真空鍍膜設(shè)備的夾鉗及濺鍍載臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，包括：一安裝部，呈條形；以及，一夾持部，銜接于該安裝部并且彎曲延伸；該夾持部端面是一承載面，且該承載面具有至少一個(gè)豎向設(shè)置的溝槽。另外還提供一種濺鍍載臺(tái)，具有一承放座和一底座，所述底座還分別配置有多個(gè)上述夾鉗，用以夾持一待加工工件進(jìn)行一鍍膜工藝。使沉積膜較多的沉積在溝槽內(nèi)，且使頭部沉積膜更加均勻。減少單點(diǎn)沉積膜較厚現(xiàn)象，從而減少破片發(fā)生。
【專利說明】真空鍍膜設(shè)備的夾鉗及濺鍍載臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種工件夾鉗，特別涉及一種在真空鍍膜工藝中用于夾持待加工工件的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗及濺鍍載臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有液晶或OLED顯示器的制造流程中，均包含有在玻璃基板上形成導(dǎo)電膜的處理步驟，此步驟中包括通過物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition, PVD)的技術(shù)所制作而成，例如使用派鍍(sputtering)技術(shù)于玻璃基板上形成導(dǎo)電膜。
[0003]濺鍍工藝一般在真空鍍膜設(shè)備進(jìn)行，現(xiàn)有真空鍍膜設(shè)備包括一反應(yīng)室(chamber)、一濺鍍載臺(tái)、一遮罩以及一濺鍍靶(target)。濺鍍載臺(tái)位于反應(yīng)室內(nèi)，以承載玻璃基板。遮罩用于定義濺鍍區(qū)域，并可避免在濺鍍載臺(tái)內(nèi)，玻璃基板以外的其他區(qū)域形成金屬沉積物。濺鍍靶設(shè)置于反應(yīng)室的開口處，且濺鍍靶配置有靶材，以供濺鍍使用。其原理為，于反應(yīng)室中產(chǎn)生等離子體，再利用磁場(chǎng)或電場(chǎng)等加速方式，使等離子體中的離子對(duì)濺鍍靶進(jìn)行離子轟擊，以造成濺鍍靶表面的靶材原子濺出而飛向玻璃基板，并在玻璃基板表面形成一層金屬薄膜。
[0004]其中，濺鍍載臺(tái)具有一承放座和一底座。底座的外圍具有多個(gè)槽孔，承放座上具有多個(gè)與槽孔相對(duì)應(yīng)的開孔，底座的槽孔內(nèi)還分別配置有可活動(dòng)地工件夾鉗，如圖1所示為工件夾鉗10的結(jié)構(gòu)示意圖，其具有一安裝部110、一延伸段120及一夾持部130，安裝部具有兩個(gè)固定孔111，用于鎖合于底座的槽孔內(nèi)，且夾持部130上具有一承載面131，可通過開孔露出于承放座上。底座下方還具有一支撐銷(supporting pin),支撐銷于玻璃基板進(jìn)入底座上方時(shí)用以支撐玻璃基板，并使玻璃基板平穩(wěn)地落于承放座上，接著工件夾鉗10便以夾持部130的承載面131扣合于玻璃基板的邊緣，以將玻璃基板固持于承放座上以進(jìn)行后續(xù)濺鍍的程序。
[0005]值得注意的是，進(jìn)行濺鍍程序時(shí)，工件夾鉗直接暴露于反應(yīng)室內(nèi)，因此濺鍍完成后，工件夾鉗的承載面上未被玻璃基板邊緣遮敝的區(qū)域，同時(shí)將沉積部分的濺鍍物質(zhì)。
[0006]如此一來，現(xiàn)有鍍膜設(shè)備內(nèi)的夾鉗在使用周期末期時(shí)，會(huì)因膜層長期不定向沉積在表面，發(fā)生夾鉗單點(diǎn)沉積膜較厚，容易在玻璃基板松開或夾緊時(shí)，因單點(diǎn)受力而夾破玻璃。進(jìn)而影響玻璃基板的真空鍍膜的合格率，也嚴(yán)重影響顯示面板的產(chǎn)能及造成生產(chǎn)成本的上升。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]鑒于以上的問題，本實(shí)用新型提供一種夾鉗結(jié)構(gòu)，用以改良液晶顯示器的玻璃基板在濺鍍程序中，因夾鉗的承載面與累積于承載面上的濺鍍物質(zhì)之間的附著力不佳，而容易剝離并掉落于玻璃基板，所導(dǎo)致玻璃基板的真空鍍膜合格率不佳的問題。
