一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括：機(jī)臺(tái)、繃網(wǎng)組件、掩模板載臺(tái)、掩模外框載臺(tái)、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌、激光斜切裝置、激光焊接裝置，同一設(shè)備體系集中了掩模板的制作與組裝，集成方式能縮短掩模板組件的制程，能有效保證成品金屬掩模板的精度，本發(fā)明提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備能夠切割出開(kāi)口側(cè)壁為傾斜面的掩模板并形成掩模板組件，所述掩模板的開(kāi)口截面為梯形結(jié)構(gòu)，其能夠避免掩模板在蒸鍍沉積有機(jī)材料時(shí)產(chǎn)生蒸鍍效應(yīng)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備。
[0002]

【背景技術(shù)】
[0003]有機(jī)發(fā)光顯示器(Organic Light-Emitting D1de,簡(jiǎn)稱(chēng)0LED)是下一代的顯示技術(shù)，與目前使用的液晶顯示器(Liquid Crystal Display，簡(jiǎn)稱(chēng)IXD)顯示技術(shù)相比,具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點(diǎn)，會(huì)逐漸替代目前主流的液晶顯示技術(shù)。
[0004]在OLED顯示器面板的制作過(guò)程中，其中有機(jī)層的沉積會(huì)使用到金屬掩模板組件，圖1所示為采用掩模板組件蒸鍍有機(jī)材料的示意圖。金屬掩模板組件由金屬掩模板10及掩模外框11構(gòu)成，金屬掩模板10由于比較薄，在蒸鍍前會(huì)通過(guò)相關(guān)工藝固定在掩模外框11上，圖2所示為金屬掩模板固定在掩模外框11上的平面示意圖。蒸鍍時(shí)，金屬掩模板10借助掩模外框11固定在支撐臺(tái)12上,蒸鍍?cè)?3中的有機(jī)材料通過(guò)蒸發(fā)擴(kuò)散至掩模板10下方，掩模板10上在一定的位置設(shè)置有開(kāi)口 100，有機(jī)材料通過(guò)開(kāi)口 100沉積在沉積基板14上對(duì)應(yīng)的位置處，形成有機(jī)沉積層。
[0005]在技術(shù)要求上，有機(jī)沉積層的沉積質(zhì)量對(duì)后期產(chǎn)品質(zhì)量有非常大的影響，而有機(jī)沉積層的沉積質(zhì)量與金屬掩模板的開(kāi)口質(zhì)量、開(kāi)口位置精度緊密相關(guān)，其中金屬掩模板的開(kāi)口位置精度除了由開(kāi)口制作過(guò)程決定以外，還與金屬掩模板10組裝到掩模外框11上形成金屬掩模組件的過(guò)程直接掛鉤。
[0006]圖3所示是申請(qǐng)?zhí)枮?01110079282.5的中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)文件公開(kāi)的一種金屬掩模板組裝機(jī)，所述組裝機(jī)包括:機(jī)架31 ;繃網(wǎng)組件32，所述繃網(wǎng)組件設(shè)置在機(jī)架上用于繃?yán)饘傺谀０?；測(cè)量單元33，所述測(cè)量單元可移動(dòng)地設(shè)置在所述機(jī)架上用于測(cè)量金屬掩模板；和控制單元，所述控制單元用于控制測(cè)量單元對(duì)金屬掩模板的測(cè)量和繃網(wǎng)組件對(duì)金屬掩模板的繃?yán)?，且根?jù)從測(cè)量單元接收的測(cè)量信號(hào)調(diào)節(jié)繃網(wǎng)組件對(duì)金屬掩模板的繃?yán)?。然而采用該設(shè)備進(jìn)行金屬掩模板組裝時(shí)，未被裝載在繃網(wǎng)組件上的金屬掩模板由于中間無(wú)支撐而容易出現(xiàn)折痕(導(dǎo)致金屬掩模板直接報(bào)廢)；另外，在該專(zhuān)利申請(qǐng)文件中，掩模外框的位置調(diào)節(jié)比較困難，不利于掩模板的焊接組裝。
[0007]基于此，業(yè)界希望設(shè)計(jì)出一種功能更強(qiáng)大的組裝設(shè)備，能夠較好的滿足高質(zhì)量金屬掩模板組件的組裝。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，以更好的滿足金屬掩模板高精度組裝的要求。
[0009]本發(fā)明所提供了一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括:機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺(tái)；繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過(guò)所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；掩模板載臺(tái)，所述掩模板載臺(tái)用于承載未經(jīng)所述繃網(wǎng)組件繃?yán)慕饘傺谀０迤?，所述掩模板載臺(tái)包括掩模支撐板和支撐板驅(qū)動(dòng)裝置，所述掩模支撐板在所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可以在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)整所述掩模支撐板上表面相對(duì)所述繃網(wǎng)組件夾持面所在位置；掩模外框載臺(tái)，所述掩模外框載臺(tái)用于承載掩模外框，所述掩模外框用于固定所述金屬掩模板，所述掩模外框載臺(tái)能夠調(diào)整所述掩模外框的的水平高度；運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)；激光焊接裝置，所述激光焊接裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在所述X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X、Y軸向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述激光焊接裝置包括一激光焊接頭，所述金屬掩模板通過(guò)所述激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在所述掩模外框上。
