光學(xué)器件制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光學(xué)器件制造方法，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由X字形臂部、在該X字交叉部分形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成，第二掩模由十字形臂部、在該十字交叉部分形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成，包括：將第一掩模重疊到2個透明構(gòu)件片中的一個透明構(gòu)件片上并在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜的第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序；將第二掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片上并在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜的第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序；將其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片重疊并接合的接合工序；以及將接合的2個透明構(gòu)件片切斷從而得到各個光學(xué)器件的切片工序。
【專利說明】光學(xué)器件制造方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及在光學(xué)設(shè)備中使用的光學(xué)器件的制造方法。

【背景技術(shù)】
[0002] -直以來，在光通信、測量設(shè)備、半導(dǎo)體激光器等光學(xué)設(shè)備中使用標準具、1/2波長 板、1/4波長板等光學(xué)器件。 這些光學(xué)器件有的是通過將多片透明構(gòu)件粘貼起來而構(gòu)成的。 例如，若以標準具為例來進行說明，則提出了將2個透明構(gòu)件接合起來而構(gòu)成的氣隙 型光學(xué)器件(例如參照專利文獻1)。 這樣的光學(xué)器件在透明構(gòu)件的表面設(shè)有用于接合的金屬膜，并在金屬膜彼此重合的狀 態(tài)下進行接合。 另外，還提出了例如在光透過的路徑部分設(shè)置內(nèi)部空間來接合多個透明構(gòu)件這種狀態(tài) 的光學(xué)器件(例如參照專利文獻1)。 在制造由多個透明構(gòu)件接合而成的光學(xué)器件時，使用例如由框部、形成為內(nèi)部空間形 狀的圖案部、和將該圖案部與框部連接起來的臂部所構(gòu)成的掩模，在該掩模與透明構(gòu)件重 合的狀態(tài)下在掩模的間隙中形成金屬膜。 在這種情況下，由于在臂部沒有設(shè)置金屬膜，因此，例如專利文獻2所公開的那樣形成 與外部連通的凹部。 現(xiàn)有專利文獻 專利文獻
[0003] 專利文獻1 :日本專利特開平09-257567號公報 專利文獻2 :日本專利特開平06-258611號公報


【發(fā)明內(nèi)容】
發(fā)明所要解決的問題
[0004] 在這樣的現(xiàn)有光學(xué)器件中，由于形成了將內(nèi)部空間與光學(xué)器件的外部空間連通的 凹部，因此，在透明構(gòu)件上存在未設(shè)置金屬膜的部分，從而如果長期使用，金屬膜就有剝離 的危險性。 另外，由于進行接合的透明構(gòu)件所使用的掩模是具有同一形狀的圖案，因此，透明構(gòu)件 上未設(shè)置金屬膜的部分會重疊從而形成將外部空間與內(nèi)部空間連接起來的路徑，因此，在 高溫高濕的使用環(huán)境下透明構(gòu)件會出現(xiàn)污點。
[0005] 因此，本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種能夠降低剝離的危險性并能減 少污點產(chǎn)生的光學(xué)器件。
[0006] 因此，本發(fā)明的目的在于解決上述問題，提供一種能夠降低剝離的危險性并使雜 質(zhì)難以混入的光學(xué)器件。 解決問題的技術(shù)方案
[0007] 為解決上述問題，本發(fā)明的一個方式所涉及的第一觀點的光學(xué)器件制造方法中， 用于制造由2個透明構(gòu)件接合而成的光學(xué)器件，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模 由至少一個第一臂部、與該第一臂部相連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案 部相連接的框部構(gòu)成，第二掩模由設(shè)置在與所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至 少一個第二臂部、與該第二臂部相連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相 連接的框部構(gòu)成，該光學(xué)器件制造方法包括：將第一掩模重疊到具有多個成為透明構(gòu)件的 部分的2個透明構(gòu)件片中的一個透明構(gòu)件片上并在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜的第一 透明構(gòu)件片金屬膜形成工序；將第二掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片上并在圖案部與框部之 間設(shè)置金屬膜的第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序；使所述一個透明構(gòu)件片與所述另一個透 明構(gòu)件片相對并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將它們接合的接合工序；以及將接合的所述2個 透明構(gòu)件片切斷從而得到各個光學(xué)器件的切片工序。
[0008] 另外，為解決上述問題，本發(fā)明的一個方式所涉及的光學(xué)器件制造方法中，用于制 造由2個透明構(gòu)件接合而成的光學(xué)器件，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由至少 一個第一臂部、與該第一臂部相連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連 接的框部構(gòu)成，第二掩模由設(shè)置在與所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一個 第二臂部、與該第二臂部相連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的 框部構(gòu)成，該光學(xué)器件制造方法包括：第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，在該第一透明構(gòu)件 片金屬膜形成工序中，將第一掩?