一種真空蝕刻的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種真空蝕刻機(jī)，包括機(jī)體，機(jī)體內(nèi)設(shè)有均由若干個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸組成的上、下兩個(gè)輸送系統(tǒng)，所述機(jī)體外設(shè)有真空吸管工作泵浦，真空吸管工作泵浦的出口端連接由三個(gè)文氏管組成的三通管的主管的一端，三通管的主管的另一端接入主槽內(nèi)，三通管的支管連接有氣動(dòng)閥，氣動(dòng)閥的末端連接有連接管，連接管的末端連接有真空吸管，真空吸管位于上輸送系統(tǒng)的相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間，真空吸管的兩端分別通過(guò)活動(dòng)式固定座固定在相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上。本實(shí)用新型的有益效果為：相對(duì)傳統(tǒng)蝕刻機(jī)，具有蝕刻速度快，蝕刻線條均勻，藥水利用率高。
【專利說(shuō)明】一種真空蝕刻機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電路板加工領(lǐng)域，尤其涉及一種真空蝕刻機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著工業(yè)的發(fā)展，印制電路板向多層化、密集化、柔性化方向發(fā)展，線條越來(lái)越細(xì)，對(duì)蝕刻工業(yè)要求越來(lái)越高，以及蝕刻廢液對(duì)生態(tài)環(huán)境產(chǎn)生嚴(yán)重影響，迫使人們不斷開(kāi)發(fā)新的蝕刻技術(shù)，以提高蝕刻工藝，提高藥水利用率，減少多環(huán)境影響。傳統(tǒng)蝕刻機(jī)，具有蝕刻速度慢、蝕刻線條不均勻、藥水利用率低等問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種真空蝕刻機(jī)，以克服目前現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足。
[0004]本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0005]一種真空蝕刻機(jī)，包括機(jī)體，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)有均由若干個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸組成的上、下兩個(gè)輸送系統(tǒng)，所述機(jī)體外設(shè)有真空吸管工作泵浦，真空吸管工作泵浦的出口端連接由三個(gè)文氏管組成的三通管的主管的一端，所述三通管的主管的另一端接入主槽內(nèi)，所述三通管的支管連接有氣動(dòng)閥，氣動(dòng)閥的末端連接有連接管，連接管的末端連接有真空吸管，真空吸管位于上輸送系統(tǒng)的相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間，所述真空吸管的兩端分別通過(guò)活動(dòng)式固定座固定在相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上。
[0006]進(jìn)一步的，所述真空吸管朝向下面的輸送系統(tǒng)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有若干個(gè)孔。
[0007]進(jìn)一步的，所述連接管包括與氣動(dòng)閥的末端連接的透明管和與真空吸管中部連接的軟管。
[0008]進(jìn)一步的，所述真空吸管左側(cè)設(shè)有槽體結(jié)構(gòu)。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果為:相對(duì)傳統(tǒng)蝕刻機(jī)，具有蝕刻速度快，蝕刻線條均勻，藥水利用率高。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]下面根據(jù)附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0011]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的真空蝕刻機(jī)的主視圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的真空蝕刻機(jī)的側(cè)視圖。
[0013]圖中:
[0014]1、輸送系統(tǒng)；2、真空吸管工作泵浦；3、文氏管；4、氣動(dòng)閥；5、真空吸管；6、活動(dòng)式固定座；7、透明管；8、軟管；9、槽體結(jié)構(gòu)；10、噴淋泵浦；11、主槽；12、上主噴淋管；13、上噴淋管；14、噴淋嘴；15、輸送輪片。
【具體實(shí)施方式】[0015]如圖1-2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例所述的一種真空蝕刻機(jī)，包括機(jī)體，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)有均由若干個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸組成的上、下兩個(gè)輸送系統(tǒng)1，所述機(jī)體外設(shè)有真空吸管工作泵浦2，真空吸管工作泵浦2的出口端連接由三個(gè)文氏管3組成的三通管的主管的一端，所述三通管的主管的另一端接入主槽11內(nèi)，所述三通管的支管連接有氣動(dòng)閥4，氣動(dòng)閥4的末端連接有連接管，連接管的末端連接有真空吸管5，真空吸管5位于上輸送系統(tǒng)I的相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間，所述真空吸管5的兩端分別通過(guò)活動(dòng)式固定座6固定在相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；所述真空吸管5朝向下面的輸送系統(tǒng)I的一側(cè)開(kāi)設(shè)有若干個(gè)孔；所述連接管包括與氣動(dòng)閥4的末端連接的透明管7和與真空吸管5中部連接的軟管8 ;所述真空吸管5左側(cè)設(shè)有槽體結(jié)構(gòu)9。
