一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，屬于機械制造領(lǐng)域。本裝置包括一基板底座，基板底座上固連有真空室，基板底座上還固連有蓄酸器，蓄酸器內(nèi)儲蓄有濃硫酸，基板底座上還固連有水泵一和水泵二，水泵一上連接有出水管一和進(jìn)水管一，進(jìn)水管一的一端插設(shè)于蓄酸器內(nèi)，進(jìn)水管一另一端連于水泵一，出水管一另一端插設(shè)于真空室的頂部處，水泵二上連接有出水管二和進(jìn)水管二，進(jìn)水管二一端連于真空室的底部處，進(jìn)水管二另一端連于水泵二，出水管二另一端插設(shè)于蓄酸器側(cè)部處，真空室的內(nèi)壁上設(shè)有濕度傳感器，濕度傳感器通過電路連于水泵一。該裝置除濕效果好，能夠?qū)饬蛩嶂貜?fù)使用節(jié)約成本。
【專利說明】一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于機械制造領(lǐng)域，涉及一種真空鍍鋁機的除濕裝置。

【背景技術(shù)】
[0002] 真空鍍鋁是在真空狀態(tài)下，將鋁金屬加熱熔融至蒸發(fā)，鋁原子凝結(jié)在高分子材料 表面，形成極薄的鋁層。真空鍍鋁的作用對象通常為一些作為食品包裝用的薄膜，隨著經(jīng)濟(jì) 的發(fā)展和科技水平迅速提高，薄膜材料越來越受到人們的重視，不僅在食品包裝方便得到 廣泛的應(yīng)用，在許多行業(yè)也開始得到重視。
[0003] 真空鍍鋁的原理大致為：塑料薄膜的鍍鋁工藝一般采用直鍍法，即將鋁層直接鍍 在基材薄膜表面。ΒΟΡΕΤ、ΒΟΡΑ薄膜基材鍍鋁前不需進(jìn)行表面處理，可直接進(jìn)行蒸鍍。而 Β0ΡΡ、CPP、ΡΕ等非極性塑料薄膜，在蒸鍍前需對薄膜表面進(jìn)行電暈處理或涂布粘合層，使 其表面張力達(dá)到38-42達(dá)因/厘米或具有良好的粘合性。蒸鍍時，將卷筒薄膜置放于真空 室內(nèi)，關(guān)閉真空室抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到一定（4X10 - 4mba以上）時，將蒸發(fā)舟升溫至 13001：?14001：，然后再把純度為99.9(%的鋁絲連續(xù)送至蒸發(fā)舟上。調(diào)節(jié)好放卷速度、收 卷速度、送絲速度和蒸發(fā)量，開通冷卻源，使鋁絲在蒸發(fā)舟上連續(xù)地熔化、蒸發(fā)，從而在移動 的薄膜表面冷卻后形成一層光亮的鋁層即為鍍鋁薄膜。
[0004] 由上述可見，真空鍍鋁的關(guān)鍵是將真空室內(nèi)的空氣抽離后再進(jìn)行后續(xù)操作，真空 室內(nèi)的空氣含量影響了產(chǎn)品的質(zhì)量，空氣中含有較大比例的水蒸氣，空氣的相對濕度較大， 在對真空室進(jìn)行真空處理時會造成空氣抽取不干凈，對加工出的產(chǎn)品質(zhì)量具有較大的影 響，現(xiàn)在去除空氣中的辦法有加熱處理和冷凝處理，加熱處理則是通過對真空室加熱，將水 分蒸發(fā)蒸發(fā)而出，該種方法，對真空室的材質(zhì)要求高，并且不能將全部水蒸氣排除真空室， 冷凝處理則是通過降溫的方法使空氣中的水蒸氣冷凝而出通過排水管排除，該種方法能耗 大，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供了一種真空鍍鋁機真空室 的除濕裝置，該除濕裝置除濕效果好，能夠?qū)Τ凉癫牧现貜?fù)使用節(jié)約成本，解決了現(xiàn)有除濕 裝置除濕效果差，能耗大等問題。
[0006] 本發(fā)明的目的可通過下列技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置， 包括一呈板狀的基板底座，所述基板底座上固連有呈方形且內(nèi)部為空腔的真空室，所述真 空室與所述基本底座之間具有間隙，其特征在于，所述基板底座上還固連有蓄酸器，所述蓄 酸器內(nèi)儲蓄有濃硫酸，所述基板底座上還固連有水泵一和水泵二，所述水泵一上連接有出 水管一和進(jìn)水管一，所述進(jìn)水管一的一端插設(shè)于所述蓄酸器內(nèi)，所述進(jìn)水管一另一端連于 所述水泵一，所述出水管一的一端連于所述水泵一，所述出水管一另一端插設(shè)于所述真空 室的頂部處，所述水泵二上連接有出水管二和進(jìn)水管二，所述進(jìn)水管二一端連于所述真空 室的底部處，所述進(jìn)水管二另一端連于所述水泵二，所述出水管二一端連于所述水泵二，所 述出水管二另一端插設(shè)于所述蓄酸器側(cè)部處，所述真空室的內(nèi)壁上設(shè)有濕度傳感器，所述 濕度傳感器通過電路連于所述水泵一。
