一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型創(chuàng)造提供一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置，是針對(duì)無(wú)蠟拋光設(shè)備粗拋過(guò)程的最后一步使用醋酸時(shí)的配液供液裝置，該裝置包括一號(hào)液桶、二號(hào)液桶、無(wú)蠟拋光設(shè)備和總控制系統(tǒng)。本實(shí)用新型創(chuàng)造不需要停機(jī)便可以按要求進(jìn)行配液和供液，可以保持拋光設(shè)備連續(xù)運(yùn)行較長(zhǎng)時(shí)間，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制容易，制造成本低，維護(hù)費(fèi)用少，安全性高，穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，可較好的應(yīng)用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的拋光過(guò)程中。
【專利說(shuō)明】一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造涉及設(shè)備配液、供液技術(shù)，特別涉及一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]無(wú)蠟拋光是利用Peter Wolters FL12P拋光機(jī)用化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的方法進(jìn)行拋光。其中粗拋過(guò)程的最后一步需要利用醋酸來(lái)中和掉一部分拋光液的堿性，而原有的方法是將醋酸溶液按一定比例配好后，手動(dòng)將其倒在拋光墊上。這種方法在操作上非常復(fù)雜，且醋酸溶液量無(wú)法有效控制，設(shè)備無(wú)法實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，工作效率低，無(wú)法適應(yīng)大批量生產(chǎn)的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺失，主要目的在于提供了一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置。其可以在不用停機(jī)的狀態(tài)下，按要求進(jìn)行配液和供液。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:
[0005]一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置，包括一號(hào)液桶(I)、二號(hào)液桶(2)、無(wú)蠟拋光設(shè)備(5)和總控制系統(tǒng)(3)，其中一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的進(jìn)液口通過(guò)分管道與總管道(13)的一端連接，一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的出液口通過(guò)分管道與總管道(13)的另一端連接，無(wú)蠟拋光設(shè)備(5)也通過(guò)分管道與總管道(13)相連接，位于兩個(gè)液桶進(jìn)液口處的分管道上分別設(shè)置有一個(gè)閥門，位于兩個(gè)液桶出液口處的分管道上都設(shè)置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)(3)通過(guò)導(dǎo)線與裝置內(nèi)的各個(gè)泵相連接，用于控制泵的開(kāi)啟和關(guān)閉。
[0006]所述的一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的底部均設(shè)置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過(guò)導(dǎo)線與設(shè)置在總控制系統(tǒng)(3)上的低液位傳感報(bào)警器(4)相連接。
[0007]優(yōu)選地，所述一號(hào)液桶(I)與二號(hào)液桶(2)的容量相同。
[0008]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:本發(fā)明創(chuàng)造提供的用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置，在進(jìn)行無(wú)蠟拋光工序時(shí)，可以在不用停機(jī)的狀態(tài)下，按要求進(jìn)行配液和供液，實(shí)現(xiàn)設(shè)備完全自動(dòng)化，提高了工作效率。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制容易，制造成本低，維護(hù)費(fèi)用少，安全性高，穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，可較好的應(yīng)用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的拋光過(guò)程中。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造的結(jié)構(gòu)示意圖
[0010]圖中:
[0011]1、一號(hào)液桶 2、二號(hào)液桶 3、總控制系統(tǒng)4、低液位傳感報(bào)警器
[0012]5、無(wú)臘拋光設(shè)備6、低液位傳感器7、一號(hào)閥門 8、二號(hào)閥門
[0013]9、三號(hào)閥門 10、四號(hào)閥門 11、一號(hào)泵 12、二號(hào)泵
[0014]13、總管道【具體實(shí)施方式】
[0015]本發(fā)明創(chuàng)造所公開(kāi)的無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置，包括一號(hào)液桶1、二號(hào)液桶
