一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)及方法
【專利摘要】一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)裝置及方法，屬于納米材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】。該裝置包括多電極納米粉體生成室、分級室、捕集室、處理室、鈍化室、抽真空系統(tǒng)、氣體循環(huán)系統(tǒng)、電動傳動裝置、液壓傳動裝置、冷卻系統(tǒng)等。捕集室是獨立的箱體，由倒錐形雙壁水冷腔體、內(nèi)部上端敞口捕集籠、封閉濾芯內(nèi)套、氣體循環(huán)氣路構(gòu)成，捕集籠及濾芯由粉體過濾材料及濾布組成，其內(nèi)測及外側(cè)可由轉(zhuǎn)動毛刷自動去除沉積的納米粉體，底部錐形出口與納米粉體處理室相連，并設(shè)有手動閥門及觀察窗。捕集室和處理室由隔離過渡艙相連接。本發(fā)明實現(xiàn)納米粉體的自動化連續(xù)生產(chǎn)，具有在線監(jiān)測、捕集、處理、鈍化及包裝功能，提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)效率和品質(zhì)。
【專利說明】—種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于納米材料制備【技術(shù)領(lǐng)域】，涉及一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]直流電弧等離子體是制備納米粒子，特別是“核/殼”型金屬(合金)納米復(fù)合粒子、碳相關(guān)材料及陶瓷納米材料的一種有效熱源，目前采用此方法初步實現(xiàn)了宏量生產(chǎn)，但對于大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，還存在著許多技術(shù)問題，主要表現(xiàn)在如何收集大量的納米粉體產(chǎn)品，并實現(xiàn)在線的監(jiān)測、處理、鈍化及包裝。本發(fā)明根據(jù)中國專利技術(shù):一種自動控制直流電弧金屬納米粉生產(chǎn)設(shè)備及方法。專利號:ZL200410021190.1，針對納米粉體在工業(yè)化生產(chǎn)過程中的主要問題提出了修正方案，并在此基礎(chǔ)上提出了納米粉體生成室、納米粉體捕集室、納米粉體處理室、納米粉體鈍化室的全新設(shè)計方案，完成了設(shè)備研制和運行，以此實現(xiàn)納米粉體產(chǎn)品的自動化工業(yè)化連續(xù)生產(chǎn)，提高了粉體捕集效率和產(chǎn)品質(zhì)量，實現(xiàn)了產(chǎn)品的在線監(jiān)測、處理、鈍化及包裝。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種可自動控制多源直流電弧的起弧和燃燒過程，實現(xiàn)納米粉體的自動化、連續(xù)、穩(wěn)定的工業(yè)化生產(chǎn)；通過多電極的連續(xù)供料、控制移動、粉體氣流輸送、多重過濾捕集、在線處理、鈍化和包裝等工藝，提高納米粉體的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，拓展產(chǎn)品種類，提供一種高度自動化和集成化的納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)及方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0005]一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，該生產(chǎn)系統(tǒng)包括多電極納米粉體生成室、納米粉體分級室、納米粉體捕集室、納米粉體處理室、納米粉體鈍化室、抽真空系統(tǒng)、氣體循環(huán)泵、電動傳動裝置、液壓傳動裝置和冷卻系統(tǒng)。
