磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的破真空充氣裝置，包括充氣閥、內(nèi)分流槽、內(nèi)分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板。其中充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大；內(nèi)分流槽兩側(cè)及底面的除正對(duì)充氣口位置之外的位置上鉆有若干小孔，小孔的總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積；外分流槽兩側(cè)及底面鉆有若干小孔，小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積；內(nèi)、外分流槽焊接在充氣口上，其端板分別焊在內(nèi)、外分流槽的兩端并分別鉆有小孔；內(nèi)、外分流槽的小孔互相錯(cuò)開(kāi)。本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線的破真空充氣裝置可有效降低真空室內(nèi)進(jìn)氣的流速，避免破真空在充氣時(shí)形成過(guò)激烈的沖擊導(dǎo)致玻璃板破碎，進(jìn)而導(dǎo)致停機(jī)事故的發(fā)生。
【專利說(shuō)明】磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，尤其涉及一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線生產(chǎn)過(guò)程中，其前、后真空室在每個(gè)生產(chǎn)節(jié)拍均需抽真空I次、破真空恢復(fù)大氣壓I次，玻璃板才能進(jìn)、出真空鍍膜室，完成連續(xù)生產(chǎn)。為提高產(chǎn)量，縮短生產(chǎn)節(jié)拍的時(shí)間，充氣閥的口徑一般做得較大。目前，氣流采用直接進(jìn)入真空室的方式經(jīng)充氣閥充入真空室，遇氣流速度高、沖擊力大的情況出現(xiàn)，極易造成玻璃板破碎的事故出現(xiàn)，此時(shí)整條生產(chǎn)線就要停機(jī)，打開(kāi)真空室，將碎玻璃徹底清理干凈后才能恢復(fù)生產(chǎn)。上述事故的發(fā)生一方面造成生產(chǎn)過(guò)程的中斷，影響產(chǎn)量和產(chǎn)品的質(zhì)量，并造成原材料的浪費(fèi)和生產(chǎn)成本的上升。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是，提供一種磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，其能夠避免氣流對(duì)真空室內(nèi)玻璃板的激烈沖擊，降低或消除玻璃板破碎事故的發(fā)生，以實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)。
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是，有效降低氣流進(jìn)入真空室的流速，減少氣流進(jìn)入真空室時(shí)對(duì)真空室內(nèi)玻璃板的沖擊。
[0005]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)解決方案是:
[0006]一種新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，包括充氣閥、內(nèi)分流槽、內(nèi)分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其中，內(nèi)分流槽和外分流槽分別焊接在充氣口上；內(nèi)分流槽端板和外分流槽端板分別焊在內(nèi)分流槽和外分流槽的兩端；上述充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大，內(nèi)分流槽的兩側(cè)和底面除正對(duì)著充氣口方向的位置之外均鉆有若干小孔，其小孔總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積；外分流槽的兩側(cè)及底面鉆有若干小孔，其小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積。
[0007]上述技術(shù)方案中，由于充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大，氣流進(jìn)入后將減速；由于內(nèi)分流槽的兩側(cè)和底面上的小孔總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積，進(jìn)入的氣流將進(jìn)一步減速；相應(yīng)地，外分流槽的兩側(cè)及底面的小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積，這使得經(jīng)過(guò)內(nèi)分流板的氣體量能夠滿足生產(chǎn)工藝的要求，不會(huì)出現(xiàn)氣流不足的問(wèn)題。
[0008]也就是說(shuō)，上述技術(shù)方案的采用能夠有效降低進(jìn)入真空室氣流的流速，從而能夠避免氣流對(duì)真空室內(nèi)玻璃板的激烈沖擊，降低或消除玻璃板破碎事故的發(fā)生。
[0009]作為優(yōu)選，上述內(nèi)分流槽與外分流槽上各自鉆有的小孔，其位置相互錯(cuò)開(kāi)。
[0010]該優(yōu)選技術(shù)方案所直接產(chǎn)生的有益效果是，從充氣閥進(jìn)入的氣流在依次經(jīng)過(guò)內(nèi)分流槽與外分流槽時(shí)，氣流的方向?qū)l(fā)生改變。S卩，氣流在進(jìn)入真空室的途中將發(fā)生方向上的轉(zhuǎn)變，有始終為直線進(jìn)入的方式轉(zhuǎn)變?yōu)樵谥型境霈F(xiàn)繞行的進(jìn)入方式。這樣，氣流的流速將進(jìn)一步減速。
[0011]作為優(yōu)選，上述內(nèi)分流槽端板和外分流槽端板上分別鉆有若干小孔。
