Lpcvd自動補水系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了LPCVD自動補水系統(tǒng)，包括濕氧SIO2工藝爐管，所述濕氧SIO2工藝爐管上連接有補水系統(tǒng)；所述補水系統(tǒng)包括儲水罐，該儲水罐通過水蒸氣輸出管與濕氧SIO2工藝爐管相連接，在儲水罐上端還設(shè)置有高純氮氣輸入管，儲水罐上還設(shè)置有進水口，在進水口上安裝有補水裝置，儲水罐下方設(shè)置有加熱器，加熱器上還設(shè)置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。本發(fā)明提供一種LPCVD自動補水系統(tǒng)，能夠更好的控制補水的時間與補水量，避免發(fā)生補水不及時導(dǎo)致的SIO2成膜速率降低以及物理性質(zhì)變差，提高了SIO2膜的生產(chǎn)效率與成品率，降低了生產(chǎn)成本，促進了企業(yè)的健康發(fā)展。
【專利說明】LPCVD自動補水系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種補水系統(tǒng)，具體的說是涉及一種濕氧SIO2工藝爐管上使用的LPCVD自動補水系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]濕氧SIO2工藝主要是通過使用LPCVD制作SIO2薄膜，其中在工藝爐管上連接的補水裝置是必不可少的，補水裝置會源源不斷的提供加工過程中所需要的水分，目前做濕氧SIO2工藝所需要的水汽需要通過工作人員定期像補水系統(tǒng)中加入高純水，但是有時候由于各種外因或人為因素，導(dǎo)致沒有及時加水的情況發(fā)生，而加水不及時將會影響SIO2成膜的速率降低以及膜的物理性質(zhì)變差，大大降低了 SIO2膜的生產(chǎn)效率與成品率，進而提高了生產(chǎn)成本，加重了企業(yè)的負(fù)擔(dān)，不利于企業(yè)的發(fā)展。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]有鑒于此，本發(fā)明提供一種LPCVD自動補水系統(tǒng)，能夠更好的控制補水的時間與補水量，避免發(fā)生補水不及時導(dǎo)致的SIO2成膜速率降低以及物理性質(zhì)變差，提高了 SIO2膜的生產(chǎn)效率與成品率，降低了生產(chǎn)成本，促進了企業(yè)的健康發(fā)展。
[0004]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是:
[0005]LPCVD自動補水 系統(tǒng)，包括濕氧S102工藝爐管，所述濕氧S102工藝爐管上連接有補水系統(tǒng)；所述補水系統(tǒng)包括儲水罐，該儲水罐通過水蒸氣輸出管與濕氧S102工藝爐管相連接，在儲水罐上端還設(shè)置有高純氮氣輸入管，儲水罐上還設(shè)置有進水口，在進水口上安裝有補水裝置，儲水罐下方設(shè)置有加熱器，加熱器上還設(shè)置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。
[0006]進一步的，上述補水裝置包括進水管，在進水管的端部固定在進水口上，在進水管上設(shè)置有兩個球閥，在兩個球閥之間還設(shè)置有隔膜閥，在隔膜閥上設(shè)置有空氣管道，空氣管道上還設(shè)置有一個球閥，空氣管道上的球閥與隔膜閥之間還安裝有電磁閥，補水裝置通過該電磁閥與重力控制裝置相連。
[0007]作為優(yōu)選，所述空氣管道中有高壓空氣，進水管中有高純水。
[0008]再進一步的，上述重力控制裝置包括設(shè)置在加熱器下方的重力計，重力計上連接有重力控制器，該重力控制器還同時連接在電磁閥上。
[0009]作為優(yōu)選，所述水蒸氣輸出管的下端管口設(shè)置在儲水罐內(nèi)部，且靠近儲水罐上端面。
[0010]作為優(yōu)選，所述高純氮氣輸入管連接在高純氮氣源上，該高純氮氣輸入管下端設(shè)置在儲水罐內(nèi)部，且靠近儲水罐底面。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明有以下有益效果:
[0012]本發(fā)明設(shè)置有重力控制裝置，能夠通過儲水罐中水量的多少來自行判斷是否需要添加高純水，以及調(diào)整添加高純水的速度，利用重力控制裝置來代替人工加水，能夠很好的掌握加水的時間，從而大大提高了 SIO2膜的生產(chǎn)效率與成品率，同時進一步降低了生產(chǎn)成本，同時還促進了企業(yè)的健康發(fā)展；本發(fā)明設(shè)置有補水裝置，能夠通過球閥來調(diào)整各個管路中液體或氣體的固定流量，從而避免了在添加高純水的過程中進水管不會因過大的沖擊力而從進水口脫離，也保證了重力控制裝置的精準(zhǔn)性；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，生產(chǎn)跟加工的成本較低，能夠很好的進行大規(guī)模的生產(chǎn)與使用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖上附圖標(biāo)記為:1 一球閥；2—進水管；3 —隔膜閥；4一重力控制器；5—進水口 ；6—重力計；7—加熱器；8—儲水_ ;9一7jC蒸氣輸出管；10 —聞純氮氣輸入管；11—電磁閥；12—空氣管道。
【具體實施方式】
[0015]本發(fā)明的核心思路是，提供一種LPCVD自動補水系統(tǒng)，能夠更好的控制補水的時間與補水量，避免發(fā)生補水不及時導(dǎo)致的SIO2成膜速率降低以及物理性質(zhì)變差，提高了SIO2膜的生產(chǎn)效率與成品率，降低了生產(chǎn)成本，促進了企業(yè)的健康發(fā)展。