[0006]液壓傳動裝置位于多電極納米粉體生成室的頂端，用于控制多電極納米粉體生成室中陰極的三維移動；電動傳動裝置位于多電極納米粉體生成室的底端，用于控制多電極納米粉體生成室中陽極靶材的向上移動；納米粉體捕集室通過外接納米粉體處理室接口與納米粉體處理室相連；納米粉體處理室與納米粉體鈍化室相連。
[0007]多電極納米粉體生成室、納米粉體分級室、納米粉體捕集室、氣體循環(huán)泵依次連接構(gòu)成環(huán)路，進(jìn)行整個系統(tǒng)的氣體循環(huán)；氣體循環(huán)泵通過上述環(huán)路中產(chǎn)生循環(huán)氣流，收集納米粉體；抽真空系統(tǒng)包括機(jī)械泵和羅茨泵，其與上述的環(huán)路相接，對整個系統(tǒng)進(jìn)行抽真空；冷卻系統(tǒng)用于對生產(chǎn)裝置系統(tǒng)中各部件進(jìn)行冷卻。
[0008]所述的多電極納米粉體生成室包括陽極、陰極、電動傳動裝置、液壓傳動裝置；陽極有多個帶水冷結(jié)構(gòu)的陽極銅座，靶材位于陽極銅座的中心，通過電動傳動裝置連續(xù)移動靶材，電動傳動裝置具有變檔換速功能；陰極為非損耗的高熔點導(dǎo)電材料；液壓傳動裝置由液壓缸和油管路構(gòu)成，驅(qū)動陰極的三維移動；監(jiān)測控制系統(tǒng)用于監(jiān)控多電極納米粉體生成室；多電極納米粉體生成室有兩個接口，一個連接納米粉體分級室的上端接口，另一個連接氣體循環(huán)泵。
[0009]所述的納米粉體分級室為雙壁水冷腔體，液氮罐位于納米粉體分級室內(nèi)部；納米粉體分級室的上、下端有接口分別連接多電極納米粉體生成室的一個接口和納米粉體捕集室側(cè)面的接口。
[0010]所述的納米粉體捕集室為倒錐形雙壁水冷腔體，包括毛刷固定軸、毛刷、毛刷固定支架、濾芯、濾布捕集籠和轉(zhuǎn)動齒輪；在納米粉體捕集室的頂端、側(cè)面和底端分別有一個接口 ；濾芯安裝于倒錐形雙壁水冷腔體的內(nèi)部并與納米粉體捕集室頂端的接口相通，環(huán)繞濾芯安裝有上端敞口的濾布捕集籠，毛刷固定在毛刷固定軸上，毛刷固定軸固定在毛刷固定支架上；毛刷分別與濾芯外側(cè)、濾布捕集籠內(nèi)側(cè)和濾布捕集籠外側(cè)相切；位于納米粉體捕集室內(nèi)部頂端的轉(zhuǎn)動齒輪在電機(jī)的驅(qū)動下，帶動毛刷固定支架上的毛刷轉(zhuǎn)動；濾布捕集籠由粉體過濾材料及濾布組成，其內(nèi)側(cè)及外側(cè)由轉(zhuǎn)動毛刷自動去除沉積的納米粉體；濾布捕集籠的上端為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，與納米粉體捕集室內(nèi)部的頂端絲扣連接。
[0011]所述的納米粉體處理室為內(nèi)部充滿惰性氣體的手套箱，納米粉體處理室外側(cè)連通有一級過渡艙；納米粉體處理室包括玻璃管、粉體出口、手動碟閥、連通器、觀察窗和手套；玻璃管置于納米粉體處理室內(nèi)部與上端的外接捕集室接口相通，玻璃管的下端是帶有手動碟閥的粉體出口 ；納米粉體處理室前側(cè)有觀察窗和手套；連通器用于抽真空時保持手套內(nèi)外壓平衡。