[0010]進(jìn)一步，本發(fā)明的掩模外框載臺(tái)包括:基架、調(diào)平機(jī)構(gòu)以及外框承載板，所述基架由底板及設(shè)置在所述底板上的側(cè)板構(gòu)成，用于安裝所述調(diào)平機(jī)構(gòu)；所述調(diào)平機(jī)構(gòu)由若干個(gè)垂直設(shè)置在所述基架底板上的電動(dòng)執(zhí)行器及設(shè)置在每個(gè)電動(dòng)執(zhí)行器上方的調(diào)平板構(gòu)成；所述外框承載板設(shè)置在所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的調(diào)平板上方，通過(guò)配合調(diào)節(jié)所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的所述電動(dòng)執(zhí)行器可以調(diào)整所述外框承載板的水平位置，所述外框承載板用于直接承載所述掩模外框。
[0011]為了便于掩模外框的裝載在所述掩模外框載臺(tái)上，所述掩模外框載臺(tái)還包括頂起機(jī)構(gòu)，所述頂起機(jī)構(gòu)由至少4個(gè)垂直設(shè)置在所述基架上的升降驅(qū)動(dòng)裝置與至少2個(gè)水平設(shè)置在所述升降驅(qū)動(dòng)裝置上方的頂板構(gòu)成，所述頂板通過(guò)所述升降驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)完成上升或下降動(dòng)作，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的外框承載板上表面設(shè)置有與所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得所述頂板下降到最低點(diǎn)時(shí)，所述頂板的上表面不高于所述外框承載板的上表面。
[0012]進(jìn)一步，所述掩模外框載臺(tái)還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位塊及氣缸組件構(gòu)成，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述外框承載板或所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板上，所述掩模外框通過(guò)所述定位機(jī)構(gòu)定位在所述外框承載板上的確定位置，從而保證掩模板組件組裝過(guò)程的穩(wěn)定性。
[0013]為強(qiáng)化本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的自動(dòng)化程度，本發(fā)明所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元，所述控制單元用于控制所述繃網(wǎng)組件對(duì)所述金屬掩模板的繃?yán)⑺鲞\(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)路徑、所述掩模板載臺(tái)支撐板驅(qū)動(dòng)裝置動(dòng)作、所述掩模外框載臺(tái)的調(diào)整動(dòng)作以及所述激光焊接裝置的焊接方式。
[0014]進(jìn)一步，本發(fā)明所涉及的繃網(wǎng)組件包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運(yùn)行滑塊，所述四組夾持裝置通過(guò)所述運(yùn)行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
[0015]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過(guò)設(shè)置在兩端的滑塊一安裝在Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過(guò)滑塊二安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述激光斜切裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過(guò)滑塊三安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
[0016]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過(guò)所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上。
[0017]為了便于監(jiān)控掩模板開(kāi)口的開(kāi)口質(zhì)量，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件及平整度測(cè)量組件，所述機(jī)器視覺(jué)組件及平整度測(cè)量組件安裝在所述滑塊三上。所述機(jī)器視覺(jué)組件用于抓取所述金屬掩模板上開(kāi)口的形貌并配合軌道運(yùn)動(dòng)測(cè)量掩模板上需測(cè)量區(qū)域的尺寸，所述機(jī)器視覺(jué)組件可以是高精度的CXD相機(jī)；所述平整度測(cè)量組件用于測(cè)量金屬掩模板表面的平整狀況，可以采用高精度的高度傳感器作為平整度測(cè)量組件。