[0012]在內(nèi)分流槽端板和所述外分流槽端板上分別鉆有若干小孔的目的是，在滿足內(nèi)分流槽的兩側(cè)和底面上的小孔總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積，以及滿足外分流槽的兩側(cè)及底面的小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積這兩個(gè)前提下，能夠盡可能地使得鉆孔位置分散。這樣，一方面能夠增加氣流進(jìn)入之后繞行的距離，從而減緩氣流流速；另一方面，能夠降低鉆孔加工的難度，而且能夠避免單位面積的板上由于鉆孔過(guò)密所致其強(qiáng)度降低的問(wèn)題出現(xiàn)。即，既不需要增加內(nèi)分流槽板兩側(cè)及其端板的厚度，也不需要增加外分流槽板兩側(cè)及其端板的厚度。也就是說(shuō)，鉆孔加工不會(huì)增加材料的成本；
[0013]更重要的是，以上技術(shù)方案帶來(lái)的另一個(gè)技術(shù)效果是，將鉆孔分布在各個(gè)區(qū)域，使得氣體能從各個(gè)方向的鉆孔同時(shí)進(jìn)入真空室，真空室內(nèi)各個(gè)方向和位置的升壓過(guò)程同步性將更好，這樣真空室內(nèi)各個(gè)區(qū)域、各個(gè)方向之間的瞬時(shí)壓力差就更小甚至消除各區(qū)域或個(gè)方向上之間的壓力差，對(duì)真空室內(nèi)玻璃板的沖擊就更平和、沖擊力更小。
[0014]綜上所述，本實(shí)用新型具有以下有益效果:
[0015]裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工與安裝方便；
[0016]能夠避免氣流對(duì)真空室內(nèi)玻璃板的激烈沖擊，減少甚至是消除玻璃板因氣流沖擊和氣流進(jìn)入真空室所產(chǎn)生的瞬時(shí)壓力差所致破碎事故發(fā)生的概率，相應(yīng)地，能夠減少生產(chǎn)線的停機(jī)時(shí)間，提高產(chǎn)、質(zhì)量和生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置沿A-A方向的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖1、2對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。
[0020]如圖1所示，本實(shí)用新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，其包括有焊接在真空室壁6外側(cè)的充氣閥I，對(duì)著充氣口在真空室壁內(nèi)側(cè)焊接的內(nèi)分流槽2，焊接在內(nèi)分流槽I兩端的內(nèi)分流槽端板2，套焊在內(nèi)分流槽I外面的外分流槽4，焊接在外分流槽4兩端的外分流槽端板5。
[0021]其中，充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大，一般為約2-2.5倍。
[0022]內(nèi)分流槽2的兩側(cè)及底面鉆有一定量的小孔(底面正對(duì)充氣口的位置不鉆孔)，其小孔的總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積，一般采用1.5-2倍。
[0023]外分流槽4的兩側(cè)及底面鉆有一定量的小孔，其小孔總面積大于內(nèi)分流槽上小孔的總面積，一般米用1.5-2倍。
[0024]內(nèi)分流槽端板3和外分流槽端板5上也鉆有小孔。
[0025]現(xiàn)結(jié)合附圖1和圖2，從原理上對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)效果進(jìn)行分析如下:[0026]如圖1和圖2所示，上述內(nèi)、外分流槽焊在充氣口上，內(nèi)、外分流槽的小孔互相錯(cuò)開(kāi)，其目的是防止氣流對(duì)真空室內(nèi)的玻璃板造成直接沖擊；內(nèi)、外分流槽端板分別焊接在內(nèi)、外分流槽的兩端；破真空裝置在充氣時(shí)，氣流從充氣閥進(jìn)入，撞到內(nèi)分流槽底板后向四周轉(zhuǎn)向分散，然后以較慢的流速經(jīng)內(nèi)分流槽各小孔流入內(nèi)、外分流槽之間，最后以緩慢的流速經(jīng)外分流槽各小孔流入真空室7中。由于各后級(jí)充氣孔均比相應(yīng)的前級(jí)充氣孔數(shù)量多、面積大，故原先強(qiáng)烈的充氣氣流被分割為多股低速氣流，沖擊力大大降低，從而不會(huì)對(duì)玻璃板造成損壞。
【權(quán)利要求】
1.一種新型的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，包括充氣閥、內(nèi)分流槽、內(nèi)分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其特征在于，所述內(nèi)分流槽和所述外分流槽分別焊接在所述充氣口上；所述內(nèi)分流槽端板和所述外分流槽端板分別焊在所述內(nèi)分流槽和所述外分流槽的兩端；所述充氣閥與真空室連接的過(guò)流口面積比充氣閥進(jìn)氣口面積大，所述內(nèi)分流槽的兩側(cè)和底面除正對(duì)著充氣口方向的位置之外均鉆有若干小孔，其小孔總面積大于充氣閥的過(guò)流口面積；所述外分流槽的兩側(cè)及底面鉆有若干小孔，其小孔總面積大于內(nèi)分流槽小孔的總面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，其特征在于，所述內(nèi)分流與所述外分流槽上各自鉆有的小孔，其位置相互錯(cuò)開(kāi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磁控濺射鋁鏡生產(chǎn)線破真空充氣裝置，其特征在于，所述內(nèi)分流槽端板和所述外分流槽端板上分別鉆有若干小孔。
【文檔編號(hào)】C23C14/18GK203440440SQ201320482005
【公開(kāi)日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月8日
【發(fā)明者】郭玉芬, 丁秀芳, 莊慧顯, 趙彬, 曹本偉, 董磊, 丁波, 尹懷秀 申請(qǐng)人:青島環(huán)球集團(tuán)股份有限公司