[0007] 基板底座起到固定作用，使本除濕裝置的整體結(jié)構(gòu)更加直觀，真空室懸空設(shè)置在 基板底座上是為了有空間安裝進(jìn)水管二，蓄酸器內(nèi)裝有濃硫酸，本案中，濃硫酸的濃度選用 為75%至85%，實際中可選用更高濃度的濃硫酸，真空室，蓄酸器和管件以及水泵內(nèi)部與 濃硫酸接觸的部位均采用鐵材料制成，工作過程大致如下，打開水泵一將蓄酸器中的濃硫 酸抽取至真空室中，通過濃硫酸的吸水性質(zhì)，在濃硫酸從真空室頂部噴灑至真空室底部的 過程中，空氣中的水分被吸收，能夠有效將真空室內(nèi)中的空氣中的水蒸氣吸收，此時真空室 內(nèi)設(shè)置的濕度傳感器檢測空氣的濕度，達(dá)到設(shè)定的值后使水泵一停止工作，靜置4 - 5分鐘 后，該過程濃硫酸繼續(xù)對空氣進(jìn)行吸水，使空氣中的水分降到最低。然后打開水泵二，將真 空室內(nèi)反應(yīng)后的濃硫酸抽取至蓄酸器中，該過程中可實現(xiàn)濃硫酸的重復(fù)利用直至蓄酸器中 濃硫酸濃度降低至70%以下，然后再通過其他設(shè)備將真空室中的空氣抽離，達(dá)到理想的真 空狀態(tài)，本除濕裝置除濕效果好可對濃硫酸進(jìn)行重復(fù)利用，節(jié)約了成本并且降低了能耗。
[0008] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述水泵一上還連有一根出水管 三，所述出水管三另一端插設(shè)于所述真空室的側(cè)部。
[0009] 出水管三的設(shè)置是為了加強除濕速度，出水管一設(shè)置在真空室的頂部，出水管三 設(shè)置在真空室的側(cè)部，使?jié)饬蛩釃姙⒌姆秶?，更夠更好的吸收水分，從而加快吸收?率。
[0010] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述出水管一和出水管三插設(shè)在 所述真空室內(nèi)的一端端口處固連有呈弧狀的噴頭，所述噴頭上具有網(wǎng)孔。
[0011] 噴頭采用鐵材料制成，不會被濃硫酸腐蝕，網(wǎng)孔的存在使?jié)饬蛩釃姙⑹悄軌蛐纬?扇形噴霧，覆蓋面廣，除濕速度快效果好。
[0012] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述底壁由傾斜部一和傾斜部二 組成，所述傾斜部一和傾斜部二的一端與所述真空室的內(nèi)壁為一體且另一端向下延伸形成 凹槽。
[0013] 即真空室的底壁呈向下傾斜狀，凹槽的設(shè)置是為了濃硫酸流至真空室底部時能夠 沿著底壁傾斜流至凹槽內(nèi)，方便后續(xù)的水泵二抽取工作。充分考慮了實際存在的問題。
[0014] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述凹槽的底部開設(shè)有通孔，所 述進(jìn)水管二插設(shè)于所述通孔內(nèi)。
[0015] 通孔開設(shè)在凹槽的中央處，方便水泵二的抽取工作，使真空室底壁不會存留多余 的濃硫酸，結(jié)構(gòu)設(shè)計合理。
[0016] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述蓄酸器包括固連在所述基板 底座上的固定座和連于所述固定座呈圓柱形的蓄酸缸。
[0017] 固定座固定在基板底座上，蓄酸缸可取下進(jìn)行換液工作，固定座是為了放置蓄酸 缸。
[0018] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述固定座呈方形且一側(cè)上具有 圓柱形連接槽，所述蓄酸缸通過連接槽螺紋連接于所述固定座。
[0019] 將蓄酸缸底部的外壁上具有外螺紋，連接槽內(nèi)具有內(nèi)螺紋，蓄酸缸和固定座通過 螺紋連接固定，連接牢固，需要換液時將蓄酸缸取下即可，十分方便。
[0020] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述蓄酸缸的頂部處具有與所述 蓄酸缸鉸接的密封蓋，所述密封蓋呈圓柱形且一端鉸接在所述蓄酸缸的側(cè)壁上。
[0021] 密封蓋與蓄酸缸為一體式結(jié)構(gòu)，其一端端部鉸接在蓄酸缸的頂部的側(cè)部處，密封 蓋也為鐵材料制成，不會被濃硫酸腐蝕，在換液的過程中通過打開密封蓋來進(jìn)行換液，十分 方便。
