沉積設(shè)備的制作方法
【專利摘要】一種沉積設(shè)備包括：基底支承件，構(gòu)造為支承基底；沉積源，構(gòu)造為供應(yīng)沉積材料；傳感器單元，構(gòu)造為感測(cè)沉積材料的沉積量；第一防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第一磁單元；第二防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第二磁單元；和第三防附著板，結(jié)合到第一防附著板和第二防附著板，處于傳感器單元下面，并且包括一個(gè)或多個(gè)第三磁單元，其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板通過第一磁單元、第二磁單元和第三磁單元彼此結(jié)合，毗鄰第一磁單元、第二磁單元和第三磁單元中的各個(gè)磁單元，并且其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板共同地覆蓋傳感器單元的一部分。
【專利說明】沉積設(shè)備
[0001] 本專利申請(qǐng)要求于2013年4月3日提交的第10-2013-0036529號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng) 的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該專利申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過引用被包含于此。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本公開涉及沉積設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0003] 近年來，有機(jī)發(fā)光顯示器因其優(yōu)異的亮度和視角并且因?yàn)楫?dāng)與液晶顯示器相比時(shí) 它不需要包括單獨(dú)的光源而突出地作為下一代顯示裝置。因此，有機(jī)發(fā)光顯示器具有纖薄 且重量輕的優(yōu)點(diǎn)。另外，有機(jī)發(fā)光顯示器具有諸如快速響應(yīng)速度、低功耗、高亮度等的特性。
[0004] 有機(jī)發(fā)光顯示器包括有機(jī)發(fā)光器件，有機(jī)發(fā)光器件包括陽極、有機(jī)發(fā)光層和陰極。 空穴和電子分別通過陽極和陰極注入有機(jī)發(fā)光層，并且在有機(jī)發(fā)光層中復(fù)合，產(chǎn)生激子（電 子-空穴對(duì))。激子發(fā)射能量，當(dāng)從激發(fā)態(tài)返回到基態(tài)時(shí)能量以光的形式釋放。
[0005] 用于制造有機(jī)發(fā)光顯示器的沉積設(shè)備包括用于向基底上供應(yīng)沉積材料的沉積源 和用于測(cè)量沉積在基底上的沉積材料的厚度的傳感器單元。傳感器單元測(cè)量從沉積源蒸發(fā) 的沉積材料的量，并且測(cè)量沉積材料的沉積速度。沉積在基底上的沉積材料的厚度取決于 蒸發(fā)量和沉積速度。從沉積源供應(yīng)到基底的沉積材料堆疊在傳感器單元上，成為污染物。因 此，傳感器單元發(fā)生故障。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明提供了一種具有防附著板的沉積裝置，所述防附著板能容易地附著和脫離 同時(shí)保護(hù)傳感器單元。
[0007] 本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例提供了一種沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備包括：基底支承件，構(gòu)造 為支承基底；沉積源，構(gòu)造為向基底供應(yīng)沉積材料；傳感器單元，構(gòu)造為接收沉積材料的一 部分，以感測(cè)沉積材料的沉積量；第一防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第 一磁單元；第二防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第二磁單元，第二防附著 板相對(duì)于傳感器單元與第一防附著板相對(duì)；和第三防附著板，結(jié)合到第一防附著板和第二 防附著板，處于傳感器單元下面，并且包括一個(gè)或多個(gè)第三磁單元，其中，第一防附著板、第 二防附著板和第三防附著板通過第一磁單元、第二磁單元和第三磁單元彼此結(jié)合，Btt鄰第 一磁單元、第二磁單元和第三磁單元中的相應(yīng)磁單元，并且其中，第一防附著板、第二防附 著板和第三防附著板共同地覆蓋傳感器單元的一部分。
[0008] 傳感器單元可包括：第一支承件；第二支承件，結(jié)合到第一支承件的下表面和第 一防附著板，在第一方向上縱向延伸并且在第二方向上橫向延伸，第二方向基本上垂直于 第一方向；第三支承件，與第二支承件的一端相鄰并且結(jié)合到第二支承件的下表面，在第 一方向上橫向延伸并且在第三方向上縱向延伸，第三方向基本上垂直于第一方向和第二方 向；傳感器殼體，用于容納傳感器單元；傳感器蓋，結(jié)合到傳感器殼體并且限定傳感器單元 接收的沉積材料的一部分從中經(jīng)過的孔；和傳感器連接件，結(jié)合第三支承件和傳感器殼體。
[0009] 所述沉積設(shè)備還可包括真空室，其中，基底支承件被構(gòu)造為致使基底面對(duì)真空室 中的沉積源，并且其中，第一支承件的上表面結(jié)合到真空室并且被構(gòu)造為與基底相鄰。
[0010] 第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板可覆蓋第二支承件的側(cè)邊緣、第三 支承件、傳感器連接件、傳感器殼體和傳感器蓋的一部分，并且第一防附著板、第二防附著 板和第三防附著板可暴露傳感器蓋的下端的區(qū)域。
[0011] 第一防附著板還可包括：第一-第一子板，基本上平行于第二支承件的前表面，第 二支承件的前表面基本上垂直于第二支承件的上表面并且在第一方向上延伸；第一-第二 子板，基本上平行于第二支承件的左表面，第二支承件的左表面基本上垂直于第二支承件 的上表面并且在第二方向上延伸；第一-第三子板，基本上平行于第二支承件的右表面，第 二支承件的右表面與第二支承件的左表面相對(duì)；第一連接單元，結(jié)合到第一-第二子板的 上部并且在第一方向上延伸；和第二連接單元，結(jié)合到第一-第三子板的上部并且在第一 方向上延伸，其中，第一磁單兀位于第一 -第二子板和第一-第三子板上，其中，第一-第二 子板的一端和第一-第三子板的一端結(jié)合到第一-第一子板的相應(yīng)邊緣，其中，第一-第二 子板和第一-第三子板在第二方向上延伸成比第二支承件遠(yuǎn)，并且其中，第一-第一子板至 第一-第三子板在第三方向上延伸以疊置第二支承件和第三支承件。
[0012] 第一-第一子板的上部的內(nèi)表面可接觸第二支承件的前表面，第一-第二子板的 上部的內(nèi)表面可接觸第二支承件的左表面，第一-第三子板的上部的內(nèi)表面可接觸第二支 承件的右表面，并且第一連接單元和第二連接單元中的每個(gè)的下表面可接觸第二支承件的 上表面。
[0013] 第一磁單元可包括：第一-第一磁單元和第一-第二磁單元，在第一-第二子板的 另一端的內(nèi)表面上彼此分隔開；第一-第三磁單元和第一-第四磁單元，在第一-第三子板 的另一端的內(nèi)表面上彼此分隔開；第一-第五磁單元，在第一-第二子板的與一端相鄰的下 部的內(nèi)表面上；和第一-第六磁單兀，在第一-第三子板的與一端相鄰的下部的內(nèi)表面上。