[0008]本實(shí)用新型所揭露的一種真空鍍膜設(shè)備的新型夾鉗，包括:一安裝部，呈條形；以及，一夾持部，銜接于該安裝部并且彎曲延伸；該夾持部端面是一承載面，且該承載面具有至少一個(gè)豎向設(shè)置的溝槽。
[0009]本實(shí)用新型所揭露的一種濺鍍載臺(tái)，裝設(shè)于一真空鍍膜設(shè)備中，所述濺鍍載臺(tái)具有一承放座和一底座，所述底座還分別配置有多個(gè)夾鉗，用以夾持一待加工工件進(jìn)行一鍍膜工藝，其特征在于，該夾鉗包括:一安裝部，呈條形；以及，一夾持部，銜接于該安裝部并且彎曲延伸；該夾持部端面是一承載面，且該承載面具有至少一個(gè)豎向設(shè)置的溝槽。
[0010]根據(jù)一實(shí)施方式，該安裝部具有一個(gè)貫通的固定孔。
[0011]根據(jù)一實(shí)施方式，所述固定孔是橢圓形孔，所述安裝部面向夾持部的一面為正面，背向夾持部的一面為背面，所述固定孔貫通所述安裝部正面及背面。
[0012]根據(jù)一實(shí)施方式所述安裝部的背面上具有至少兩個(gè)橫向?yàn)R鍍溝槽，所述兩個(gè)濺鍍溝槽間隔地平行設(shè)置，所述橫向?yàn)R鍍溝槽的位置高于所述固定孔。
[0013]根據(jù)一實(shí)施方式，所述溝槽的深度范圍為0.3毫米至1.3毫米。
[0014]根據(jù)一實(shí)施方式，所述溝槽為橢圓狀結(jié)構(gòu)、矩形狀結(jié)構(gòu)或V形結(jié)構(gòu)。
[0015]根據(jù)一實(shí)施方式，所述溝槽傾斜一角度設(shè)置于該夾持部上。
[0016]本實(shí)用新型相較于現(xiàn)有技術(shù)的有益技術(shù)效果在于:
[0017]本實(shí)用新型 的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗于夾持部的承載面上設(shè)置一溝槽，當(dāng)此夾鉗應(yīng)用于真空鍍膜時(shí)，用以夾持一待加工工件于濺鍍機(jī)臺(tái)上，以進(jìn)行待加工工件的濺鍍程序，在此濺鍍程序中，待加工工件的表面形成一鍍膜，并于夾鉗的承載面上與溝槽內(nèi)形成鍍膜結(jié)構(gòu)，此鍍膜結(jié)構(gòu)受到溝槽所具有的結(jié)構(gòu)形狀影響，而得以增加與承載面之間的附著力，使得鍍膜不會(huì)從承載面上剝離并掉落于待加工工件上，令待加工工件在濺鍍程序中受污染的風(fēng)險(xiǎn)降低，并增加真空鍍膜中待加工工件的合格率。并且，使沉積膜較多的沉積在溝槽內(nèi)，且使頭部沉積膜更加均勻。減少單點(diǎn)沉積膜較厚現(xiàn)象，從而減少破片發(fā)生。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是現(xiàn)有空鍍膜設(shè)備的工件夾鉗的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型真空鍍膜設(shè)備的夾鉗結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型真空鍍膜設(shè)備的夾鉗另一視角的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]附圖標(biāo)記說明
[0022]夾鉗10、延伸段120、 夾持部130
[0023]固定孔111、 承載面131
[0024]夾鉗I安裝部2夾持部3
[0025]固定孔21 濺鍍溝槽22
[0026]承載面31 溝槽32擋片33
【具體實(shí)施方式】