[0022] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述密封蓋與所述蓄酸缸之間設(shè) 有鑰匙鎖，所述密封蓋的外側(cè)具有鑰匙孔。
[0023] 設(shè)置鑰匙鎖能夠防止人為因數(shù)意外打開密封蓋，由于濃硫酸具有強烈的腐蝕性， 能夠?qū)θ嗽斐删薮髠?，該結(jié)構(gòu)從人的人身安全上考慮，只有配備特定的鑰匙才能夠打開 密封蓋，安全系數(shù)高。
[0024] 在上述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中，所述濕度傳感器設(shè)于所述真空室 內(nèi)遠(yuǎn)離所述出水管一和出水管三的一側(cè)上。
[0025] 由于濃硫酸具有強雷的腐蝕性并且是噴灑而出，將濕度傳感器設(shè)置在遠(yuǎn)離濃硫酸 噴灑處的位置能夠?qū)穸葌鞲衅髌鸬奖Ｗo(hù)作用，防止?jié)穸葌鞲衅髟獾綋p壞。設(shè)計考慮周全。
[0026] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置具有以下優(yōu)點：
[0027] 1、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置利用濃硫酸吸水的特性來進(jìn)行真空室內(nèi)的除 濕工作，設(shè)計巧妙，除濕效果好。
[0028] 2、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置能夠?qū)饬蛩岱磸?fù)利用直至其濃度低于70%， 節(jié)約成本，能耗低。
[0029] 3、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置的出水管一和出水管三內(nèi)端設(shè)置有鐵質(zhì)噴頭， 使?jié)饬蛩岬膰姙⑿Ч谩?br> [0030] 4、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置出水管一和出水管三的內(nèi)端分別設(shè)置在真空 室的頂部和側(cè)部，使?jié)饬蛩釃姙⒎秶鷱V，吸水迅速。
[0031] 5、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置中的真空室底壁具有向下傾斜的凹槽，能夠使 濃硫酸迅速的匯集在一處，方便水泵二抽取工作，結(jié)構(gòu)設(shè)置巧妙。
[0032] 6、本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置的蓄酸器設(shè)置有鑰匙鎖，可防止人為意外的打 開密封蓋造成安全事故發(fā)生，安全系數(shù)高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0033] 圖1是本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置去除基板底座的整體結(jié)構(gòu)圖。
[0034] 圖2是本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置的固定座的俯視圖。
[0035] 圖3是本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置的蓄酸缸的結(jié)構(gòu)圖。
[0036] 圖中，1、真空室；la、傾斜部一；lb、傾斜部二；2、蓄酸器；2a、固定座；2al、連接槽； 2b、蓄酸缸；2bl、密封蓋；2bll、鑰匙孔；3、濃硫酸；4、水泵一 ；4a、出水管一 ；4b、進(jìn)水管一； 4c、出水管三；5、水泵二；5a、出水管二；5b、進(jìn)水管二；6、濕度傳感器；7、噴頭。

【具體實施方式】
[0037] 如圖1至圖3所示，本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置包括一呈板狀的基板底座，基 板底座上固連有呈方形且內(nèi)部為空腔的真空室1，真空室1與基本底座之間具有間隙，基板 底座上還固連有蓄酸器2,蓄酸器2內(nèi)儲蓄有濃硫酸3,基板底座上還固連有水泵一 4和水 泵二5,水泵一 4上連接有出水管一 4a和進(jìn)水管一 4b，進(jìn)水管一 4b的一端插設(shè)于蓄酸器2 內(nèi)，進(jìn)水管一 4b另一端連于水泵一 4,出水管一 4a的一端連于水泵一 4,出水管一 4a另一 端插設(shè)于真空室1的頂部處，水泵二5上連接有出水管二5a和進(jìn)水管二5b，進(jìn)水管二5b - 端連于真空室1的底部處，進(jìn)水管二5b另一端連于水泵二5,出水管二5a -端連于水泵二 5,出水管二5a另一端插設(shè)于蓄酸器2側(cè)部處，真空室1的內(nèi)壁上設(shè)有濕度傳感器6,濕度傳 感器6通過電路連于水泵一 4。