[0014] 第二防附著板還可包括：第二-第一子板，面對(duì)與第二支承件的前表面相對(duì)的第 二支承件的后表面；第二-第二子板，基本上平行于第二支承件的左表面；和第二-第三子 板，基本上平行于第二支承件的右表面，其中，第二磁單元在第二-第二子板和第二-第三 子板上，其中，第二-第二子板和第二-第三子板在第三方向上延伸，以疊置第二支承件和 第三支承件，其中，第二-第二子板的與一端相鄰的內(nèi)表面接觸第一-第二子板的與另一端 相鄰的外表面，其中，第二-第三子板的與一端相鄰的內(nèi)表面接觸第一-第三子板的與另一 端相鄰的外表面，并且其中，第二-第二子板的另一端和第二-第三子板的另一端結(jié)合到第 二-第一子板。
[0015] 第二磁單元可包括：第二-第一磁單元和第二-第二磁單元，在第二-第二子板的 與一端相鄰的外表面上；第二-第三磁單元和第二-第四磁單元，在第二-第三子板的與一 端相鄰的外表面上；第二-第五磁單元，在第二-第二子板的與另一端相鄰的下部的內(nèi)表面 上；和第二-第六磁單元，在第二-第三子板的與另一端相鄰的下部的內(nèi)表面上，其中，第 一-第一磁單元至第一-第四磁單元分別疊置第二-第一磁單元至第二-第四磁單元，并 且其中，第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和第二-第一磁單元至第二-第四磁單元 的相應(yīng)極性允許在第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和第二-第一磁單元至第二-第 四磁單元中的相應(yīng)疊置的磁單元之間形成吸引力。
[0016] 第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和第二-第一磁單元至第二-第四磁單元 可在第三方向上縱向延伸并且可在第二方向上橫向延伸。
[0017] 第三防附著板還可包括：第三-第一子板，面對(duì)第二支承件的下表面；第三-第二 子板，基本上平行于第二支承件的前表面；第三-第三子板，與第三-第二子板相對(duì)并且基 本上平行于第二支承件的后表面；第三-第四子板和第三-第五子板，基本上平行于第二 支承件的左表面；第三-第六子板和第三-第七子板，分別與第三-第四子板和第三-第 五子板相對(duì)并且基本上平行于第二支承件的右表面；第一彎曲板，用于結(jié)合第三-第四子 板和第三-第五子板，第一彎曲板基本上平行于第二-第二子板的一端的側(cè)邊緣并且結(jié)合 到第二-第二子板的一端的側(cè)邊緣的下部；以及第二彎曲板，用于結(jié)合第三-第六子板和 第三-第七子板，第二彎曲板基本上平行于第二-第三子板的一端的側(cè)邊緣并且結(jié)合到第 二- 第三子板的一端的側(cè)邊緣的下部，其中，第三磁單元在第三-第四子板至第三-第七子 板上，其中，第三-第二子板至第三-第七子板的下部和第一彎曲板和第二彎曲板結(jié)合到第 三- 第一子板的邊界表面，其中，第三-第二子板、第三-第四子板和第三-第六子板彼此結(jié) 合并且分別結(jié)合到第一-第一子板、第一-第二子板和第一-第三子板的下部，并且其中， 第三-第三子板、第三-第五子板和第三-第七子板彼此結(jié)合并且分別結(jié)合到第二-第一 子板、第二-第二子板和第二-第三子板的下部。
[0018] 第三-第二子板的上部的內(nèi)表面可接觸第一-第一子板的下部的外表面，第 三-第三子板的上部的內(nèi)表面可接觸第二-第一子板的下部的外表面，第三-第四子板的 上部的內(nèi)表面可接觸第一-第二子板的下部的外表面，第三-第五子板的上部的內(nèi)表面可 接觸第二-第二子板的下部的外表面，第三-第六子板的上部的內(nèi)表面可接觸第一-第三 子板的下部的外表面，第三-第七子板的上部的內(nèi)表面可接觸第二-第三子板的下部的外 表面，第一彎曲板的上部的內(nèi)表面可接觸第二-第二子板的一端的側(cè)表面的下部，并且第 二彎曲板的上部的內(nèi)表面可接觸第二-第三子板的一端的側(cè)表面的下部。
[0019] 第三-第四子板的一端和第三-第六子板的一端可結(jié)合到第三-第二子板，第一 彎曲板可結(jié)合第三-第四子板的另一端和第三-第五子板的一端，第二彎曲板可結(jié)合第 三-第六子板的另一端和第三-第七子板的一端，第三-第五子板的另一端和第三-第七 子板的另一端可結(jié)合到第三-第三子板，第三-第四子板的內(nèi)表面和第三-第六子板的內(nèi) 表面之間的距離可基本上等于第一-第二子板的外表面和第一-第三子板的外表面之間的 距離，并且第三-第五子板的內(nèi)表面和第三-第七子板的內(nèi)表面之間的距離可基本上等于 第二-第二子板的外表面和第二-第三子板的外表面之間的距離。
[0020] 第三磁單元可包括：第三-第一磁單元，在第三-第四子板的一端的上部的外表 面上；第三-第二磁單元，在第三-第五子板的與另一端相鄰的上部的外表面上；第三-第 三磁單元，在第三-第六子板的與一端相鄰的上部的外表面上；和第三-第四磁單元，在第 三-第七子板的與另一端相鄰的上部的外表面上，其中，第三-第一磁單元、第三-第二磁 單元、第三-第三磁單元和第三-第四磁單元分別疊置第一-第五磁單元、第二-第五磁單 元、第一-第六磁單元和第二-第六磁單元，并且第三-第一磁單元、第三-第二磁單元、第 三-第三磁單元、第三-第四磁單元、第一-第五磁單元、第二-第五磁單元、第一-第六磁 單元和第二-第六磁單元的相應(yīng)的極性允許在第三-第一磁單元、第三-第二磁單元、第 三-第三磁單元、第三-第四磁單元、第一-第五磁單元、第二-第五磁單元、第一-第六磁 單元和第二-第六磁單元中的相應(yīng)疊置的磁單元之間形成吸引力。
[0021] 第一-第五磁單元、第一-第六磁單元、第二-第五磁單元、第二-第六磁單元和 第三-第一磁單元至第三-第四磁單元可在第二方向上縱向延伸并且可在第三方向上橫向 延伸。
[0022] 第三-第一子板可限定用于暴露傳感器蓋的下部的區(qū)域的開口區(qū)。
[0023] 開口區(qū)可在第二方向上縱向延伸并且可在第一方向上橫向延伸，并且傳感器連接 件可被構(gòu)造為移動(dòng)傳感器殼體，以在第二方向上移動(dòng)傳感器蓋。
[0024] 因此，本發(fā)明的實(shí)施例的沉積設(shè)備包括防附著板，防附著板可以容易地附著和脫 離傳感器裝置并且保護(hù)傳感器裝置。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0025] 通過參照下面結(jié)合附圖考慮的詳細(xì)描述，本公開的以上和其它優(yōu)點(diǎn)將變得容易明 白，在附圖中：
[0026] 圖1是示出根據(jù)本公開的示例性實(shí)施例的沉積設(shè)備的視圖；
[0027] 圖2是示出圖1中示出的實(shí)施例的傳感器裝置的分解透視圖；
[0028] 圖3是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的結(jié)合到第一防附著板的傳感器單元的透視圖；
[0029] 圖4是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的結(jié)合到第一防附著板的第二防附著板的透視 圖；
[0030] 圖5是沿著圖4中示出的Ι-Γ線截取的剖視圖；
[0031] 圖6是示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的結(jié)合到彼此結(jié)合的第一防附著板和第二防附 著板的第三防附著板的透視圖；
[0032] 圖7是沿著圖6中示出的ΙΙ-ΙΓ線截取的剖視圖；
[0033] 圖8是沿著圖6中示出的ΙΙΙ-ΙΙΓ線截取的剖視圖；和
[0034] 圖9是示出圖1中示出的實(shí)施例的傳感器裝置的下平面圖。

