成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)的制作方法
成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠減少動作所需的能量的成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。在使閥體（9）從第2位置（P2）向第3位置（P3）移動時，第1缸體（22）動作，在使閥體（9）從第3位置（P3）向第1位置（P1）移動并經(jīng)閥體（9）按壓密封部件（11）時，第2缸體（23）動作。第1缸體（22）具有移動閥體（9）的功能，因此需要較長的行程，但不具有按壓密封部件（11）的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體（23）具有按壓密封部件（11）的功能，因此需要較大的缸徑，但不具有移動閥體（9）的功能，因此無需較長的行程。因此，能夠設(shè)為無需通過與按壓密封部件（11）時相等的力來移動閥體（9）亦可的結(jié)構(gòu)。
【專利說明】成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請主張基于2013年I月29日申請的日本專利申請第2013-014654號的優(yōu)先權(quán)。該申請的所有內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。
[0002]本發(fā)明涉及一種成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0003]以往，作為進行真空腔室的開閉的開閉機構(gòu)，已知有專利文獻I中所記載的開閉機構(gòu)。專利文獻I的開閉機構(gòu)具備:閥體，用于堵住用于搬入搬出基板的真空腔室的孔部；O型環(huán)，通過被閥體按壓來密封孔部；及I個缸體，為了開閉孔部而移動閥體。
[0004]專利文獻1:日本特開平06-338469號公報
[0005]如上述的開閉機構(gòu)中，缸體使閥體移動至堵住孔部的位置，并且通過在該位置用閥體按壓O型環(huán)來確保孔部的氣密性。即，缸體為I個，因此該缸體同時具有移動閥體的功能和按壓O型環(huán)的功能。在此，按壓O型環(huán)需要較大的力，因此需要加大缸徑。另一方面，移動閥體需要加長缸體的行程?；谝陨侠碛桑枰獞?yīng)用行程長且缸徑大的缸體。然而，當(dāng)為這種結(jié)構(gòu)時，即使在進行移動閥體的動作時，也以與按壓O型環(huán)時相等的力進行動作，因此造成能量的浪費。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明是為了解決這種課題而完成的，其目的在于提供一種能夠減少動作所需的能量的成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。
[0007]本發(fā)明所涉及的成膜裝置為使成膜材料的粒子附著于成膜對象物的成膜裝置，該成膜裝置具備:真空腔室，具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部；閥體，能夠在關(guān)閉孔部的第I位置、和不干涉經(jīng)孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第I位置時，通過被閥體按壓來密封孔部;第I缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，經(jīng)閥體按壓密封部件。 [0008]本發(fā)明所涉及的成膜裝置具備為了開閉真空腔室的孔部而移動閥體的第I缸體、及經(jīng)閥體按壓密封部件的第2缸體。因此，在使閥體從第2位置向比第I位置稍微更靠第2位置側(cè)的位置移動時，第I缸體動作，在使閥體移動至第I位置并經(jīng)閥體按壓密封部件時，第2缸體動作。第I缸體具有使閥體移動較長距離的功能，因此需要較長的行程，但可以不具有按壓密封部件的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體具有按壓密封部件的功能，因此需要較大的缸徑，但僅使閥體移動很小的距離即可，因此無需較長的行程。因此，無需行程長且缸徑大的缸體，從而能夠設(shè)為無需通過與按壓密封部件時相等的力來移動閥體亦可的結(jié)構(gòu)。綜上，能夠減少動作所需的能量。
[0009]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置中，與第I缸體相比，第2缸體可缸徑更大且行程更短。即，第I缸體可為缸徑較小且行程較長的結(jié)構(gòu)。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠減少動作所需的能量。[0010]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置可還具備連結(jié)于閥體的旋轉(zhuǎn)軸、及連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸且沿該旋轉(zhuǎn)軸的徑向延伸的操縱桿，且第I缸體連接于操縱桿的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸之間，而第2缸體連接于操縱桿的前端側(cè)，從而可經(jīng)閥體按壓密封部件。操縱桿連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)于閥體。并且，第I缸體連接于操縱桿的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸之間，因此通過以第I缸體移動操縱桿，旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，閥體也隨之旋轉(zhuǎn)。通過該旋轉(zhuǎn)移動，閥體能夠在第2位置、和比第I位置稍微更靠第2位置側(cè)的位置之間移動。并且，第2缸體連接于操縱桿的前端側(cè)，因此能夠經(jīng)操縱桿及旋轉(zhuǎn)軸來以閥體按壓密封部件。綜上，能夠更高效地進行閥體的開閉及密封部件的按壓。
[0011]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置中，操縱桿與第2缸體可由連桿部件連接。該連桿部件連接操縱桿和第2缸體，因此即使操縱桿旋轉(zhuǎn)而其前端側(cè)靠近第2缸體，也能夠通過連桿部件來使第2缸體退避。并且，操縱桿按壓第2缸體時，能夠通過連桿部件使第2缸體靠近操縱桿側(cè)。綜上，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)使第2缸體不干涉操縱桿而順暢地對密封部件進行密封。
[0012]并且，本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)為具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部的真空腔室的開閉機構(gòu)，該真空腔室的開閉機構(gòu)具備:閥體，能夠在關(guān)閉孔部的第I位置、和不干涉經(jīng)孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第I位置時，通過被閥體按壓來密封孔部；第I缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，對密封部件按壓閥體。
[0013]根據(jù)本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)，由于具備為了真空腔室的孔部的開閉而移動閥體的第I缸體、及經(jīng)閥體按壓密封部件的第2缸體，因此起到與上述成膜裝置相同的作用效
果O
[0014]發(fā)明效果:
[0015]根據(jù)本發(fā)明，能夠減少動作所需的能量。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的成膜裝置的側(cè)視圖。
[0017]圖2是圖1所示的開閉機構(gòu)的放大圖。
[0018]圖3是從Z軸正向觀察圖2所示的開閉機構(gòu)的圖。
[0019]圖4是沿圖2所示的IV-1V線的剖視圖。
[0020]圖5是沿圖4所示的V-V線的剖視圖。
[0021]圖6是表示相對于圖2所示的狀態(tài)，延長第I缸體的桿的狀態(tài)的圖。
[0022]圖7是表示相對于圖6所示的狀態(tài)，延長第2缸體的桿的狀態(tài)的圖。
[0023]圖8是表示比較例所涉及的開閉機構(gòu)的圖。
[0024]圖9是表示采用比較例所涉及的開閉機構(gòu)時的氣源結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0025]圖中:1_開閉機構(gòu)，3-旋轉(zhuǎn)軸，9-閥體，11-密封部件，21-操縱桿，22-第I缸體，23-第2缸體，24-連桿部件，100-成膜裝置，150-真空腔室，151-孔部。
【具體實施方式】
[0026]以下，參考附圖對基于本發(fā)明的成膜裝置的一實施方式進行詳細說明。另外，在【專利附圖】
【附圖說明】中對相同要件附加相同符號，并省略重復(fù)說明。
