一種掩模組件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種掩模組件，包括掩?？蚝脱谀０?，掩模板固定于掩?？蛏?，掩模板上設(shè)有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區(qū)域，其特征在于：蒸鍍孔由多邊形開口及設(shè)置在多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口構(gòu)成，補(bǔ)償開口構(gòu)成多邊形開口的外延結(jié)構(gòu)，掩模板為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的掩模單元組成。本發(fā)明所提供的掩模組件，蒸鍍孔由多邊形開口及補(bǔ)償開口組成，補(bǔ)償開口的設(shè)置提高了蒸鍍孔的開口率，從而提高掩模組件的質(zhì)量。
【專利說明】—種掩模組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及OLED制造領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍用的掩模組件。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)顯示器，是自二十世紀(jì)末期以來取得廣泛應(yīng)用的一種平板顯示器。OLED相對其它顯示屏，具有厚度薄、重量輕、功耗小、響應(yīng)快、可視范圍寬、抗摔性能好、適用溫度范圍寬、自發(fā)光不需要背光燈等很多突出的優(yōu)點(diǎn)，因此OLED逐漸成為未來20年成長最快的新型顯示技術(shù)。
[0003]制造OLED顯示器很重要的一道工序是將有機(jī)發(fā)光材料蒸鍍到ITO半導(dǎo)體玻璃表面。蒸鍍工序中，有機(jī)材料由蒸鍍源蒸發(fā)通過掩模板的蒸鍍孔附著到ITO半導(dǎo)體玻璃面上，掩模板蒸鍍孔的精度決定蒸鍍質(zhì)量，蒸鍍質(zhì)量又直接決定OLED顯示器質(zhì)量，因此提高掩模板的蒸鍍孔的精度至關(guān)重要。掩模板蒸鍍孔寬度的尺寸為20~100 μ m，因?yàn)檎翦兛壮叽绾苄?，所以對蒸鍍孔精度的要求非常高?[0004]制作OLED顯示器的有機(jī)層時(shí)用到的蒸鍍用掩模組件，如圖1所示，為掩模組件整體平面結(jié)構(gòu)示意圖，掩模組件包括掩?？?4，掩模板10，掩模板10上設(shè)有由蒸鍍孔排列而成的掩模圖案區(qū)域11，12為將掩模板通過激光焊接固定于掩?？?4上形成的焊點(diǎn)，圖2所示為圖1中13部分放大示意圖,20為蒸鍍孔，圖2中21部分的放大示意圖如圖3所示，圖3中預(yù)設(shè)的蒸鍍孔是矩形結(jié)構(gòu)，但由于制作過程中存在偏差，直角矩形蒸鍍孔變成圓角矩形的蒸鍍孔20，如圖3中四個(gè)直角處由虛線表示的矩形為預(yù)設(shè)的直角矩形，實(shí)際制作的圓角矩形相對于預(yù)設(shè)的直角矩形蒸鍍孔開口偏小，開口率不高，從而影響到掩模圖案區(qū)域蒸鍍孔的質(zhì)量，直接導(dǎo)致OLED顯示器的質(zhì)量不高。鑒于此，業(yè)內(nèi)亟需一種能夠解決此問題的方案。
[0005]
【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]有鑒于此，本發(fā)明提供一種掩模組件，目的在于提高掩模組件蒸鍍孔的開口率，從而提聞OLED顯不器的質(zhì)量。
[0007]本發(fā)明提供了一種掩模組件，包括掩模框和掩模板，所述掩模板固定于所述掩?？蛏希鲅谀０迳显O(shè)有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區(qū)域，其特征在于:所述蒸鍍孔由多邊形開口及設(shè)置在所述多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口構(gòu)成，所述補(bǔ)償開口構(gòu)成所述多邊形開口的外延結(jié)構(gòu)，所述掩模板為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的掩模單元組成。
[0008]進(jìn)一步地，所述補(bǔ)償開口為由一條弧線和兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端分別與所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述兩條線段所在直線所成的夾角為0°~80°。
[0010]進(jìn)一步地，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈O°~90°夾角。
[0011]進(jìn)一步地，所述補(bǔ)償開口為由兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端相交于一點(diǎn)。
[0012]進(jìn)一步地，所述兩條線段所成的夾角為10°~80°，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°~90°夾角。
[0013]進(jìn)一步地，所述補(bǔ)償開口為由弧線圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接。
[0014]進(jìn)一步地，所述掩模板通過電鑄工藝制備或通過蝕刻工藝制備。
[0015]進(jìn)一步地,所述蒸鍍孔的寬度為20~80μηι。
[0016]進(jìn)一步地，所述掩模板為鎳基合金材質(zhì)。
[0017]本發(fā)明的有益效果在于，掩模板上的蒸鍍孔由多邊形開口及設(shè)置在多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口構(gòu)成，補(bǔ)償開口構(gòu)成多邊形開口的外延結(jié)構(gòu)，蒸鍍孔設(shè)置補(bǔ)償開口提高了掩模組件上蒸鍍孔的開口率，從而有效地提高OLED顯示器的質(zhì)量。
