專利名稱：一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積cvd裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本實(shí)用新型涉及一種化學(xué)氣相沉積CVD裝置，具體涉及一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置。
技術(shù)背景:化學(xué)氣相沉積(CVD)是一種材料表面改性技術(shù)。近年來CVD技術(shù)已用于制備陶瓷、陶瓷基復(fù)合材料、C/C復(fù)合材料等，以及低壓CVD理論研究。它可以利用氣相間的反應(yīng)，在不改變基體材料的成分和不削弱基體材料的強(qiáng)度條件下，賦予材料表面一些特殊的性能。目前，由化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備的材料，不僅應(yīng)用于刀具材料、耐磨耐熱耐腐蝕材料、宇航工業(yè)上的特殊復(fù)合材料、原子反應(yīng)堆材料及生物醫(yī)用材料等領(lǐng)域，而且被廣泛應(yīng)用于制備與合成各種粉體材料、塊體材料、新晶體材料、陶瓷纖維及金剛石薄膜等。在作為大規(guī)模集成電路技術(shù)的鐵電材料、絕緣材料、磁性材料、光電子材料的薄膜制備技術(shù)方面，更是不可或缺；氣相中化學(xué)反應(yīng)的裝置由下列部件組成:反應(yīng)物供應(yīng)系統(tǒng)，氣相反應(yīng)器，氣流傳送系統(tǒng)，反應(yīng)物多為金屬氯化物，先被加熱到一定溫度，達(dá)到足夠高的蒸汽壓，用載氣(一般為Ar或H2)送入反應(yīng)器，由于實(shí)驗(yàn)所用載氣多為氫氣，傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)腔體就很難保證其安全性
實(shí)用新型內(nèi)容
:本實(shí)用新型的目的是為了彌補(bǔ)已有技術(shù)的不足，提供了一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，這樣就解決了現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)所用載氣為氫氣，傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)腔體很難保證其安全性的問題。本實(shí)用新型解決方案如下:一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣報(bào)警器探頭串聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置之間設(shè)有自動(dòng)開關(guān)，所述氫氣報(bào)警控制器的輸出端設(shè)有I個(gè)以上的開關(guān)信號(hào)接口。其工作原理是:氫氣報(bào)警器探頭檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)超標(biāo)時(shí)即當(dāng)氣體泄漏超出設(shè)定安全范圍，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合,這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。

:[0008]圖1為本實(shí)用新型的電路圖。其中:1、氫氣發(fā)生器電控裝置，2、氫氣報(bào)警器探頭，3、氫氣報(bào)警控制器，4、開關(guān)信號(hào)接口，5、自動(dòng)開關(guān)。
具體實(shí)施方式
:參見附圖，一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣報(bào)警器探頭串聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置之間設(shè)有自動(dòng)開關(guān)，所述氫氣報(bào)警控制器的輸出端設(shè)有I個(gè)以上的開關(guān)信號(hào)接口。 氫氣報(bào)警器探頭檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)超標(biāo)時(shí)即當(dāng)氣體泄漏超出設(shè)定安全范圍，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。
權(quán)利要求1.一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，其特征在于:所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣報(bào)警器探頭串聯(lián)連接，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置之間設(shè)有自動(dòng)開關(guān)，所述氫氣報(bào)警控制器的輸出端設(shè)有I個(gè)以上的開關(guān)信號(hào)接口。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種安全性智能控制化學(xué)氣相沉積CVD裝置，包括有氫氣發(fā)生器電控裝置、氫氣報(bào)警器探頭和氫氣報(bào)警控制器，所述氫氣報(bào)警控制器與氫氣發(fā)生器電控裝置并聯(lián)連接；本實(shí)用新型設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，氫氣報(bào)警控制器會(huì)給出一個(gè)開關(guān)信號(hào)切斷氫氣發(fā)生器電控裝置的主電路，從而切斷氣體再生，確保安全性，這樣能將發(fā)生意外的可能性降低到零，CVD系統(tǒng)可以檢測(cè)切斷保護(hù)試驗(yàn)中意外出現(xiàn)的危險(xiǎn)，各個(gè)檢測(cè)精度部件可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求自由組合，這種組合方式適合各種CVD系統(tǒng)。
文檔編號(hào)C23C16/455GK203034097SQ20132005252
公開日2013年7月3日 申請(qǐng)日期2013年1月30日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月30日
發(fā)明者孔令杰 申請(qǐng)人:安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司