[0038] 基板底座起到固定作用，使本除濕裝置的整體結(jié)構(gòu)更加直觀，真空室1懸空設(shè)置 在基板底座上是為了有空間安裝進(jìn)水管二5b，蓄酸器2內(nèi)裝有濃硫酸3，本案中，濃硫酸3 的濃度選用為75%至85%，實際中可選用更高濃度的濃硫酸3,真空室1，蓄酸器2和管件 以及水泵內(nèi)部與濃硫酸3接觸的部位均采用鐵材料制成，工作過程大致如下，打開水泵一 4 將蓄酸器2中的濃硫酸3抽取至真空室1中，通過濃硫酸3的吸水性質(zhì)，在濃硫酸3從真空 室1頂部噴灑至真空室1底部的過程中，空氣中的水分被吸收，能夠有效將真空室1內(nèi)中的 空氣中的水蒸氣吸收，此時真空室1內(nèi)設(shè)置的濕度傳感器6檢測空氣的濕度，達(dá)到設(shè)定的值 后使水泵一 4停止工作，靜置4 -5分鐘后，該過程濃硫酸3繼續(xù)對空氣進(jìn)行吸水，使空氣中 的水分降到最低。然后打開水泵二5,將真空室1內(nèi)反應(yīng)后的濃硫酸3抽取至蓄酸器2中， 該過程中可實現(xiàn)濃硫酸3的重復(fù)利用直至蓄酸器2中濃硫酸3濃度降低至70 %以下，然后 再通過其他設(shè)備將真空室1中的空氣抽離，達(dá)到理想的真空狀態(tài)，本除濕裝置除濕效果好 可對濃硫酸3進(jìn)行重復(fù)利用，節(jié)約了成本并且降低了能耗。
[0039] 如圖1所示，水泵一 4上還連有一根出水管三4c，出水管三4c另一端插設(shè)于真空 室1的側(cè)部。出水管三4c的設(shè)置是為了加強除濕速度，出水管一 4a設(shè)置在真空室1的頂 部，出水管三4c設(shè)置在真空室1的側(cè)部，使?jié)饬蛩?噴灑的范圍更大，更夠更好的吸收水 分，從而加快吸收速率。
[0040] 出水管一 4a和出水管三4c插設(shè)在真空室1內(nèi)的一端端口處固連有呈弧狀的噴頭 7,噴頭7上具有網(wǎng)孔。噴頭7采用鐵材料制成，不會被濃硫酸3腐蝕，網(wǎng)孔的存在使?jié)饬蛩?3噴灑是能夠形成扇形噴霧，覆蓋面廣，除濕速度快效果好。
[0041] 底壁由傾斜部一 la和傾斜部二lb組成，傾斜部一 la和傾斜部二lb的一端與真 空室1的內(nèi)壁為一體且另一端向下延伸形成凹槽。即真空室1的底壁呈向下傾斜狀，凹槽 的設(shè)置是為了濃硫酸3流至真空室1底部時能夠沿著底壁傾斜流至凹槽內(nèi)，方便后續(xù)的水 泵二5抽取工作。充分考慮了實際存在的問題。
[0042] 凹槽的底部開設(shè)有通孔，進(jìn)水管二5b插設(shè)于通孔內(nèi)。通孔開設(shè)在凹槽的中央處， 方便水泵二5的抽取工作，使真空室1底壁不會存留多余的濃硫酸3,結(jié)構(gòu)設(shè)計合理。
[0043] 蓄酸器2包括固連在基板底座上的固定座2a和連于固定座2a呈圓柱形的蓄酸缸 2b。固定座2a固定在基板底座上，蓄酸缸2b可取下進(jìn)行換液工作，固定座2a是為了放置 蓄酸缸2b。
[0044] 如圖2所示，固定座2a呈方形且一側(cè)上具有圓柱形連接槽2al，蓄酸缸2b通過連 接槽2al螺紋連接于固定座2a。將蓄酸缸2b底部的外壁上具有外螺紋，連接槽2al內(nèi)具有 內(nèi)螺紋，蓄酸缸2b和固定座2a通過螺紋連接固定，連接牢固，需要換液時將蓄酸缸2b取下 即可，十分方便。
[0045] 如圖1和圖3所示，蓄酸缸2b的頂部處具有與蓄酸缸2b鉸接的密封蓋2b 1，密封 蓋2bl呈圓柱形且一端鉸接在蓄酸缸2b的側(cè)壁上。密封蓋2bl與蓄酸缸2b為一體式結(jié)構(gòu)， 其一端端部鉸接在蓄酸缸2b的頂部的側(cè)部處，密封蓋2bl也為鐵材料制成，不會被濃硫酸 3腐蝕，在換液的過程中通過打開密封蓋2bl來進(jìn)行換液，十分方便。
[0046] 密封蓋2bl與蓄酸缸2b之間設(shè)有鑰匙鎖，密封蓋2bl的外側(cè)具有鑰匙孔2bll。設(shè) 置鑰匙鎖能夠防止人為因數(shù)意外打開密封蓋2bl，由于濃硫酸3具有強烈的腐蝕性，能夠?qū)?人造成巨大傷害，該結(jié)構(gòu)從人的人身安全上考慮，只有配備特定的鑰匙才能夠打開密封蓋 2bl，安全系數(shù)高。