【具體實(shí)施方式】
[0035] 下文中，將參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。
[0036] 圖1是示出根據(jù)本公開的示例性實(shí)施例的沉積設(shè)備的視圖。
[0037] 參照?qǐng)D1，沉積設(shè)備100包括真空室10、沉積源110、基底120和傳感器裝置130。
[0038] 真空室10減少或防止外來物質(zhì)進(jìn)入，并且保持高真空狀態(tài)以確保沉積材料的線 性。
[0039] 沉積源110位于真空室10的下部處。為了便于說明，在圖1中只示出一個(gè)沉積源 110,盡管沉積源的數(shù)量不限于一個(gè)。沉積材料例如有機(jī)材料、金屬材料等被包含在沉積源 110中并且將被沉積到基底120上。沉積源110將沉積材料蒸發(fā)至基底120。
[0040] 沉積源110包括熔罐111、熔罐111中的沉積材料112和噴嘴113,噴嘴113用于 蒸發(fā)/噴出從熔罐111蒸發(fā)出的沉積材料112以將材料112傳遞到基底120。噴嘴113位 于沉積源110的上表面處。盡管在圖中未示出，但沉積源110可在熔罐111內(nèi)部包括加熱 器，用于蒸發(fā)填充在熔罐111中的沉積材料112。
[0041] 基底120在真空室10中位于上部，面對(duì)沉積源110?；?20被基底支承件20固 定到真空室10的上部。
[0042] 傳感器裝置130與基底120相鄰并且結(jié)合到真空室10的上部。傳感器裝置130 接收/感測(cè)從沉積源110蒸發(fā)出的沉積材料112的一部分，以感測(cè)沉積在基底120上的沉 積材料112的厚度。
[0043] 傳感器裝置130包括用于感測(cè)沉積材料112的沉積量的傳感器單元S_U和用于覆 蓋傳感器單元s_u的區(qū)域的防附著板P。圖1示出傳感器單元S_U的沒有被防附著板P覆 蓋的區(qū)域，但并沒有示出被防附著板P覆蓋的傳感器單元S_U。隨后，將參照?qǐng)D2詳細(xì)描述 傳感器單元S_u和防附著板P。
[0044] 熔罐111中的沉積材料112因熔罐111內(nèi)部的加熱器的熱而被蒸發(fā)，并且通過噴 嘴113從熔罐111蒸發(fā)/噴出。通過噴嘴113蒸發(fā)的沉積材料112沉積到基底120上。另 夕卜，通過沉積源110的噴嘴113蒸發(fā)的沉積材料112 (例如，其一部分）被提供到傳感器裝 置130或者被傳感器裝置130接收。
[0045] 通過沉積源110的噴嘴113蒸發(fā)的沉積材料112沒有堆疊/聚集在與被防附著板 P覆蓋的區(qū)域?qū)?yīng)的傳感器單元S_u上。因此，傳感器單元S_U的區(qū)域可以受到防附著板P 的保護(hù)。
[0046] 傳感器裝置130測(cè)量通過噴嘴113蒸發(fā)到基底120的沉積材料112的蒸發(fā)量和沉 積速度。沉積在基底120上的沉積材料112的厚度對(duì)應(yīng)于蒸發(fā)量和沉積速度。
[0047] 盡管在圖中未示出，但傳感器位于傳感器裝置130的傳感器單元S_U中。通過噴 嘴113蒸發(fā)的沉積材料112通過穿過傳感器單元S_U的孔被提供到傳感器單元S_U的傳感 器。將參照?qǐng)D2詳細(xì)描述傳感器單元S_U的這種結(jié)構(gòu)。由堆疊/聚集在傳感器上的沉積材 料112的量來確定/估計(jì)沉積在基底120上的沉積材料112的厚度(例如，對(duì)應(yīng)厚度)。
[0048] 可以使用晶體振蕩器作為傳感器單元S_U的傳感器。隨著沉積在晶體振蕩器的表 面上的沉積材料112的量增加，晶體振蕩器的振蕩頻率變化或減小。通過感測(cè)晶體振蕩器 的振蕩頻率的變化來測(cè)量/估計(jì)沉積材料112的沉積量和沉積速度。盡管在圖中未示出， 但晶體振蕩器的振蕩頻率的變化被施加到外部控制器。控制器基于晶體振蕩器的振蕩頻率 的變化來計(jì)算沉積材料112的沉積量和沉積速度。
[0049] 當(dāng)沉積在晶體振蕩器表面上的沉積材料112的厚度超過給定厚度時(shí)，晶體振蕩器 會(huì)變得不可用。也就是說，當(dāng)由于沉積在傳感器單元S_u的傳感器表面上的沉積材料112 的量而減小的晶體振蕩器的振蕩頻率減小至低于給定的/用戶選擇的振蕩頻率時(shí)，可以用 另一個(gè)傳感器來更換該傳感器。
[0050] 為了更換該傳感器，可以將防附著板P和傳感器單元S_U分開?？梢匀菀椎貙⒎?附著板P和傳感器單元S_U分開。另外，在用另一個(gè)新傳感器更換了該傳感器之后，可以容 易地將防附著板P結(jié)合/重新結(jié)合到傳感器單元s_u。
[0051] 因此，沉積設(shè)備100包括容易附著到和脫離傳感器裝置130并且保護(hù)傳感器裝置 130的防附著板P。
[0052] 圖2是示出圖1中示出的實(shí)施例的傳感器裝置的分解透視圖。參照?qǐng)D2,傳感器裝 置130包括傳感器單元S_U和結(jié)合到傳感器單元S_U以適應(yīng)傳感器單元S_U的區(qū)域的第一 防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3。由第一防附著板P1、第二防附著板P2 和第三防附著板P3形成防附著板P。
[0053] 傳感器單元S_U包括支承件131、132和133、傳感器連接件134和135以及傳感器 接收容器3_!1和S_C。支承件131、132和133與基底120相鄰地設(shè)置并且結(jié)合到真空室10 的上部。傳感器連接件134和135將支承件131、132和133結(jié)合到傳感器接收容器S_H和 S_C。傳感器位于傳感器接收容器S_H和S_C內(nèi)。
[0054] 支承件131、132和133包括第一支承件131、結(jié)合到第一支承件131的下表面的第 二支承件132和結(jié)合到第二支承件132的下表面的第三支承件133。
[0055] 第一支承件131的上表面與基底120相鄰地設(shè)置并且結(jié)合到真空室10的上部。第 一支承件131具有在第一方向DX上(例如，在第一方向DX上縱向延伸）的長(zhǎng)邊和在第二方 向DY上(例如，在第二方向DY上橫向延伸)的短邊，第二方向DY基本上與第一方向DX垂直 (例如，垂直/正交)。如圖2中所示，當(dāng)從平面圖上看時(shí)，第一支承件131具有八角形或八 邊形的形狀，盡管第一支承件131的形狀沒有特別限制。例如，第一支承件131可以具有多 邊形的形狀。
[0056] 如圖2中所示，當(dāng)從平面圖上看時(shí)，第二支承件132的尺寸大于第一支承件131的 尺寸，但第二支承件132的尺寸不應(yīng)該限于此或者被此限制。例如，當(dāng)從平面圖上看時(shí)，第 二支承件132的尺寸可以可選擇地小于第一支承件131的尺寸。第二支承件132(例如，圖 2中的第二支承件132的頂表面)具有在第一方向DX上延伸的場(chǎng)邊/邊緣和在第二方向DY 上延伸的短邊/邊緣。當(dāng)從平面圖上看時(shí)，第二支承件132具有矩形的形狀。
[0057] 第二支承件132的側(cè)表面/側(cè)邊緣之中的垂直(例如，垂直/正交）于第二支承件 132的上表面并且平行于第二支承件132的長(zhǎng)邊的一個(gè)側(cè)表面被定義為第二支承件132的 前表面FS，并且其與第二支承件132的前表面面對(duì)/相對(duì)的第二支承件132的側(cè)表面被定 義為第二支承件132的后表面BS。
[0058] 第二支承件132的側(cè)表面之中的當(dāng)?shù)诙С屑?32的上表面水平時(shí)垂直并且平行 于第二支承件132的短邊的一個(gè)側(cè)表面被定義為第二支承件132的左表面LS，第二支承件 132的與第二支承件132的左表面LS面對(duì)/相對(duì)的側(cè)表面被定義為第二支承件132的右表 面RS。
