一種可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲；所述爐體包括圓盤和位于圓盤周圍的圓環(huán)，所述圓環(huán)至少包括一個由扇形環(huán)組合而成的組合圓環(huán)；所述發(fā)熱絲相應包括位于圓盤上方的圓盤發(fā)熱絲和位于扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲。本發(fā)明由于爐體圓環(huán)采用扇形環(huán)組合而成，可有效減少爐體高溫熱膨脹效應，可以有效解決大尺寸加熱器容易損壞的現(xiàn)狀；扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法和同心圓弧繞法，可以很好的保證整體溫度的均勻性。
【專利說明】一種可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于加熱器，具體涉及一種可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]在用金屬有機化學氣相沉積設(shè)備(MOCVD)制備半導體薄膜材料時，所發(fā)生的化學反應都是在特定的溫度環(huán)境下進行，溫度均勻性直接影響薄膜的品質(zhì)。為了適應市場對設(shè)備腔體直徑不斷增大的需求，加熱器的直徑也會相對增加，加熱器隨著直徑的增加，加熱器在高溫下熱膨脹也將增大，現(xiàn)有的大直徑加熱器通常爐體由兩個以上同心環(huán)組合而成，隨著加熱器直徑的不斷增加，大直徑加熱器在高溫下會因為熱膨脹過大而損壞自身部件，直徑越大使用壽命越短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種不因直徑加大影響結(jié)構(gòu)和壽命的可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器。
[0004]實現(xiàn)本發(fā)明目的采用的技術(shù)方案如下:
可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲；所述爐體包括圓盤和位于圓盤周圍的圓環(huán)，所述圓環(huán)至少包括一個由扇形環(huán)組合而成的組合圓環(huán)；所述發(fā)熱 絲相應包括位于圓盤上方的圓盤發(fā)熱絲和位于扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲。
[0005]所述組合圓環(huán)包括兩個或兩個以上不同徑向?qū)挾鹊膬?nèi)外組合圓環(huán)。
[0006]所述圓盤發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法，內(nèi)組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法，外組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心圓弧繞法。
[0007]所述圓環(huán)還包括設(shè)在所述圓盤和內(nèi)組合圓環(huán)之間的整體圓環(huán)，所述發(fā)熱絲相應包括設(shè)在整體圓環(huán)上方的整體圓環(huán)發(fā)熱絲，所述整體圓環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法。
[0008]有益效果:
1、本發(fā)明加熱器的爐體圓環(huán)采用扇形環(huán)組合而成，可有效減少爐體高溫熱膨脹效應，可以有效解決大尺寸加熱器容易損壞的現(xiàn)狀，爐體的最大尺寸理論上沒有上限。而現(xiàn)有爐體采用同心的整體圓環(huán)，這種加熱器最大尺寸有限，如果超過600_，隨著溫度上升，特別在10000C以上時會嚴重形變，壽命大大縮短。
[0009]2、扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法和同心圓弧繞法，可以很好的保證整體溫度的均勻性。而現(xiàn)有爐體會隨著溫度上升，爐體呈現(xiàn)單方向膨脹擴大趨勢，因而溫度場不太穩(wěn)定。
[0010]下面結(jié)合附圖進一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
【專利附圖】

【附圖說明】[0011]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0012]圖2是本發(fā)明的分解圖。
【具體實施方式】
[0013]實施例1
見圖1一2，可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲；所述爐體包括圓盤I和位于圓盤I周圍的圓環(huán)，所述圓環(huán)從內(nèi)至外包括整體圓環(huán)2、不同徑向?qū)挾鹊膬?nèi)組合圓環(huán)和外組合圓環(huán)，其中內(nèi)組合圓環(huán)由四個扇形環(huán)3組合而成，外組合圓環(huán)由四個扇形環(huán)4組合而成；所述發(fā)熱絲相應包括位于圓盤I上方的圓盤發(fā)熱絲5、位于整體圓環(huán)2上方的整體圓環(huán)發(fā)熱絲6、位于內(nèi)組合圓環(huán)的扇形環(huán)3上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲7和位于外組合圓環(huán)的扇形環(huán)4上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲8 ;所述圓盤發(fā)熱絲5采用同心螺旋繞法，整體圓 環(huán)發(fā)熱，6采用同心螺旋繞法，內(nèi)組合圓環(huán)的扇形環(huán)3上方的扇形環(huán)7發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法，外組合圓環(huán)的扇形環(huán)4上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲8采用同心圓弧繞法。
[0014]實施例2
本實施例是將實施例1中的整體圓環(huán)2取消，所有圓環(huán)均由至少兩個扇形環(huán)組合而成。
[0015]實施例3
本實施例是將實施例1中的內(nèi)組合圓環(huán)再分解成多個內(nèi)組合圓環(huán)，所有圓環(huán)均由至少兩個扇形環(huán)組合而成。
【權(quán)利要求】
1.一種可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、位于爐體上方的發(fā)熱絲；所述爐體包括圓盤和位于圓盤周圍的圓環(huán)，其特征是所述圓環(huán)至少包括一個由扇形環(huán)組合而成的組合圓環(huán)；所述發(fā)熱絲相應包括位于圓盤上方的圓盤發(fā)熱絲和位于扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述組合圓環(huán)包括兩個或兩個以上不同徑向?qū)挾鹊膬?nèi)外組合圓環(huán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述圓盤發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法，內(nèi)組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋扇形繞法，外組合圓環(huán)的扇形環(huán)上方的扇形環(huán)發(fā)熱絲采用同心圓弧繞法。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的可用于金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述圓環(huán)還包括設(shè)在所述圓盤和內(nèi)組合圓環(huán)之間的整體圓環(huán)，所述發(fā)熱絲相應包括設(shè)在整體圓環(huán)上方的整體圓環(huán)發(fā)熱絲，所述整體圓環(huán)發(fā)熱絲采用同心螺旋繞法。
【文檔編號】C23C16/46GK103924221SQ201410194889
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年5月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月10日
【發(fā)明者】蒲勇 申請人:長沙市博壘德電子科技有限公司