方向設(shè)置；所述彈性組件連接至所述加強筋。
[0012]其中，所述彈性組件包括壓簧及連接柱，所述固定件上設(shè)有連接通孔，所述連接柱沿自身軸向滑動穿設(shè)所述連接通孔，所述連接柱的一端與所述金屬密封板固定連接，另一端設(shè)有連接帽，用于防止所述連接柱從所述連接通孔中滑出；所述壓簧套設(shè)在所述連接柱上，且壓縮設(shè)置在所述金屬密封板與所述固定件之間。
[0013]其中，所述彈性組件包括兩個對稱設(shè)置的V形彈片，各所述V形彈片的兩端分別固定連接至所述固定件及所述金屬密封板。
[0014]其中，所述彈性密封機構(gòu)包括的彈性組件為多個，均布于所述金屬密封板與所述固定件之間。
[0015]其中，所述金屬密封板為長條狀；所述固定件為與所述金屬密封板相配合的長條狀；各所述彈性密封機構(gòu)中，兩所述彈性組件為一組，每組中的兩彈性組件沿所述金屬密封板的寬度方向排布設(shè)置；多組彈性組件沿所述金屬密封板的長度方向排布。
[0016]其中，所述金屬密封板為長條狀；所述固定件為與所述金屬密封板相配合的長條狀；所述雙搖桿機構(gòu)為兩組，兩所述雙搖桿機構(gòu)的連桿相互平行，且分別固定連接至所述固定件長度方向上的兩端；
[0017]所述真空閘門裝置還包括主動轉(zhuǎn)軸和從動轉(zhuǎn)軸；兩組所述雙搖桿機構(gòu)的主動搖桿均固定連接于所述主動轉(zhuǎn)軸，所述主動轉(zhuǎn)軸傳動連接于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件；所述從動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接于支撐座，兩組所述雙搖桿機構(gòu)的從動搖桿分別固定連接至從動轉(zhuǎn)軸。
[0018]其中，真空閘門裝置還包括輔助雙搖桿機構(gòu)，輔助雙搖桿機構(gòu)包括輔助主搖桿、輔助從搖桿及輔助連桿；所述輔助主搖桿的一端固定連接至所述主動轉(zhuǎn)軸、另一端轉(zhuǎn)動連接至所述輔助連桿；所述輔助從搖桿的一端固定連接至所述從動轉(zhuǎn)軸、另一端轉(zhuǎn)動連接至所述輔助連桿。
[0019]另一方面，本發(fā)明提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)，包括前述的真空閘門裝置及真空閘門板，所述真空閘門裝置與所述真空閘門板對應(yīng)配合，用于開關(guān)所述真空閘門板上的開口。
[0020]本發(fā)明實施例提供的真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置，利用雙搖桿機構(gòu)實現(xiàn)彈性密封機構(gòu)的弧線運動，在打開開口的同時可避開開口，便于作業(yè)；雙搖桿機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，且便于安裝及維護(hù)；采用簡單的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置帶動主動搖桿動作即可實現(xiàn)真空閘門裝置的致動，易于安裝及維護(hù)；采用金屬密封板作為密封材料，在關(guān)閉狀態(tài)金屬密封板與真空閘門板面面貼合實現(xiàn)密封，具備較好的密封性能；金屬密封板具備良好的耐腐蝕和耐高溫性能；由于彈性組件的彈性作用與金屬密封板的配合具備一定柔性變形補償作用，從而降低了真空閘門板及密封板的機械精度，降低加工及裝配難度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1是本發(fā)明第一實施例提供的真空閘門系統(tǒng)的示意圖；
[0023]圖2是圖1中真空閘門裝置在關(guān)閉狀態(tài)的剖面圖；[0024]圖3是圖1中真空閘門裝置在打開狀態(tài)的剖面圖；
[0025]圖4是圖1中真空閘門裝置的彈性密封機構(gòu)的剖面圖；
[0026]圖5是圖1中真空閘門裝置的彈性密封機構(gòu)的分解示意圖
[0027]圖6是圖1中真空閘門裝置的主動轉(zhuǎn)軸與支撐座的連接剖面圖；
[0028]圖7、圖8是本發(fā)明第二實施例提供的彈性密封機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0030]參見圖1至圖3所示，本發(fā)明中第一實施例提供的一種真空鍍膜系統(tǒng)，包括真空閘門裝置及真空閘門板9，真空閘門裝置與真空閘門板對應(yīng)配合，用于開關(guān)真空閘門板9上的開口 90，以實現(xiàn)真空鍍膜系統(tǒng)中真空腔室之間、或者真空腔室與外界之間的隔絕與聯(lián)通。