[0027]圖1是本實施方式所涉及的成膜裝置100的側(cè)視圖。圖1所示的成膜裝置100是用于對成膜對象物即基板101 (例如玻璃基板)實施成膜等處理的裝置。成膜裝置100是例如通過RH)法(反應(yīng)性等離子體蒸鍍法)進行成膜的裝置。成膜裝置100具備生成等離子體的等離子槍(蒸鍍源140)，并通過利用所生成的等離子體對成膜材料進行離子化并使成膜材料的粒 子附著于基板101的表面來進行成膜。為方便說明，在圖1中示出XYZ坐標(biāo)系。Y軸方向為搬送基板101的方向。Z軸方向為基板101與蒸鍍源140對置的方向。X軸方向為與Y方向及Z方向正交的方向。另外，本實施方式中，作為優(yōu)選例，例示出基板101以基板101的板厚方向成為大致鉛垂方向的方式配置于真空容器內(nèi)而被搬送的所謂臥式成膜裝置。但是，也可為在將基板101以基板101的板厚方向成為水平方向的方式立起或從立起狀態(tài)傾斜的狀態(tài)下，將基板101配置于真空腔室內(nèi)而被搬送的所謂立式成膜裝置。
[0028]成膜裝置100具備過渡腔室(load lock chamber) 121、緩沖腔室(bufferchamber) 122、成膜腔室(成膜室)123、緩沖腔室124及過渡腔室125。這些腔室121~125以該順序排列配置。所有腔室121~125作為真空腔室150而構(gòu)成，在腔室121~125的出入口設(shè)置有本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I。成膜裝置100可為排列有多個緩沖腔室122、124、成膜腔室123的結(jié)構(gòu)。并且，也可為由一系列的腔室構(gòu)成的成膜裝置。
[0029]各真空腔室121~125與用于將內(nèi)部設(shè)為適當(dāng)壓力的真空泵(未圖示)連接。并且，各真空腔室121~125中設(shè)置有用于監(jiān)視腔室內(nèi)的壓力的真空計(未圖示)。各腔室121~125與連接于真空泵的真空排氣管連通，該真空排氣管中設(shè)置有真空計。
[0030]接著，參考圖2~圖5，對本實施方式所涉及的真空腔室150 (各腔室121~125)的開閉機構(gòu)I的結(jié)構(gòu)進行詳細說明。圖2是圖1所示的開閉機構(gòu)I的放大圖。圖3是從Z軸正向觀察圖2所示的開閉機構(gòu)I的圖。圖4是沿圖2所示的IV-1V線的剖視圖。圖5是沿圖4所示的V-V線的剖視圖。另外，圖2、圖3及圖5中，示出打開閥體9的狀態(tài)，但為了使結(jié)構(gòu)明確，僅在圖4中示出用閥體9關(guān)閉孔部151的狀態(tài)。真空腔室150具有用于搬入搬出基板101的孔部151。如圖4及圖5所示，孔部151形成于基板101的搬送方向上的各真空腔室150的端壁部150a。孔部151由貫穿端壁部150a的狹縫狀的貫穿孔構(gòu)成，且形成為基板101及支承該基板101的搬送托盤能夠通過的大小。一個真空腔室150的端壁部150a和相鄰的其他真空腔室150的端壁部150a以彼此接觸的方式配置。一個真空腔室150的端壁部150a的孔部151形成在與相鄰的其他真空腔室150的端壁部150a的孔部151對應(yīng)的位置且形成為對應(yīng)的大小，并且彼此連通。
[0031]開閉機構(gòu)I構(gòu)成為能夠切換該孔部151的開閉。開閉機構(gòu)I具備開閉孔部151的開閉部2、將開閉部2支承為能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸3、及對旋轉(zhuǎn)軸3賦予旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動部4。本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I為所謂的活瓣式腔室門。
[0032]如圖3及圖4所示，旋轉(zhuǎn)軸3在真空腔室150內(nèi)沿與孔部151的延伸方向相同的方向延伸。旋轉(zhuǎn)軸3在Z軸方向上配置于真空腔室150的上壁部150b和孔部151之間，且以從形成有孔部151的端壁部150a分離的狀態(tài)設(shè)置。旋轉(zhuǎn)軸3被固定于端壁部150a的軸承支架6支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，旋轉(zhuǎn)軸3的一側(cè)的端部3a貫穿真空腔室150的側(cè)壁部150c而延伸至真空腔室150的外側(cè)。旋轉(zhuǎn)軸3的向真空腔室150的外側(cè)延伸的部分被軸承7支承為能夠旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸3的另一側(cè)的端部3b被真空腔室150的側(cè)壁部150d支承為能夠旋轉(zhuǎn)(參考圖4)。另外，本實施方式中，旋轉(zhuǎn)軸3靠近上壁部150b而設(shè)置，但也可靠近下壁部150e而設(shè)置。并且，本實施方式中，驅(qū)動部4設(shè)置于真空腔室150的側(cè)壁部150c側(cè)，因此旋轉(zhuǎn)軸3的一側(cè)的端部3a從側(cè)壁部150c向外側(cè)延伸，但也可將驅(qū)動部4設(shè)置于側(cè)壁部150d偵牝此時旋轉(zhuǎn)軸3的另一側(cè)的端部3b從側(cè)壁部150d向外側(cè)延伸。
[0033]如圖4及圖5所示，開閉部2具備安裝于旋轉(zhuǎn)軸3的臂8、開閉孔部151的閥體9、及設(shè)置于閥體9的密封面9a的密封部件11。臂8沿旋轉(zhuǎn)軸3的延伸方向以預(yù)定間隔設(shè)置有多個。本實施方式中，如圖4所示設(shè)置有4個臂8，但其數(shù)量無特別限定。臂8從旋轉(zhuǎn)軸3沿徑向延伸，且在前端8a側(cè)支承閥體9。由此，旋轉(zhuǎn)軸3經(jīng)臂8連接于閥體9。
[0034]閥體9能夠隨著旋轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)而移動。閥體9能夠在關(guān)閉孔部151的第I位置Pl和打開孔部151的第2位置P2之間移動。圖5中，以雙點劃線表示的閥體9的位置相當(dāng)于第I位置P1，以實線表示的閥體9的位置相當(dāng)于第2位置P2。圖4中，以實線表示配置于第I位置Pl的狀態(tài)的閥體9。另外，第2位置P2只要為閥體9不干涉被搬入搬出的基板101 (及用于該搬入搬出的搬送托盤等機構(gòu))的位置，則可設(shè)定于任何位置。如圖5所示，本實施方式中，將閥體9從第I位置Pl開始以旋轉(zhuǎn)軸3為中心大致旋轉(zhuǎn)90°的位置設(shè)定為第2位置P2。但是，只要閥體9在第2位置P2不干涉基板101，則亦可不為大致90°。將基板搬送方向(Y軸方向)上的孔部151的延長線上的空間設(shè)為搬送空間CE時，第2位置P2上的閥體9配置于比搬送空間CE更靠外側(cè)。
[0035]閥體9具有沿孔部151的延伸方向延伸的長條形狀。閥體9形成為如下形狀及大小，即在配置于第I位置Pl時從基板搬送方向(Y軸方向)觀察，用與端壁部150a對置的面即密封面9a完全覆蓋整個孔部151 (參考圖4)。并且，閥體9具有大致梯形的截面形狀，下底側(cè)表面構(gòu)成密封面9a，在上底側(cè)表面9b支承于臂8 (參考圖5)。另外，臂8以允許一定的松動的狀態(tài)支承閥體9，以便在閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動而按壓閥體9時，通過閥體9與端壁部150a平行地碰撞來使后述的密封部件11(0型環(huán))均勻地變形，從而能夠可靠地關(guān)閉孔部151。
[0036]密封部件11由嵌入于在閥體9的密封面9a設(shè)置的槽部12的O型環(huán)構(gòu)成。密封部件11在閥體9配置于第I位置時，以與端壁部150a的孔部151周邊的邊緣部152接觸的狀態(tài)被閥體9按壓，從而密封孔部151。從Y軸方向觀察時(圖4所示的狀態(tài))，密封部件11被設(shè)置成包圍孔部151的全周。另外，密封部件11只要能夠密封孔部151就能夠應(yīng)用任意密封件，如可為覆蓋整個孔部151的彈性體板材。
[0037]如圖2及圖3所示，驅(qū)動部4具備連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸3的操縱桿21、為了開閉孔部151而移動閥體9的第I缸體22、經(jīng)閥體9按壓密封部件11的第2缸體23、及連接操縱桿21和第2缸體23的連桿部件24。另外，在驅(qū)動部4的構(gòu)成要件的說明中，根據(jù)閥體9配置于第2位置P2時的狀態(tài)(即圖2及圖3所示的狀態(tài))來說明位置關(guān)系和形狀等。另外，在真空腔室150的下側(cè)設(shè)置有框架體160?？蚣荏w160具備沿Y軸方向延伸的框架161、沿Z軸方向延伸的框架162、及沿X軸方向延伸的框架163。操縱桿21、第I缸體22、第2缸體23、連桿部件24及框架161、162在X軸方向上被配置于大致相同的位置(參考圖3)。
[0038] 操縱桿21是從旋轉(zhuǎn)軸3沿徑向延伸的部件。操縱桿21的基端側(cè)設(shè)置有安裝于旋轉(zhuǎn)軸3的圓筒狀的固定部件26。旋轉(zhuǎn)軸3插入于固定部件26，從而操縱桿21固定于旋轉(zhuǎn)軸3，并與該旋轉(zhuǎn)軸3 —起旋轉(zhuǎn)。操縱桿21向與開閉部2的臂8所延伸的方向相反的方向延伸。并且，從旋轉(zhuǎn)軸3的延伸方向(X軸方向)觀察時，操縱桿21作為整體由具有彎曲的形狀的板狀部件構(gòu)成，且具有從旋轉(zhuǎn)軸3朝向斜下方延伸的基端側(cè)部分21A、及從該基端側(cè)部分21A開始彎曲并朝向下方延伸的前端側(cè)部分21B (參考圖2)。前端側(cè)部分21B的前端形成有在按壓密封部件11時與第2缸體23連接的連接部21a。連接部21a以與設(shè)置在第2缸體23的前端側(cè)的銷39的外周面抵接的方式彎曲成圓弧狀。另外，操縱桿21的連接部21a與第2缸體23僅在閥體9配置于第I位置且以閥體9強力按壓密封部件11時連接(參考圖7)，在其他狀態(tài)下連接被解除，彼此分離。
