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一種高質(zhì)量鈦鋁合金靶材的制造方法與流程

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一種高質(zhì)量鈦鋁合金靶材的制造方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種高質(zhì)量鈦鋁合金靶材的制備方法,其特征在于:先進(jìn)行真空自耗電弧爐熔煉,再進(jìn)行真空自耗凝殼爐熔煉制備鈦鋁合金,依次包括配料步驟、烘料步驟、電極壓制步驟、電極焊接步驟、真空自耗電弧爐熔煉步驟、和真空自耗凝殼爐熔煉步驟,其中:在所述配料步驟中,分別稱(chēng)取0級(jí)海綿鈦和純度高于99.99%的金屬鋁,其中所述鈦鋁合金按重量百分比由以下元素組成Ti:60~70%,Al:40~30%;在所述烘料步驟中,將配好的原料海綿鈦和金屬鋁進(jìn)行烘烤處理,得到烘烤好的原料;在所述電極壓制步驟中,將所述烘烤好的原料進(jìn)行壓制處理,得到電極;在所述電極焊接步驟中,將所述電極進(jìn)行焊接處理,得到焊接好的電極;在所述真空自耗電弧爐熔煉步驟中,將所述焊接好的電極進(jìn)行真空自耗電弧爐熔煉處理,得到真空自耗電弧爐熔煉后的錠坯;在所述真空自耗凝殼爐熔煉步驟中,將所述真空自耗電弧爐熔煉后的電極進(jìn)行真空自耗凝殼爐熔煉處理,得到真空自耗凝殼爐熔煉后的鑄錠;在所述真空自耗電弧爐熔煉步驟中,首先使真空感應(yīng)爐的真空度保持為0.01~0.08Pa,再以4000~6000A的電流送電熔煉,電壓控制在32~35V,熔煉完后繼續(xù)保持真空度在0.05~0.1Pa,隨爐冷卻至300~400℃出爐;在所述真空自耗凝殼爐熔煉步驟中,模具除氣的溫度為500~600℃,烘烤時(shí)間為8~12h;真空凝殼爐的真空度保持在0.01~0.08Pa,再以16000~20000A的電流進(jìn)行熔煉,熔煉電壓控制在32~40V;澆鑄完后保持爐內(nèi)真空度在0.05~0.1Pa,隨爐冷卻至室溫后出爐。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述烘料步驟中,所述烘烤溫度為140~200℃,所述烘烤時(shí)間為4~6h,所述真空烘箱的真空度為500~5000Pa。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述電極壓制步驟中,將烘烤好的金屬鋁置于電極中心,電極外圍由烘烤好的海綿鈦包裹;電極壓制的模具材料為碳素工具鋼,尺寸為D140*300mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述電極焊接步驟中,將5~7根電極進(jìn)行焊接處理;所述焊接處理采用鎢極氬弧焊,焊接材料為純鈦焊絲。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述真空自耗電弧爐熔煉步驟中,采用的結(jié)晶器為水冷銅坩堝。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法,其特征在于:在所述真空自耗凝殼爐熔煉步驟中,采用的模具為石墨模具。
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