；虻诙谀Ｖ丿B到具有多個成為透明構(gòu)件的部分的2個 透明構(gòu)件片中的一個透明構(gòu)件片上，并在圖案部與框部之間設(shè)置第一金屬膜；第二透明構(gòu) 件片金屬膜形成工序，該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成 工序之后，將所述第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到所述一個透明構(gòu) 件片的所述第一金屬膜側(cè)，并在圖案部與框部之間設(shè)置第二金屬膜；第三透明構(gòu)件片金屬 膜形成工序，在該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將第一掩模或第二掩模重疊到另一 個透明構(gòu)件片上，并在圖案部與框部之間設(shè)置第三金屬膜；第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工 序，該第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序之后，將所述 第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到所述另一個透明構(gòu)件片的所述第 三金屬膜側(cè)，并在圖案部與框部之間設(shè)置第四金屬膜；接合工序，在該接合工序中，使所述 一個透明構(gòu)件片的第一及第二金屬膜側(cè)與所述另一個透明構(gòu)件片的第三及第四金屬膜側(cè) 相對，并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將這些透明構(gòu)件片接合；以及切片工序，在該切片工序 中，將相接合的所述2個透明構(gòu)件片切斷而得到各個光學(xué)器件。
[0009] 本發(fā)明優(yōu)選在所述透明構(gòu)件的一個主面上設(shè)有反射膜，且在另一個主面上設(shè)有防 反射膜，并且在所述防反射膜上設(shè)有所述金屬膜。 本發(fā)明優(yōu)選在設(shè)置所述金屬膜時，使用濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)來進行。 發(fā)明效果
[0010] 根據(jù)上述光學(xué)器件制造方法，第一掩模和第二掩模的圖案并不相同，第一掩模和 第二掩模的臂部的痕跡不會重疊，從而能夠減少透明構(gòu)件上污點的產(chǎn)生。另外，由于在與第 一掩模和第二掩模的臂部的痕跡的部分相對的透明構(gòu)件的面上設(shè)置金屬膜，因此不易發(fā)生 剝離。

【專利附圖】

【附圖說明】 toon] 圖1是表示本發(fā)明的實施方式1所涉及的光學(xué)器件的一個示例的立體圖。 圖2(a)是表示第一掩模重疊到其中一個透明構(gòu)件片上之前的狀態(tài)的立體圖，圖2(b) 是表示第一掩模重疊在其中一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖3是表示在其中一個透明構(gòu)件片上設(shè)有金屬膜的一個示例的立體圖。 圖4(a)是表示第二掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片上之前的狀態(tài)的立體圖，圖4(b)是 表示第二掩模重疊在另一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖5是表示在另一個透明構(gòu)件片上設(shè)有金屬膜的一個示例的立體圖。 圖6(a)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片接合之前的狀態(tài)的立體圖， 圖6(b)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片相接合的狀態(tài)的立體圖。 圖7是表示本發(fā)明的實施方式2所涉及的光學(xué)器件的一個示例的立體圖。 圖8(a)是表示第一掩模重疊到其中一個透明構(gòu)件片上之前的狀態(tài)的立體圖，圖8(b) 是表示第一掩模重疊在其中一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖9是表示在其中一個透明構(gòu)件片上設(shè)有金屬膜的一個示例的立體圖。 圖10(a)是表示第二掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片上之前的狀態(tài)的立體圖，圖10(b) 是表示第二掩模重疊在另一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖11是表示在另一個透明構(gòu)件片上設(shè)有金屬膜的一個示例的立體圖。 圖12(a)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片接合之前的狀態(tài)的立體圖， 圖12(b)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片相接合的狀態(tài)的立體圖。 圖13(a)是表示本發(fā)明的實施方式3所涉及的光學(xué)器件的一個示例的立體圖，圖13(b) 是圖13(a)的剖視圖。 圖14是表示第二掩模重疊在其中一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖15是表示用第二掩模在其中一個透明構(gòu)件片上設(shè)置了金屬膜的一個示例的立體 圖。 圖16是表示用第一掩模在另一個透明構(gòu)件片上設(shè)置金屬膜后再用第二掩模設(shè)置了金 屬膜的一個示例的立體圖。 圖17(a)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片接合之前的狀態(tài)的立體圖， 圖17(b)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片相接合的狀態(tài)的立體圖。 圖18(a)是表示本發(fā)明的實施方式4所涉及的光學(xué)器件的一個示例的立體圖，圖18(b) 是圖18(a)的剖視圖。 圖19是表示第二掩模重疊在其中一個透明構(gòu)件片上的狀態(tài)的立體圖。 圖20是表示用第二掩模在其中一個透明構(gòu)件片上設(shè)置了金屬膜的一個示例的立體 圖。 圖21是表示用第二掩模在另一個透明構(gòu)件片上設(shè)置金屬膜后再用第一掩模設(shè)置了金 屬膜的一個示例的立體圖。 圖22是表示用第二掩模在另一個透明構(gòu)件片上設(shè)置金屬膜后再用第一掩模設(shè)置了金 屬膜的一個示例的立體圖。 圖23(a)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片接合之前的狀態(tài)的立體圖， 圖23(b)是表示其中一個透明構(gòu)件片與另一個透明構(gòu)件片相接合的狀態(tài)的立體圖。

【具體實施方式】
[0012] 下面，適當?shù)貐⒄崭綀D，對用于實施本發(fā)明的最佳方式（以下稱為"實施方式"）進 行詳細說明。為了便于理解，夸張地圖示了各構(gòu)成要素的狀態(tài)。 另外，將光入射和出射的面記為主面，將包圍該主面的面記為側(cè)面。
[0013] (實施方式1) (光學(xué)器件） 如圖1所示，用本發(fā)明的實施方式1所涉及的光學(xué)器件制造方法所制造的光學(xué)器件11 例如由2個透明構(gòu)件20、20接合而成。
[0014] 透明構(gòu)件20使用例如厚度均勻形成的四邊形平板狀的透明材質(zhì)構(gòu)件，例如使用 玻璃、水晶等。該透明構(gòu)件20在從側(cè)面一側(cè)觀察時也可以是梯形的形狀。對于沒有特別說 明的事項，后文所述的其它實施方式的透明構(gòu)件20也與實施方式1的透明構(gòu)件20相同。