[0059] 第三支承件133與第二支承件132的任一邊相鄰地設(shè)置。例如，第三支承件133 與第二支承件132的兩個(gè)長(zhǎng)邊中的一個(gè)相鄰地設(shè)置以結(jié)合到第二支承件132的下表面。在 本實(shí)施例中，第三支承件133偏離第二支承件132的中心。
[0060] 第三支承件133在第三方向DZ上延伸，基本上垂直于第二支承件132的水平下表 面。第三方向DZ基本上垂直(例如，正交/垂直)于第一方向DX和第二方向DY。第三支承 件133具有第三方向DZ上的長(zhǎng)邊/邊緣和第一方向DX上的短邊/邊緣。面向第二支承件 132的下表面的中心部分下面的點(diǎn)的第三支承件133的表面被定義為第三支承件133的內(nèi) 表面，與內(nèi)表面相對(duì)的表面被定義為第三支承件133的外表面。
[0061] 傳感器連接件134和135將第三支承件133結(jié)合到傳感器接收容器3_!1和S_C。詳 細(xì)地，傳感器連接件134和135包括第一傳感器連接件134和一對(duì)第二傳感器連接件135。 第一傳感器連接件134的一端結(jié)合到第三支承件133的內(nèi)表面，第一傳感器連接件134在 第二方向DY上/沿著第二方向DY延伸。第一傳感器連接件134的另一端結(jié)合在第二傳感 器連接件135的端部之間。
[0062] 第二傳感器連接件135以一定角度向下傾斜地延伸。盡管在圖中未示出，但第二 傳感器連接件135的與第一傳感器連接件134的另一端結(jié)合的的一端相對(duì)于第一傳感器連 接件134的另一端（S卩，第二傳感器連接件135的旋轉(zhuǎn)軸）成一定角度地旋轉(zhuǎn)。第二傳感器 連接件135的另一端結(jié)合到傳感器接收容器5_!1和S_C。
[0063] 傳感器接收容器S_H和S_C被構(gòu)造為包括結(jié)合到傳感器連接件134和135的傳感 器殼體S_H和結(jié)合到傳感器殼體S_H的下部的傳感器蓋S_C。傳感器殼體S_H的上表面結(jié) 合到第二傳感器連接件135的另一端。在本實(shí)施例中，傳感器位于傳感器殼體S_H中。
[0064] 傳感器殼體S_H的下部結(jié)合到傳感器蓋S_C。傳感器蓋S_C限定通過將傳感器蓋 S_c的兩端開口而限定的孔Η(例如，傳感器蓋S_C內(nèi)部的孔H)并且具有圓柱體的形狀。傳 感器蓋S_C的孔Η被用作通過噴嘴113蒸發(fā)/噴出的沉積材料112流經(jīng)的流動(dòng)路徑。
[0065] 流經(jīng)傳感器蓋S_C的孔Η的沉積材料112被提供到位于傳感器殼體S_H內(nèi)部的傳 感器。隨著沉積到傳感器表面上的沉積材料112的量的增加，晶體振蕩器的振蕩頻率減小。 通過感測(cè)晶體振蕩器的振蕩頻率的變化,測(cè)量沉積材料112的沉積量和沉積速度。
[0066] 第一防附著板P1在傳感器單元S_U的一個(gè)側(cè)表面處結(jié)合到傳感器單元S_U。第二 防附著板P2結(jié)合到第一防附著板P1并且位于與傳感器單元S_U的結(jié)合有第一防附著板P1 的那個(gè)側(cè)表面相對(duì)的相對(duì)表面處。第三防附著板P3結(jié)合到第一防附著板P1和第二防附著 板P2并且位于傳感器單元S_U下方。
[0067] 第一防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3通過彼此疊置(例如，B比鄰） 的第一、第二和第三磁單元/磁單元的組Ml_l至Ml_6、M2_l至M2_6和M3_l至M3_4來彼 此結(jié)合，因此，第一防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3覆蓋傳感器單元S_U 的區(qū)域。第一防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3覆蓋第二支承件132的側(cè) 表面、第三支承件133的側(cè)表面、傳感器連接件134和135的側(cè)表面和傳感器殼體S_H的側(cè) 表面，還覆蓋傳感器蓋S_C的區(qū)域并且暴露傳感器蓋S_C的下部的區(qū)域。將參照?qǐng)D3至圖 9詳細(xì)描述該結(jié)構(gòu)。
[0068] 第一防附著板P1包括第一-第一子板Sl_l至第一-第三子板Sl_3、第一磁單元 Ml_l至Ml_6、第一連接單元C1和第二連接單元C2。第一-第一子板Sl_l至第一-第三子 板Sl_3都具有矩形的形狀，都在第三方向DZ上延伸并且疊置第二支承件132和第三支承 件 133。
[0069] 第一-第一子板Sl_l (例如，第一-第一子板Sl_l的內(nèi)表面）被設(shè)置成面對(duì)第二 支承件132的前表面FS。第一-第二子板Sl_2的一端和第一-第三子板Sl_3的一端分別 結(jié)合到第一-第一子板Sl_l的邊界表面/邊緣。
[0070] 第一-第二子板Sl_2和第一-第三子板Sl_3還在第二方向DY上延伸，比第二支 承件132的短邊長(zhǎng)。也就是說，第一-第二子板Sl_2和第一-第三子板Sl_3在包含方向 DY和方向DZ的平面中延伸。第一-第二子板Sl_2基本上平行于第二支承件132的左表 面LS。第一-第三子板Sl_3基本上平行于第二支承件132的右表面RS。第一-第二子板 Sl_2的內(nèi)表面和第一-第三子板Sl_3的內(nèi)表面之間的距離約等于第二支承件132的長(zhǎng)邊 的長(zhǎng)度。
[0071] 第一防附著板P1的第一磁單元Ml_l至Ml_6包括第一-第一磁單元Ml_l至第 一-第六磁單元Ml_6。第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4具有在第三方 向DZ上延伸的長(zhǎng)邊和在第二方向DY上延伸的短邊。第一-第五磁單兀Ml_5和第一-第 六磁單元Ml_6具有在第二方向DY上延伸的長(zhǎng)邊和在第三方向DZ上延伸的短邊。
[0072] 第一-第一磁單元Ml_l和第一-第二磁單元Ml_2位于第一-第二子板Sl_2的內(nèi) 表面上，與第一-第二子板Sl_2的另一端(例如，與第一-第二子板Sl_2的結(jié)合到第一-第 一子板Sl_2的一端相對(duì)的一端）相鄰并且彼此分隔一定距離。第一-第三磁單元Ml_3和 第一-第四磁單元Ml_4位于第一-第三子板Sl_3的內(nèi)表面上，與第一-第三子板Sl_3的 另一端(例如，與第一-第三子板Sl_3的結(jié)合到第一-第一子板Sl_l的一端相對(duì)的一端） 相鄰并且彼此分隔一定距離。
[0073] 第一-第五磁單元Ml_5位于第一-第二子板Sl_2的內(nèi)表面上，與第一-第二子 板Sl_2的一端(例如，第一-第二子板Sl_2的結(jié)合到第一-第一子板Sl_2的一端)的下部 相鄰。第一-第六磁單兀Ml_6位于第一-第三子板Sl_3的內(nèi)表面上，與第一-第三子板 Sl_3的一端(例如，第一-第三子板Sl_3的結(jié)合到第一-第一子板Slj的一端）的下部相 鄰。
[0074] 第一連接單元C1結(jié)合到第一-第二子板Sl_2的上側(cè)表面。第一連接單元C1在 第一方向DX上延伸（例如，在對(duì)應(yīng)于方向DX和DY的平面中延伸)，垂直于第一-第二子板 Sl_2的內(nèi)表面。第一連接單兀C1與第一-第一子板Sl_l相鄰。
[0075] 第二連接單元C2結(jié)合到第一-第三子板Sl_3的上側(cè)表面，在與第一方向DX相對(duì) 的方向上延伸（例如，在對(duì)應(yīng)于方向DX和DY的平面中延伸)，垂直于第一-第三子板Sl_3 的內(nèi)表面。第二連接單兀C2與第一-第一子板Sl_l相鄰。