2、無(wú)蠟拋光設(shè)備5和總控制系統(tǒng)3，其中一號(hào)液桶I和二號(hào)液桶2的進(jìn)液口通過(guò)分管道與總管道13的一端連接，一號(hào)液桶I和二號(hào)液桶2的出液口通過(guò)分管道與總管道13的另一端連接，無(wú)蠟拋光設(shè)備5也通過(guò)分管道與總管道13相連接，位于兩個(gè)液桶進(jìn)液口處的分管道上分別設(shè)置有一個(gè)閥門，位于兩個(gè)液桶出液口處的分管道上都設(shè)置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)3通過(guò)導(dǎo)線與裝置內(nèi)的各個(gè)泵相連接，用于控制泵的開(kāi)啟和關(guān)閉。
[0016]本發(fā)明創(chuàng)造的配液供液裝置主要由兩個(gè)液桶組成，兩個(gè)液桶的出液口處均有一個(gè)泵使得兩個(gè)液桶是相對(duì)獨(dú)立的，即單一設(shè)備即可完成醋酸的配液和供液。除此之外，兩個(gè)液桶彼此通過(guò)管道相連接形成配液回路，使得一號(hào)液桶I內(nèi)的醋酸溶液可以流至二號(hào)液桶2內(nèi)，同理二號(hào)液桶2內(nèi)的醋酸溶液也可以流至一號(hào)液桶I內(nèi)。
[0017]除此之外，在兩個(gè)液桶上還裝配了低液位報(bào)警裝置，當(dāng)液桶內(nèi)的液位較低時(shí)，低液位傳感器處于打開(kāi)狀態(tài)，此時(shí)連接在傳感器上的報(bào)警器便會(huì)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，提示操作人員需要進(jìn)行配液，有效控制了醋酸配液和供液的時(shí)間，給生產(chǎn)和操作帶來(lái)了很大的方便。
[0018]為了更清楚的理解本發(fā)明，下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述:
[0019]實(shí)施例1
[0020]使用時(shí)，首先根據(jù)工藝要求，按照醋酸的配液比例為醋酸:去離子水=1:1000配制酸液，盛放醋酸溶液的一號(hào)液桶I容積為35L，所加冰醋酸應(yīng)為35mL。用帶刻度的量筒量取35mL的冰醋酸倒入配液桶內(nèi)，將純水加入一號(hào)液桶I至35L。整個(gè)配液過(guò)程仍需要人手動(dòng)完成配液。
[0021]打開(kāi)一號(hào)液桶I進(jìn)液口處的一號(hào)閥門7,出液口處的三號(hào)閥門9及一號(hào)泵11的開(kāi)關(guān)，同時(shí)關(guān)閉二號(hào)液桶2進(jìn)液口處的二號(hào)閥門8，出液口處的四號(hào)閥門10及二號(hào)泵12的開(kāi)關(guān)，此時(shí)一號(hào)液桶I用來(lái)供液，二號(hào)液桶2米用相同配液方法進(jìn)行配液。待一號(hào)液桶I內(nèi)的液體用完時(shí)，再關(guān)閉一號(hào)液桶I的相應(yīng)的閥門和泵的開(kāi)關(guān)同時(shí)打開(kāi)液桶2的泵和閥門的開(kāi)關(guān)。此時(shí)液桶2供液，同理液桶I可以用來(lái)配液。
[0022]實(shí)施例2
[0023]與實(shí)施例1中的配液方法相同，本實(shí)施中是采用固定一個(gè)液桶始終用于供液，另一個(gè)液桶則用來(lái)配液。具體方法為，打開(kāi)一號(hào)液桶I的一號(hào)閥門7，三號(hào)閥門9及一號(hào)泵11的開(kāi)關(guān)，同時(shí)打開(kāi)二號(hào)液桶2的三號(hào)閥門8與四號(hào)閥門10的開(kāi)關(guān)并關(guān)閉二號(hào)泵12的開(kāi)關(guān)。使得兩液桶之間形成一個(gè)配液回路。在一號(hào)液桶I供液時(shí)，由于一號(hào)泵11的作用，使得一號(hào)液桶與二號(hào)液桶內(nèi)的液體存在壓力差，因此二號(hào)液桶2內(nèi)的溶液會(huì)不斷的流向一號(hào)液桶I內(nèi)。待二號(hào)液桶2內(nèi)溶液完全消失且液桶I內(nèi)的溶液剩余不多時(shí)，關(guān)閉配液回路上三號(hào)閥門8與四號(hào)閥門10，在二號(hào)液桶2內(nèi)進(jìn)行配液。配液完成后再打開(kāi)三號(hào)閥門8與四號(hào)閥門10使得兩個(gè)液桶之間重新形成配液回路。
[0024]以上對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于無(wú)蠟拋光設(shè)備的配液供液裝置，其特征在于:包括一號(hào)液桶(I)、二號(hào)液桶(2)、無(wú)蠟拋光設(shè)備(5)和總控制系統(tǒng)(3)，其中一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的進(jìn)液口通過(guò)分管道與總管道(13)的一端連接，一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的出液口通過(guò)分管道與總管道(13)的另一端連接，無(wú)蠟拋光設(shè)備(5)也通過(guò)分管道與總管道(13)相連接，位于兩個(gè)液桶進(jìn)液口處的分管道上分別設(shè)置有一個(gè)閥門，位于兩個(gè)液桶出液口處的分管道上都設(shè)置有泵和閥門，總控制系統(tǒng)(3)通過(guò)導(dǎo)線與裝置內(nèi)的各個(gè)泵相連接，用于控制泵的開(kāi)啟和關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的配液供液裝置，其特征在于:所述的一號(hào)液桶(I)和二號(hào)液桶(2)的底部均設(shè)置有低液位傳感器(6)，且所述低液位傳感器(6)通過(guò)導(dǎo)線與設(shè)置在總控制系統(tǒng)(3)上的低液位傳感報(bào)警器(4)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的配液供液裝置，其特征在于:所述一號(hào)液桶(I)與二號(hào)液桶(2)的容量相同。
【文檔編號(hào)】B24B37/34GK203579399SQ201320803506
【公開(kāi)日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月5日
【發(fā)明者】劉建偉, 秦焱澤, 嚴(yán)政先, 董建斌, 呂瑩 申請(qǐng)人:天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司