[0031]真空閘門裝置包括支撐座1、雙搖桿機構(gòu)2、彈性密封機構(gòu)3及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4。雙搖桿機構(gòu)2及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4均連接至支撐座I，雙搖桿機構(gòu)2連接在彈性密封機構(gòu)3與旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4之間，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4用于帶動雙搖桿機構(gòu)2動作以驅(qū)動彈性密封機構(gòu)3與真空閘門板9抵接或分離，從而開關(guān)開口 90。
[0032]支撐座I相對真空閘門板9固定設(shè)置。支撐座I包括兩個相對設(shè)置的支撐板11、12。在具體實施過程中，支撐座I可以為真空鍍膜系統(tǒng)中位于真空閘門板9兩邊的真空腔壁，當(dāng)然，在其他的實施方式中，亦可在真空鍍膜系統(tǒng)中安裝單獨的部件作為支撐座I，或者直接利用真空閘門板9作為支撐座。
[0033]彈性密封機構(gòu)3包括固定件31、金屬密封板32及彈性組件33，固定件31位于金屬密封板32遠(yuǎn)離所述真空閘門板9的一側(cè),金屬密封板32為平板狀,用于與真空閘門板9面面貼合以將開口 90封閉；彈性組件33連接在固定件31與金屬密封板32之間，用于提供彈力使金屬密封板32壓緊于真空閘門板9。在本實施例中，金屬密封板32為長條狀，以便和長條狀的開口 90對應(yīng)配合，金屬密封板32的板面尺寸大于開口 90，金屬密封板32的周緣可與開口 90的周緣對應(yīng)面面貼合，從而將開口 90關(guān)閉。固定件31亦為長條狀，以利于固定件31與金屬密封板32之間的對應(yīng)配合連接，并使得彈性密封機構(gòu)3整體呈長條狀。
[0034]金屬密封板32的材質(zhì)可以為不銹鋼、鋁合金、銅合金等等金屬材質(zhì)，具備良好的耐腐蝕和耐高溫性能。金屬密封板32為平板狀，其與真空閘門板9前端面可以為面面接觸，其密封性能更好，環(huán)境適應(yīng)性更佳，當(dāng)密封端面有劃痕時，依然可以保值較好的密封性能。
[0035]金屬密封板32的厚度為小于或等于4mm，其具有一定的柔性形變功能，在于真空閘門板9前端面密封時可產(chǎn)生一定的補償作用，當(dāng)真空閘門板9的前端面產(chǎn)生微變形或是平整度較低時，依然具有良好的密封性能；利用金屬密封板32的柔性變形補償作用，可降低真空閘門板9與金屬密封板32的機械精度，使得加工和裝配的難度大大降低。本實施例中，金屬密封板32的厚度為2-3mm,可保證金屬密封板32具有一定結(jié)構(gòu)強度。
[0036]由于金屬密封板32較薄，為增強其結(jié)構(gòu)強度，金屬密封板32上靠近固定件31的板面上設(shè)有加強筋321，加強筋321為條狀，沿金屬密封板32的寬度方向設(shè)置。彈性組件33連接至加強筋321，可便于彈性組件33與金屬密封板32之間的裝配連接，同時保證金屬密封板32在長度方向上的形變能力。[0037]如圖4、圖5所示，彈性組件33包括壓簧331及連接柱332。固定件31上設(shè)有連接通孔310，連接柱332沿自身軸向滑動穿設(shè)連接通孔310，連接柱332的一端與金屬密封板32固定連接，另一端設(shè)有連接帽332a，用于防止連接柱332從連接通孔310中滑出。壓簧331套設(shè)在連接柱332上，且壓縮設(shè)置在金屬密封板32與固定件31之間，以提供限制金屬密封板32與固定件31相互靠近阻力。當(dāng)固定件31向真空閘門板移動時，金屬密封板32位于固定件31與真空閘門板9之間，利用壓簧331的彈力可以使金屬密封板32緊密貼合于真空閘門板9，保證密封的可靠性。
[0038]通過連接柱332與連接通孔310的配合，可保證金屬密封板32與固定件31相對移動的穩(wěn)定性，同時便于壓簧331的裝配與連接。此處，作為另外的實施方式，彈性組件33亦可僅包括壓簧331，壓簧331的兩端分別直接固定連接至金屬密封板32與固定件31。