[0012]所述的納米粉體鈍化室為內(nèi)部充滿弱氧混合氣體的手套箱，其包括連通器、振動器、觀察窗和手套；振動器位于該手套箱內(nèi)部的底端；納米粉體鈍化室前側(cè)有觀察窗和手套；連通器用于抽真空時保持手套內(nèi)外壓平衡；納米粉體鈍化室外側(cè)連通有二級過渡艙，其通過一級過渡艙與納米粉體處理室相連并通過二級過渡艙與大氣環(huán)境相連。
[0013]該多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)可以設(shè)置監(jiān)測控制裝置。
[0014]一種多源直流電弧自動化納米粉體的生產(chǎn)方法，具體步驟如下:將物料制成直徑30mm的棒狀靶材，其表面光滑并具導(dǎo)電能力，將其裝入陽極中，與陰極形成10-30mm的間隙；對生產(chǎn)裝置整體抽真空后，通冷卻水用于冷卻電極、多電極納米粉體生成室I的室壁、納米粉體分級室2的室壁、納米粉體捕集室3的室壁、真空泵6、氣體循環(huán)泵7和氣路管壁；在納米粉體分級室2的液氮罐中裝入液氮；按占系統(tǒng)氣壓的20-60%通入活性氣體氫氣，其余為原料氣體和冷凝氣體；啟動電源，在陰極和陽極間形成電弧，靶材開始蒸發(fā)并形成納米粉體；啟動氣體循環(huán)泵；對電弧實施監(jiān)控，自動控制陰極和陽極的移動；生成的納米粉體隨循環(huán)氣流到達(dá)納米粉體捕集室3，在納米粉體捕集室3中的濾布捕集籠20的作用下氣流被減速并使納米粉體發(fā)生自然沉降或有部分納米粉體連附在濾布捕集籠的過濾網(wǎng)布表面及濾芯表面，通過旋轉(zhuǎn)毛刷刷落連附的納米粉體，過濾后的氣體進(jìn)入氣體循環(huán)泵7進(jìn)行循環(huán)；關(guān)閉納米粉體捕集室3與納米粉體處理室4之間的閥門，開啟納米粉體處理室4內(nèi)的閥門，納米粉體落入納米粉體收集室3的收集容器中；開啟一級過渡艙與納米粉體處理室4連接處的閥門，將盛有納米粉體的收集容器轉(zhuǎn)移至一級過渡艙后關(guān)閉該閥門；開啟納米粉體鈍化室5與一級過渡艙間的閥門，將納米粉體轉(zhuǎn)移至納米粉體鈍化室5后關(guān)閉該閥門；將一級過渡艙抽真空后補(bǔ)入I大氣壓氬氣；納米粉體在納米粉體鈍化室5內(nèi)進(jìn)行鈍化后轉(zhuǎn)移至二級過渡艙，然后關(guān)閉二級過渡艙與納米粉體鈍化室5間閥門，在二級過渡艙內(nèi)放入空氣，將納米粉體進(jìn)一步鈍化后取出并包裝。
[0015]原料氣體是含產(chǎn)品兀素氣體,如:甲燒、乙炔、氨氣、氮氣、氧氣或硼燒。
[0016]冷凝氣體是惰性氣體,如:氦氣或氬氣。
[0017]本發(fā)明的有益效果是結(jié)構(gòu)新穎，實現(xiàn)納米粉體的自動化連續(xù)生產(chǎn)，克服手工操作帶來粉體質(zhì)量不穩(wěn)定因素，提高了納米粉體生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量，具有納米粉體產(chǎn)品的在線監(jiān)測、捕集、處理、鈍化及包裝功能，提高了產(chǎn)品的技術(shù)含量和附加值。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖2為本發(fā)明的納米粉體捕集室結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖3為本發(fā)明的納米粉體處理室結(jié)構(gòu)右視圖。
[0021]圖4為本發(fā)明的納米粉體鈍化處理裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中:I多電極納米粉體生成室；2納米粉體分級室；3納米粉體捕集室；