[0076] 第二防附著板P2包括第二-第一子板S2_l至第二-第三子板S2_3和第二磁單 元M2_l至M2_6。第二-第一子板S2_l至第二-第三子板S2_3具有矩形的形狀，在第三方 向DZ上延伸，疊置第二支承件132和第三支承件133。
[0077] 第二-第一子板S2_l(例如，第二-第一子板S2_l的內(nèi)表面)面對(duì)第二支承件132 的后表面BS。第二-第二子板S2_2的一端面對(duì)第一-第二子板Sl_2的另一端。第二-第 三子板S2_3的一端面對(duì)第一-第三子板Sl_3的另一端。第二-第二子板S2_2的另一端 和第二-第三子板S2_3的另一端均結(jié)合到第二-第一子板S2j的邊界表面/邊緣。
[0078] 第二-第二子板S2_2和第二-第三子板S2_3在與第二方向DY相對(duì)的方向上延 伸（例如，在沿方向DY和DZ延伸的平面中延伸）。第二-第二子板S2_2基本上平行于第 二支承件132的左表面LS。第二-第三子板S2_3基本上平行于第二支承件132的右表面 RS。第二-第二子板S2_2的內(nèi)表面和第二-第三子板S2_3的內(nèi)表面之間的距離約等于第 一- 第二子板Sl_2的外表面和第一-第三子板Sl_3的外表面之間的距離。
[0079] 第二防附著板P2的第二磁單元M2_l至M2_6包括第二-第一磁單元M2_l至第 二- 第六磁單元M2_6。第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4具有在第三方 向DZ上的長(zhǎng)邊和在第二方向DY上的短邊。第二-第五磁單元M2_5和第二-第六磁單元 M2_6具有在第二方向DY上的長(zhǎng)邊和在第三方向DZ上的短邊。
[0080] 第二-第一磁單元M2_l和第二-第二磁單元M2_2彼此分隔一定距離，并且位于 第二-第二子板S2_2的外表面上，與第二-第二子板Sl_2的一端相鄰。第二-第三磁單 元M2_3和第二-第四磁單元M2_4彼此分隔一定距離，并且位于第二-第三子板S2_3的外 表面上，與第二-第三子板S2_3的一端相鄰。
[0081] 第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4被設(shè)置成分別對(duì)應(yīng)于第一-第 一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4。因此，當(dāng)?shù)谝环栏街錚1和第二防附著板P2彼 此對(duì)準(zhǔn)/結(jié)合時(shí)，第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_l中的每個(gè)疊置第一-第 一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4中的對(duì)應(yīng)的磁單元。將參照?qǐng)D3至圖9詳細(xì)描述 該結(jié)構(gòu)。
[0082] 第二-第五磁單元M2_5位于第二-第二子板S2_2的內(nèi)表面上并且與其另一端側(cè) 的下部相鄰。第二-第六磁單元M2_6位于第二-第三子板S2_3的內(nèi)表面上并且與其另一 端側(cè)的下部相鄰。
[0083] 第三防附著板P3包括第三-第一子板S3_l至第三-第七子板S3_7、第一彎曲板 B1和第二彎曲板B2以及第三磁單元M3_l至M3_4。第三-第一子板S3_l(例如，第三防附 著板P3的底部的頂表面)被設(shè)置成面對(duì)第二支承件132。第三-第二子板S3_2至第三-第 七子板S3_7及第一彎曲板B1和第二彎曲板B2在與第三方向DZ相對(duì)的方向上(例如，向上 地）延伸，垂直于第三-第一子板S3_l。
[0084] 第三-第二子板S3_2面對(duì)第二支承件132的前表面FS。第三-第三子板S3_3面 對(duì)第二支承件132的后表面BS。第三-第四子板S3_4和第三-第五子板S3_5基本上平行 于第二支承件132的左表面LS。第三-第六子板S3_6和第三-第七子板S3_7基本上平行 于第二支承件132的右表面RS。
[0085] 第三-第二子板S3_2、第三-第四子板S3_4和第三-第六子板S3_6彼此結(jié)合并 且被構(gòu)造為分別結(jié)合到第一-第一子板Sl_l、第一-第二子板Sl_2和第一-第三子板Sl_3 的下部。第三-第三子板S3_3、第三-第五子板S3_5和第三-第七子板S3_7彼此結(jié)合并 且被構(gòu)造為分別結(jié)合到第二-第一子板S2_l、第二-第二子板S2_2和第二-第三子板S2_3 的下部。將參照?qǐng)D3至圖9詳細(xì)描述該結(jié)構(gòu)。
[0086] 第三-第四子板S3_4的一端和第三-第六子板S3_6的一端均結(jié)合到第三-第二 子板S3_2的邊界表面/邊緣。第三-第四子板S3_4和第三-第六子板S3_6在第二方向 DY上(例如，從第三-第二子板S3_2)延伸，垂直于第三-第二子板S3_2。
[0087] 第一彎曲板B1將第三-第四子板S3_4結(jié)合到第三-第五子板S3_5,第二彎曲板 B2將第三-第六子板S3_6結(jié)合到第三-第七子板S3_7。詳細(xì)地，第一彎曲板B1結(jié)合在第 三-第四子板S3_4的另一端和第三-第五子板S3_5的一端之間，而第二彎曲板B2結(jié)合在 第三-第六子板S3_6的另一端和第三-第七子板S3_7的一端之間。第一彎曲板B1基本 上平行于第二-第二子板S2_2的側(cè)表面/側(cè)邊緣(例如，在垂直于第二-第二子板S2_2的 內(nèi)表面的平面中延伸）。第二彎曲板B2基本上平行于第二-第三子板S2_3的側(cè)表面/邊 緣(例如，在垂直于第二-第三子板S2_3的內(nèi)表面的平面中延伸）。
[0088] 第三-第五子板S3_5的另一端和第三-第七子板S3_7的另一端均結(jié)合到第 三-第三子板S3_3的邊界表面。第三-第五子板S3_5和第三-第七子板S3_7在與第二 方向DY相對(duì)的方向上延伸，基本上垂直于第三-第三子板S3_3。
[0089] 第三-第二子板S3_2至第三-第七子板S3_7中的每個(gè)的下部及第一彎曲板B1 和第二彎曲板B2中的每個(gè)的下部結(jié)合到第三-第一子板S3_l的邊界表面/邊緣。
[0090] 第三-第四子板S3_4的內(nèi)表面和第三-第六子板S3_6的內(nèi)表面之間的距離約等 于第一-第二子板Sl_2的外表面和第一-第三子板Sl_3的外表面之間的距離。第三-第 五子板S3_5的內(nèi)表面和第三-第七子板S3_7的內(nèi)表面之間的距離約等于第二-第二子板 S2_2的外表面和第二-第三子板S2_3的外表面之間的距離。
[0091] 第三防附著板P3的第三磁單元M3_l至M3_4包括第三-第一磁單元M3_l至第 三-第四磁單元M3_4,第三-第一磁單元M3_l至第三-第四磁單元M3_4均具有在第二方 向DY上延伸的長(zhǎng)邊和在第三方向DZ上延伸的短邊。
[0092] 第三-第一磁單元M3_l位于第三-第四子板S3_4的外表面上并且與其一端的上 部相鄰。第三-第二磁單兀M3_2位于第三-第五子板S3_5的外表面上并且與其另一端的 上部相鄰。第三-第三磁單兀M3_3位于第三-第六子板S3_6的外表面上并且與其一端的 上部相鄰。第三-第四磁單元M3_4位于第三-第七子板S3_7的外表面上并且與其另一端 的上部相鄰。