[0015] 這些透明構(gòu)件20的一個主面上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。 在這些透明構(gòu)件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和從該中央部分向外側(cè)延伸 的至少2根直線以外，都設(shè)有金屬膜23。
[0016] 金屬膜23由室溫下氧化物的生成自由能為正的單金屬或合金形成，且形成為薄 膜狀。例如，該金屬膜23的底層金屬例如使用Ta、Cr、Ti、Ni等，在該底層金屬上形成Au、 Pt、金合金等室溫下氧化物的生成自由能為正的單金屬或合金。金屬膜23的厚度設(shè)計在 0. 2nm以上。對于沒有特別說明的事項，后文所述的其它實施方式的金屬膜23也與實施方 式1的金屬膜23相同。
[0017] 對上述本發(fā)明的實施方式1所涉及的光學(xué)器件制造方法進行說明。如圖2?圖6 所示，本發(fā)明的實施方式1所涉及的光學(xué)器件制造方法包括第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工 序、第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、接合工序、和切片工序。
[0018] 如圖2(a)所示，首先準備2個具有不同圖案的掩模。 第一掩模31由至少一個第一臂部32、與該第一臂部32連接的形成為多邊形或圓形的 圖案部33、以及與該圖案部連接的框部34構(gòu)成。 這里，第一掩模31的第一臂部32具有一個臂部。另外，第一掩模31在框部34的中央 設(shè)置了圓形的圖案部33,成為第一臂部32將該圖案部33與框部34連接起來的狀態(tài)，且這 樣的形狀設(shè)有多個。 這樣的第一掩模31的第一臂部32的寬度可以為例如100 μ m。
[0019] 如圖4(a)所不，第二掩模41由設(shè)置在與第一掩模31的第一臂部32不同的方向 上的至少一個第二臂部32、與該第二臂部42連接的形成為多邊形或圓形的圖案部43、以及 與該圖案部43連接的框部44構(gòu)成。 這里，第二掩模41的第二臂部42具有一個臂部。另外，第二掩模41在框部44的中央 設(shè)置了圓形的圖案部43,成為第二臂部42將該圖案部43與框部44連接起來的狀態(tài)，且這 樣的形狀設(shè)有多個。 這樣的第二掩模41的第二臂部42的寬度可以為例如100 μ m。
[0020] 接著，準備將成為透明構(gòu)件20的透明構(gòu)件片20W。該透明構(gòu)件片20W的一個主面 上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。
[0021] (第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 如圖2?圖3所示，第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是首先將第一掩模31重疊到一個 主面上設(shè)有防反射膜22且在另一個主面上設(shè)有反射膜21的2個透明構(gòu)件片20W中的一個 透明構(gòu)件片20W上(參照圖2(b))，再在圖案部33與框部34之間設(shè)置金屬膜23 (參照圖3) 的工序。
[0022] 經(jīng)過該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第一掩模31的第一臂部32及圖案部33重 疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部34、圖案部33、和第一臂部32所形成的空間中設(shè)有 金屬膜23。 在設(shè)置金屬膜時，雖然未圖示，但使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu) 件20的防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0023](第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 如圖4?圖5所示，第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是將第二掩模41重疊到另一個透 明構(gòu)件片20W上(參照圖4(b))，然后在圖案部43與框部44之間設(shè)置金屬膜23 (參照圖5) 的工序。
[0024] 經(jīng)過該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第二掩模41的第二臂部42及圖案部43重 疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部44、圖案部43、和第二臂部42所形成的空間中設(shè)有 金屬膜23。另外，由于第一臂部32和第二臂部42各自從框部34、44的中央開始延伸的方 向并不相同，因此，第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部42重疊的部分不會與第 一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第一臂部32重疊的部分重疊。 在設(shè)置金屬膜23時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的防反 射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0025] (接合工序） 如圖6 (a)和圖6(b)所示，接合工序是將其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件 片20W重疊并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將它們接合的工序。 該接合工序中，是在其中一個透明構(gòu)件片20W上設(shè)置的金屬膜23與另一個透明構(gòu)件片 20W上設(shè)置的金屬膜23重合的狀態(tài)下，在規(guī)定壓力和規(guī)定溫度下進行接合。接合可以采用 例如原子擴散接合。 從而，能夠使其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件片20W接合，得到包含多個光 學(xué)器件11的相接合的透明構(gòu)件片20W。
[0026] (切片工序） 切片工序是將相接合的2個透明構(gòu)件片20W、20W切斷而得到各個光學(xué)器件11的工序。 進行切斷時，可以使用旋轉(zhuǎn)刀片等。 該切片工序中，可以通過以第一掩模31的圖案部33與第二掩模41的圖案部43重疊 的部分為中心，按照規(guī)定的尺寸進行切割，由此得到各個光學(xué)器件。
[0027] 由于采用上述光學(xué)器件制造方法，因此，第一掩模31和第二掩模41的圖案并不相 同，第一掩模31和第二掩模41的臂部32、42的痕跡不會重疊，從而能夠減少污點的產(chǎn)生。 另外，由于在與第一掩模31和第二掩模41的臂部32、42的痕跡的部分相對的透明構(gòu)件20 的面上設(shè)置金屬膜23,因此不易發(fā)生剝離。
[0028] (實施方式2) 用本發(fā)明的實施方式2所涉及的光學(xué)器件制造方法制造的光學(xué)器件12在第一掩模51 的第一臂部52的痕跡與第二掩模61的第二臂部62的痕跡不同這一點上不同于實施方式 1〇
[0029] (光學(xué)器件） 如圖7所示，用本發(fā)明的實施方式2所涉及的光學(xué)器件制造方法制造的光學(xué)器件12例 如由2個透明構(gòu)件20、20接合而成。
