判斷磁鐵性能的方法
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種判斷磁鐵性能的方法，由于磁鐵性能體現(xiàn)在磁場(chǎng)強(qiáng)度上，若磁場(chǎng)強(qiáng)度有所下降，則會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)火效率下降，當(dāng)流入點(diǎn)火所需最低流量的氬氣進(jìn)行點(diǎn)火試驗(yàn)時(shí)，若能夠點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵所帶來(lái)的磁場(chǎng)強(qiáng)度并未下降，即磁鐵性能符合要求，若不能點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵的磁場(chǎng)強(qiáng)度下降，磁鐵的性能存在異常，從而快速判斷出磁鐵性能是否存在異常，無(wú)需更換RF進(jìn)行嘗試。
【專利說(shuō)明】判斷磁鐵性能的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種判斷磁鐵性能的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]物理氣相沉積(Physical Vapor D印osition，PVD)中濺射鍍膜基本原理是在充氬(Ar)氣的真空條件下，使氬氣進(jìn)行輝光放電，這時(shí)氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar+)，氬離子在電場(chǎng)力的作用下，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會(huì)被濺射出來(lái)而沉積到晶圓的表面。其中濺射包括由射頻發(fā)生器(RF Generator)引起輝光放電的射頻濺射和由磁鐵(Magnet)磁控引起輝光放電的磁控派射。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，形成TIN的物理氣相沉積腔室即有RF又有Magnet，兩者共同作用將Ar點(diǎn)火(Ignition)從而對(duì)陰極祀材進(jìn)行轟擊,進(jìn)而在晶圓的表面沉積薄膜。其中，Magnet安裝在靶材的后方，用于捕獲和限制使其位于靶材表面的電子。這種設(shè)計(jì)能夠提高靶材的轟擊率，具體的，由于氬(Ar)原子是需要電子與其進(jìn)行碰撞才能形成氬離子，氬離子才能夠?qū)﹃帢O靶材進(jìn)行轟擊。由于電子的密度增加，提高了電子和氬原子二次碰撞的幾率，也就能夠提高增加點(diǎn)火的效率。
[0004]然而，現(xiàn)有技術(shù)中，用于形成TIN的設(shè)備機(jī)臺(tái)經(jīng)常會(huì)發(fā)出警報(bào)提醒“電源存在異常(DC Power Fault)”導(dǎo)致無(wú)法進(jìn)行正常的物理氣相沉積反應(yīng)，致使設(shè)備機(jī)臺(tái)停止運(yùn)行，甚至?xí)刮挥谠O(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)部的產(chǎn)品報(bào)廢。
[0005]產(chǎn)生上述警報(bào)的原因可能是RF存在異常，也可能是Magnet存在異常，即磁性不強(qiáng)達(dá)不到要求。而現(xiàn)有技術(shù)中，無(wú)法區(qū)分具體是RF的問(wèn)題還是Magnet的問(wèn)題，只能夠通過(guò)更換RF嘗試，看看是否能夠解決上述問(wèn)題。這種方法十分浪費(fèi)時(shí)間，并且解決問(wèn)題效率低下，不利于生產(chǎn)。因此，如何快速判斷是RF還是Magnet存在異常進(jìn)行針對(duì)性的問(wèn)題除錯(cuò)便成為本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問(wèn)題之一。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種判斷磁鐵性能的方法，能夠快速判斷磁鐵性能是否符合要求。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種判斷磁鐵性能的方法，用于判斷物理氣相沉積設(shè)備的磁鐵性能是否符合要求，所述方法包括步驟:
[0008]流入點(diǎn)火所需最低流量的気氣；
[0009]保持預(yù)定大小的電源功率；
[0010]進(jìn)行點(diǎn)火，若點(diǎn)火成功，則磁鐵性能符合要求；若點(diǎn)火失敗，則磁鐵性能存在異常。
[0011]進(jìn)一步的,所述IS氣的點(diǎn)火所需最低流量大于等于20sccm。
[0012]進(jìn)一步的，所述電源功率的預(yù)定大小范圍是大于500W。
[0013]進(jìn)一步的，流入所述氬氣的同時(shí)還流入預(yù)定流量的氮?dú)狻?br> [0014]進(jìn)一步的,所述氮?dú)獾牧髁糠秶?0sccm~120sccm。[0015]進(jìn)一步的，所述反應(yīng)氣壓范圍是2mT~6mT。