[0018]進(jìn)一步，構(gòu)成所述掩模板載臺(tái)的所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，電機(jī)通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)設(shè)置在所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置上方的所述掩模支撐板在垂直方向上運(yùn)動(dòng)。
[0019]進(jìn)一步，構(gòu)成所述掩模板載臺(tái)的所述掩模支撐板上表面為玻璃平板，所述玻璃平板下部設(shè)置有光源，作為一種優(yōu)選方式，玻璃平板為毛玻璃，設(shè)置在毛玻璃下方的光源為均勻分布的燈帶。
[0020]進(jìn)一步，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，邊料切除機(jī)構(gòu)可以設(shè)置在滑塊三上，受控制系統(tǒng)控制，以實(shí)現(xiàn)對(duì)焊接后的掩模組件的掩模外框的外圍金屬片材的切除，邊料切除機(jī)構(gòu)可以是激光切割頭，也可以是可以實(shí)現(xiàn)金屬片材切割的刀具。
[0021]進(jìn)一步，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括掩模外框上料機(jī)構(gòu)，所述上料傳送平臺(tái)可在Y軸方向上運(yùn)動(dòng)，所述掩模外框放置在所述上料支撐平臺(tái)上，由所述上料傳送平臺(tái)夾持并傳送至所述掩模外框載臺(tái)上方。
[0022]另外，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括碎屑收集裝置，其設(shè)置在所述基臺(tái)內(nèi)部，用于收集組裝過(guò)程中產(chǎn)生的碎屑，及時(shí)的碎屑收集處理，防止掩模板制作過(guò)程中碎屑對(duì)設(shè)備正常運(yùn)行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運(yùn)行軌道上會(huì)影響軌道運(yùn)行精度。
[0023]由于本發(fā)明的金屬掩模板組件組裝設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺(tái)具有較高穩(wěn)定性，本發(fā)明中，所述機(jī)臺(tái)包括花崗石平臺(tái)和基座，所述花崗石平臺(tái)安裝在所述基座上，所述基座與支撐基地接觸。
[0024]本發(fā)明中金屬掩模板組件組裝設(shè)備的各構(gòu)成部件均能單獨(dú)控制，在同一控制系統(tǒng)中，通過(guò)配合控制各構(gòu)成部件，金屬掩模板能夠保證較高的焊接精度。
[0025]本發(fā)明的具體結(jié)構(gòu)及優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。
[0026]

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027]本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中:
圖1所示為采用掩模板蒸鍍有機(jī)材料的示意圖；
圖2所示為掩模板的平面示意圖；
圖3所示為一種現(xiàn)有技術(shù)的金屬掩模板組裝機(jī)示意圖；
圖4為本發(fā)明所提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備一種實(shí)施例立體示意； 圖5為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的前視圖；
圖6所述為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備俯視圖；
圖7為激光焊接裝置裝配裝配在運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上的立體圖；
圖8所示為繃網(wǎng)組件、掩模板載臺(tái)與掩模外框載臺(tái)裝配在機(jī)臺(tái)上的示意圖；
圖9所示為構(gòu)成本網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)一種實(shí)施例示意圖；
圖10為掩模板載臺(tái)一種實(shí)施例意圖；
圖11為掩模外框載臺(tái)一種實(shí)施例示意圖；
圖12為掩模外框載臺(tái)裝載掩模外框的一種實(shí)施例示意圖；
圖13為圖15中I部分放大示意圖；
圖14為掩模板載臺(tái)與掩模外框載臺(tái)配合的示意圖；
圖15為金屬掩模板待夾持狀態(tài)示意圖；
圖16為金屬掩模板經(jīng)繃網(wǎng)組件夾持繃緊的狀態(tài)示意圖；
圖17為通過(guò)繃網(wǎng)組件繃?yán)饘傺谀０宓氖疽鈭D；
圖18為將金屬掩模板焊接到掩模外框的狀態(tài)示意圖；
圖19為焊接在掩模外框上的金屬掩模板切割外邊的狀態(tài)示意圖；
圖20為組裝成型的金屬掩模組件處于檢測(cè)狀態(tài)的示意圖；
圖21為設(shè)置有上料機(jī)構(gòu)的金屬掩模板組件組裝設(shè)備示意圖圖22為上料機(jī)構(gòu)的立體不意圖；
圖23為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料支撐平臺(tái)的立體示意圖；
圖24為圖23中II部分的放大示意圖；
圖25為將掩模外框裝載到上料支撐平臺(tái)的過(guò)程示意圖；
圖26為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料傳送平臺(tái)的立體示意圖。
[0028]圖中，
10為金屬掩模板，100為掩模板開(kāi)口，11為掩模板固定的掩模外框，12為支撐臺(tái)，13為蒸鍍?cè)矗?4為沉積基板；