[0030] 該透明構(gòu)件20的一個主面上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。 在該透明構(gòu)件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和從該中央部分向外側(cè)呈放射 狀延伸的8根直線以外，都設(shè)有金屬膜23。
[0031] 對上述本發(fā)明的實施方式2所涉及的光學(xué)器件的制造方法進行說明。如圖8?圖 12所示，本發(fā)明的實施方式2所涉及的光學(xué)器件制造方法包括第一透明構(gòu)件片金屬膜形成 工序、第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、接合工序、和切片工序。
[0032] 首先準備2個具有不同圖案的掩模。 如圖8 (a)所示，第一掩模51由X字形的第一臂部52、在該X字交叉部分形成為多邊形 或圓形的圖案部53、以及與該圖案部53連接的框部54構(gòu)成。 這里，第一掩模51在框部54的中央設(shè)置了圓形的圖案部53,成為第一臂部52將該圖 案部53與框部54連接起來的狀態(tài)，且這樣的形狀設(shè)有多個。 這樣的第一掩模51的第一臂部52的寬度可以為例如100 μ m。
[0033] 如圖10(a)所示，第二掩模61由十字形的第二臂部62、在該十字交叉部分形成為 多邊形或圓形的圖案部63、以及與該圖案部63連接的框部64構(gòu)成。 這里，第二掩模61在框部64的中央設(shè)置了圓形的圖案部63,成為第二臂部62將該圖 案部63與框部64連接起來的狀態(tài)，且這樣的形狀設(shè)有多個。 這樣的第二掩模61的第二臂部62的寬度可以為例如100 μ m。
[0034] 接著，準備將成為透明構(gòu)件20的透明構(gòu)件片20W。該透明構(gòu)件片20W的一個主面 上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。
[0035] (第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是首先將第一掩模51重疊到一個主面上設(shè)有防反射 膜22且在另一個主面上設(shè)有反射膜21的2個透明構(gòu)件片20W中的一個透明構(gòu)件片20W上 (參照圖8(b))，再在圖案部53與框部54之間設(shè)置金屬膜23 (參照圖9)的工序。
[0036] 經(jīng)過該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第一掩模51的第一臂部52及圖案部53重 疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部54、圖案部53、和第一臂部52所形成的空間中設(shè)有 金屬膜23。即，變成如下狀態(tài)：除了圓形和連接透明構(gòu)件20對角的呈放射狀延伸的4條直 線的圖案以外，都設(shè)有金屬膜23。 在設(shè)置金屬膜23時，雖然未圖示，但使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明 構(gòu)件20的防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0037](第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是將第二掩模61重疊到另一個透明構(gòu)件片20W上(參 照圖10(b))，然后在圖案部63與框部64之間設(shè)置金屬膜23 (參照圖11)的工序。
[0038] 經(jīng)過該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第二掩模61的第二臂部62及圖案部63重 疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部64、圖案部63、和第二臂部62所形成的空間中設(shè)有 金屬膜23。另外，由于第一臂部52和第二臂部62各自從框部54、64的中央開始延伸的方 向并不相同，因此，第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部62重疊的部分不會與第 一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第一臂部52重疊的部分重疊。即，變成如下狀態(tài)：除了 圓形和連接透明構(gòu)件20的平行的邊中心的呈放射狀延伸的4條直線的圖案以外，都設(shè)有金 屬膜23。在設(shè)置金屬膜23時，雖然未圖示，但使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在 透明構(gòu)件20的防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0039] (接合工序） 如圖12 (a)和圖6 (b)所示，接合工序是將其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件 片20W重疊并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將它們接合的工序。 該接合工序中，是在其中一個透明構(gòu)件片20W上設(shè)置的金屬膜23與另一個透明構(gòu)件片 20W上設(shè)置的金屬膜23重合的狀態(tài)下，在規(guī)定壓力和規(guī)定溫度下進行接合。接合可以采用 例如原子擴散接合。 從而，能夠使其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件片20W接合，得到包含多個光 學(xué)器件12的相接合的透明構(gòu)件片20W。
[0040] (切片工序） 切片工序是將相接合的2個透明構(gòu)件片切斷而得到各個光學(xué)器件12的工序。進行切 斷時，可以使用旋轉(zhuǎn)刀片等。 該切片工序中，可以通過以第一掩模51的圖案部53與第二掩模61的圖案部63重疊 的部分為中心，按照規(guī)定的尺寸進行切割，由此得到各個光學(xué)器件。
[0041] 由于采用上述光學(xué)器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的圖案并不相同，第 一掩模和第二掩模的臂部的痕跡不會重疊，從而能夠減少污點的產(chǎn)生。另外，由于在與第一 掩模和第二掩模的臂部的痕跡的部分相對的透明構(gòu)件的面上設(shè)置金屬膜，因此不易發(fā)生剝 離。
[0042] (實施方式3) (光學(xué)器件） 如圖13 (a)和圖13(b)所示，用本發(fā)明的實施方式3所涉及的光學(xué)器件制造方法制造 的光學(xué)器件13例如由2個透明構(gòu)件20、20接合而成。
[0043] 該透明構(gòu)件20的一個主面上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。 在該透明構(gòu)件20的防反射膜22上，除主面的中央部分和從該中央部分向外側(cè)延伸的 至少4根直線以外，都設(shè)有金屬膜23。
[0044] 對上述本發(fā)明的實施方式3所涉及的光學(xué)器件的制造方法進行說明。 如圖2、圖3、以及圖14?17所示，本發(fā)明的實施方式3所涉及的光學(xué)器件制造方法包 括第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、第三透明構(gòu)件片金 屬膜形成工序、第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、接合工序、和切片工序。