[0047] 如圖1所示，濕度傳感器6設(shè)于真空室1內(nèi)遠(yuǎn)離出水管一 4a和出水管三4c的一 側(cè)上。由于濃硫酸3具有強雷的腐蝕性并且是噴灑而出，將濕度傳感器6設(shè)置在遠(yuǎn)離濃硫 酸3噴灑處的位置能夠?qū)穸葌鞲衅?起到保護(hù)作用，防止?jié)穸葌鞲衅?遭到損壞。設(shè)計 考慮周全。
[0048] 本真空鍍鋁機真空室的除濕裝置除濕效果好，能夠重復(fù)使用濃硫酸節(jié)約成本，能 耗低。
[〇〇49] 本文中所描述的具體實施例僅僅是對本發(fā)明精神作舉例說明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員可以對所描述的具體實施例做各種各樣的修改或補充或采用類似的方式替 代，但并不會偏離本發(fā)明的精神或者超越所附權(quán)利要求書所定義的范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，包括一呈板狀的基板底座，所述基板底座上固 連有呈方形且內(nèi)部為空腔的真空室，所述真空室與所述基本底座之間具有間隙，其特征在 于，所述基板底座上還固連有蓄酸器，所述蓄酸器內(nèi)儲蓄有濃硫酸，所述基板底座上還固連 有水泵一和水泵二，所述水泵一上連接有出水管一和進(jìn)水管一，所述進(jìn)水管一的一端插設(shè) 于所述蓄酸器內(nèi)，所述進(jìn)水管一另一端連于所述水泵一，所述出水管一的一端連于所述水 泵一，所述出水管一另一端插設(shè)于所述真空室的頂部處，所述水泵二上連接有出水管二和 進(jìn)水管二，所述進(jìn)水管二一端連于所述真空室的底部處，所述進(jìn)水管二另一端連于所述水 泵二，所述出水管二一端連于所述水泵二，所述出水管二另一端插設(shè)于所述蓄酸器側(cè)部處， 所述真空室的內(nèi)壁上設(shè)有濕度傳感器，所述濕度傳感器通過電路連于所述水泵一。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述水泵 一上還連有一根出水管三，所述出水管三另一端插設(shè)于所述真空室的側(cè)部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述出水 管一和出水管三插設(shè)在所述真空室內(nèi)的一端端口處固連有呈弧狀的噴頭，所述噴頭上具有 網(wǎng)孔。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所 述底壁由傾斜部一和傾斜部二組成，所述傾斜部一和傾斜部二的一端與所述真空室的內(nèi)壁 為一體且另一端向下延伸形成凹槽。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述凹槽 的底部開設(shè)有通孔，所述進(jìn)水管二插設(shè)于所述通孔內(nèi)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所 述蓄酸器包括固連在所述基板底座上的固定座和連于所述固定座呈圓柱形的蓄酸缸。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述固定 座呈方形且一側(cè)上具有圓柱形連接槽，所述蓄酸缸通過連接槽螺紋連接于所述固定座。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述蓄酸 缸的頂部處具有與所述蓄酸缸鉸接的密封蓋，所述密封蓋呈圓柱形且一端鉸接在所述蓄酸 缸的側(cè)壁上。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于，所述密封 蓋與所述蓄酸缸之間設(shè)有鑰匙鎖，所述密封蓋的外側(cè)具有鑰匙孔。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的一種真空鍍鋁機真空室的除濕裝置，其特征在于， 所述濕度傳感器設(shè)于所述真空室內(nèi)遠(yuǎn)離所述出水管一和出水管三的一側(cè)上。
【文檔編號】C23C14/24GK104087900SQ201410333150
【公開日】2014年10月8日 申請日期:2014年7月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月14日
【發(fā)明者】吳春鋒, 吳明忠, 張俊杰, 劉華, 劉明建, 王勇, 黃依凡, 唐海波 申請人:海寧長宇鍍鋁材料有限公司