[0039]第I缸體22經(jīng)由操縱桿21使旋轉(zhuǎn)軸3大致旋轉(zhuǎn)90°，從而使閥體9從比第I位置Pl稍微更靠第2位置P2側(cè)的位置(以下說明中稱作“第3位置P3”。但是由于與第I位置Pl的位置差很微小，因此在圖中省略配置于第3位置P3的開閉部2的圖示，作為與第I位置Pl大致相同的位置來表示)向第2位置P2移動、或從第2位置P2向第3位置P3移動。本實施方式中，作為第I缸體22，應(yīng)用了由桿27及筒體28構(gòu)成的氣缸。另外，作為第I缸體22，可應(yīng)用液壓式或電動式缸體。第I缸體22連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間。具體而言，第I缸體22的桿27的前端的接頭部27a在操縱桿21的基端側(cè)部分21A與前端側(cè)部分21B的邊界部附近且操縱桿21的內(nèi)緣21b側(cè)的位置，通過沿X軸方向延伸的銷被連接成能夠旋轉(zhuǎn)。另一方面，第I缸體22的筒體28的前端的接頭部28a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于在框架體160的沿Z軸方向延伸的框架162的側(cè)面設(shè)置的支架29。另外，第I缸體22相對于Z軸大致平行地從支架29朝向操縱桿21延伸。第I缸體22的桿27從筒體28朝向Z軸正向延伸，從而操縱桿21也向Z軸正向被頂出，由此旋轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)(參考圖6及圖7)。
[0040]第2缸體23在閥體9配置于第I位置Pl時用閥體9按壓密封部件11。本實施方式中，作為第2缸體23，應(yīng)用了由桿31及筒體32構(gòu)成的氣缸。另外，作為第2缸體23，也可應(yīng)用液壓式或電動式缸體。第2缸體23中，連桿部件24的一端部24a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于桿31的根底部分。另外，接頭部31a的前端以沿X軸方向?qū)χ玫姆绞奖环殖?個片部38，兩片部38之間設(shè)置有沿X軸方向延伸的銷39 (參考圖3)。通過第2缸體23經(jīng)閥體9按壓密封部件11時，該銷39與操縱桿21的前端的連接部21a接觸，并壓入于該連接部21a。另一方面，第2缸體23的筒體32的下端的接頭部32a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于在框架體160的沿Y軸方向延伸的框架161的上面設(shè)置的支架33。另外，第2缸體23在經(jīng)連桿部件24支承于操縱桿21的狀態(tài)下，從支架33朝向操縱桿21側(cè)的斜上方延伸。該狀態(tài)下，第2缸體23以在與操縱桿21的外緣21c之間形成間隙的方式從操縱桿21分離。第2缸體23的缸徑大于第I缸體22的缸徑。因此，第2缸體23能夠產(chǎn)生比第I缸體22更大的力。并且，第2缸體23的行程短于第I缸體22的行程。第2缸體23將通過第I缸體22移動至密封部件11與端壁部150a接觸的位置(相當(dāng)于第3位置P3)的閥體9進一步壓入來使其移動至第I位置P1，從而以閥體9強力按壓密封部件11來壓扁密封部件11，因此行程可較短。
[0041]連桿部件24用于在閥體9從第2位置P2向第I位置移動的過程中，以操縱桿21不干涉第2缸體23的方式隨著操縱桿21的旋轉(zhuǎn)在第2缸體23與操縱桿21之間設(shè)置間隔。連桿部件24為長條的板狀部件，且以從X軸方向上的兩側(cè)夾住操縱桿21及第2缸體23的接頭部31a的方式設(shè)置有I對。連桿部件24的一端部24a如前所述，通過在X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于第2缸體23的桿31的根底部分。連桿部件24的另一端部24b通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間。另一端部24b的相對于操縱桿21的連接位置被設(shè)定于操縱桿21的基端側(cè)部分21A與前端側(cè)部分2IB之間的邊界部附近且與第I缸體22的接頭部27a的相對于操縱桿21的連接位置沿Z軸正向相鄰的位置。連桿部件24以從另一端部24b朝向一端部24a向斜上方傾斜的狀態(tài)延伸。由此，第2缸體23配置于從操縱桿21的外緣21c分離的位置。另外，形成于操縱桿21的外緣21c與第2缸體23之間的間隙的大小確保為在使閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動的過程中，操縱桿21的前端側(cè)部分21B及連接部21a能夠不干涉第2缸體23而通過該間隙的程度的大小。
[0042]接著，參考圖2、圖6及圖7對通過驅(qū)動部4的驅(qū)動用閥體9關(guān)閉孔部151時的動作進行說明。另外，利用各缸體22、23的行程終點的位置所設(shè)置的感測器的檢測結(jié)果來控制第I缸體22及第2缸體23的作動開始時刻。
[0043]首先，從閥體9配置于第2位置P2的圖2所示的狀態(tài)開始，如圖6所示，第I缸體22的桿27向方向Dl延伸(移動)。由此，操縱桿21向方向D2旋轉(zhuǎn)，隨著該操縱桿21的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸3也旋轉(zhuǎn)。通過旋轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)，閥體9向方向D3移動，并從第2位置P2向第3位置P3移動。
[0044]此時，隨著操縱桿21的旋轉(zhuǎn)，連桿部件24的另一端部24b與操縱桿21的連接位置也以圓弧狀移動，第2缸體23也沿方向D4移動。連桿部件24維持第2缸體23從操縱桿21分離預(yù)定距離的狀態(tài)。因此，隨著操縱桿21的前端側(cè)的連接部21a靠近第2缸體23，第2缸體23以遠離的方式移動。圖6的虛線DL示出操縱桿21的前端的連接部21a的軌跡。在圖6中以雙點劃線 示出操縱桿21的前端的連接部21a最靠近第2缸體23的狀態(tài)下的第2缸體23的位置。如此，在連接部21a最靠近第2缸體23的狀態(tài)下，第2缸體23通過被連桿部件24推壓而退避至以雙點劃線所示的位置。由此，連接部21a不會干涉第2缸體23，且操縱桿21能夠向方向Dl移動。另一方面，若操縱桿21經(jīng)過了最靠近第2缸體23的位置，則第2缸體23被向操縱桿21側(cè)拉進。操縱桿21旋轉(zhuǎn)至閥體9成為配置于第3位置P3 (比圖中所示的第I位置Pl稍微更靠第2位置P2側(cè)的位置)的狀態(tài)時，如圖6所示，操縱桿21的前端的連接部21a與第2缸體23的桿31的接頭部31a的前端成為對置的狀態(tài)。
[0045]接著，如圖7所示，第2缸體23的桿31向方向D5延伸。由此，第2缸體23的桿31的接頭部31a與操縱桿21的連接部21a連接，并且操縱桿21向方向D5側(cè)被壓入。由此，閥體9向方向D6側(cè)被壓入而配置于第I位置P1，并且密封部件11被強力按壓而變形。從而，通過閥體9及密封部件11，孔部151以確保了氣密性的狀態(tài)被密封。另外，開放孔部151時，各缸體22、23的桿27、31以與上述動作順序相反的順序收縮。
[0046]接著，對本實施方式所涉及的成膜裝置100及開閉機構(gòu)I的作用效果進行說明。
[0047]首先，利用圖8及圖9對比較例所涉及的成膜裝置的開閉機構(gòu)200進行說明。如圖8所示，比較例所涉及的開閉機構(gòu)200由I根缸體222、及連接于旋轉(zhuǎn)軸3的操縱桿221構(gòu)成。該開閉機構(gòu)200的缸體222具備使閥體9在第3位置P3與第2位置P2之間移動的功能、及使閥體9從第3位置P3向第I位置Pl移動來通過閥體9按壓密封部件11的功能這2種功能。圖8中，以實線表示閥體9配置于第2位置P2時的操縱桿221及缸體222的狀態(tài)，以雙點劃線表示閥體9配置于第I位置Pl時的操縱桿221及缸體222的狀態(tài)。如圖8所示，缸體222的桿227從筒體228延伸，從而操縱桿221向方向D7旋轉(zhuǎn)，隨此閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動。并且，在密封部件11接觸側(cè)壁部的壁面后，缸體222的桿227仍進一步延伸，從而使閥體9向第I位置Pl移動來按壓密封部件11。
[0048]在此，缸體222所具有的2個功能中，使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的功能無需較大的力度(例如，用于按壓密封部件11所需的力度的1/5~1/6左右就足夠)，但卻需要較長的行程。另一方面，按壓密封部件11的功能無需較長的行程，但卻需要較大的力。即，需要較大的缸徑。然而，I個缸體222具有2種功能，因此行程被設(shè)定為用于發(fā)揮使閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動的功能的長度，缸徑被設(shè)定為用于發(fā)揮按壓密封部件11的功能的大小。因此，作為缸體222，需要應(yīng)用行程長且缸徑大的缸體。從而，缸體222在進行使閥體9從 第2位置P2向第3位置P3移動的動作時，也以與按壓密封部件11時相等的力進行動作，因此導(dǎo)致能量的浪費。將氣缸用作缸體222時，空氣供給量多于所需量。