[0045] 首先準備2個具有不同圖案的掩模。 如圖2(a)所不，第一掩模31為實施方式1中已說明的第一掩模31。如圖14所不，第 二掩模41為實施方式1中已說明的第二掩模41。
[0046] 接下來，如圖2(a)所示，準備將成為透明構(gòu)件20的透明構(gòu)件片。該透明構(gòu)件片的 一個主面上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。
[0047](第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是首先將第一掩模31或第二掩模41重疊到一個主面 上設(shè)有防反射膜22且在另一個主面上設(shè)有反射膜21的2個透明構(gòu)件片20W中的一個透明 構(gòu)件片20W上，再在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。本實施方式中說明使用第一 掩模31的情況(例如參照圖2(b))。
[0048] 經(jīng)過該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，如圖3所示，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第一掩模31的第一臂部32及 圖案部33重疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部34、圖案部33、和第一臂部32所形成的 空間中設(shè)有金屬膜23。 在設(shè)置金屬膜時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的防反射 膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0049](第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序之后，將第一透 明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到其中一個透明構(gòu)件片20W上，然后在圖案 部與框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。這里說明第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用 的掩模為第二掩模41的情況(參照圖14)。
[0050] 經(jīng)過該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中設(shè)置的金屬膜23上進一步設(shè)有金屬膜23的狀態(tài)。此時，如圖15所示，透明構(gòu)件片20W處 于如下狀態(tài)：其與第二掩模41的第二臂部42及圖案部43重疊的部分上未設(shè)置金屬膜23， 而在框部44、圖案部43、和第二臂部42所形成的空間中設(shè)有金屬膜23。另外，由于第一臂 部32和第二臂部42各自從框部34、44的中央開始延伸的方向并不相同，因此，第二透明構(gòu) 件片金屬膜形成工序中與第二臂部42重疊的部分不會與第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中與第一臂部32重疊的部分重疊。也就是說，變成如下狀態(tài)：在第一透明構(gòu)件片金屬膜形 成工序中與第一臂部32重疊的部分上，經(jīng)過第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序后設(shè)有金屬 膜23。 在設(shè)置金屬膜23時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的防反 射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0051] (第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是將第二掩模41重疊到另一個透明構(gòu)件片上，然后 在圖案部43與框部44之間設(shè)置金屬膜23的工序。本實施方式中說明使用第二掩模41的 情況(未圖示)。
[0052] 經(jīng)過該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件20處于如下狀態(tài)：其與第二掩模41的第二臂部42及圖案部43重疊的 部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部44、圖案部43、和第二臂部42所形成的空間中設(shè)有金屬 膜23。此時，重疊在透明構(gòu)件片上的掩模優(yōu)選使用與第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中所 使用的掩模不相同的掩模。 在設(shè)置金屬膜23時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的防反 射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0053] 另外，在該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將掩模重疊到透明構(gòu)件片上的順 序與第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用的掩模的順序相同，以使設(shè)置在透明構(gòu)件片上 的金屬膜能夠反映出該掩模的圖案。
[0054] (第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序之后，將第三透 明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片20W上，然后在圖案部 與框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。這里說明第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的 掩模為第一掩模31的情況(未圖示)。
[0055] 經(jīng)過該第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中設(shè)置的金屬膜23上進一步設(shè)有金屬膜23的狀態(tài)。此時，如圖16所示，透明構(gòu)件片20W處 于如下狀態(tài)：其與第一掩模31的第一臂部32及圖案部33重疊的部分上未設(shè)置金屬膜23， 而在框部34、圖案部33、和第一臂部32所形成的空間中設(shè)有金屬膜23。也就是說，變成如 下狀態(tài)：在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部42重疊的部分上，經(jīng)過第四透明 構(gòu)件片金屬膜形成工序后設(shè)有金屬膜23。
[0056] 在設(shè)置金屬膜時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件片20W的 防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0057] 另外，由于第一臂部32和第二臂部42各自從框部34、44的中央開始延伸的方向 并不相同，因此，第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部42重疊的部分不會與第四 透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第一臂部32重疊的部分重疊。
