一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設(shè)有安裝孔，其特征在于：所述壓塊主體頂部設(shè)有斜坡，壓塊主體底部設(shè)有用于固定矩形平面靶材的階梯。本實(shí)用新型可在現(xiàn)有壓塊的基礎(chǔ)上加工而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作方便，生產(chǎn)成本低，能保障靶材安裝結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，并有效防止靶材出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
【專利說(shuō)明】一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及磁控濺射【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其是一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射技術(shù)是利用磁場(chǎng)與電場(chǎng)交互作用，使電子在靶材表面附近成螺旋狀運(yùn)行并撞擊工作氣體(如IS氣)產(chǎn)生離子，同時(shí)所產(chǎn)生的離子在電場(chǎng)作用下撞向祀材表面從而派射出祀材粒子。
[0003]在水平連續(xù)式鍍膜線中，是通過(guò)壓塊來(lái)固定靶材的，現(xiàn)有壓塊的結(jié)構(gòu)如圖1所示，在壓塊主體11上設(shè)有安裝孔12和斜坡13，斜坡13表面和壓塊主體11上表面均為平面，且?jiàn)A角約為42°。將這種壓塊應(yīng)用于磁控濺射當(dāng)中，則靶材濺射區(qū)域的基本結(jié)構(gòu)如圖2所示，是在底座6四周設(shè)有陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板7，陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板7上設(shè)有陽(yáng)極屏蔽板8，底座6頂部依次設(shè)有鐵氟龍絕緣層5和壓塊固定座2，壓塊固定座2頂部設(shè)有壓塊1，壓塊固定座2內(nèi)設(shè)有銅質(zhì)水槽座3和磁鋼，銅質(zhì)水槽座3頂部設(shè)有靶材4，靶材4為矩形平面靶材4，靶材4邊上被壓塊I固定。
[0004]但在如圖2所示的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)下，靶材I的陰、陽(yáng)極容易發(fā)生短路故障，原因在于:
[0005]1.被工作氣體離子濺射出來(lái)的少部分靶材4的粒子因?yàn)榕鲎驳淖饔枚胁?的陰、陽(yáng)極之間的區(qū)域遷移，因此該少部分粒子沉積在壓塊I及陽(yáng)極屏蔽板8的水平表面，隨著濺射的持續(xù)，就形成了鐘乳狀毛刺，從而改變水平方向極間間距81，當(dāng)該間距小于安全參考間隙時(shí)，發(fā)生極間短路并導(dǎo)致濺射中斷；
[0006]2.由于磁控濺射高速濺射的特點(diǎn)，在使用時(shí)靶材4表面產(chǎn)生的熱量會(huì)引起靶材4的熱變形進(jìn)而使得壓塊I的側(cè)邊與陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板7發(fā)生熱應(yīng)變，加上繞鍍?cè)谇岸哓Q直方向表面的鍍層9，使得豎直方向極間間距71減小，當(dāng)該間距小于安全參考數(shù)值時(shí)，發(fā)生極間短路并導(dǎo)致濺射中斷。
[0007]在企業(yè)應(yīng)用基于上述結(jié)構(gòu)的磁控濺射鍍膜設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)時(shí)，如果靶材中途發(fā)生短路故障，就會(huì)使連續(xù)性生產(chǎn)被迫中止，從而造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和制作方便的特點(diǎn)，并有效防止靶材出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
[0009]本實(shí)用新型的技術(shù)方案為:一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設(shè)有安裝孔，其特征在于:所述壓塊主體頂部設(shè)有斜坡，壓塊主體底部設(shè)有用于固定矩形平面靶材的階梯。
[0010]所述壓塊主體頂部上表面為平面，斜坡表面為平面，斜坡表面與頂部上表面之間的夾角為28° -32°，優(yōu)選為30°。
[0011]所述階梯上設(shè)有內(nèi)角，內(nèi)角不小于90°，優(yōu)選為90°。[0012]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0013]1.壓塊可在現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的基礎(chǔ)上加工而成，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作方便，生產(chǎn)成本低；
[0014]2.通過(guò)在壓塊上制作出用于固定矩形平面靶材的階梯，能進(jìn)一步保障壓塊、壓塊固定座和靶材的安裝結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性；
[0015]3.通過(guò)在壓塊主體頂部設(shè)有斜坡，且使斜坡表面與頂部上表面之間的夾角較小，實(shí)際上會(huì)增大靶材離子在壓塊上的累積空間，從而能增加水平方向極間間距的最小值，防止極間短路和濺射中斷；
[0016]4.通過(guò)在壓塊上設(shè)置階梯，既能顯著增加水平方向極間間距的最小值，還能顯著增加豎直方向極間間距的最小值，有效地防止極間短路和濺射中斷。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為現(xiàn)有磁控濺射矩形平面靶材壓塊的使用效果圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊的使用效果圖。
[0021]圖中，1-壓塊，2-壓塊固定座，3-銅質(zhì)水槽座，4-靶材，5-鐵氟龍絕緣層，6_底座，7-陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板，8 -陽(yáng)極屏蔽板，9-鍍層，11-壓塊主體，12-安裝孔，13-斜坡，14-階梯，71-豎直方向極間間距，81-水平方向極間間距。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步說(shuō)明:
[0023]如圖3所示，一種磁控濺射矩形平面靶材4防短路壓塊1，包括壓塊主體11，在壓塊主體11上設(shè)有安裝孔12，壓塊主體11頂部設(shè)有斜坡13，壓塊主體11頂部上表面為平面，斜坡13表面為平面，斜坡13表面與頂部上表面之間的夾角為30°，壓塊主體11底部設(shè)有用于固定矩形平面靶材4的階梯14，階梯14上設(shè)有90°內(nèi)角。
[0024]具體實(shí)施時(shí)，如圖4和圖3所示，在底座6四周設(shè)有陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板7，陽(yáng)極側(cè)邊屏蔽固定板7上設(shè)有陽(yáng)極屏蔽板8，底座6頂部依次設(shè)有鐵氟龍絕緣層5和壓塊固定座2，壓塊固定座2頂部設(shè)有壓塊1，壓塊固定座2內(nèi)設(shè)有銅質(zhì)水槽座3和磁鋼，銅質(zhì)水槽座3頂部設(shè)有靶材4，靶材4為矩形平面靶材4，靶材4邊上被壓塊I固定，壓塊I上設(shè)有相應(yīng)形狀的斜坡13和階梯14，因而保證了壓塊I和靶材4安裝結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，同時(shí)也增加了水平方向極間間距81和豎直方向極間間距71的最小值，有效防止靶材4出現(xiàn)短路故障現(xiàn)象。
[0025]上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理和最佳實(shí)施例，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，包括壓塊主體，所述壓塊主體上設(shè)有安裝孔，其特征在于:所述壓塊主體頂部設(shè)有斜坡，壓塊主體底部設(shè)有用于固定矩形平面靶材的階梯。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，其特征在于:所述壓塊主體頂部上表面為平面，斜坡表面為平面，斜坡表面與頂部上表面之間的夾角為28° -32。。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射矩形平面靶材防短路壓塊，其特征在于:所述階梯上設(shè)有內(nèi)角，內(nèi)角不小于90°。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK203403149SQ201320462254
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月31日
【發(fā)明者】賴善春, 杜甫, 包立強(qiáng), 蔣新波, 劉志標(biāo), 周建, 年志剛 申請(qǐng)人:廣東漢能光伏有限公司