[0049]而且，隨著近年來基板尺寸的大型化，閥體9的長度變長，隨此而產(chǎn)生了缸體222的尺寸(行程及缸徑)變大，一次動作中所需的空氣(為壓縮空氣，0.4~0.5MPa左右)的供給量增加，且運轉(zhuǎn)成本增加等問題。并且，在成膜裝置的運轉(zhuǎn)中，出現(xiàn)多個真空腔室150中的開閉機構(gòu)200同時作動的時刻(例如，4處的開閉機構(gòu)200同時開閉)，該時刻的空氣供給量不足時，產(chǎn)生因閥體9的按壓力下降而使閥體9暫時打開，從而在真空腔室150產(chǎn)生泄漏等問題。
[0050]為了解決這種問題，如圖9所示，需要追加用于補充暫時的空氣供給量不足的輔助罐201，或為了增加空氣供給量本身而謀求調(diào)節(jié)器203的尺寸加大。并且，在排氣面，為了通過增加空氣供給量來降低排氣配管側(cè)的背壓，需要擴大空氣的返回配管204的管徑，從而需要增加配置空間及最初成本?；蛘撸枰O(shè)置大氣開放過濾器202，以能夠向大氣中(絕對無塵室中)排氣。
[0051]另一方面，本實施方式所涉及的成膜裝置100及開閉機構(gòu)I具備為了真空腔室150的孔部151的開閉而使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的第I缸體22、及經(jīng)閥體9按壓密封部件11的第2缸體23。因此，使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動時，第I缸體22動作，使閥體9從第3位置P3向第I位置Pl移動并經(jīng)閥體9按壓密封部件11時，第2缸體23動作。第I缸體22具有使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的功能，因此需要較長的行程，但由于也可以不具有按壓密封部件11的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體23具有按壓密封部件11的功能，因此需要較大的缸徑，但只要使閥體9從第3位置P3移動至第I位置Pl為止的很短的距離(壓扁與端壁部150a接觸的密封部件11的行程)即可，因此無需較長的行程。從而，不需要行程長且缸徑大的缸體，因此能夠設(shè)為如圖8所示的開閉機構(gòu)200，無需通過與按壓密封部件11時相等的力移動閥體9亦可的結(jié)構(gòu)。綜上,能夠減少動作所需的能量。
[0052]通過采用本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)1，與圖8所示的比較例所涉及的開閉機構(gòu)200相比較，能夠?qū)⒖諝獾男枰繙p少1/5~1/6左右，且能夠有助于運轉(zhuǎn)成本的減少及節(jié)能化。尤其在成膜裝置100中，多個缸體22、23在短時間內(nèi)連續(xù)運轉(zhuǎn)，因此減少空氣供給量的效果更加顯著。[0053]由于能夠如上述減少能量，因此能夠解決空氣供給的不足。即，如圖9所示，無需進行輔助罐201的追加、調(diào)節(jié)器203的尺寸放大、排氣用配管204的管徑擴大、及大氣開放過濾器202的追加等，因此能夠降低成本，并且實現(xiàn)空氣配管系統(tǒng)的省空間化。另外，本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I中，由于需要第2缸體23、連桿部件24及氣缸控制用電磁閥等，因此最初成本增加，但由于不需要用于應(yīng)對如圖9的空氣供給不足的對策，因此成本可充分地相互抵消。
[0054]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100中，與第I缸體22相比，第2缸體23的缸徑更大且行程更短。即，第I缸體22成為缸徑小但行程長的結(jié)構(gòu)。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠減少動作所需的能量。并且，長行程的第I缸體22的缸徑較小，因此能夠通過缸徑較小的第I缸體22來進行因基于長行程的壽命磨損而產(chǎn)生的缸體更換。由此，能夠減少運轉(zhuǎn)成本。
[0055]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100還具備連結(jié)于閥體9的旋轉(zhuǎn)軸3、及連接于旋轉(zhuǎn)軸3且沿該旋轉(zhuǎn)軸3的徑向延伸的操縱桿21。并且，第I缸體22被連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間，第2缸體23連接于操縱桿21的前端側(cè)，由此經(jīng)閥體9按壓密封部件11。操縱桿21被連接于旋轉(zhuǎn)軸3，旋轉(zhuǎn)軸3連接于閥體9。并且，第I缸體22被連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間，因此通過以第I缸體22移動操縱桿21，旋轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)，閥體9也隨之旋轉(zhuǎn)。通過該旋轉(zhuǎn)移動，閥體9能夠在第3位置P3與第2位置P2之間移動。并且，第2缸體23連接于操縱桿21的前端側(cè)的連接部21a，因此能夠經(jīng)操縱桿21及旋轉(zhuǎn)軸3通過閥體強力按壓密封部件11。綜上，能夠有效地進行閥體9的開閉及密封部件11的按壓。
[0056]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100中，操縱桿21與第2缸體23通過連桿部件24連接。該連桿部件24連接操縱桿21與第2缸體23，因此即使操縱桿21旋轉(zhuǎn)而靠近第2缸體23，也能夠通過連桿部件24來使第2缸體23退避。并且，第2缸體23按壓操縱桿21時，能夠通過連桿部件24使第2缸體23靠近操縱桿21側(cè)。綜上，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)使第2缸體23不干涉操縱桿21而順暢地對密封部件11進行密封。
[0057]本發(fā)明并非限定于上述實施方式。
[0058]例如，上述實施方式中已說明的結(jié)構(gòu)只是一個例子，只要能夠通過缸體22、23進行閥體9的開閉及密封部件11的按壓，則操縱桿的形狀或連接位置、缸體22、23的長度和與框架體160的固定位置等可為任意結(jié)構(gòu)。并且，也可設(shè)為不經(jīng)由操縱桿21而直接以缸體22、23來驅(qū)動閥體9的結(jié)構(gòu)。并且，亦可省略連桿部件24，而在不干涉進行旋轉(zhuǎn)的操縱桿21而從該操縱桿21分離的位置配置第2缸體23，并在閥體9被配置于第I位置時，通過延長第2缸體23的桿31來與操縱桿21的連接部21a連接。其中，能夠利用連桿部件24在操縱桿21不干涉第2缸體23的范圍內(nèi)使第2缸體23盡可能地靠近操縱桿21，由此能夠縮短第2缸體23的行程。
[0059]并且，可在旋轉(zhuǎn)軸3上安裝2個操縱桿，以第I缸體22來旋轉(zhuǎn)I個操縱桿，并以第2缸體23來旋轉(zhuǎn)另一操縱桿。
[0060] 并且，本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)只要為具有開閉所需的真空腔室的裝置，則不限于成膜裝置而能夠應(yīng)用于任意裝置，例如，也可應(yīng)用于離子植入裝置等。
【權(quán)利要求】
1.一種成膜裝置，其使成膜材料的粒子附著于成膜對象物，該成膜裝置具備: 真空腔室，具有用于搬入搬出所述成膜對象物的孔部； 閥體，能夠在關(guān)閉所述孔部的第I位置、和不與經(jīng)所述孔部被搬入搬出的所述成膜對象物發(fā)生干涉的第2位置之間移動； 密封部件，在所述閥體配置于所述第I位置時，通過被所述閥體按壓來密封所述孔部； 第I缸體，為了開閉所述孔部而移動所述閥體；及 第2缸體，經(jīng)所述閥體按壓所述密封部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其中， 所述第2缸體的缸徑大于所述第I缸體的缸徑，且所述第2缸體的行程短于所述第I缸體的行程。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，還具備: 連結(jié)于所述 閥體的旋轉(zhuǎn)軸；及 連結(jié)于所述旋轉(zhuǎn)軸且沿該旋轉(zhuǎn)軸的徑向延伸的操縱桿， 在所述操縱桿的前端側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)軸之間連接有所述第I缸體， 在所述操縱桿的前端側(cè)連接有第2缸體，從而所述密封部件經(jīng)所述閥體被按壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其中， 所述操縱桿與所述第2缸體用連桿部件連接。