[0058] (接合工序） 如圖17(a)和圖17(b)所示，接合工序是將其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu) 件片20W重疊并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將它們接合的工序。 該接合工序中，是在其中一個透明構(gòu)件片20W上設(shè)置的金屬膜23與另一個透明構(gòu)件片 20W上設(shè)置的金屬膜23重合的狀態(tài)下，在規(guī)定壓力和規(guī)定溫度下進行接合。接合可以采用 例如原子擴散接合。 從而，能夠使其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件片20W接合，得到包含多個光 學(xué)器件的相接合的透明構(gòu)件片。
[0059] (切片工序） 切片工序是將相接合的2個透明構(gòu)件片20W切斷而得到各個光學(xué)器件的工序。 該切片工序中，可以在第一掩模31和第二掩模41的框部相重疊的部分上、即未設(shè)有金 屬膜23的部分進行切斷，由此得到各個光學(xué)器件。
[0060] 由于采用上述光學(xué)器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的圖案并不相同，第 一掩模和第二掩模的臂部的痕跡不會重疊，從而能夠減少污點的產(chǎn)生。另外，由于在與第一 掩模和第二掩模的臂部的痕跡的部分相對的透明構(gòu)件的面上設(shè)置有金屬膜，因此不易發(fā)生 剝離。
[0061] (實施方式4) 用本發(fā)明的實施方式4所涉及的光學(xué)器件制造方法制造的光學(xué)器件14在第一掩模的 第一臂部的痕跡與第二掩模的第二臂部的痕跡不同這一點上不同于實施方式3。
[0062] (光學(xué)器件） 如圖18 (a)和圖18(b)所示，用本發(fā)明的實施方式4所涉及的光學(xué)器件制造方法制造 的光學(xué)器件14例如由2個透明構(gòu)件20、20接合而成。
[0063] 該透明構(gòu)件20的一個主面上設(shè)有反射膜21，在另一個主面上設(shè)有防反射膜22。 在該透明構(gòu)件20的防反射膜22上，除主面的中央部分以外都設(shè)有金屬膜23,且從該中 央部分呈放射狀地形成有向外側(cè)延伸的8條直線。
[0064] 對上述本發(fā)明的實施方式4所涉及的光學(xué)器件的制造方法進行說明。 如圖8、圖9、以及圖19?23所示，本發(fā)明的實施方式4所涉及的光學(xué)器件制造方法包 括第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、第三透明構(gòu)件片金 屬膜形成工序、第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序、接合工序、和切片工序。
[0065] 首先準備2個具有不同圖案的掩模。 如圖8(a)所不，第一掩模51為實施方式2中已說明的第一掩模51。如圖19所不，第 二掩模61為實施方式2中已說明的第二掩模61。
[0066] 接著，準備將成為透明構(gòu)件20的透明構(gòu)件片。該透明構(gòu)件片的一個主面上設(shè)有防 反射膜，在另一個主面上設(shè)有反射膜。
[0067](第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是首先將第一掩模51或第二掩模61重疊到一個主面 上設(shè)有防反射膜22且在另一個主面上設(shè)有反射膜21的2個透明構(gòu)件片20W中的一個透明 構(gòu)件片20W上，再在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。本實施方式中說明使用第一 掩模51的情況(參照圖8(a)和圖8(b))。
[0068] 如圖9所示，經(jīng)過該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金 屬膜23的狀態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)：其與第一掩模51的第一臂部52及 圖案部53相重疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部54、圖案部53、和第一臂部52所形成 的空間中設(shè)有金屬膜23。即，變成如下狀態(tài)：除了連接透明構(gòu)件20的平行的邊中心的呈放 射狀延伸的4條直線的圖案和圓形以外，都設(shè)有金屬膜23。
[0069] 在設(shè)置金屬膜時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件片20W的 防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0070] (第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序之后，將第一透 明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到其中一個透明構(gòu)件片上，然后在圖案部與 框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。這里說明第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩 模為第二掩模61的情況(參照圖19)。
[0071] 經(jīng)過該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中設(shè)置的金屬膜23上進一步設(shè)有金屬膜23的狀態(tài)。此時，透明構(gòu)件片20W處于如下狀態(tài)： 其與第二掩模61的第二臂部62及圖案部63重疊的部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部64、 圖案部63、和第二臂部62所形成的空間中設(shè)有金屬膜23。另外，由于第一臂部52和第二 臂部62各自從框部54、64的中央開始延伸的方向并不相同，因此，第二透明構(gòu)件片金屬膜 形成工序中與第二臂部62重疊的部分不會與第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第一臂 部52重疊的部分重疊。也就是說，變成如下狀態(tài)：在第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與 第一臂部52重疊的部分上，經(jīng)過第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序后設(shè)有金屬膜23。即，變 成如下狀態(tài)：除了圓形和連接透明構(gòu)件20對角的呈放射狀延伸的4條直線的圖案以外，都 設(shè)有金屬膜23 (參照圖20)。
[0072] 在設(shè)置金屬膜23時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的 防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0073](第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是將第一掩模或第二掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片 上，然后在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜的工序。本實施方式中說明使用第二掩模61的情 況(未圖示)。