[0039]進(jìn)一步，連接通孔310與連接柱332之間設(shè)有滑動軸承34，利用滑動軸承34可保證連接柱332移動的穩(wěn)定性。連接通孔310遠(yuǎn)離金屬密封板32的一端為與連接帽332a相配合的階梯形，同時可便于滑動軸承34的安裝。連接通孔310的靠近金屬密封板32的一端為與壓簧331相適配的階梯形，以便與壓簧331的安裝。
[0040]連接柱332與金屬密封板32之間螺紋連接，以便與連接柱332與金屬密封板32之間的裝配。更具體的，加強筋321上螺孔，連接柱332上設(shè)有與該螺孔對應(yīng)配合的螺柱，螺柱螺紋連接于螺孔，壓簧331抵靠于加強筋321，從而實現(xiàn)彈性組33與金屬密封板32之間的裝配連接。
[0041]在本實施例中，真空閘門板9豎直設(shè)置，其上開設(shè)有多個長條形的開口 90，開口 90的長度方向為水平向，多個長條形的開口 9`0沿豎直方向排布設(shè)置。彈性密封機構(gòu)3與開口90 一一對應(yīng)，亦為多個。相應(yīng)地，金屬密封板32為與開口 90相配合的長條狀。固定件31亦為與金屬密封板32相配合的長條狀，以便于其與金屬密封板32的配合連接，同時，使得各彈性密封機構(gòu)3整體呈長條狀。
[0042]如圖5所示，彈性密封機構(gòu)3包括的彈性組件33為多個，均布于金屬密封板32與固定件31之間，以保證金屬密封板32與固定件31之間彈性的均衡性，有效保證金屬密封板32與真空閘門板9之間的密封性能。在本實施例中，具體地，在各彈性密封機構(gòu)3中，兩彈性組件33為一組，每組中的兩彈性組件33沿金屬密封板32的寬度方向排布設(shè)置；多組彈性組件33沿金屬密封板32的長度方向排布，從而使得各彈性組件33均布于金屬密封板32與真空閘門板之間。
[0043]金屬密封板32上的加強筋321為長條狀，且沿金屬密封板32的寬度方向設(shè)置。加強筋321上設(shè)置的螺孔為兩個，以便與位于同一組的兩個彈性組件33的連接柱332配合連接。加強筋321為多個，沿金屬密封板32的長度方向排布，以利于與多組彈性組件33的配合連接。同時利用加強筋321可增強金屬密封板32的結(jié)構(gòu)強度。
[0044]如圖1、圖2所示，雙搖桿機構(gòu)2包括主動搖桿21、從動搖桿22及連桿23，主動搖桿21的一端傳動連接于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4、另一端轉(zhuǎn)動連接于連桿23，從動搖桿22的兩端分別轉(zhuǎn)動連接于支撐座I及連桿23。連桿23與固定件31固定連接。本實施例中，連桿23與固定件31之間通過角鐵35固定連接。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4固定于支撐座1，用于帶動主動搖桿21擺動，驅(qū)動彈性密封機構(gòu)3與真空閘門板9抵接或分離。
[0045]旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4可以為旋轉(zhuǎn)氣缸或伺服電機等可帶動主動搖桿21擺動的裝置，采用簡單的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動即可實現(xiàn)閘門裝置的致動，易于實施。當(dāng)閘門處于關(guān)閉狀態(tài)時，連桿23帶動彈性密封機構(gòu)3壓向真空閘門板9，金屬密封板32在彈性組件33彈力作用下緊密抵靠于真空閘門板9，實現(xiàn)密封。需要打開閘門時，主動搖桿21在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4的帶動下擺動，由于主動搖桿21的端部在移動時呈弧線移動，連桿23及彈性密封機構(gòu)3在主動搖桿21的帶動下呈弧線移動，使得彈性密封機構(gòu)3與真空閘門板9分離，同時彈性密封機構(gòu)3移動至開口90的一側(cè)，避免彈性密封機構(gòu)3對開口 90產(chǎn)生遮擋，在開口 90的開口方向上可以經(jīng)開口90直接通過。
[0046]連桿23的軸向為沿豎直方向，即使得多個彈性密封機構(gòu)3沿連桿23的軸向排布設(shè)置，以使連桿23可同時與多個彈性密封機構(gòu)3連接。在本實施例中，由于彈性密封機構(gòu)3整體呈長條狀，為保證彈性密封機構(gòu)3移動的穩(wěn)定性，雙搖桿機構(gòu)2為兩組，兩雙搖桿機構(gòu)2的連桿23相互平行，且分別固定連接至固定件31長度方向上的兩端。