[0093] 第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第三-第三磁單元M3_3和第 三-第四磁單元M3_4的位置分別對(duì)應(yīng)于第一-第五磁單元Ml_5、第二-第五磁單元M2_5、 第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6。因此，當(dāng)?shù)谌栏街錚3結(jié)合到第一 防附著板P1和第二防附著板P2時(shí)，第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第 三-第三磁單元M3_3和第三-第四磁單元M3_4中的每個(gè)與第一-第五磁單元Ml_5、第 二-第五磁單元M2_5、第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6中的相應(yīng)的磁單 元疊置。
[0094] 第三-第一子板S3_l包括開口區(qū)0P，開口區(qū)0P具有在第二方向DY上延伸的長(zhǎng)邊 和在第一方向DX上延伸的短邊。當(dāng)?shù)谝环栏街錚1、第二防附著板P2和第三防附著板P3 彼此連接時(shí)，通過開口區(qū)0P暴露傳感器蓋S_C的下部的區(qū)域。將參照?qǐng)D3至圖9詳細(xì)描述 該結(jié)構(gòu)。
[0095] 圖3是示出結(jié)合到第一防附著板的傳感器單元的透視圖。參照?qǐng)D3,圖2中示出的 第一防附著板P1在第二方向DY上移動(dòng)，以結(jié)合到傳感器單元S_U的第二支承件132。
[0096] 第一連接單元C1的下表面和第二連接單元C2的下表面與第二支承件132的上 表面形成接觸。第一-第一子板Sl_l的內(nèi)表面接觸第二支承件132的與第一-第一子板 Sl_l的上部相鄰的前表面FS。
[0097] 第一-第二子板Sl_2的與其上部相鄰的內(nèi)表面的區(qū)域接觸第二支承件132的左 表面LS。第一-第三子板Sl_3的與其上部相鄰的內(nèi)表面的區(qū)域接觸第二支承件132的右 表面RS。
[0098] 如上所述，第一-第二子板Sl_2和第一-第三子板Sl_3比第二支承件132的短 邊(例如，左邊LS和右邊RS)長(zhǎng)。因此，第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4 沒有重疊第二支承件132的左表面LS和右表面RS。
[0099] 圖4是示出結(jié)合到第一防附著板P1的第二防附著板P2的透視圖，圖5是沿著圖 4中示出的Ι-Γ線截取的剖視圖。
[0100] 參照?qǐng)D4和圖5,圖2中的第二防附著板P2在與第二方向DY相對(duì)的方向上移動(dòng)， 以結(jié)合到第一防附著板P1。
[0101] 第二-第一子板S2_l的內(nèi)表面面對(duì)第二支承件132的前表面FS。與第二-第二 子板S2_2的一端相鄰的內(nèi)表面接觸與第一-第二子板Sl_2的另一端相鄰的外表面。與第 二-第三子板S2_3的一端相鄰的內(nèi)表面接觸與第一-第三子板Sl_3的另一端相鄰的外表 面。
[0102] 如上所述，第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4的位置分別對(duì)應(yīng)于 第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4。因此，當(dāng)?shù)谝环栏街錚1和第二防附 著板P2彼此連接時(shí)，第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4中的每個(gè)分別與第 二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4中的對(duì)應(yīng)的磁單元疊置。
[0103] 例如，如圖5中所不，第一-第一磁單兀Ml_l位于第一-第二子板Sl_2的內(nèi)表面 上且與其另一端相鄰，并且與位于第二-第二子板S2_2的外表面上且與其一端相鄰的第 二-第一磁單元M2_l疊置。盡管在圖中未示出，但第一-第二磁單元Ml_2至第一-第四 磁單元Ml_4中的每個(gè)分別與第二-第二磁單元M2_2至第二-第四磁單元M2_4中的對(duì)應(yīng) 的磁單元疊置。
[0104] 第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4的極性和第二-第一磁單元 M2_l至第二-第四磁單元M2_4的極性使得第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元 Ml_4和第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4中的相應(yīng)磁單元之間存在吸引 力。因此，可以通過第二-第一磁單元M2_l至第二-第四磁單元M2_4和第一-第一磁單 元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4中的相應(yīng)磁單元之間的磁吸引將第一防附著板P1和第 二防附著板P2彼此結(jié)合。
[0105] 當(dāng)可以通過第一-第一磁單元Ml_l至第一-第四磁單元Ml_4和第二-第一磁單 元M2_l至第二-第四磁單元M2_4將第一防附著板P1和第二防附著板P2彼此結(jié)合時(shí)，相 比于通過螺釘將第一防附著板P1和第二防附著板P2彼此結(jié)合，第一防附著板P1和第二防 附著板P2可以容易地彼此脫離和附著。
[0106] 圖6是示出結(jié)合到彼此結(jié)合的第一防附著板P1和第二防附著板P2的第三防附著 板P3的透視圖。圖7是沿著圖6中示出的ΙΙ-ΙΓ線截取的剖視圖。圖8是沿著圖6中示 出的ΙΙΙ-ΙΙΓ線截取的剖視圖。圖9是示出圖1中示出的傳感器裝置的下平面圖。
[0107] 參照?qǐng)D6,圖3中示出的第三防附著板P3向著與第三方向DZ相對(duì)的方向移動(dòng)(例 如，向上移動(dòng))，以結(jié)合到彼此結(jié)合的第一防附著板P1和第二防附著板P2。
[0108] 第三-第一子板S3_l的內(nèi)表面面對(duì)第二支承件132的下表面。第三-第二子板 S3_2、第三-第四子板S3_4和第三-第六子板S3_6彼此結(jié)合，并且分別結(jié)合到第一-第一 子板Sl_l、第一-第二子板Sl_2和第一-第三子板Sl_3的下部。第三-第三子板S3_3、 第三-第五子板S3_5和第三-第七子板S3_7彼此結(jié)合，并且分別結(jié)合到第二-第一子板 S2_l、第二-第二子板S2_2和第二-第三子板S2_3的下部。
[0109] 詳細(xì)地，第三-第二子板S3_2的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接觸第一-第一子 板Sl_l的與下部相鄰的外表面的一部分。第三-第三子板S3_3的與上部相鄰的內(nèi)表面的 一部分接觸第二-第一子板S2_l的與下部相鄰的外表面的一部分。
[0110] 第三-第四子板S3_4的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接觸第一-第二子板Sl_2 的與下部相鄰的外表面的一部分，第一-第二子板的這部分不接觸第二-第二子板S2_2。 第三-第五子板S3_5的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接觸第二-第二子板S2_2的與下部 相鄰的外表面的一部分。
[0111] 盡管在圖6中未示出，但第三-第六子板S3_6的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接 觸第一-第三子板Sl_3的與下部相鄰的外表面的一部分，第一-第三子板Sl_3的這部分 不接觸第二-第三子板S2_3。第三-第七子板S3_7的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接觸 第二-第三子板S2_3的與下部相鄰的外表面的一部分。