[0074] 經(jīng)過該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成防反射膜22上設(shè)有金屬膜23的狀 態(tài)。此時，透明構(gòu)件20處于如下狀態(tài)：其與第二掩模61的第二臂部62及圖案部63重疊的 部分上未設(shè)置金屬膜23,而在框部64、圖案部63、和第二臂部62所形成的空間中設(shè)有金屬 膜23。此時，重疊在透明構(gòu)件片20W上的掩模優(yōu)選使用與第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中所使用的掩模不相同的掩模。
[0075] 在設(shè)置金屬膜23時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的 防反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0076] 另外，在該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將掩模重疊到透明構(gòu)件片上的順 序與第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用的掩模的順序相同，以使設(shè)置在透明構(gòu)件片上 的金屬膜能夠反映出該掩模的圖案。
[0077] (第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序） 第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序之后，將第三透 明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到另一個透明構(gòu)件片20W上，然后在圖案部 與框部之間設(shè)置金屬膜23的工序。這里說明第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的 掩模為第一掩模51的情況(參照圖21)。
[0078] 經(jīng)過該第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，變成在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序 中設(shè)置的金屬膜23上進一步設(shè)有金屬膜23的狀態(tài)(參照圖22)。此時，透明構(gòu)件片20W處 于如下狀態(tài)：其與第一掩模51的第一臂部52及圖案部53相重疊的部分上未設(shè)置金屬膜 23,而在框部54、圖案部53、和第一臂部52所形成的空間中設(shè)有金屬膜23。也就是說，變成 如下狀態(tài)：在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部62重疊的部分上，經(jīng)過第四透 明構(gòu)件片金屬膜形成工序后設(shè)有金屬膜23。
[0079] 在設(shè)置金屬膜時，使用的是濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)。從而，能夠在透明構(gòu)件20的防 反射膜22上設(shè)置規(guī)定厚度的金屬膜23。
[0080] 另外，由于第一臂部52和第二臂部62各自從框部54、64的中央開始延伸的方向 并不相同，因此，第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第二臂部62重疊的部分不會與第四 透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中與第一臂部52重疊的部分重疊。
[0081] (接合工序） 如圖23(a)和圖17(b)所示，接合工序是將其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu) 件片20W重疊并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將它們接合的工序。 該接合工序中，是在其中一個透明構(gòu)件片20W上設(shè)置的金屬膜23與另一個透明構(gòu)件片 20W上設(shè)置的金屬膜23重合的狀態(tài)下，在規(guī)定壓力和規(guī)定溫度下進行接合。接合可以采用 例如原子擴散接合。 從而，能夠使其中一個透明構(gòu)件片20W與另一個透明構(gòu)件片20W接合，得到包含多個光 學(xué)器件的相接合的透明構(gòu)件片。
[0082](切片工序） 切片工序是將相接合的2個透明構(gòu)件片20W切斷而得到各個光學(xué)器件的工序。 該切片工序中，可以在第一掩模51和第二掩模61的框部相重疊的部分上、即未設(shè)有金 屬膜23的部分進行切斷，由此得到各個光學(xué)器件。進行切斷時，可以使用旋轉(zhuǎn)刀片等。 [0083] 由于采用上述光學(xué)器件制造方法，因此，第一掩模和第二掩模的圖案并不相同，第 一掩模和第二掩模的臂部的痕跡不會重疊，從而能夠減少污點的產(chǎn)生。使得雜質(zhì)難以混入。 另外，由于在與第一掩模和第二掩模的臂部的痕跡的部分相對的透明構(gòu)件的面上設(shè)置有金 屬膜，因此不易發(fā)生剝離。
[0084] 此外，本發(fā)明并不限于這些實施方式，也可以進行適當?shù)刈兏鼇硎褂谩?例如，在實施方式3、4中也可為，重疊在透明構(gòu)件片上的掩模在第一透明構(gòu)件片金屬 膜形成工序中使用第一掩模，在第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用第二掩模，在第三 透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用第一掩模，在第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用第 二掩模。
[0085] 還例如，在實施方式3、4中也可為，重疊在透明構(gòu)件片上的掩模在第一透明構(gòu)件 片金屬膜形成工序中使用第二掩模，在第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用第一掩模， 在第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中使用第二掩模，在第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中 使用第一掩模。 另外，例如金屬膜并不限于2層或4層，也可以是3層或5層以上。
[0086] 另外，上述本發(fā)明的實施方式所涉及的光學(xué)器件制造方法能夠用于標準具、1/2波 長板、1/4波長板等由透明構(gòu)件貼合而成的光學(xué)器件。 例如在一個主面上設(shè)有反射膜且在另一個主面上設(shè)有防反射膜的2個透明構(gòu)件中，通 過在防反射膜上設(shè)置金屬膜，將金屬膜彼此接合，從而能得到標準具這一光學(xué)器件。 此外還例如在未設(shè)置反射膜的2個透明構(gòu)件上設(shè)置金屬膜，通過將金屬膜彼此接合來 構(gòu)成1/2波長板、1/4波長板這樣的光學(xué)器件。 標號說明 11、12、13、14光學(xué)器件 20透明構(gòu)件 23金屬膜 31、 51第一掩模 32、 52第一臂部 33,53圖案部 34、54框部 41、 61第二掩模 42、 62第二臂部 43,63圖案部 44、64框部