[0027]體現(xiàn)本實(shí)用新型特征與優(yōu)點(diǎn)的實(shí)施方式將在以下的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本實(shí)用新型能夠在不同的實(shí)施方式上具有各種的變化，其皆不脫離本實(shí)用新型的范圍，且其中的說明及附圖在本質(zhì)上是當(dāng)作說明之用，而非用以限制本實(shí)用新型。
[0028]如圖2所示為本實(shí)用新型所提供的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型所揭露的夾鉗I包括有一安裝部2及一夾持部3。夾持部3形成于安裝部2與頂端，由該安裝部頂端向一側(cè)彎曲延伸形成。
[0029]如圖2所示，安裝部2呈長條形，可為長方體形狀，以便于裝入并固定于濺鍍載臺(tái)底座上的方筒形擺臂中，受擺臂控制進(jìn)行張開或閉合動(dòng)作，以夾持一待加工工件進(jìn)行一鍍膜工藝。本實(shí)施例中安裝部2上僅具有一個(gè)固定孔21，固定孔21可呈非圓形孔，具體可為橢圓形孔。安裝部2面向夾持部3的一面為正面，背向夾持部3的一面為背面，固定孔21貫通安裝部2正面及背面。這樣，能以一個(gè)截面為橢圓形的桿件穿過安裝部2，以此非圓形的桿件，利用螺母來將安裝部2與濺鍍載臺(tái)底座上的筒形擺臂進(jìn)行定位。即可防止二者的相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，還能對(duì)二者進(jìn)行壓緊固定，減少了固定螺絲的數(shù)量，從而節(jié)省了安裝高度。
[0030]安裝部2的背面上具有兩個(gè)橫向?yàn)R鍍溝槽22，兩個(gè)橫向?yàn)R鍍溝槽22間隔地平行設(shè)置，橫向?yàn)R鍍溝槽22的位置都高于固定孔21。這樣，可減少安裝部2的背面上沉積膜的產(chǎn)生，并且，沉積膜形成后也便于進(jìn)行清潔，以提高安裝部2與筒形擺臂的組裝精度，避免因各安裝部2與筒形擺臂之間由沉積膜造成的安裝差異，造成夾持部3位置不一而發(fā)生破片，當(dāng)然在需要時(shí)，也可將橫向?yàn)R鍍溝槽22設(shè)于正面或側(cè)面。
[0031]如圖2、圖3所示，夾持部3自安裝部2頂端向外側(cè)延伸并呈一彎曲形態(tài)。夾持部3 一端一體銜接于安裝部2的頂端，夾持部3另一端向外凸出，凸出的豎向端面上形成一承載面31及一擋片33，擋片33設(shè)置于承載面31上方。承載面31是用于夾持待加工工件的豎面，且承載面31上具有兩個(gè)豎向溝槽32，用以使承載面31的表面積增加。各溝槽32的寬度范圍可為1.0毫米(mm)至2.0毫米之間，深度范圍為0.3毫米至1.3毫米之間，并且兩溝槽32彼此之間的距離范圍為1.2毫米至2.2毫米之間。且承載面31上的各溝槽32可為橢圓狀結(jié)構(gòu)、矩形狀結(jié)構(gòu)、或是V字形結(jié)構(gòu)等，這兩個(gè)溝槽底部都傾斜一定角度。以上述這些結(jié)構(gòu)不僅能防止承載面上沉積膜剝離并掉落于待加工工件上，還能便于線下對(duì)承載面上沉積膜的清理。
[0032]本實(shí)用新型所揭露的夾鉗應(yīng)用于真空鍍膜時(shí)，可以多個(gè)夾鉗I裝設(shè)于濺鍍載臺(tái)上，濺鍍載臺(tái)具有一承放座及一底座，承放座設(shè)置于底座上方，承放座的兩個(gè)相對(duì)側(cè)邊上開設(shè)有多個(gè)開孔，且底座具有多個(gè)對(duì)應(yīng)于開孔的筒形擺臂，并于筒形擺臂上設(shè)置有對(duì)應(yīng)固定孔21的安裝孔，用以固定夾鉗I。在組裝上，利用多個(gè)橢圓形桿穿過固定孔21并固設(shè)于筒形擺臂內(nèi)，同時(shí)橢圓形桿抵靠于安裝部2，使多個(gè)夾鉗I被安裝于底座上，夾鉗I的夾持部3穿過開孔且露出于承放座上方，并使兩個(gè)側(cè)邊的夾鉗I的承載面31相互對(duì)應(yīng)。