[0047]如圖1至圖3所示，為了使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4可同時帶動兩組雙搖桿機構(gòu)2同時動作，真空閘門裝置還包括主動轉(zhuǎn)軸5和從動轉(zhuǎn)軸6。兩組雙搖桿機構(gòu)2的主動搖桿21均固定連接于主動轉(zhuǎn)軸5。主動轉(zhuǎn)軸5傳動連接于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4，并在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4的帶動下繞自身軸向轉(zhuǎn)動，從而可同時帶動兩主動搖桿21擺動。本實施例中，主動轉(zhuǎn)軸5的一端傳動連接至旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4，另一端轉(zhuǎn)動連接至支撐板12。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4與主動轉(zhuǎn)軸5分別設(shè)置在支撐板11的兩側(cè)，在具體實施過程中可使得主動轉(zhuǎn)軸5位于真空腔室內(nèi)側(cè)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4設(shè)置在真空腔室的外側(cè)，從而可保證真空腔室內(nèi)的潔凈。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4與主動轉(zhuǎn)軸5之間可以設(shè)置聯(lián)軸器、減速器等，以保證傳動的穩(wěn)定性。只需要一個旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件4，利用主動轉(zhuǎn)軸5及從動轉(zhuǎn)軸6即可同時帶動兩組雙搖桿機構(gòu)動作，保證彈性密封機構(gòu)3兩端可以同時同步移動。
[0048]如圖6所示,主動轉(zhuǎn)軸5的另一端通過轉(zhuǎn)動機構(gòu)7連接至支撐板12。轉(zhuǎn)動機構(gòu)7包括固定座71及軸承72，固定座71為柱狀，其具有軸向相對的第一端和第二端，固定座71的第一端設(shè)有環(huán)形凸緣711，支撐板12上設(shè)有與環(huán)形凸緣711相配合的階梯孔，固定座71的第一端固定于階梯孔中，以便于固定座71及支撐板12之間的裝配連接，同時可在環(huán)形凸緣711與階梯孔的階梯面之間設(shè)置密封圈，以保證二者的密封性能。固定座71的第二端端面開設(shè)有固定孔710，軸承72設(shè)置在主動轉(zhuǎn)軸5與固定孔710的孔壁之間，以便于主動轉(zhuǎn)軸5與轉(zhuǎn)動機構(gòu)7之間的裝配連接。
[0049]從動轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動連接于支撐座I，兩組雙搖桿機構(gòu)2的從動搖桿22分別固定連接至從動轉(zhuǎn)軸6。本實施例中，從動轉(zhuǎn)軸6的兩端分別轉(zhuǎn)動連接至兩個支撐板11、12，進(jìn)一步，從動轉(zhuǎn)軸6的兩端分別通過另外兩個轉(zhuǎn)動機構(gòu)連接至兩支撐板11、12，兩個轉(zhuǎn)動機構(gòu)的結(jié)構(gòu)與前述轉(zhuǎn)動機構(gòu)7的結(jié)構(gòu)相同，此處不再贅述。
[0050]進(jìn)一步，如圖1至圖3所示，真空閘門裝置還包括輔助雙搖桿機構(gòu)8，輔助雙搖桿機構(gòu)8包括輔助主搖桿81、輔助從搖桿82及輔助連桿83。輔助主搖桿81的一端固定連接至主動轉(zhuǎn)軸5、另一端轉(zhuǎn)動連接至輔助連桿83 ;輔助從搖桿82的一端固定連接至從動轉(zhuǎn)軸