[0018]本發(fā)明附加的方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
[0019]【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2所示為圖1中13部分放大示意圖；
圖3所示為圖2中21部分放大示意圖；
圖4所示為一種掩模組件的平面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5所示為圖4中41部分放大示意圖；
圖6~圖13所示為幾種蒸鍍孔結(jié)構(gòu)放大示意圖；
其中，圖1中，10為掩模板，11為掩模圖案區(qū)域，12為焊點(diǎn)，13為待放大觀測部分，14為掩?？?；
圖2中，20為蒸鍍孔，21為待放大觀測部分；
圖4中，40為掩模單元，41為待放大觀測部分；
圖5中，50為蒸鍍孔；
圖6中，1、2為構(gòu)成補(bǔ)償開口的兩條線段，3為構(gòu)成補(bǔ)償開口的弧線，Θ為線段2所在直線與其連接的多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線的夾角，60為補(bǔ)償開口，61為多邊形開口 ；圖7中，α為線段I與線段2所在直線所成的夾角；
圖9中，4、5為構(gòu)成補(bǔ)償開口的兩條線段，L為蒸鍍孔的寬度，Y為線段5所在直線與其連接的多邊形開口的相應(yīng)邊所在直線的夾角，β為線段5與線段6所在直線所成的夾角；圖11中，6為構(gòu)成補(bǔ)償開口的弧線。
[0021]【具體實(shí)施方式】
[0022]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對本發(fā)明的限制。
[0023]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，如圖1、圖4~圖13所示，提供一種掩模組件，包括掩?？?4和掩模板10,掩模板10固定于掩?？?4上,掩模板10上設(shè)有由蒸鍍孔50陣列而成的掩模圖案區(qū)域11，蒸鍍孔50由多邊形開口 61及設(shè)置在多邊形開口 61邊角處的補(bǔ)償開口60構(gòu)成，補(bǔ)償開口 60構(gòu)成多邊形開口 61的外延結(jié)構(gòu)，掩模板10為一體成型結(jié)構(gòu)(如圖1所示)或由分立的掩模單元40組成(如圖4所示)。
[0024]圖1所示掩模板10為一體成型結(jié)構(gòu)，圖4所示掩模板10由分立的掩模單元40組成，如圖1和圖4所示，掩模板10或掩模單元40通過激光焊接固定于掩?？?4，其中12為焊點(diǎn)。
[0025]下面詳細(xì)描述本發(fā)明中掩模組件的蒸鍍孔50的結(jié)構(gòu)，參考圖6~圖13，為圖1或圖4所示掩模組件中掩模板10上蒸鍍孔放大結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖5~圖8、圖12~圖13所示，補(bǔ)償開口 60為由一條弧線3和兩條線段(線段I和線段2)圍成的與多邊形開口 61連通的外延結(jié)構(gòu)，兩條線段的一端分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接，兩條線段的另一端分別與弧線3的兩個(gè)端點(diǎn)連接。
[0027]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖6~圖8、圖12~圖13所示，兩條線段(線段I和線段2)所在直線所成的夾角α為0°~80°，如圖6、圖8所示α為0° (即線段I與線段2相互平行)，圖7、圖12~圖13所示α大于0°小于等于80°。
[0028]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖6~圖8、圖12~圖13所示，兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°~90°夾角(如Θ夾角)，如圖圖7、圖12~圖13所示線段2所在直線與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在直線的夾角Θ為大于0°小于90°，圖8中所示線段2所在直線與其連接的多邊形開口61的相應(yīng)邊所在直線的夾角Θ為90°。
[0029]如圖6~圖8、圖12~圖13所示為蒸鍍孔50的幾種放大結(jié)構(gòu)示意圖。其中圖4中41部分的一種放大示意圖如5所示，圖6所示為圖5中蒸鍍孔50放大結(jié)構(gòu)示意圖，圖6中多邊形開口 61為矩形開口，在矩形開口 61的邊角處(邊角處即矩形開口 61的四個(gè)直角處)設(shè)有補(bǔ)償開口 60，線段I和線段2的一端分別與矩形開口 61相鄰的兩邊連接，線段I和線段2的另一端分別與弧線3的兩個(gè)端點(diǎn)連接。
[0030]α角和Θ角的值可以如圖8所示θ=90°，α =0° ;或如圖6所示Θ大于20°小于70°，α=0° (例如θ=30°或45°或60° );或如圖7所示Θ大于0°且小于45°，α大于20°且小于75° (例如θ=30°、α =60° )。
[0031 ] 根 據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖? 圖10所示，補(bǔ)償開口 60為由兩條線段(即線段4和線段5)圍成的與多邊形開口 61連通的外延結(jié)構(gòu)，兩條線段(線段4和線段5)的一端分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接，兩條線段(線段4和線段5)的另一端相交于一點(diǎn)。
[0032]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖? 圖10所示，兩條線段(線段4和線段5)所成的夾角β范圍為10°~80°，兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在的直線呈O。~90° (如Y角為0°~90° )。