5.一種真空腔室的開閉機構(gòu)，所述真空腔室具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部，該真空腔室的開閉機構(gòu)具備: 閥體，能夠在關(guān)閉所述孔部的第I位置、和不與經(jīng)所述孔部被搬入搬出的所述成膜對象物發(fā)生干涉的第2位置之間移動； 密封部件，在所述閥體配置于所述第I位置時，通過被所述閥體按壓來密封所述孔部； 第I缸體，為了開閉所述孔部而移動所述閥體；及 第2缸體，對所述密封部件按壓所述閥體。
【文檔編號】C23C14/32GK103966568SQ201310581049
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月29日
【發(fā)明者】飯尾逸史 申請人:住友重機械工業(yè)株式會社
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠減少動作所需的能量的成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。在使閥體（9）從第2位置（P2）向第3位置（P3）移動時，第1缸體（22）動作，在使閥體（9）從第3位置（P3）向第1位置（P1）移動并經(jīng)閥體（9）按壓密封部件（11）時，第2缸體（23）動作。第1缸體（22）具有移動閥體（9）的功能，因此需要較長的行程，但不具有按壓密封部件（11）的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體（23）具有按壓密封部件（11）的功能，因此需要較大的缸徑，但不具有移動閥體（9）的功能，因此無需較長的行程。因此，能夠設(shè)為無需通過與按壓密封部件（11）時相等的力來移動閥體（9）亦可的結(jié)構(gòu)。
【專利說明】成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請主張基于2013年I月29日申請的日本專利申請第2013-014654號的優(yōu)先權(quán)。該申請的所有內(nèi)容通過參考援用于本說明書中。
[0002]本發(fā)明涉及一種成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0003]以往，作為進行真空腔室的開閉的開閉機構(gòu)，已知有專利文獻I中所記載的開閉機構(gòu)。專利文獻I的開閉機構(gòu)具備:閥體，用于堵住用于搬入搬出基板的真空腔室的孔部；O型環(huán)，通過被閥體按壓來密封孔部；及I個缸體，為了開閉孔部而移動閥體。
[0004]專利文獻1:日本特開平06-338469號公報
[0005]如上述的開閉機構(gòu)中，缸體使閥體移動至堵住孔部的位置，并且通過在該位置用閥體按壓O型環(huán)來確保孔部的氣密性。即，缸體為I個，因此該缸體同時具有移動閥體的功能和按壓O型環(huán)的功能。在此，按壓O型環(huán)需要較大的力，因此需要加大缸徑。另一方面，移動閥體需要加長缸體的行程?；谝陨侠碛桑枰獞?yīng)用行程長且缸徑大的缸體。然而，當(dāng)為這種結(jié)構(gòu)時，即使在進行移動閥體的動作時，也以與按壓O型環(huán)時相等的力進行動作，因此造成能量的浪費。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明是為了解決這種課題而完成的，其目的在于提供一種能夠減少動作所需的能量的成膜裝置及真空腔室的開閉機構(gòu)。
[0007]本發(fā)明所涉及的成膜裝置為使成膜材料的粒子附著于成膜對象物的成膜裝置，該成膜裝置具備:真空腔室，具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部；閥體，能夠在關(guān)閉孔部的第I位置、和不干涉經(jīng)孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第I位置時，通過被閥體按壓來密封孔部;第I缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，經(jīng)閥體按壓密封部件。 [0008]本發(fā)明所涉及的成膜裝置具備為了開閉真空腔室的孔部而移動閥體的第I缸體、及經(jīng)閥體按壓密封部件的第2缸體。因此，在使閥體從第2位置向比第I位置稍微更靠第2位置側(cè)的位置移動時，第I缸體動作，在使閥體移動至第I位置并經(jīng)閥體按壓密封部件時，第2缸體動作。第I缸體具有使閥體移動較長距離的功能，因此需要較長的行程，但可以不具有按壓密封部件的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體具有按壓密封部件的功能，因此需要較大的缸徑，但僅使閥體移動很小的距離即可，因此無需較長的行程。因此，無需行程長且缸徑大的缸體，從而能夠設(shè)為無需通過與按壓密封部件時相等的力來移動閥體亦可的結(jié)構(gòu)。綜上，能夠減少動作所需的能量。
[0009]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置中，與第I缸體相比，第2缸體可缸徑更大且行程更短。即，第I缸體可為缸徑較小且行程較長的結(jié)構(gòu)。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠減少動作所需的能量。[0010]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置可還具備連結(jié)于閥體的旋轉(zhuǎn)軸、及連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸且沿該旋轉(zhuǎn)軸的徑向延伸的操縱桿，且第I缸體連接于操縱桿的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸之間，而第2缸體連接于操縱桿的前端側(cè)，從而可經(jīng)閥體按壓密封部件。操縱桿連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)于閥體。并且，第I缸體連接于操縱桿的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸之間，因此通過以第I缸體移動操縱桿，旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，閥體也隨之旋轉(zhuǎn)。通過該旋轉(zhuǎn)移動，閥體能夠在第2位置、和比第I位置稍微更靠第2位置側(cè)的位置之間移動。并且，第2缸體連接于操縱桿的前端側(cè)，因此能夠經(jīng)操縱桿及旋轉(zhuǎn)軸來以閥體按壓密封部件。綜上，能夠更高效地進行閥體的開閉及密封部件的按壓。
[0011]并且，本發(fā)明所涉及的成膜裝置中，操縱桿與第2缸體可由連桿部件連接。該連桿部件連接操縱桿和第2缸體，因此即使操縱桿旋轉(zhuǎn)而其前端側(cè)靠近第2缸體，也能夠通過連桿部件來使第2缸體退避。并且，操縱桿按壓第2缸體時，能夠通過連桿部件使第2缸體靠近操縱桿側(cè)。綜上，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)使第2缸體不干涉操縱桿而順暢地對密封部件進行密封。
[0012]并且，本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)為具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部的真空腔室的開閉機構(gòu)，該真空腔室的開閉機構(gòu)具備:閥體，能夠在關(guān)閉孔部的第I位置、和不干涉經(jīng)孔部被搬入搬出的成膜對象物的第2位置之間移動；密封部件，在閥體配置于第I位置時，通過被閥體按壓來密封孔部；第I缸體，為了開閉孔部而移動閥體；及第2缸體，對密封部件按壓閥體。
[0013]根據(jù)本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)，由于具備為了真空腔室的孔部的開閉而移動閥體的第I缸體、及經(jīng)閥體按壓密封部件的第2缸體，因此起到與上述成膜裝置相同的作用效
果O
[0014]發(fā)明效果:
[0015]根據(jù)本發(fā)明，能夠減少動作所需的能量。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0016]圖1是表示本發(fā)明的實施方式所涉及的成膜裝置的側(cè)視圖。
[0017]圖2是圖1所示的開閉機構(gòu)的放大圖。
[0018]圖3是從Z軸正向觀察圖2所示的開閉機構(gòu)的圖。
[0019]圖4是沿圖2所示的IV-1V線的剖視圖。
[0020]圖5是沿圖4所示的V-V線的剖視圖。
[0021]圖6是表示相對于圖2所示的狀態(tài)，延長第I缸體的桿的狀態(tài)的圖。
[0022]圖7是表示相對于圖6所示的狀態(tài)，延長第2缸體的桿的狀態(tài)的圖。
[0023]圖8是表示比較例所涉及的開閉機構(gòu)的圖。
[0024]圖9是表示采用比較例所涉及的開閉機構(gòu)時的氣源結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0025]圖中:1_開閉機構(gòu)，3-旋轉(zhuǎn)軸，9-閥體，11-密封部件，21-操縱桿，22-第I缸體，23-第2缸體，24-連桿部件，100-成膜裝置，150-真空腔室，151-孔部。
【具體實施方式】
[0026]以下，參考附圖對基于本發(fā)明的成膜裝置的一實施方式進行詳細說明。另外，在【專利附圖】
【附圖說明】中對相同要件附加相同符號，并省略重復(fù)說明。