6、另一端轉(zhuǎn)動連接至輔助連桿83。利用輔助雙搖桿機構(gòu)8可保證主動轉(zhuǎn)軸5與從動轉(zhuǎn)軸6之間轉(zhuǎn)動的同步協(xié)調(diào)性，進(jìn)而保證連桿23移動的穩(wěn)定性。輔助雙搖桿機構(gòu)8亦為兩組，分別位于主動轉(zhuǎn)軸5長度方向上兩端。輔助雙搖桿機構(gòu)8與雙搖桿機構(gòu)2分別設(shè)置在主動轉(zhuǎn)軸5的兩側(cè)，以避免二者之間相互干涉。[0051]如圖7、圖8所示，在本發(fā)明第二實施例提供的一種真空閘門裝置中，彈性組件包括兩個對稱設(shè)置的V形彈片233，V形彈片233的兩端分別固定連接至固定件231及金屬密封板232，利用兩個V形彈片233來提供阻止金屬密封板232與固定件231相互靠近的彈力，可利用其彈力使金屬密封板232緊密貼合于真空閘門板9，以保證密封性能。本實施例中，兩V形彈片233的開口方向相背，以保證彈性密封機構(gòu)3的結(jié)構(gòu)緊湊形，并保證受力的均衡性。在其他的實施方式中，兩V形彈片233的開口方向亦可以為相向。
[0052]更具體地，固定件231與金屬密封板232均為相互配合的長條形板狀。V形彈片233的開口方向為金屬密封板232的寬度方向。彈性組件為多個，沿金屬密封板232的長度方向均勻排布設(shè)置，以保證金屬密封板232各部位受力的均衡形，有效保證各連接處的密封效果。
[0053]固定件231遠(yuǎn)離金屬密封板232的一側(cè)設(shè)有加強筋234，以保證固定件231的結(jié)構(gòu)強度。加強筋234為與固定件231相配合的長條狀，加強筋234的橫截面為L形，其一支臂與固定件231貼合固定連接。加強筋234為兩個，沿固定件231的寬度方向排布設(shè)置。本實施例中真空閘門裝置的其他部分與第一實施方式相同，在此不再贅述。
[0054]在前述兩個實 施例中，分別利用壓簧331及V形彈片233來實現(xiàn)彈性組件的彈性效果，在其他的實施方式中，亦可利用拉簧來實現(xiàn)彈性效果，例如將第一實施例中的壓簧331替換為拉簧，彈性組件的連接柱與第一實施例相同，拉簧設(shè)置在固定件231遠(yuǎn)離金屬密封板232的一側(cè)，拉簧的兩端分別固定連接至連接帽332a至固定件231，金屬密封板232與固定件231相互靠近時，連接柱332移動使拉簧拉伸，從而利用拉簧的拉力限制金屬密封板232與固定件231相互靠近。
[0055]本發(fā)明提供的真空閘門裝置可應(yīng)用于TFT-LED、太陽能薄膜電池、半導(dǎo)體芯片、晶圓等薄膜工藝制備和生產(chǎn)的真空鍍膜系統(tǒng)中。
[0056]本發(fā)明實施例提供的真空鍍膜系統(tǒng)及其真空閘門裝置，利用雙搖桿機構(gòu)2實現(xiàn)彈性密封機構(gòu)3的弧線運動，在打開開口 90的同時可避開開口 90，便于作業(yè)；雙搖桿機構(gòu)2結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，且便于安裝及維護(hù)；采用簡單的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置4帶動主動搖桿21動作即可實現(xiàn)真空閘門裝置的致動，易于安裝及維護(hù)；采用金屬密封板作為密封材料，在關(guān)閉狀態(tài)金屬密封板與真空閘門板面面貼合實現(xiàn)密封，具備較好的密封性能；金屬密封板具備良好的耐腐蝕和耐高溫性能；由于彈性組件的彈性作用及其與金屬密封板的配合而具備一定柔性變形補償作用，從而降低了真空閘門板及金屬密封板的機械精度，降低加工及裝配難度。
[0057]以上所述的實施方式，并不構(gòu)成對該技術(shù)方案保護(hù)范圍的限定。任何在上述實施方式的精神和原則之內(nèi)所作的修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在該技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空閘門裝置，用于開關(guān)真空閘門板上的開口，其特征在于，所述真空閘門裝置包括支撐座、彈性密封機構(gòu)、雙搖桿機構(gòu)及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件； 所述支撐座相對所述真空閘門板固定設(shè)置； 所述彈性密封機構(gòu)包括固定件、金屬密封板及彈性組件；所述固定件位于所述金屬密封板遠(yuǎn)離所述真空閘門板的一側(cè)；所述金屬密封板為平板狀，用于與所述真空閘門板面面貼合以將所述開口封閉；所述彈性組件連接在所述固定件與所述金屬密封板之間，用于提供彈力使所述金屬密封板壓緊于所述真空閘門板； 