研磨手臂位置矯正器的制造方法
【專利摘要】本實用新型是通過水平氣泡的調節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點位置。本實用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個觸電分別接觸研磨盤和platen，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡，通過水平氣泡的調整，檢測和矯正設備的原點，這個裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的原點位置，并且位置不準還可以方便的調節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調節(jié)量化和精確化。
【專利說明】研磨手臂位置矯正器
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及工業(yè)制造領域，特別涉及一種研磨手臂位置矯正器。
【背景技術】
[0002]研磨手臂的原點位置是通過PC上的disk邊緣和platen的邊緣相切來確定的。我們現在檢查研磨手臂的原點需要把壓板(platen)上的pad撕掉(pad的尺寸比platen大)，非常麻煩而且耗費也比較大，目前我們檢測和調節(jié)研磨手臂的原點位置是通過disk邊緣和platen邊緣相切來判斷研磨手臂位置是否正確。由于我們12寸的機臺出廠就比platen大，在檢測和調節(jié)位置都要事先把研磨墊撕掉。這樣會造成很大的人力和物力的浪費。現在這個裝置可以在不撕掉pad或者是pad在platen上不整齊的情況下簡單方便并且精確的檢測研磨手臂的原點位置，研磨手臂的原點位置的檢測和矯正非常的麻煩和不精確，沒有一個量化的指標，完全靠人的肉眼判斷。
[0003]通過這個裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的的原點位置，并且位置不準還可以方便的調節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調節(jié)量化和精確化。
實用新型內容
[0004]本實用新型是通過水平氣泡的調節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點位置。本實用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個觸電分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡，通過水平氣泡的調整，檢測和矯正設備的原點。
[0005]一種研磨手臂位置矯正器，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的兩端分別垂直連接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同構成一凹形結構；其中，所述上臂的上表面內嵌一個水平氣泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的觸點，且該兩觸點之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
[0006]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述立臂所在垂直平面與所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。
[0007]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述觸點長短一致。
[0008]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述氣泡內嵌于所述上臂上表面，用于檢測和矯正。
[0009]上述研磨手臂位置矯正器的使用方法，其中，通過所述開口端的兩個觸點分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡，通過水平氣泡的調整，檢測和矯正設備的原點。
[0010]本實用新型外形呈水平凹型，通過凹形裝置的兩個觸電分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡，通過水平氣泡的調整，檢測和矯正設備的原點，不但可以方便的調節(jié)而且還可以使檢測調節(jié)量化和精確化。
[0011]采用本實用新型后的有益效果是:
[0012]這個裝置我們可以簡單精確地檢查研磨手臂的原點位置，并且位置不準還可以方便的調節(jié)。把研磨手臂的位置檢測和調節(jié)量化和精確化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型一種研磨手臂位置矯正器主視圖；
[0014]圖2為本實用新型一種研磨手臂位置矯正器工作原理示意圖；
[0015]圖3為本實用新型一種研磨手臂位置矯正器上臂水平氣泡示意圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結合附圖和具體事例對本實用新型做進一步的說明，但不作為本實用新型的限定。
[0017]本實用新型是通過水平氣泡的調節(jié)來檢測和矯正研磨手臂的原點位置。本實用新型樣式是凹型裝置，通過凹形裝置的兩個觸電5、6分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡I (如圖3所示)，通過水平氣泡I的調整，檢測和矯正設備的原點，如圖1所示:
[0018]一種研磨手臂位置矯正器，包括相互平行的上臂2和下臂3，立臂4的兩端分別垂直連接于所述上臂2的一端和所述下臂3的一端，所述上臂2、所述下臂3和所述立臂4共同構成一凹形結構；其中，所述上臂2的上表面內嵌一個水平氣泡I，所述上臂2和下臂3另一端的垂直面上均有一凸出的觸點5、6，且該兩觸點之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
[0019]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述立臂4所在垂直平面與所述上臂2和所述下臂3在同垂直平面上，立臂4和兩橫臂形成凹型結構，立臂4為凹槽的底部。
[0020]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述觸點5和觸點6長短一致，通過凹形裝置的兩個觸電分別接觸研磨盤和platen，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡1，通過水平氣泡I的調整，檢測和矯正設備的原點。
[0021]上述研磨手臂位置矯正器，其中，所述氣泡I內嵌于所述上臂2上表面，嵌于上表面方便檢測和矯正。
[0022]上述研磨手臂位置矯正器的使用方法，其中，通過所述開口端的兩個觸點分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的水平氣泡1，通過水平氣泡I的調整，檢測和矯正設備的原點。
[0023]本實用新型外形呈水平凹型，通過凹形裝置的兩個觸電5、6分別接觸研磨盤和研磨壓板，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡1，通過水平氣泡I的調整，檢測和矯正設備的原點，不但可以方便的調節(jié)而且還可以使檢測調節(jié)量化和精確化。
[0024]使用方法為如圖2所示:通過凹形裝置上臂2和下臂3的兩個觸電5和觸電6分別接觸研磨盤和platen，調節(jié)裝置里內嵌的一個水平氣泡1，當水平氣泡I處于中間位置時，所檢測到的位置為設備的原點。
[0025]以上所述僅為本實用新型較佳的事例，并非因此限制本實用新型的實施方式及保護范圍，對于本領域技術人員而言，應當能夠意識到凡運用本實用新型說明書及圖示內容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應包含在本實用新型的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種研磨手臂位置矯正器，其特征在于，包括相互平行的上臂和下臂，立臂的兩端分別垂直連接于所述上臂的一端和所述下臂的一端，所述上臂、所述下臂和所述立臂共同構成一凹形結構；其中，所述上臂的上表面內嵌一個水平氣泡，所述上臂和下臂另一端的垂直面上均有一凸出的觸點，且該兩觸點之間的連線與所述立臂的延展方向平行。
2.如權利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述立臂所在垂直平面與所述上臂和所述下臂在同垂直平面上。
3.如權利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述觸點長短一致。
4.如權利要求1所述研磨手臂位置矯正器，其特征在于，所述氣泡內嵌于所述上臂上表面，用于檢測和矯正。
【文檔編號】B24B53/017GK203680059SQ201320776619
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權日:2013年11月29日
【發(fā)明者】趙振偉, 張弢, 蔣德念 申請人:上海華力微電子有限公司