[0027]圖1是本實施方式所涉及的成膜裝置100的側(cè)視圖。圖1所示的成膜裝置100是用于對成膜對象物即基板101 (例如玻璃基板)實施成膜等處理的裝置。成膜裝置100是例如通過RH)法(反應(yīng)性等離子體蒸鍍法)進行成膜的裝置。成膜裝置100具備生成等離子體的等離子槍(蒸鍍源140)，并通過利用所生成的等離子體對成膜材料進行離子化并使成膜材料的粒 子附著于基板101的表面來進行成膜。為方便說明，在圖1中示出XYZ坐標(biāo)系。Y軸方向為搬送基板101的方向。Z軸方向為基板101與蒸鍍源140對置的方向。X軸方向為與Y方向及Z方向正交的方向。另外，本實施方式中，作為優(yōu)選例，例示出基板101以基板101的板厚方向成為大致鉛垂方向的方式配置于真空容器內(nèi)而被搬送的所謂臥式成膜裝置。但是，也可為在將基板101以基板101的板厚方向成為水平方向的方式立起或從立起狀態(tài)傾斜的狀態(tài)下，將基板101配置于真空腔室內(nèi)而被搬送的所謂立式成膜裝置。
[0028]成膜裝置100具備過渡腔室(load lock chamber) 121、緩沖腔室(bufferchamber) 122、成膜腔室(成膜室)123、緩沖腔室124及過渡腔室125。這些腔室121~125以該順序排列配置。所有腔室121~125作為真空腔室150而構(gòu)成，在腔室121~125的出入口設(shè)置有本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I。成膜裝置100可為排列有多個緩沖腔室122、124、成膜腔室123的結(jié)構(gòu)。并且，也可為由一系列的腔室構(gòu)成的成膜裝置。
[0029]各真空腔室121~125與用于將內(nèi)部設(shè)為適當(dāng)壓力的真空泵(未圖示)連接。并且，各真空腔室121~125中設(shè)置有用于監(jiān)視腔室內(nèi)的壓力的真空計(未圖示)。各腔室121~125與連接于真空泵的真空排氣管連通，該真空排氣管中設(shè)置有真空計。
[0030]接著，參考圖2~圖5，對本實施方式所涉及的真空腔室150 (各腔室121~125)的開閉機構(gòu)I的結(jié)構(gòu)進行詳細說明。圖2是圖1所示的開閉機構(gòu)I的放大圖。圖3是從Z軸正向觀察圖2所示的開閉機構(gòu)I的圖。圖4是沿圖2所示的IV-1V線的剖視圖。圖5是沿圖4所示的V-V線的剖視圖。另外，圖2、圖3及圖5中，示出打開閥體9的狀態(tài)，但為了使結(jié)構(gòu)明確，僅在圖4中示出用閥體9關(guān)閉孔部151的狀態(tài)。真空腔室150具有用于搬入搬出基板101的孔部151。如圖4及圖5所示，孔部151形成于基板101的搬送方向上的各真空腔室150的端壁部150a。孔部151由貫穿端壁部150a的狹縫狀的貫穿孔構(gòu)成，且形成為基板101及支承該基板101的搬送托盤能夠通過的大小。一個真空腔室150的端壁部150a和相鄰的其他真空腔室150的端壁部150a以彼此接觸的方式配置。一個真空腔室150的端壁部150a的孔部151形成在與相鄰的其他真空腔室150的端壁部150a的孔部151對應(yīng)的位置且形成為對應(yīng)的大小，并且彼此連通。
[0031]開閉機構(gòu)I構(gòu)成為能夠切換該孔部151的開閉。開閉機構(gòu)I具備開閉孔部151的開閉部2、將開閉部2支承為能夠旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸3、及對旋轉(zhuǎn)軸3賦予旋轉(zhuǎn)力的驅(qū)動部4。本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I為所謂的活瓣式腔室門。
[0032]如圖3及圖4所示，旋轉(zhuǎn)軸3在真空腔室150內(nèi)沿與孔部151的延伸方向相同的方向延伸。旋轉(zhuǎn)軸3在Z軸方向上配置于真空腔室150的上壁部150b和孔部151之間，且以從形成有孔部151的端壁部150a分離的狀態(tài)設(shè)置。旋轉(zhuǎn)軸3被固定于端壁部150a的軸承支架6支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，旋轉(zhuǎn)軸3的一側(cè)的端部3a貫穿真空腔室150的側(cè)壁部150c而延伸至真空腔室150的外側(cè)。旋轉(zhuǎn)軸3的向真空腔室150的外側(cè)延伸的部分被軸承7支承為能夠旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)軸3的另一側(cè)的端部3b被真空腔室150的側(cè)壁部150d支承為能夠旋轉(zhuǎn)(參考圖4)。另外，本實施方式中，旋轉(zhuǎn)軸3靠近上壁部150b而設(shè)置，但也可靠近下壁部150e而設(shè)置。并且，本實施方式中，驅(qū)動部4設(shè)置于真空腔室150的側(cè)壁部150c側(cè)，因此旋轉(zhuǎn)軸3的一側(cè)的端部3a從側(cè)壁部150c向外側(cè)延伸，但也可將驅(qū)動部4設(shè)置于側(cè)壁部150d偵牝此時旋轉(zhuǎn)軸3的另一側(cè)的端部3b從側(cè)壁部150d向外側(cè)延伸。
[0033]如圖4及圖5所示，開閉部2具備安裝于旋轉(zhuǎn)軸3的臂8、開閉孔部151的閥體9、及設(shè)置于閥體9的密封面9a的密封部件11。臂8沿旋轉(zhuǎn)軸3的延伸方向以預(yù)定間隔設(shè)置有多個。本實施方式中，如圖4所示設(shè)置有4個臂8，但其數(shù)量無特別限定。臂8從旋轉(zhuǎn)軸3沿徑向延伸，且在前端8a側(cè)支承閥體9。由此，旋轉(zhuǎn)軸3經(jīng)臂8連接于閥體9。
[0034]閥體9能夠隨著旋轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)而移動。閥體9能夠在關(guān)閉孔部151的第I位置Pl和打開孔部151的第2位置P2之間移動。圖5中，以雙點劃線表示的閥體9的位置相當(dāng)于第I位置P1，以實線表示的閥體9的位置相當(dāng)于第2位置P2。圖4中，以實線表示配置于第I位置Pl的狀態(tài)的閥體9。另外，第2位置P2只要為閥體9不干涉被搬入搬出的基板101 (及用于該搬入搬出的搬送托盤等機構(gòu))的位置，則可設(shè)定于任何位置。如圖5所示，本實施方式中，將閥體9從第I位置Pl開始以旋轉(zhuǎn)軸3為中心大致旋轉(zhuǎn)90°的位置設(shè)定為第2位置P2。但是，只要閥體9在第2位置P2不干涉基板101，則亦可不為大致90°。將基板搬送方向(Y軸方向)上的孔部151的延長線上的空間設(shè)為搬送空間CE時，第2位置P2上的閥體9配置于比搬送空間CE更靠外側(cè)。
[0035]閥體9具有沿孔部151的延伸方向延伸的長條形狀。閥體9形成為如下形狀及大小，即在配置于第I位置Pl時從基板搬送方向(Y軸方向)觀察，用與端壁部150a對置的面即密封面9a完全覆蓋整個孔部151 (參考圖4)。并且，閥體9具有大致梯形的截面形狀，下底側(cè)表面構(gòu)成密封面9a，在上底側(cè)表面9b支承于臂8 (參考圖5)。另外，臂8以允許一定的松動的狀態(tài)支承閥體9，以便在閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動而按壓閥體9時，通過閥體9與端壁部150a平行地碰撞來使后述的密封部件11(0型環(huán))均勻地變形，從而能夠可靠地關(guān)閉孔部151。
[0036]密封部件11由嵌入于在閥體9的密封面9a設(shè)置的槽部12的O型環(huán)構(gòu)成。密封部件11在閥體9配置于第I位置時，以與端壁部150a的孔部151周邊的邊緣部152接觸的狀態(tài)被閥體9按壓，從而密封孔部151。從Y軸方向觀察時(圖4所示的狀態(tài))，密封部件11被設(shè)置成包圍孔部151的全周。另外，密封部件11只要能夠密封孔部151就能夠應(yīng)用任意密封件，如可為覆蓋整個孔部151的彈性體板材。
[0037]如圖2及圖3所示，驅(qū)動部4具備連結(jié)于旋轉(zhuǎn)軸3的操縱桿21、為了開閉孔部151而移動閥體9的第I缸體22、經(jīng)閥體9按壓密封部件11的第2缸體23、及連接操縱桿21和第2缸體23的連桿部件24。另外，在驅(qū)動部4的構(gòu)成要件的說明中，根據(jù)閥體9配置于第2位置P2時的狀態(tài)(即圖2及圖3所示的狀態(tài))來說明位置關(guān)系和形狀等。另外，在真空腔室150的下側(cè)設(shè)置有框架體160?？蚣荏w160具備沿Y軸方向延伸的框架161、沿Z軸方向延伸的框架162、及沿X軸方向延伸的框架163。操縱桿21、第I缸體22、第2缸體23、連桿部件24及框架161、162在X軸方向上被配置于大致相同的位置(參考圖3)。
[0038] 操縱桿21是從旋轉(zhuǎn)軸3沿徑向延伸的部件。操縱桿21的基端側(cè)設(shè)置有安裝于旋轉(zhuǎn)軸3的圓筒狀的固定部件26。旋轉(zhuǎn)軸3插入于固定部件26，從而操縱桿21固定于旋轉(zhuǎn)軸3，并與該旋轉(zhuǎn)軸3 —起旋轉(zhuǎn)。操縱桿21向與開閉部2的臂8所延伸的方向相反的方向延伸。并且，從旋轉(zhuǎn)軸3的延伸方向(X軸方向)觀察時，操縱桿21作為整體由具有彎曲的形狀的板狀部件構(gòu)成，且具有從旋轉(zhuǎn)軸3朝向斜下方延伸的基端側(cè)部分21A、及從該基端側(cè)部分21A開始彎曲并朝向下方延伸的前端側(cè)部分21B (參考圖2)。前端側(cè)部分21B的前端形成有在按壓密封部件11時與第2缸體23連接的連接部21a。連接部21a以與設(shè)置在第2缸體23的前端側(cè)的銷39的外周面抵接的方式彎曲成圓弧狀。另外，操縱桿21的連接部21a與第2缸體23僅在閥體9配置于第I位置且以閥體9強力按壓密封部件11時連接(參考圖7)，在其他狀態(tài)下連接被解除，彼此分離。