[0023]4納米粉體收集室；5納米粉體鈍化室；6抽真空系統(tǒng)；7氣體循環(huán)泵；
[0024]8電動傳動裝置；9液壓傳動裝置；10冷卻系統(tǒng)；11監(jiān)測控制系統(tǒng)；
[0025]12電源系統(tǒng)；13外接抽真空系統(tǒng)接口 ；14毛刷固定軸；15毛刷；
[0026]16倒錐形雙壁水冷腔體；17外接納米粉體處理室接口 ；
[0027]18毛刷固定支架；19外接納米粉體分級室接口 ；20濾布捕集籠；21濾芯；
[0028]22轉(zhuǎn)動齒輪；23玻璃管；24觀察窗；25手套；26粉體出口 ；27手動碟閥；
[0029]28外接捕集室接口 ；29 —級過渡艙；30 二級過渡艙；31連通器；32振動器。
【具體實施方式】
[0030]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0031]實施例1
[0032]將物料純鋁加工成直徑30_的棒材，其表面光滑并具導(dǎo)電能力，將其裝入陽極的電動傳動裝置中，與陰極形成IOmm的間隙。納米粉體生成室I中有多個電弧源，并通過電動傳動裝置連續(xù)供應(yīng)鐵棒以實現(xiàn)粉體的連續(xù)生產(chǎn)。利用機(jī)械泵和羅茨泵對整體生產(chǎn)線抽真空后，通冷卻水以冷卻電極、各個室壁、真空泵6、氣體循環(huán)泵7和氣路管壁。按占系統(tǒng)氣壓的50%通入活性氣體氫氣，其余為冷凝氣體氬氣。啟動電源，在陰、陽電極間形成電弧，物料開始蒸發(fā)并形成鋁納米粉體，啟動氣體循環(huán)泵)實現(xiàn)納米粉體向分級室2和捕集室3的輸送。氣流攜帶鋁納米粉體進(jìn)入捕集室(圖2)后，沉積于固定在濾布捕集籠的濾布上，封閉濾芯進(jìn)行粉體的二次過濾，沿濾布捕集籠內(nèi)、外表面、濾芯外表面移動的毛刷刮掃沉積的粉體，并由錐形口落入納米粉體處理室4中。納米粉體捕集室的粉體下落管路延伸至納米粉體處理室內(nèi)部，上有手動閥門和觀察窗，可實現(xiàn)粉體生成量觀察和定量收集。納米粉體處理室(圖3)是獨立的手套箱，在其中可以實現(xiàn)粉體的各種改性、混合、熱壓等處理。納米粉體處理室4和納米粉體鈍化室5由內(nèi)置艙門的過渡艙相連接，預(yù)處理的鋁納米粉體由此輸送至鈍化室進(jìn)行再處理或包裝。最終的鋁納米粉體產(chǎn)品由末端過渡艙進(jìn)入大氣環(huán)境中。
[0033]實施例2
[0034]將物料純鐵加工成直徑30_的棒材，其表面光滑并具導(dǎo)電能力，將其裝入陽極的電動傳動裝置中，與陰極形成IOmm的間隙。納米粉體生成室I中有多個電弧源，并通過電動傳動裝置連續(xù)供應(yīng)鐵棒以實現(xiàn)粉體的連續(xù)生產(chǎn)。利用機(jī)械泵和羅茨泵對整體生產(chǎn)線抽真空后，通冷卻水以冷卻電極、各個室壁、真空泵6、氣體循環(huán)泵7和氣路管壁。按占系統(tǒng)氣壓的40%通入活性氣體氫氣，其余為冷凝氣體氬氣。啟動電源，在陰、陽電極間形成電弧，物料開始蒸發(fā)并形成鋁納米粉體，啟動氣體循環(huán)泵)實現(xiàn)納米粉體向分級室2和捕集室3的輸送。氣流攜帶鐵納米粉體進(jìn)入捕集室(圖2)后，沉積于固定在濾布捕集籠的濾布上，封閉濾芯進(jìn)行粉體的二次過濾，沿濾布捕集籠內(nèi)、外表面、濾芯外表面移動的毛刷刮掃沉積的粉體，并由錐形口落入納米粉體處理室4中。納米粉體捕集室的粉體下落管路延伸至納米粉體處理室內(nèi)部，上有手動閥門和觀察窗，可實現(xiàn)粉體生成量觀察和定量收集。納米粉體處理室(圖3)是獨立的手套箱，在其中可以實現(xiàn)粉體的各種改性、混合、熱壓等處理。納米粉體處理室4和納米粉體鈍化室5由內(nèi)置艙門的過渡艙相連接，預(yù)處理的鐵納米粉體由此輸送至鈍化室進(jìn)行再處理或包裝。最終的鐵納米粉體產(chǎn)品由末端過渡艙進(jìn)入大氣環(huán)境中。