[0033]如圖擴(kuò)圖10所示，線段4與線段5所成的夾角β為10°~80°，線段5與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在的直線的夾角Y為大于等于0°小于90°，圖10中線段4與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在直線的夾角為0° (即線段4與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊在同一條直線上)
如圖9中所示結(jié)構(gòu)，Y的值可以為30°或60°或80°，β的值可以為60°或75°或80。。
[0034]如圖10中所示結(jié)構(gòu)，Y的值可以為25°或50°或70°，β的值可以為60°或75?；?80。。
[0035]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，如圖11所示，補(bǔ)償開口 60為由弧線6圍成的與多邊形開口 61連通的外延結(jié)構(gòu)，弧線6的兩個(gè)端點(diǎn)分別與多邊形開口 61相鄰的兩邊連接。
[0036]上述所述線段I和線段2與所在的直線分別與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在的直線的夾角不一定相等，同樣線段4和線段5所在的直線分別與其連接的多邊形開口 61的相應(yīng)邊所在的直線的夾角也不一定相等。
[0037]上述所述多邊形開口 61為矩形開口(如圖6~11所示)，或五邊形開口(如圖12所示)，或六邊形開口(如圖13所示)，多邊形開口 61不限于矩形、五邊形、六邊形的開口結(jié)構(gòu)。圖6~13所示的多邊形開口 61的相鄰兩邊所成的夾角處(即上述所述的邊角處)的虛線結(jié)構(gòu)只是為了說明多邊形開口 61的結(jié)構(gòu)，實(shí)際上虛線不存在，即多邊形開口 61與補(bǔ)償開口 60為連通結(jié)構(gòu)。
[0038]根據(jù)本發(fā)明·的一些實(shí)施例，掩模板10通過電鑄工藝制備或通過蝕刻工藝制備。
[0039]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例，蒸鍍孔50的寬度L為20~80 μ m，如圖9所示。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例,掩模板10為鎳基合金材質(zhì)。
[0041]本發(fā)明的有益效果在于，掩模板10上的蒸鍍孔50由多邊形開口 61及設(shè)置在多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口 60構(gòu)成，補(bǔ)償開口 60構(gòu)成多邊形開口 61的外延結(jié)構(gòu)，蒸鍍孔50設(shè)置了補(bǔ)償開口 60后提高了掩模組件上蒸鍍孔50的開口率，從而有效地提高OLED顯示器的質(zhì)量。
[0042]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種掩模組件，包括掩?？蚝脱谀０澹鲅谀０骞潭ㄓ谒鲅谀？蛏?，所述掩模板上設(shè)有由蒸鍍孔陣列而成的掩模圖案區(qū)域，其特征在于:所述蒸鍍孔由多邊形開口及設(shè)置在所述多邊形開口邊角處的補(bǔ)償開口構(gòu)成，所述補(bǔ)償開口構(gòu)成所述多邊形開口的外延結(jié)構(gòu)，所述掩模板為一體成型結(jié)構(gòu)或由分立的掩模單元組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由一條弧線和兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端分別與所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段所在直線所成的夾角為O。~80°。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°~90°夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由兩條線段圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述兩條線段的一端分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接，所述兩條線段的另一端相交于一點(diǎn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的掩模組件，其特征在于，所述兩條線段所成的夾角為10°~80°，所述兩條線段中的任意一條線段所在的直線與其連接的所述多邊形開口的相應(yīng)邊所在的直線呈0°~90°夾角。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述補(bǔ)償開口為由弧線圍成的與所述多邊形開口連通的外延結(jié)構(gòu)，所述弧線的兩個(gè)端點(diǎn)分別與所述多邊形開口相鄰的兩邊連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述掩模板通過電鑄工藝制備或通過蝕刻工藝制備。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述蒸鍍孔的寬度為20~80μπι。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模組件，其特征在于，所述掩模板為鎳基合金材質(zhì)。
【文檔編號】C23C14/04GK103668055SQ201310703688
【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年12月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月20日
【發(fā)明者】魏志凌, 高小平, 魏志浩, 莫松亭, 劉學(xué)明 申請人:昆山允升吉光電科技有限公司