所述雙搖桿機構(gòu)連接在所述彈性密封機構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件之間，其包括主動搖桿、從動搖桿及連桿，所述主動搖桿的一端傳動連接于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件、另一端轉(zhuǎn)動連接于所述連桿，所述從動搖桿的兩端分別轉(zhuǎn)動連接于所述支撐座及所述連桿；所述連桿與所述固定件固定連接； 所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件固定于所述支撐座，用于帶動所述主動搖桿擺動，并驅(qū)動所述彈性密封機構(gòu)與所述真空閘門板抵接或分離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述金屬密封板的厚度小于或等于4mm.
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述金屬密封板為長條狀，所述金屬密封板上靠近所述固定件的板面上設(shè)有加強筋；所述加強筋為條狀，沿所述金屬密封板的寬度方向設(shè)置；所述彈性組件連接至所述加強筋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述彈性組件包括壓簧及連接柱，所述固定件上設(shè)有連接通孔，所述連接柱沿自身軸向滑動穿設(shè)所述連接通孔，所述連接柱的一端與所述金屬密封板固定連接，另一端設(shè)有連接帽，用于防止所述連接柱從所述連接通孔中滑出；所述壓簧套設(shè)在所述連接柱上，且壓縮設(shè)置在所述金屬密封板與所述固定件之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述彈性組件包括兩個對稱設(shè)置的V形彈片，各所述V形彈片的兩端分別固定連接至所述固定件及所述金屬密封板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述彈性密封機構(gòu)包括的彈性組件為多個，均布于所述金屬密封板與所述固定件之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述金屬密封板為長條狀；所述固定件為與所述金屬密封板相配合的長條狀；各所述彈性密封機構(gòu)中，兩所述彈性組件為一組，每組中的兩彈性組件沿所述金屬密封板的寬度方向排布設(shè)置；多組彈性組件沿所述金屬密封板的長度方向排布。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空閘門裝置，其特征在于，所述金屬密封板為長條狀；所述固定件為與所述金屬密封板相配合的長條狀；所述雙搖桿機構(gòu)為兩組，兩所述雙搖桿機構(gòu)的連桿相互平行，且分別固定連接至所述固定件長度方向上的兩端； 所述真空閘門裝置還包括主動轉(zhuǎn)軸和從動轉(zhuǎn)軸；兩組所述雙搖桿機構(gòu)的主動搖桿均固定連接于所述主動轉(zhuǎn)軸，所述主動轉(zhuǎn)軸傳動連接于所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動件；所述從動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接于支撐座，兩組所述雙搖桿機構(gòu)的從動搖桿分別固定連接至從動轉(zhuǎn)軸。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空閘門裝置，其特征在于，真空閘門裝置還包括輔助雙搖桿機構(gòu)，輔助雙搖桿機構(gòu)包括輔助主搖桿、輔助從搖桿及輔助連桿；所述輔助主搖桿的一端固定連接至所述主動轉(zhuǎn)軸、另一端轉(zhuǎn)動連接至所述輔助連桿；所述輔助從搖桿的一端固定連接至所述從動轉(zhuǎn)軸、另一端轉(zhuǎn)動連接至所述輔助連桿。
10.一種真空鍍膜系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一項所述的真空閘門裝置及真空閘門板，所述真空閘門裝置與所述真空閘門板對應(yīng)配合，用于開關(guān)所述真空閘門板上的開口 。
【文檔編號】C23C14/56GK103451616SQ201310422166
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年9月16日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月16日
【發(fā)明者】何祝兵, 蘇奇聰, 王春柱 申請人:南方科技大學(xué)