[0039]第I缸體22經(jīng)由操縱桿21使旋轉(zhuǎn)軸3大致旋轉(zhuǎn)90°，從而使閥體9從比第I位置Pl稍微更靠第2位置P2側(cè)的位置(以下說明中稱作“第3位置P3”。但是由于與第I位置Pl的位置差很微小，因此在圖中省略配置于第3位置P3的開閉部2的圖示，作為與第I位置Pl大致相同的位置來表示)向第2位置P2移動、或從第2位置P2向第3位置P3移動。本實施方式中，作為第I缸體22，應(yīng)用了由桿27及筒體28構(gòu)成的氣缸。另外，作為第I缸體22，可應(yīng)用液壓式或電動式缸體。第I缸體22連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間。具體而言，第I缸體22的桿27的前端的接頭部27a在操縱桿21的基端側(cè)部分21A與前端側(cè)部分21B的邊界部附近且操縱桿21的內(nèi)緣21b側(cè)的位置，通過沿X軸方向延伸的銷被連接成能夠旋轉(zhuǎn)。另一方面，第I缸體22的筒體28的前端的接頭部28a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于在框架體160的沿Z軸方向延伸的框架162的側(cè)面設(shè)置的支架29。另外，第I缸體22相對于Z軸大致平行地從支架29朝向操縱桿21延伸。第I缸體22的桿27從筒體28朝向Z軸正向延伸，從而操縱桿21也向Z軸正向被頂出，由此旋轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)(參考圖6及圖7)。
[0040]第2缸體23在閥體9配置于第I位置Pl時用閥體9按壓密封部件11。本實施方式中，作為第2缸體23，應(yīng)用了由桿31及筒體32構(gòu)成的氣缸。另外，作為第2缸體23，也可應(yīng)用液壓式或電動式缸體。第2缸體23中，連桿部件24的一端部24a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于桿31的根底部分。另外，接頭部31a的前端以沿X軸方向?qū)χ玫姆绞奖环殖?個片部38，兩片部38之間設(shè)置有沿X軸方向延伸的銷39 (參考圖3)。通過第2缸體23經(jīng)閥體9按壓密封部件11時，該銷39與操縱桿21的前端的連接部21a接觸，并壓入于該連接部21a。另一方面，第2缸體23的筒體32的下端的接頭部32a通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于在框架體160的沿Y軸方向延伸的框架161的上面設(shè)置的支架33。另外，第2缸體23在經(jīng)連桿部件24支承于操縱桿21的狀態(tài)下，從支架33朝向操縱桿21側(cè)的斜上方延伸。該狀態(tài)下，第2缸體23以在與操縱桿21的外緣21c之間形成間隙的方式從操縱桿21分離。第2缸體23的缸徑大于第I缸體22的缸徑。因此，第2缸體23能夠產(chǎn)生比第I缸體22更大的力。并且，第2缸體23的行程短于第I缸體22的行程。第2缸體23將通過第I缸體22移動至密封部件11與端壁部150a接觸的位置(相當(dāng)于第3位置P3)的閥體9進一步壓入來使其移動至第I位置P1，從而以閥體9強力按壓密封部件11來壓扁密封部件11，因此行程可較短。
[0041]連桿部件24用于在閥體9從第2位置P2向第I位置移動的過程中，以操縱桿21不干涉第2缸體23的方式隨著操縱桿21的旋轉(zhuǎn)在第2缸體23與操縱桿21之間設(shè)置間隔。連桿部件24為長條的板狀部件，且以從X軸方向上的兩側(cè)夾住操縱桿21及第2缸體23的接頭部31a的方式設(shè)置有I對。連桿部件24的一端部24a如前所述，通過在X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于第2缸體23的桿31的根底部分。連桿部件24的另一端部24b通過沿X軸方向延伸的銷，能夠旋轉(zhuǎn)地連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間。另一端部24b的相對于操縱桿21的連接位置被設(shè)定于操縱桿21的基端側(cè)部分21A與前端側(cè)部分2IB之間的邊界部附近且與第I缸體22的接頭部27a的相對于操縱桿21的連接位置沿Z軸正向相鄰的位置。連桿部件24以從另一端部24b朝向一端部24a向斜上方傾斜的狀態(tài)延伸。由此，第2缸體23配置于從操縱桿21的外緣21c分離的位置。另外，形成于操縱桿21的外緣21c與第2缸體23之間的間隙的大小確保為在使閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動的過程中，操縱桿21的前端側(cè)部分21B及連接部21a能夠不干涉第2缸體23而通過該間隙的程度的大小。
[0042]接著，參考圖2、圖6及圖7對通過驅(qū)動部4的驅(qū)動用閥體9關(guān)閉孔部151時的動作進行說明。另外，利用各缸體22、23的行程終點的位置所設(shè)置的感測器的檢測結(jié)果來控制第I缸體22及第2缸體23的作動開始時刻。
[0043]首先，從閥體9配置于第2位置P2的圖2所示的狀態(tài)開始，如圖6所示，第I缸體22的桿27向方向Dl延伸(移動)。由此，操縱桿21向方向D2旋轉(zhuǎn)，隨著該操縱桿21的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸3也旋轉(zhuǎn)。通過旋轉(zhuǎn)軸3的旋轉(zhuǎn)，閥體9向方向D3移動，并從第2位置P2向第3位置P3移動。
[0044]此時，隨著操縱桿21的旋轉(zhuǎn)，連桿部件24的另一端部24b與操縱桿21的連接位置也以圓弧狀移動，第2缸體23也沿方向D4移動。連桿部件24維持第2缸體23從操縱桿21分離預(yù)定距離的狀態(tài)。因此，隨著操縱桿21的前端側(cè)的連接部21a靠近第2缸體23，第2缸體23以遠離的方式移動。圖6的虛線DL示出操縱桿21的前端的連接部21a的軌跡。在圖6中以雙點劃線 示出操縱桿21的前端的連接部21a最靠近第2缸體23的狀態(tài)下的第2缸體23的位置。如此，在連接部21a最靠近第2缸體23的狀態(tài)下，第2缸體23通過被連桿部件24推壓而退避至以雙點劃線所示的位置。由此，連接部21a不會干涉第2缸體23，且操縱桿21能夠向方向Dl移動。另一方面，若操縱桿21經(jīng)過了最靠近第2缸體23的位置，則第2缸體23被向操縱桿21側(cè)拉進。操縱桿21旋轉(zhuǎn)至閥體9成為配置于第3位置P3 (比圖中所示的第I位置Pl稍微更靠第2位置P2側(cè)的位置)的狀態(tài)時，如圖6所示，操縱桿21的前端的連接部21a與第2缸體23的桿31的接頭部31a的前端成為對置的狀態(tài)。
[0045]接著，如圖7所示，第2缸體23的桿31向方向D5延伸。由此，第2缸體23的桿31的接頭部31a與操縱桿21的連接部21a連接，并且操縱桿21向方向D5側(cè)被壓入。由此，閥體9向方向D6側(cè)被壓入而配置于第I位置P1，并且密封部件11被強力按壓而變形。從而，通過閥體9及密封部件11，孔部151以確保了氣密性的狀態(tài)被密封。另外，開放孔部151時，各缸體22、23的桿27、31以與上述動作順序相反的順序收縮。
[0046]接著，對本實施方式所涉及的成膜裝置100及開閉機構(gòu)I的作用效果進行說明。
[0047]首先，利用圖8及圖9對比較例所涉及的成膜裝置的開閉機構(gòu)200進行說明。如圖8所示，比較例所涉及的開閉機構(gòu)200由I根缸體222、及連接于旋轉(zhuǎn)軸3的操縱桿221構(gòu)成。該開閉機構(gòu)200的缸體222具備使閥體9在第3位置P3與第2位置P2之間移動的功能、及使閥體9從第3位置P3向第I位置Pl移動來通過閥體9按壓密封部件11的功能這2種功能。圖8中，以實線表示閥體9配置于第2位置P2時的操縱桿221及缸體222的狀態(tài)，以雙點劃線表示閥體9配置于第I位置Pl時的操縱桿221及缸體222的狀態(tài)。如圖8所示，缸體222的桿227從筒體228延伸，從而操縱桿221向方向D7旋轉(zhuǎn)，隨此閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動。并且，在密封部件11接觸側(cè)壁部的壁面后，缸體222的桿227仍進一步延伸，從而使閥體9向第I位置Pl移動來按壓密封部件11。
[0048]在此，缸體222所具有的2個功能中，使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的功能無需較大的力度(例如，用于按壓密封部件11所需的力度的1/5~1/6左右就足夠)，但卻需要較長的行程。另一方面，按壓密封部件11的功能無需較長的行程，但卻需要較大的力。即，需要較大的缸徑。然而，I個缸體222具有2種功能，因此行程被設(shè)定為用于發(fā)揮使閥體9從第2位置P2向第I位置Pl移動的功能的長度，缸徑被設(shè)定為用于發(fā)揮按壓密封部件11的功能的大小。因此，作為缸體222，需要應(yīng)用行程長且缸徑大的缸體。從而，缸體222在進行使閥體9從 第2位置P2向第3位置P3移動的動作時，也以與按壓密封部件11時相等的力進行動作，因此導(dǎo)致能量的浪費。將氣缸用作缸體222時，空氣供給量多于所需量。