【權(quán)利要求】
1.一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，包括多電極納米粉體生成室、納米粉體分級室、納米粉體捕集室、納米粉體處理室、納米粉體鈍化室、抽真空系統(tǒng)、氣體循環(huán)泵、電動傳動裝置、液壓傳動裝置和冷卻系統(tǒng)； 液壓傳動裝置位于多電極納米粉體生成室的頂端，用于控制多電極納米粉體生成室中陰極的三維移動；電動傳動裝置位于多電極納米粉體生成室的底端，用于控制多電極納米粉體生成室中陽極靶材的向上移動；納米粉體捕集室通過外接納米粉體處理室接口與納米粉體處理室相連；納米粉體處理室與納米粉體鈍化室相連； 多電極納米粉體生成室、納米粉體分級室、納米粉體捕集室、氣體循環(huán)泵依次連接構(gòu)成環(huán)路，進(jìn)行整個系統(tǒng)的氣體循環(huán)；氣體循環(huán)泵通過上述環(huán)路中產(chǎn)生循環(huán)氣流，收集納米粉體； 抽真空系統(tǒng)與上述的環(huán)路相接，對整個系統(tǒng)進(jìn)行抽真空； 冷卻系統(tǒng)用于對生產(chǎn)裝置系統(tǒng)中各部件進(jìn)行冷卻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的多電極納米粉體生成室包括陽極、陰極、電動傳動裝置、液壓傳動裝置；陽極有多個帶水冷結(jié)構(gòu)的陽極銅座，靶材位于陽極銅座的中心，通過電動傳動裝置連續(xù)移動靶材，電動傳動裝置具有變檔換速功能；陰極為非損耗的高熔點導(dǎo)電材料；液壓傳動裝置由液壓缸和油管路構(gòu)成，驅(qū)動陰極的三維移動；監(jiān)測控制系統(tǒng)用于監(jiān)控多電極納米粉體生成室；多電極納米粉體生成室有兩個接口，一個連接納米粉體分級室的上端接口，另一個連接氣體循環(huán)泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的納米粉體分級室為雙壁水冷腔體，液氮罐位于納米粉體分級室內(nèi)部；納米粉體分級室的上、下端有接口分別連接多電極納米粉體生成室的一個接口和納米粉體捕集室側(cè)面的接口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的納米粉體捕集室為倒錐形雙壁水冷腔體，包括毛刷固定軸、毛刷、毛刷固定支架、濾芯、濾布捕集籠和轉(zhuǎn)動齒輪；在納米粉體捕集室的頂端、側(cè)面和底端分別有一個接口 ；濾芯安裝于倒錐形雙壁水冷腔體的內(nèi)部并與納米粉體捕集室頂端的接口相通，環(huán)繞濾芯安裝有上端敞口的濾布捕集籠，毛刷固定在毛刷固定軸上，毛刷固定軸固定在毛刷固定支架上；毛刷分別與濾芯外側(cè)、濾布捕集籠內(nèi)側(cè)和濾布捕集籠外側(cè)相切；位于納米粉體捕集室內(nèi)部頂端的轉(zhuǎn)動齒輪在電機(jī)的驅(qū)動下，帶動毛刷固定支架上的毛刷轉(zhuǎn)動；濾布捕集籠由粉體過濾材料及濾布組成，其內(nèi)側(cè)及外側(cè)由轉(zhuǎn)動毛刷自動去除沉積的納米粉體；濾布捕集籠的上端為內(nèi)螺紋結(jié)構(gòu)，與納米粉體捕集室內(nèi)部的頂端絲扣連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的納米粉體處理室為內(nèi)部充滿惰性氣體的手套箱，納米粉體處理室外側(cè)連通有一級過渡艙；納米粉體處理室包括玻璃管、粉體出口、手動碟閥、連通器、觀察窗和手套；玻璃管置于納米粉體處理室內(nèi)部與上端的外接捕集室接口相通，玻璃管的下端是帶有手動碟閥的粉體出口 ；納米粉體處理室前側(cè)有觀察窗和手套；連通器用于抽真空時保持手套內(nèi)外壓平衡。