[0112] 與第一彎曲板B1的上部相鄰的第一彎曲板B1的內(nèi)表面的一部分接觸第二-第二 子板S2_2的側(cè)表面的下部(例如，包含DX方向和DZ方向的平面中的第二-第二子板S2_2 的邊緣/表面)。盡管在圖6中未示出，但第二彎曲板B1的與上部相鄰的內(nèi)表面的一部分接 觸第二-第三子板S2_3的側(cè)表面的下部(例如，包含DX方向和DZ方向的平面中的第二-第 三子板S2_3的邊緣/表面)。
[0113] 如上所述，第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第三-第三磁單元 M3_3和第三-第四磁單元M3_4的位置分別對(duì)應(yīng)于第一-第五磁單元Ml_5、第二-第五磁 單元M2_5、第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6。因此，當(dāng)?shù)谌栏街錚3 結(jié)合到第一防附著板P1和第二防附著板P2時(shí)，第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元 M3_2、第三-第三磁單元M3_3和第三-第四磁單元M3_4中的每個(gè)分別與第一-第五磁單 元Ml_5、第二-第五磁單元M2_5、第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6中的 對(duì)應(yīng)的磁單元疊置。
[0114] 例如，如圖7中所示，與第一-第二子板Sl_2的內(nèi)表面的一端的下部相鄰設(shè)置的 第一-第五磁單元Ml_5疊置與第三-第四子板S3_4的外表面的一端的上部相鄰設(shè)置的第 三-第一磁單元M3_l。如圖7中所示，第二-第二子板S2_2的與另一端的下部相鄰的內(nèi)表 面上設(shè)置的第二-第五磁單元M2_5疊置第三-第五子板S3_5的與另一端的上部相鄰的外 表面上設(shè)置的第三-第二磁單元M3_2。在本發(fā)明的實(shí)施例中，第三-第三磁單元M3_3和第 三-第四磁單元M3_4分別疊置第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6。
[0115] 第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第三-第三磁單元M3_3、第 三-第四磁單元M3_4、第一-第五磁單元Ml_5、第二-第五磁單元M2_5、第一-第六磁單元 Ml_6和第二-第六磁單元M2_6的極性被設(shè)置為允許在第三-第一磁單元M3_l、第三-第二 磁單元M3_2、第三-第三磁單元M3_3、第三-第四磁單元M3_4和第一-第五磁單元Ml_5、 第二-第五磁單元M2_5、第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6中的各個(gè)磁單 元之間形成吸引力。因此，可以通過第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第 三-第三磁單元M3_3、第三-第四磁單元M3_4、第一-第五磁單元Ml_5、第二-第五磁單元 M2_5、第一-第六磁單元Ml_6和第二-第六磁單元M2_6將第一防附著板P1和第二防附著 板P2結(jié)合(例如，磁性結(jié)合）到第三防附著板P3。
[0116] 當(dāng)通過第三-第一磁單元M3_l、第三-第二磁單元M3_2、第三-第三磁單元M3_3、 第三-第四磁單元M3_4和第一-第五磁單元Ml_5、第二-第五磁單元M2_5、第一-第六磁 單元Ml_6、第二-第六磁單元M2_6將第三防附著板P3結(jié)合到第一防附著板P1和第二防附 著板P2時(shí)，可以相對(duì)容易地將第三防附著板P3脫離、附著/重新附著到第一防附著板P1 和第二防附著板P2 (例如，當(dāng)相比于通過螺釘將第三防附著板P3結(jié)合到第一防附著板P1 和第二防附著板P2的情形時(shí))。
[0117] 如圖9中所示，通過第三防附著板P3的開口區(qū)0P暴露傳感器蓋S_C的區(qū)域。傳 感器連接件134和135移動(dòng)傳感器殼體，以允許傳感器蓋S_C沿著開口區(qū)0P的長(zhǎng)邊方向來 回運(yùn)動(dòng)。
[0118] 詳細(xì)地，與第一傳感器連接件134的另一端結(jié)合的第二傳感器連接件135相對(duì)于 第一傳感器連接件134的另一端以一定角度移動(dòng)。該角度可以被設(shè)置為允許傳感器蓋S_C 在開口區(qū)OP的長(zhǎng)邊方向上移動(dòng)。因此，可以調(diào)節(jié)沉積材料112的流入角度。
[0119] 由于以上提到的結(jié)構(gòu)，第一防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3彼此 結(jié)合，以覆蓋第二支承件132、第三支承件133、第一傳感器連接件134和第二傳感器連接件 135、傳感器殼體S_H和傳感器蓋S_C的區(qū)域。
[0120] 傳感器位于傳感器裝置130的傳感器單元S_U內(nèi)。通過噴嘴113蒸發(fā)的沉積材料 112通過穿過傳感器單元S_U的孔Η到達(dá)傳感器。沉積在基底120上的沉積材料112的厚 度對(duì)應(yīng)于堆疊在傳感器上的沉積材料。
[0121] 通過沉積源110的噴嘴113蒸發(fā)的沉積材料112沒有堆疊在被結(jié)合的第一防附著 板Ρ1、第二防附著板Ρ2和第三防附著板Ρ3覆蓋的傳感器單元S_U的區(qū)域上。詳細(xì)地，由于 彼此結(jié)合的第一防附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3,沉積材料112沒有堆疊 在第二支承件132、第三支承件133、第一傳感器連接件134和第二傳感器連接件135、傳感 器殼體S_H或傳感器蓋S_C的區(qū)域上。因此，傳感器單元S_U可以受到彼此結(jié)合的第一防 附著板P1、第二防附著板P2和第三防附著板P3保護(hù)。
[0122] 晶體振蕩器可以用作傳感器。隨著沉積在晶體振蕩器的表面上的沉積材料112的 量增加，晶體振蕩器的振蕩頻率減小。通過感測(cè)晶體振蕩器的振蕩頻率的變化，測(cè)量(例如， 近似估算/計(jì)算）沉積材料112的沉積量和沉積速度。
[0123] 當(dāng)沉積在晶體振蕩器的表面上的沉積材料112的厚度超過設(shè)定值(例如，預(yù)定厚 度）時(shí)，可不再使用晶體振蕩器。當(dāng)出現(xiàn)這種情況時(shí)，可以將第一防附著板P1、第二防附著 板P2和第三防附著板P3與傳感器單元S_U分開，以更換傳感器。由于第一防附著板P1、第 二防附著板P2和第三防附著板P3通過彼此疊置的第一、第二和第三磁單元/磁單元的組 Ml_l至M1_6、M2_1至M2_6和M3_l至M3_4來彼此結(jié)合，因此，第一防附著板P1、第二防附 著板P2和第三防附著板P3可以容易地彼此脫離并且彼此附著/重新附著。
[0124] 因此，沉積設(shè)備100包括容易地附著到傳感器裝置130并且脫離傳感器裝置130 并且能夠保護(hù)傳感器裝置130的防附著板P。
[0125] 盡管已描述了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，但要理解，本發(fā)明不應(yīng)該被限于這些示例 性實(shí)施例，而是本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以在由權(quán)利要求書及其等同物要求保護(hù)的本發(fā)明 的精神和范圍內(nèi)進(jìn)行各種變化和修改。