[0033]本實(shí)用新型的夾鉗結(jié)構(gòu)于夾持部的承載面上設(shè)置一溝槽，當(dāng)此夾鉗應(yīng)用于真空鍍膜時(shí)，用以夾持一待加工工件于濺鍍機(jī)臺(tái)上，以進(jìn)行待加工工件的濺鍍程序，在此濺鍍程序中，待加工工件的表面形成一鍍膜，并于夾鉗的承載面上與溝槽內(nèi)形成鍍膜結(jié)構(gòu)，此鍍膜結(jié)構(gòu)受到溝槽所具有的結(jié)構(gòu)形狀影響，而得以增加與承載面之間的附著力，使得鍍膜不會(huì)從承載面上剝離并掉落于待加工工件上，使待加工工件在濺鍍程序中受污染的風(fēng)險(xiǎn)降低，并增加真空鍍膜中待加工工件的合格率。并且，使沉積膜較多的沉積在溝槽內(nèi)，且使頭部沉積膜更加均勻。減少單點(diǎn)沉積膜較厚現(xiàn)象，從而減少破片發(fā)生。
[0034]由技術(shù)常識(shí)可知，本實(shí)用新型可以通過其它的不脫離其精神實(shí)質(zhì)或必要特征的實(shí)施方案來實(shí)現(xiàn)。因此，上述公開的實(shí)施方案，就各方面而言，都只是舉例說明，并不是僅有的。所有在本實(shí)用新型范圍內(nèi)或在等同于本實(shí)用新型的范圍內(nèi)的改變均被本實(shí)用新型包
含ο
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，包括: 一安裝部；以及 一夾持部，由該安裝部一端向一側(cè)彎曲延伸形成；該夾持部外端面具有一承載面，且該承載面具有至少一個(gè)豎向設(shè)置的溝槽。
2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，該安裝部僅具有一個(gè)貫通的固定孔。
3.如權(quán)利要求2所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述固定孔是非圓形孔，所述安裝部面向夾持部延伸方向的一面為正面，背向夾持部延伸方向的一面為背面，所述固定孔貫通所述安裝部正面及背面。
4.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述固定孔為橢圓形孔。
5.如權(quán)利要求2所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述安裝部的一面上具有至少兩個(gè)橫向?yàn)R鍍溝槽，所述至少兩個(gè)橫向?yàn)R鍍溝槽間隔地平行設(shè)置。
6.如權(quán)利要求5所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述橫向?yàn)R鍍溝槽的位置高于所述固定孔。
7.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述溝槽的深度范圍為0.3毫米至1.3毫米。
8.如權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的真空鍍膜設(shè)備的夾鉗，其特征在于，所述溝槽是截面為橢圓狀結(jié)構(gòu)、矩形狀結(jié)構(gòu)或V形結(jié)構(gòu)。
9.一種安裝有如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述夾鉗的濺鍍載臺(tái)，其特征在于，所述濺鍍載臺(tái)裝設(shè)于一真空鍍膜設(shè)備中，所述濺鍍載臺(tái)具有一承放座和一底座，所述底座外周上間隔地配置有多個(gè)所述夾鉗。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK203683656SQ201320646769
【公開日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2013年10月18日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月18日
【發(fā)明者】王云靖, 劉滔滔, 郭世佳 申請(qǐng)人:上海和輝光電有限公司