[0016]具體使用時(shí)，噴淋泵浦10抽取主槽11內(nèi)的藥液，通過(guò)上主噴淋管12和上噴淋管13將藥液噴淋到基板表面，真空吸管工作泵浦2抽取主槽11內(nèi)的藥液通過(guò)文氏管3內(nèi)的液體流速差在真空吸管5內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓，真空吸管5吸取基板表面的藥液，通過(guò)透明管7和氣動(dòng)閥回到靠近主槽側(cè)的文氏管3，從這個(gè)文氏管3的出口回到蝕刻主槽11內(nèi)。
[0017]本蝕刻機(jī)真空蝕刻結(jié)構(gòu)主要包括:輸送系統(tǒng)1、噴淋嘴14、活動(dòng)式固定座6、真空吸管5、氣動(dòng)閥4、真空吸管的連接管、槽體結(jié)構(gòu)9和真空吸管安裝(真空吸管5、氣動(dòng)閥4、真空吸管的連接管、槽體結(jié)構(gòu)和真空吸管安裝，構(gòu)成完整管路及完整工作體系)。該結(jié)構(gòu)主要特點(diǎn):利用流速差使真空吸管產(chǎn)生負(fù)壓，達(dá)到吸引印制電路板上反應(yīng)后藥水及其反應(yīng)后沉淀物，減少水池效應(yīng)，提高印制電路板和藥水反應(yīng)速度，確保蝕刻線條均勻，減小印制電路板側(cè)蝕效應(yīng)，提高藥水利用率。
[0018]氣動(dòng)閥4:控制調(diào)節(jié)真空吸管效率；輸送輪片15:確保印制電路板機(jī)體內(nèi)勻速運(yùn)動(dòng)；噴淋嘴14:上下均采用近接式噴嘴上下噴嘴數(shù)量一致，采用交錯(cuò)排列，確保藥水噴淋范圍及確保印制電路板上下壓力一致，避免上下壓力不平衡導(dǎo)致印制電路板出現(xiàn)折痕，在上噴嘴下放為減少輪片對(duì)藥水阻擋取消上輸送輪，反正在下噴嘴存在地方采用同樣方式；真空吸管6:采用鈦管制成，具有強(qiáng)度高不易變形特點(diǎn)，利用文氏管原理產(chǎn)生流速差形成負(fù)壓，達(dá)到吸收印制電路板反應(yīng)后藥水及沉淀物作用，增加反應(yīng)速度減少水池效應(yīng)，通過(guò)氣動(dòng)閥4 (電磁閥)控制真空吸管開(kāi)和關(guān)，達(dá)到調(diào)節(jié)、控制真空吸管流量；活動(dòng)固定座6:將真空吸管通過(guò)活動(dòng)座子固定在上輸送枝上，此目的為確保無(wú)論印制電路板厚度多少均保持真空吸管距離印制電路板板值為定值，固定座子和輸送枝之間采用卡式鏈接，方便安裝維護(hù)；真空吸管的連接管:完成連接結(jié)構(gòu)確保正常工作，維護(hù)便利；槽體結(jié)構(gòu)和真空吸管安裝:確保機(jī)體外觀美觀，槽內(nèi)藥水均勻分布。
[0019]整體布局，真空管均勻排列在上下噴嘴之間，真空吸管均在輸送板上方，真空管吸中間部位采用軟管鏈接，減小真空管抖動(dòng)，確保真空吸管隨著印制電路厚度做出相應(yīng)調(diào)整，吸管分布在槽體后面，均采用4分吸管和1.5寸出口，通過(guò)泵浦工作既可以達(dá)到吸水目的，確保藥水槽內(nèi)藥水分布均勻，因此管路注意分布在機(jī)臺(tái)后面。
[0020]真空蝕刻機(jī)構(gòu)蝕刻均勻性可以達(dá)到且大于95%，蝕刻均勻性較好，普通蝕刻機(jī)構(gòu)蝕刻均勻性只可以達(dá)到90%—92%，均勻性較差；真空蝕刻機(jī)構(gòu)蝕刻因子可以達(dá)到且大于4.5，線邊垂直度較好，普通蝕刻機(jī)構(gòu)蝕刻均勻性只可以達(dá)到2.0-3.0，線邊垂直度較差；真空蝕刻機(jī)構(gòu)制程能力生產(chǎn)最小線寬可以達(dá)到35um，比較精細(xì)，適合生產(chǎn)高精細(xì)線路；普通蝕刻機(jī)構(gòu)制程能力生產(chǎn)最小線寬只可以達(dá)到75um，不適合生產(chǎn)高精細(xì)線路；真空蝕刻機(jī)構(gòu)水池效應(yīng)較小或無(wú)，適合生產(chǎn)高精細(xì)線路；普通蝕刻機(jī)構(gòu)水池效應(yīng)較嚴(yán)重，不適合生產(chǎn)高精細(xì)線路。
[0021]本實(shí)用新型不局限于上述最佳實(shí)施方式，任何人在本實(shí)用新型的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品，但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化，凡是具有與本申請(qǐng)相同或相近似的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空蝕刻機(jī)，包括機(jī)體，所述機(jī)體內(nèi)設(shè)有均由若干個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸組成的上、下兩個(gè)輸送系統(tǒng)(1)，其特征在于:所述機(jī)體外設(shè)有真空吸管工作泵浦(2)，真空吸管工作泵浦(2)的出口端連接由三個(gè)文氏管(3)組成的三通管的主管的一端，所述三通管的主管的另一端接入主槽(11)內(nèi)，所述三通管的支管連接有氣動(dòng)閥(4)，氣動(dòng)閥(4)的末端連接有連接管，所述連接管的末端連接有真空吸管(5 )，真空吸管(5 )位于上輸送系統(tǒng)(I)的相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸之間，所述真空吸管(5)的兩端分別通過(guò)活動(dòng)式固定座(6)固定在相鄰的兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)軸上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空蝕刻機(jī)，其特征在于:所述真空吸管(5)朝向下面的輸送系統(tǒng)(I)的一側(cè)開(kāi)設(shè)有若干個(gè)孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空蝕刻機(jī)，其特征在于:所述連接管包括與氣動(dòng)閥(4)的末端連接的透明管(7)和與真空吸管(5)中部連接的軟管(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空蝕刻機(jī)，其特征在于:所述真空吸管(5)左側(cè)設(shè)有槽體結(jié)構(gòu)(9)。
【文檔編號(hào)】C23F1/08GK203625470SQ201320794317
【公開(kāi)日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2013年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月4日
【發(fā)明者】郭立德 申請(qǐng)人:郭立德