【權(quán)利要求】
1. 一種光學(xué)器件制造方法，用于制造由2個透明構(gòu)件接合而成的光學(xué)器件，其特征在 于， 使用第一掩模和第二掩模，其中，所述第一掩模由至少一個第一臂部、與該第一臂部相 連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成，所述第二掩模由 設(shè)置在與所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一個第二臂部、與該第二臂部相 連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成， 所述光學(xué)器件制造方法包括： 第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，在該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將第一掩 模重疊到具有多個成為透明構(gòu)件的部分的2個透明構(gòu)件片中的一個透明構(gòu)件片上，并在圖 案部與框部之間設(shè)置金屬膜； 第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，在該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將第二掩 模重疊到另一個透明構(gòu)件片上，并在圖案部與框部之間設(shè)置金屬膜； 接合工序，在該接合工序中，使所述一個透明構(gòu)件片的金屬膜側(cè)與所述另一個透明構(gòu) 件片的金屬膜側(cè)相對，并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將這些透明構(gòu)件片接合；以及 切片工序，在該切片工序中，將相接合的所述2個透明構(gòu)件片切斷而得到各個光學(xué)器 件。
2. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 所述第一臂部由一個臂部構(gòu)成， 所述第二臂部由一個臂部構(gòu)成。
3. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 所述第一臂部是以所述圖案部為交叉部分的X字形， 所述第二臂部是以所述圖案部為交叉部分的十字形。
4. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 在所述透明構(gòu)件的一個主面上設(shè)有反射膜，且在另一個主面上設(shè)有防反射膜，并且在 所述防反射膜上設(shè)有所述金屬膜。
5. 如權(quán)利要求1所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 在設(shè)置所述金屬膜時，使用濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)來進行。
6. -種光學(xué)器件制造方法，用于制造由2個透明構(gòu)件接合而成的光學(xué)器件，其特征在 于， 使用第一掩模和第二掩模，其中，所述第一掩模由至少一個第一臂部、與該第一臂部相 連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成，所述第二掩模由 設(shè)置在與所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一個第二臂部、與該第二臂部相 連的形成為多邊形或圓形的圖案部、以及與該圖案部相連接的框部構(gòu)成， 所述光學(xué)器件制造方法包括： 第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，在該第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將第一掩 ?；虻诙谀Ｖ丿B到具有多個成為透明構(gòu)件的部分的2個透明構(gòu)件片中的一個透明構(gòu)件 片上，并在圖案部與框部之間設(shè)置第一金屬膜； 第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，該第二透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第一透明構(gòu) 件片金屬膜形成工序之后，將所述第一透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到 所述一個透明構(gòu)件片的所述第一金屬膜側(cè)，并在圖案部與框部之間設(shè)置第二金屬膜； 第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，在該第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中，將第一掩 ?；虻诙谀Ｖ丿B到另一個透明構(gòu)件片上，并在圖案部與框部之間設(shè)置第三金屬膜； 第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序，該第四透明構(gòu)件片金屬膜形成工序是在第三透明構(gòu) 件片金屬膜形成工序之后，將所述第三透明構(gòu)件片金屬膜形成工序中未使用的掩模重疊到 所述另一個透明構(gòu)件片的所述第三金屬膜側(cè)，并在圖案部與框部之間設(shè)置第四金屬膜； 接合工序，在該接合工序中，使所述一個透明構(gòu)件片的第一及第二金屬膜側(cè)與所述另 一個透明構(gòu)件片的第三及第四金屬膜側(cè)相對，并在規(guī)定溫度和規(guī)定壓力下將這些透明構(gòu)件 片接合；以及 切片工序，在該切片工序中，將相接合的所述2個透明構(gòu)件片切斷而得到各個光學(xué)器 件。
7. 如權(quán)利要求6所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 所述第一臂部由一個臂部構(gòu)成， 所述第二臂部由一個臂部構(gòu)成。
8. 如權(quán)利要求6所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 所述第一臂部是以所述圖案部為交叉部分的X字形， 所述第二臂部是以所述圖案部為交叉部分的十字形。
9. 如權(quán)利要求6所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 在所述透明構(gòu)件的一個主面上設(shè)有反射膜，且在另一個主面上設(shè)有防反射膜，并且在 所述防反射膜上設(shè)有所述金屬膜。
10. 如權(quán)利要求6所述的光學(xué)器件制造方法，其特征在于， 在設(shè)置所述金屬膜時，使用濺射技術(shù)或蒸鍍技術(shù)來進行。
【文檔編號】C23C14/04GK104060221SQ201410109777
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年3月21日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月23日
【發(fā)明者】古堅由紀子, 若林小太郎, 石內(nèi)真吾, 伊東明則 申請人:京瓷晶體元件有限公司