[0016]進(jìn)一步的，所述點(diǎn)火時(shí)間大于等于7s。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:由于磁鐵性能體現(xiàn)在磁場(chǎng)強(qiáng)度上，若磁場(chǎng)強(qiáng)度有所下降，則會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)火效率下降，當(dāng)流入點(diǎn)火所需最低流量的氬氣進(jìn)行點(diǎn)火試驗(yàn)時(shí)，若能夠點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵所帶來(lái)的磁場(chǎng)強(qiáng)度并未下降，即磁鐵性能符合要求，若不能點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵的磁場(chǎng)強(qiáng)度下降，磁鐵的性能存在異常，從而快速判斷出磁鐵性能是否存在異常，無(wú)需更換RF進(jìn)行嘗試。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中判斷磁鐵性能的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】[0019]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的判斷磁鐵性能的方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0020]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0021]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0022]請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中，一種判斷磁鐵性能的方法，用于判斷物理氣相沉積設(shè)備的磁鐵性能是否符合要求，所述方法包括步驟:
[0023]SlOO:流入點(diǎn)火所需最低流量的気氣；
[0024]所述気氣的點(diǎn)火所需最低流量大于等于20sccm,例如是50sccm ;在本實(shí)施例中，流入所述氬氣的同時(shí)還流入預(yù)定流量的氮?dú)?，用于增加反?yīng)氣壓，由于反應(yīng)壓強(qiáng)也能影響點(diǎn)火成功與否，為了能夠客觀的反應(yīng)磁鐵的性能，因此只改變氬氣流量，其他因素均需與正常反應(yīng)時(shí)保持一致，所述氮?dú)獾牧髁糠秶?0sccm~120sccm,例如是IOOsccm ;所述反應(yīng)氣壓范圍是2mT~6mT，例如是4mT。
[0025]S200:保持預(yù)定大小的電源功率；
[0026]所述電源功率的預(yù)定大小范圍是大于500W，例如是6500W，用于為形成的氬離子
增加能量。
[0027]S300:進(jìn)行點(diǎn)火，若點(diǎn)火成功，則磁鐵性能符合要求；若點(diǎn)火失敗,則磁鐵性能存
在異常。
[0028]在步驟S300中，應(yīng)保持點(diǎn)火時(shí)間大于等于7s，時(shí)間過(guò)短，無(wú)法點(diǎn)火成功，在保證其他點(diǎn)火因素均可以點(diǎn)火成功時(shí)，由于氬氣流量降低了，若磁鐵提供的磁場(chǎng)強(qiáng)度下降，便會(huì)造成點(diǎn)火失敗，從而根據(jù)點(diǎn)火成功與否來(lái)判斷磁鐵性能是否符合要求。
[0029]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的判斷磁鐵性能的方法中，由于磁鐵性能體現(xiàn)在磁場(chǎng)強(qiáng)度上，若磁場(chǎng)強(qiáng)度有所下降，則會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)火效率下降，當(dāng)流入點(diǎn)火所需最低流量的氬氣進(jìn)行點(diǎn)火試驗(yàn)時(shí)，若能夠點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵所帶來(lái)的磁場(chǎng)強(qiáng)度并未下降，即磁鐵性能符合要求，若不能點(diǎn)火成功，則說(shuō)明磁鐵的磁場(chǎng)強(qiáng)度下降，磁鐵的性能存在異常，從而快速判斷出磁鐵性能是否存在異常，無(wú)需更換RF進(jìn)行嘗試。
[0030]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種判斷磁鐵性能的方法，用于判斷物理氣相沉積設(shè)備的磁鐵性能是否符合要求，所述方法包括步驟: 流入點(diǎn)火所需最低流量的IS氣； 保持預(yù)定大小的電源功率； 進(jìn)行點(diǎn)火，若點(diǎn)火成功，則磁鐵性能符合要求；若點(diǎn)火失敗，則磁鐵性能存在異常。
2.如權(quán)利要求1所述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，所述氬氣的點(diǎn)火所需最低流量大于等于20sccm。
3.如權(quán)利要求2所述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，所述電源功率的預(yù)定大小范圍是大于500W。
4.如權(quán)利要求3所 述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，流入所述氬氣的同時(shí)還流入預(yù)定流量的氮?dú)狻?br> 5.如權(quán)利要求4所述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，所述氮?dú)獾牧髁糠秶?0sccm ~120sccmo
6.如權(quán)利要求5所述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，所述反應(yīng)氣壓范圍是2mT~6mT。
7.如權(quán)利要求1所述的判斷磁鐵性能的方法，其特征在于，所述點(diǎn)火時(shí)間大于等于7s。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK103834927SQ201410097487
【公開日】2014年6月4日 申請(qǐng)日期:2014年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月17日
【發(fā)明者】丁同國(guó), 姜國(guó)偉, 牟善勇, 梁海林 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司