【權(quán)利要求】
1. 一種沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備包括： 基底支承件，構(gòu)造為支承基底； 沉積源，構(gòu)造為向基底供應(yīng)沉積材料； 傳感器單元，構(gòu)造為接收沉積材料的一部分，以感測(cè)沉積材料的沉積量； 第一防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第一磁單元； 第二防附著板，結(jié)合到傳感器單元并且包括一個(gè)或多個(gè)第二磁單元，第二防附著板相 對(duì)于傳感器單兀與第一防附著板相對(duì)；和 第三防附著板，結(jié)合到第一防附著板和第二防附著板，處于傳感器單元下方，并且包括 一個(gè)或多個(gè)第三磁單元， 其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板通過第一磁單元、第二磁單元和第 三磁單元在第一磁單元、第二磁單元和第三磁單元中的相應(yīng)的磁單元附近彼此結(jié)合，并且 其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板共同地覆蓋傳感器單元的一部分。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積設(shè)備，其中，傳感器單元包括： 第一支承件； 第二支承件，結(jié)合到第一支承件的下表面并結(jié)合到第一防附著板，在第一方向上縱向 延伸并且在第二方向上橫向延伸，第二方向基本上垂直于第一方向； 第三支承件，與第二支承件的一端相鄰并且結(jié)合到第二支承件的下表面，在第一方向 上橫向延伸并且在第三方向上縱向延伸，第三方向基本上垂直于第一方向和第二方向； 傳感器殼體，用于容納傳感器單元； 傳感器蓋，結(jié)合到傳感器殼體并且限定傳感器單元接收的沉積材料的一部分從中經(jīng)過 的孔；和 傳感器連接件，結(jié)合第三支承件和傳感器殼體。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的沉積設(shè)備，所述沉積設(shè)備還包括真空室， 其中，基底支承件被構(gòu)造為致使基底面對(duì)真空室中的沉積源，并且 其中，第一支承件的上表面結(jié)合到真空室并且被構(gòu)造為與基底相鄰。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的沉積設(shè)備，其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附 著板覆蓋第二支承件的側(cè)邊緣、第三支承件、傳感器連接件、傳感器殼體和傳感器蓋的一部 分，并且 其中，第一防附著板、第二防附著板和第三防附著板暴露傳感器蓋的下端的區(qū)域。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的沉積設(shè)備，其中，第一防附著板還包括： 第一-第一子板，基本上平行于第二支承件的前表面，第二支承件的前表面基本上垂 直于第二支承件的上表面并且在第一方向上延伸； 第一-第二子板，基本上平行于第二支承件的左表面，第二支承件的左表面基本上垂 直于第二支承件的上表面并且在第二方向上延伸； 第一-第三子板，基本上平行于第二支承件的右表面，第二支承件的右表面與第二支 承件的左表面相對(duì)； 第一連接單元，結(jié)合到第一-第二子板的上部并且在第一方向上延伸；和 第二連接單元，結(jié)合到第一-第三子板的上部并且在第一方向上延伸， 其中，第一磁單兀位于第一-第二子板和第一 _第三子板上， 其中，第一-第二子板的一端和第一-第三子板的一端結(jié)合到第一-第一子板的相應(yīng) 的邊緣， 其中，第一-第二子板和第一-第三子板在第二方向上延伸成比第二支承件遠(yuǎn)，并且 第一-第一子板至第一-第三子板在第三方向上延伸以疊置第二支承件和第三支承 件。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的沉積設(shè)備，其中，第一-第一子板的上部的內(nèi)表面接觸第二支 承件的前表面， 其中，第一-第二子板的上部的內(nèi)表面接觸第二支承件的左表面， 其中，第一-第三子板的上部的內(nèi)表面接觸第二支承件的右表面，并且 其中，第一連接單元和第二連接單元中的每個(gè)的下表面接觸第二支承件的上表面。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的沉積設(shè)備，其中，第一磁單元包括： 第一-第一磁單兀和第一-第二磁單兀，在第一-第二子板的另一端的內(nèi)表面上彼此 分隔開； 第一-第三磁單元和第一-第四磁單元，在第一-第三子板的另一端的內(nèi)表面上彼此 分隔開； 第一-第五磁單元，在第一-第二子板的與一端相鄰的下部的內(nèi)表面上；和 第一-第六磁單元，在第一-第三子板的與一端相鄰的下部的內(nèi)表面上。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的沉積設(shè)備，其中，第二防附著板還包括： 第二-第一子板，面對(duì)第二支承件的與第二支承件的前表面相對(duì)的后表面； 第二-第二子板，基本上平行于第二支承件的左表面；和 第二-第三子板，基本上平行于第二支承件的右表面， 其中，第二磁單元在第二-第二子板和第二-第三子板上， 其中，第二-第二子板和第二-第三子板在第三方向上延伸，以疊置第二支承件和第三 支承件， 其中，第二-第二子板的與一端相鄰的內(nèi)表面接觸第一-第二子板的與另一端相鄰的 外表面， 其中，第二-第三子板的與一端相鄰的內(nèi)表面接觸第一-第三子板的與另一端相鄰的 外表面，并且 其中，第二-第二子板的另一端和第二-第三子板的另一端結(jié)合到第二-第一子板。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的沉積設(shè)備，其中，第二磁單元包括： 第二-第一磁單元和第二-第二磁單元，在第二-第二子板的與一端相鄰的外表面上； 第二-第三磁單元和第二-第四磁單元，在第二-第三子板的與一端相鄰的外表面上； 第二-第五磁單元，在第二-第二子板的與另一端相鄰的下部的內(nèi)表面上；和 第二-第六磁單元，在第二-第三子板的與另一端相鄰的下部的內(nèi)表面上， 其中，第一-第一磁單元至第一-第四磁單元分別疊置第二-第一磁單元至第二-第 四磁單元，并且 其中，第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和第二-第一磁單元至第二-第四磁單元 的相應(yīng)極性允許在第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和第二-第一磁單元至第二-第 四磁單元中的相應(yīng)疊置的磁單元之間形成吸引力。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的沉積設(shè)備，其中，第一-第一磁單元至第一-第四磁單元和 第二-第一磁單元至第二-第四磁單元在第三方向上縱向延伸并且在第二方向上橫向延 伸。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK104099573SQ201310647758
【公開日】2014年10月15日 申請(qǐng)日期:2013年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月3日
【發(fā)明者】金保云, 趙相圭, 吳準(zhǔn)植, 金建植, 吳仙英 申請(qǐng)人:三星顯示有限公司