[0049]而且，隨著近年來基板尺寸的大型化，閥體9的長度變長，隨此而產(chǎn)生了缸體222的尺寸(行程及缸徑)變大，一次動作中所需的空氣(為壓縮空氣，0.4~0.5MPa左右)的供給量增加，且運轉(zhuǎn)成本增加等問題。并且，在成膜裝置的運轉(zhuǎn)中，出現(xiàn)多個真空腔室150中的開閉機構(gòu)200同時作動的時刻(例如，4處的開閉機構(gòu)200同時開閉)，該時刻的空氣供給量不足時，產(chǎn)生因閥體9的按壓力下降而使閥體9暫時打開，從而在真空腔室150產(chǎn)生泄漏等問題。
[0050]為了解決這種問題，如圖9所示，需要追加用于補充暫時的空氣供給量不足的輔助罐201，或為了增加空氣供給量本身而謀求調(diào)節(jié)器203的尺寸加大。并且，在排氣面，為了通過增加空氣供給量來降低排氣配管側(cè)的背壓，需要擴大空氣的返回配管204的管徑，從而需要增加配置空間及最初成本?；蛘撸枰O(shè)置大氣開放過濾器202，以能夠向大氣中(絕對無塵室中)排氣。
[0051]另一方面，本實施方式所涉及的成膜裝置100及開閉機構(gòu)I具備為了真空腔室150的孔部151的開閉而使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的第I缸體22、及經(jīng)閥體9按壓密封部件11的第2缸體23。因此，使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動時，第I缸體22動作，使閥體9從第3位置P3向第I位置Pl移動并經(jīng)閥體9按壓密封部件11時，第2缸體23動作。第I缸體22具有使閥體9從第2位置P2向第3位置P3移動的功能，因此需要較長的行程，但由于也可以不具有按壓密封部件11的功能，因此無需較大的缸徑。另一方面，第2缸體23具有按壓密封部件11的功能，因此需要較大的缸徑，但只要使閥體9從第3位置P3移動至第I位置Pl為止的很短的距離(壓扁與端壁部150a接觸的密封部件11的行程)即可，因此無需較長的行程。從而，不需要行程長且缸徑大的缸體，因此能夠設(shè)為如圖8所示的開閉機構(gòu)200，無需通過與按壓密封部件11時相等的力移動閥體9亦可的結(jié)構(gòu)。綜上,能夠減少動作所需的能量。
[0052]通過采用本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)1，與圖8所示的比較例所涉及的開閉機構(gòu)200相比較，能夠?qū)⒖諝獾男枰繙p少1/5~1/6左右，且能夠有助于運轉(zhuǎn)成本的減少及節(jié)能化。尤其在成膜裝置100中，多個缸體22、23在短時間內(nèi)連續(xù)運轉(zhuǎn)，因此減少空氣供給量的效果更加顯著。[0053]由于能夠如上述減少能量，因此能夠解決空氣供給的不足。即，如圖9所示，無需進行輔助罐201的追加、調(diào)節(jié)器203的尺寸放大、排氣用配管204的管徑擴大、及大氣開放過濾器202的追加等，因此能夠降低成本，并且實現(xiàn)空氣配管系統(tǒng)的省空間化。另外，本實施方式所涉及的開閉機構(gòu)I中，由于需要第2缸體23、連桿部件24及氣缸控制用電磁閥等，因此最初成本增加，但由于不需要用于應(yīng)對如圖9的空氣供給不足的對策，因此成本可充分地相互抵消。
[0054]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100中，與第I缸體22相比，第2缸體23的缸徑更大且行程更短。即，第I缸體22成為缸徑小但行程長的結(jié)構(gòu)。通過這種結(jié)構(gòu)，能夠減少動作所需的能量。并且，長行程的第I缸體22的缸徑較小，因此能夠通過缸徑較小的第I缸體22來進行因基于長行程的壽命磨損而產(chǎn)生的缸體更換。由此，能夠減少運轉(zhuǎn)成本。
[0055]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100還具備連結(jié)于閥體9的旋轉(zhuǎn)軸3、及連接于旋轉(zhuǎn)軸3且沿該旋轉(zhuǎn)軸3的徑向延伸的操縱桿21。并且，第I缸體22被連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間，第2缸體23連接于操縱桿21的前端側(cè)，由此經(jīng)閥體9按壓密封部件11。操縱桿21被連接于旋轉(zhuǎn)軸3，旋轉(zhuǎn)軸3連接于閥體9。并且，第I缸體22被連接于操縱桿21的前端側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸3之間，因此通過以第I缸體22移動操縱桿21，旋轉(zhuǎn)軸3旋轉(zhuǎn)，閥體9也隨之旋轉(zhuǎn)。通過該旋轉(zhuǎn)移動，閥體9能夠在第3位置P3與第2位置P2之間移動。并且，第2缸體23連接于操縱桿21的前端側(cè)的連接部21a，因此能夠經(jīng)操縱桿21及旋轉(zhuǎn)軸3通過閥體強力按壓密封部件11。綜上，能夠有效地進行閥體9的開閉及密封部件11的按壓。
[0056]并且，本實施方式所涉及的成膜裝置100中，操縱桿21與第2缸體23通過連桿部件24連接。該連桿部件24連接操縱桿21與第2缸體23，因此即使操縱桿21旋轉(zhuǎn)而靠近第2缸體23，也能夠通過連桿部件24來使第2缸體23退避。并且，第2缸體23按壓操縱桿21時，能夠通過連桿部件24使第2缸體23靠近操縱桿21側(cè)。綜上，能夠以簡單的結(jié)構(gòu)使第2缸體23不干涉操縱桿21而順暢地對密封部件11進行密封。
[0057]本發(fā)明并非限定于上述實施方式。
[0058]例如，上述實施方式中已說明的結(jié)構(gòu)只是一個例子，只要能夠通過缸體22、23進行閥體9的開閉及密封部件11的按壓，則操縱桿的形狀或連接位置、缸體22、23的長度和與框架體160的固定位置等可為任意結(jié)構(gòu)。并且，也可設(shè)為不經(jīng)由操縱桿21而直接以缸體22、23來驅(qū)動閥體9的結(jié)構(gòu)。并且，亦可省略連桿部件24，而在不干涉進行旋轉(zhuǎn)的操縱桿21而從該操縱桿21分離的位置配置第2缸體23，并在閥體9被配置于第I位置時，通過延長第2缸體23的桿31來與操縱桿21的連接部21a連接。其中，能夠利用連桿部件24在操縱桿21不干涉第2缸體23的范圍內(nèi)使第2缸體23盡可能地靠近操縱桿21，由此能夠縮短第2缸體23的行程。
[0059]并且，可在旋轉(zhuǎn)軸3上安裝2個操縱桿，以第I缸體22來旋轉(zhuǎn)I個操縱桿，并以第2缸體23來旋轉(zhuǎn)另一操縱桿。
[0060] 并且，本發(fā)明所涉及的開閉機構(gòu)只要為具有開閉所需的真空腔室的裝置，則不限于成膜裝置而能夠應(yīng)用于任意裝置，例如，也可應(yīng)用于離子植入裝置等。
【權(quán)利要求】
1.一種成膜裝置，其使成膜材料的粒子附著于成膜對象物，該成膜裝置具備: 真空腔室，具有用于搬入搬出所述成膜對象物的孔部； 閥體，能夠在關(guān)閉所述孔部的第I位置、和不與經(jīng)所述孔部被搬入搬出的所述成膜對象物發(fā)生干涉的第2位置之間移動； 密封部件，在所述閥體配置于所述第I位置時，通過被所述閥體按壓來密封所述孔部； 第I缸體，為了開閉所述孔部而移動所述閥體；及 第2缸體，經(jīng)所述閥體按壓所述密封部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其中， 所述第2缸體的缸徑大于所述第I缸體的缸徑，且所述第2缸體的行程短于所述第I缸體的行程。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的成膜裝置，還具備: 連結(jié)于所述 閥體的旋轉(zhuǎn)軸；及 連結(jié)于所述旋轉(zhuǎn)軸且沿該旋轉(zhuǎn)軸的徑向延伸的操縱桿， 在所述操縱桿的前端側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)軸之間連接有所述第I缸體， 在所述操縱桿的前端側(cè)連接有第2缸體，從而所述密封部件經(jīng)所述閥體被按壓。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其中， 所述操縱桿與所述第2缸體用連桿部件連接。
5.一種真空腔室的開閉機構(gòu)，所述真空腔室具有用于搬入搬出成膜對象物的孔部，該真空腔室的開閉機構(gòu)具備: 閥體，能夠在關(guān)閉所述孔部的第I位置、和不與經(jīng)所述孔部被搬入搬出的所述成膜對象物發(fā)生干涉的第2位置之間移動； 密封部件，在所述閥體配置于所述第I位置時，通過被所述閥體按壓來密封所述孔部； 第I缸體，為了開閉所述孔部而移動所述閥體；及 第2缸體，對所述密封部件按壓所述閥體。
【文檔編號】C23C14/32GK103966568SQ201310581049
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月29日
【發(fā)明者】飯尾逸史 申請人:住友重機械工業(yè)株式會社
相關(guān)技術(shù)
網(wǎng)友詢問留言
已有0條留言
- 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊！
1