專利名稱：鎢鉬平面靶材放置架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
鎢鉬平面靶材放置架技術(shù)領(lǐng)域:本實用新型屬于鎢鑰制品技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鎢鑰平面靶材放置架。
背景技術(shù)：
:濺射靶材主要用于平面顯示器、薄膜太陽能電池的電極和配線材料以及半導(dǎo)體的阻擋層材料。這些是基于鎢、鑰的高熔點、高電導(dǎo)率、較低的比阻抗、較好的耐腐蝕性以及良好的環(huán)保性能。以前，平面顯示器的配線材料主要是鉻，但隨著平面顯示器的大型化和高精度化，越來越需要比阻抗小的材料。另外，環(huán)保也是必須考慮的問題。而鑰具有比阻抗和膜應(yīng)力僅為鉻的I / 2的優(yōu)勢，而且不存在環(huán)境污染問題，因此成為了平面顯示器濺射靶材的首選材料之一。此外，鑰靶材使用在LCD的元器件中，可使液晶顯示器在亮度、對比度、色彩以及壽命方面的性能大大提升。目前在存放鎢鑰靶材時，一般是將鎢鑰靶材兩端支撐，靶材水平放置在支撐架上，由于鎢、鑰靶材一般長度相對較長，靶材水平放置，兩端支撐，此種存放方式，長時間存放，靶材的中部缺乏支撐，受重力影響會出現(xiàn)向下的彎曲變形，從而影響平面靶材后續(xù)的使用。實用新型內(nèi)容:綜上所述，為了克服現(xiàn)有技術(shù)問題的不足，本實用新型提供了一種鎢鑰平面靶材放置架，它是沿靶材的長度方向設(shè)置三個支撐架，在支撐架上設(shè)置立式的卡槽，沿靶材的寬度方向，將靶材立起來，然后放進(jìn)支撐架上的立式卡槽內(nèi)，從而實現(xiàn)將鎢鑰平面靶材立式放置，且沿靶材的長度方向，左中右三點支撐，可有效的防止靶材的彎曲變形，保證靶材能夠正常的使用。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:一種鎢鑰平面靶材放置架，其中:包括支撐架、卡座及卡槽，沿靶材的長度方向，靶材的左端、右端及中部各設(shè)置一個支撐架，支撐架上設(shè)置有卡座，卡座上設(shè)置有卡槽，卡槽寬度比靶材的厚度大2-3mm。進(jìn)一步，所述的支撐架為階梯狀金屬架，所述階梯狀金屬架的臺階水平面上設(shè)置有卡座。進(jìn)一步,所述的卡座為木質(zhì)卡座,卡座內(nèi)設(shè)置有多個卡槽，卡槽的深度大于等于革巴材寬度的三分之一。本實用新型的有益效果為:1、本實用新型是是沿靶材的長度方向設(shè)置三個支撐架，在支撐架上設(shè)置立式的卡槽，沿靶材的寬度方向，將靶材立起來，然后放進(jìn)支撐架上的立式卡槽內(nèi)，從而實現(xiàn)將鎢鑰平面靶材立式放置，且沿靶材的長度方向，左中右三點支撐，可有效的防止靶材的彎曲變形，保證靶材能夠正常的使用。2、本實用新型結(jié)構(gòu)簡單緊湊，使用方便、成本低，能夠很好的解決現(xiàn)有平面靶材存放時產(chǎn)生的靶材中部彎曲變形的問題，保證靶材長時間存放后仍然能夠使用。

[0015]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實用新型的左視示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。如圖1、圖2所示，一種鎢鑰平面靶材放置架，包括支撐架1、卡座2及卡槽3，沿靶材4的長度方向，靶材4的左端、右端及中部各設(shè)置一個支撐架1，支撐架I為階梯狀金屬架，所述階梯狀金屬架的臺階水平面上設(shè)置有卡座2，卡座2為木質(zhì)卡座2，卡座2內(nèi)設(shè)置有多個卡槽3，卡槽3的深度大于等于靶材4寬度的三分之一?？ú?寬度比靶材4的厚度大2-3mm。使用時，沿靶材4的寬度方向，將鎢鑰等平面靶材4側(cè)立，然后將鎢鑰等平面靶材4側(cè)立放置在本實用新型的卡槽3內(nèi)即可。要說明的是，上述實施例是對本實用新型技術(shù)方案的說明而非限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域普通技術(shù)人員的等同替換或者根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)而做的其它修改，只要沒超出本實用新型技術(shù)方案的思路和范圍，均應(yīng)包含在本實用新型所要求的權(quán)利范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種鎢鑰平面靶材放置架，其特征在于:包括支撐架(I)、卡座(2)及卡槽(3)，沿靶材(4)的長度方向，靶材(4)的左端、右端及中部各設(shè)置一個支撐架(1)，支撐架(I)上設(shè)置有卡座(2)，卡座(2)上設(shè)置有卡槽(3)，卡槽(3)寬度比靶材(4)的厚度大2-3mm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鎢鑰平面靶材放置架，其特征在于:所述的支撐架(I)為階梯狀金屬架，所述階梯狀金屬架的臺階水平面上設(shè)置有卡座(2 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鎢鑰平面靶材放置架，其特征在于:所述的卡座(2)為木質(zhì)卡座，卡座(2)內(nèi)設(shè)置有多個卡槽(3)，卡槽(3)的深度大于等于靶材(4)寬度的三分之一。
專利摘要本實用新型涉及一種鎢鉬平面靶材放置架，包括支撐架、卡座及卡槽，沿靶材的長度方向，靶材的左端、右端及中部各設(shè)置一個支撐架，支撐架上設(shè)置有卡座，卡座上設(shè)置有卡槽，卡槽寬度比靶材的厚度大2-3mm。本實用新型是沿靶材的長度方向設(shè)置三個支撐架，在支撐架上設(shè)置立式的卡槽，沿靶材的寬度方向，將靶材側(cè)立起來，然后放進(jìn)支撐架上的立式卡槽內(nèi)，從而實現(xiàn)將鎢鉬平面靶材立式放置，且沿靶材的長度方向，左中右三點支撐，可有效的防止靶材的彎曲變形，保證靶材能夠正常的使用。
文檔編號C23C14/34GK203065566SQ20132005635
公開日2013年7月17日 申請日期2013年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月1日
發(fā)明者王正革, 趙士剛 申請人:洛陽高新四豐電子材料有限公司