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述的納米粉體鈍化室為內(nèi)部充滿弱氧混合氣體的手套箱，其包括連通器、振動器、觀察窗和手套；振動器位于該手套箱內(nèi)部的底端；納米粉體鈍化室前側(cè)有觀察窗和手套；連通器用于抽真空時保持手套內(nèi)外壓平衡；納米粉體鈍化室外側(cè)連通有二級過渡艙，其通過一級過渡艙與納米粉體處理室相連并通過二級過渡艙與大氣環(huán)境相連。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，該多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)設(shè)有監(jiān)測控制裝置。
8.一種用權(quán)利要求7所述的多源直流電弧自動化納米粉體生產(chǎn)系統(tǒng)生產(chǎn)納米粉體的方法，其特征在于如下步驟: 將物料制成直徑30mm的棒狀靶材，其表面光滑并具導(dǎo)電能力，將其裝入陽極中，與陰極形成10-30_的間隙；對生產(chǎn)裝置整體抽真空后，通冷卻水用于冷卻電極、多電極納米粉體生成室的室壁、納米粉體分級室的室壁、納米粉體捕集室的室壁、真空泵、氣體循環(huán)泵和氣路管壁；在納米粉體分級室的液氮罐中裝入液氮；按占系統(tǒng)氣壓的20-60%通入活性氣體氫氣，其余為原料氣體和冷凝氣體；啟動電源，在陰極和陽極間形成電弧，靶材開始蒸發(fā)并形成納米粉體；啟動氣體循環(huán)泵；對電弧實施監(jiān)控，自動控制陰極和陽極的移動；生成的納米粉體隨循環(huán)氣流到達(dá)納米粉體捕集室，在納米粉體捕集室中的濾布捕集籠的作用下氣流被減速并使納米粉體發(fā)生自然沉降或有部分納米粉體連附在濾布捕集籠的過濾網(wǎng)布表面及濾芯表面，通過旋轉(zhuǎn)毛刷刷落連附的納米粉體，過濾后的氣體進(jìn)入氣體循環(huán)泵進(jìn)行循環(huán)；關(guān)閉納米粉體捕集室與納米粉體處理室之間的閥門，開啟納米粉體處理室內(nèi)的閥門，納米粉體落入納米粉體收集室的收集容器中；開啟一級過渡艙與納米粉體處理室連接處的閥門，將盛有納米粉體的收集容器轉(zhuǎn)移至一級過渡艙后關(guān)閉該閥門；開啟納米粉體鈍化室與一級過渡艙間的閥門，將納米粉體轉(zhuǎn)移至納米粉體鈍化室后關(guān)閉該閥門；將一級過渡艙抽真空后補(bǔ)入大氣壓氬氣；納米粉體在納米粉體鈍化室內(nèi)進(jìn)行鈍化后轉(zhuǎn)移至二級過渡艙，然后關(guān)閉二級過渡艙與納米粉體鈍化室間的閥門，在二級過渡艙內(nèi)放入空氣，將納米粉體進(jìn)一步鈍化后取出并包裝。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述的原料氣體為甲烷、乙炔、氨氣、氮氣、氧氣或硼烷。
10.根據(jù) 權(quán)利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述的冷凝氣體為氦氣或氬氣。
【文檔編號】B22F9/14GK103962566SQ201410189518
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
【發(fā)明者】董星龍, 黃昊 申請人:大連理工大學(xué)