[0016]為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的詳細(xì)說明。
[0017]實施例
[0018]如圖1所示，LPCVD自動補水系統(tǒng)，包括濕氧S102工藝爐管，所述濕氧S102工藝爐管上連接有補水系統(tǒng)；所述 補水系統(tǒng)包括儲水罐8，該儲水罐8通過水蒸氣輸出管9與濕氧S102工藝爐管相連接，在儲水罐8上端還設(shè)置有高純氮氣輸入管10，儲水罐8上還設(shè)置有進水口 5，在進水口 5上安裝有補水裝置，儲水罐8下方設(shè)置有加熱器7，加熱器7上還設(shè)置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。
[0019]上述補水裝置包括進水管2，在進水管2的端部固定在進水口 5上，在進水管2上設(shè)置有兩個球閥1，在兩個球閥I之間還設(shè)置有隔膜閥3，在隔膜閥3上設(shè)置有空氣管道12，空氣管道12上還設(shè)置有一個球閥1，空氣管道12上的球閥I與隔膜閥3之間還安裝有電磁閥11，補水裝置通過該電磁閥11與重力控制裝置相連。
[0020]作為優(yōu)選，所述空氣管道12中有高壓空氣，進水管2中有高純水。
[0021 ] 上述重力控制裝置包括設(shè)置在加熱器7下方的重力計6，重力計6上連接有重力控制器4，該重力控制器4還同時連接在電磁閥11上。
[0022]作為優(yōu)選，所述水蒸氣輸出管9的下端管口設(shè)置在儲水罐8內(nèi)部，且靠近儲水罐8上端面。
[0023]作為優(yōu)選,所述高純氮氣輸入管10連接在高純氮氣源上,該高純氮氣輸入管10下端設(shè)置在儲水罐8內(nèi)部，且靠近儲水罐8底面。
[0024]使用時，先在重力控制器中對最低加水重量與最高停止重量進行設(shè)定，然后開啟設(shè)備，重力控制器在高純水重量達到或低于最低加水重量時控制電磁閥開啟，使得高壓空氣通過電磁閥觸碰隔膜閥，隔膜閥在空氣壓力的作用下開啟，高純水通過進水管由進水口注入儲水罐中，接著重力計將儲水罐中高純水的重量實時反饋到重力控制器中，重力控制器隨著聞純水重量的增加逐步關(guān)小電磁閥的開啟大小，進而逐步見底聞純水的流量，當(dāng)儲水罐中高純水達到停止重量時重力控制器關(guān)閉電磁閥，進而完成隔膜閥的關(guān)閉。
[0025]以上僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出的是，上述優(yōu)選實施方式不應(yīng)視為對本發(fā)明的限制，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護 范圍。
【權(quán)利要求】
1.LPCVD自動補水系統(tǒng)，包括濕氧SIO2工藝爐管，其特征在于，所述濕氧SIO2工藝爐管上連接有補水系統(tǒng)；所述補水系統(tǒng)包括儲水罐(8)，該儲水罐(8)通過水蒸氣輸出管(9)與濕氧SIO2工藝爐管相連接，在儲水罐(8)上端還設(shè)置有高純氮氣輸入管(10)，儲水罐(8)上還設(shè)置有進水口(5)，在進水口(5)上安裝有補水裝置，儲水罐(8)下方設(shè)置有加熱器(7)，加熱器(7)上還設(shè)置有重力控制裝置，重力控制裝置與補水裝置相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LPCVD自動補水系統(tǒng)，其特征在于，所述補水裝置包括進水管(2),在進水管(2)的端部固定在進水口(5)上，在進水管(2)上設(shè)置有兩個球閥(I)，在兩個球閥(I)之間還設(shè)置有隔膜閥(3)，在隔膜閥(3)上設(shè)置有空氣管道(12)，空氣管道(12)上還設(shè)置有一個球閥(1)，空氣管道(12)上的球閥(I)與隔膜閥(3)之間還安裝有電磁閥(11 )，補水裝置通過該電磁閥(11)與重力控制裝置相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的LPCVD自動補水系統(tǒng)，其特征在于，所述空氣管道(12)中有聞壓空氣，進水管(2)中有聞純水。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的LPCVD自動補水系統(tǒng)，其特征在于，所述重力控制裝置包括設(shè)置在加熱器(7)下方的重力計(6)，重力計(6)上連接有重力控制器(4)，該重力控制器(4)還同時連接在電磁閥(11)上。
5.根據(jù)權(quán)利要求 4所述的LPCVD自動補水系統(tǒng)，其特征在于，所述水蒸氣輸出管(9)的下端管口設(shè)置在儲水罐(8 )內(nèi)部，且靠近儲水罐(8 )上端面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的LPCVD自動補水系統(tǒng)，其特征在于，所述高純氮氣輸入管(10)連接在高純氮氣源上，該高純氮氣輸入管(10)下端設(shè)置在儲水罐(8)內(nèi)部，且靠近儲水罐(8)底面。
【文檔編號】C23C16/44GK103526181SQ201310493116
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2013年10月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月18日
【發(fā)明者】向舟翊, 李家海, 李朝陽 申請人:四川飛陽科技有限公司