51為機(jī)臺(tái)，511為構(gòu)成機(jī)臺(tái)51的花崗石平臺(tái)，512為構(gòu)成機(jī)臺(tái)51的基座，52為繃網(wǎng)組件，521為構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)，5211為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭，5212為夾持機(jī)構(gòu)521的底板，5213為夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭引軌，5214為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)，5215為夾持機(jī)構(gòu)521的底板滑塊，5216為夾持機(jī)構(gòu)521的拉力傳感器，5217為夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)運(yùn)動(dòng)限位機(jī)構(gòu)，522為安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座，523為安裝在安裝座522上的安裝導(dǎo)軌，53為運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，531為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌，532為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的Y軸導(dǎo)軌，533為構(gòu)成運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的Z軸導(dǎo)軌，55為Y軸導(dǎo)軌支撐，56碎屑收集裝置，57為掩模板載臺(tái)，571為構(gòu)成掩模板載臺(tái)57的掩模支撐板,572為構(gòu)成掩模板載臺(tái)的支撐板驅(qū)動(dòng)裝置,5721為電機(jī)，5722為絲杠，58為掩模外框載臺(tái)，581為構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的基架，5811為構(gòu)成基架581的底板，5812為構(gòu)成基架581的側(cè)板，582為構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的調(diào)平機(jī)構(gòu)，5821為構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動(dòng)執(zhí)行器，5822為構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)平板，5823為調(diào)平導(dǎo)向裝置，583為構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的外框承載板,584為構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的定位機(jī)構(gòu),5841為構(gòu)成定位機(jī)構(gòu)584的頂緊氣缸,5842為構(gòu)成定位機(jī)構(gòu)584的定位快,585為構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的頂起機(jī)構(gòu)，5851為構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動(dòng)裝置，5852為構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的頂板，5853為頂起導(dǎo)向裝置，586為設(shè)置在掩模外框載臺(tái)58上的遮擋布，59為上料機(jī)構(gòu)，591為上料支撐平臺(tái)，5911為上料支撐平臺(tái)基架，5912為上料支撐平臺(tái)底座，5913為上料支撐平臺(tái)滑動(dòng)組件，5914為上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，5915為上料支撐平臺(tái)定位機(jī)構(gòu)，592為上料傳送平臺(tái)，5921為傳送平臺(tái)夾持頭，5922為傳送平臺(tái)基架，5923傳送平臺(tái)連桿，5924為傳送平臺(tái)橫梁，5925為傳送平臺(tái)運(yùn)動(dòng)滑塊，14a為導(dǎo)向滑動(dòng)機(jī)構(gòu)；
71為X軸導(dǎo)軌固定橫梁，72為設(shè)置在橫梁71兩端的滑塊一，73為直線電機(jī)；
91為X/Z軸平板，92為設(shè)置在X/Z軸平板91上的滑塊二，93為安裝在Z軸導(dǎo)軌533上滑塊三，94為機(jī)器視覺(jué)組件，95為平整度測(cè)量組件，96為激光焊接裝置，97為X軸拖鏈，98為固定拖鏈的拖鏈固定板，99為步進(jìn)電機(jī)；
190為邊料切除機(jī)構(gòu)。
[0029]

【具體實(shí)施方式】
[0030]下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能解釋為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0031]在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“側(cè)邊”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0032]在本發(fā)明的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“聯(lián)接”、“連通”、“相連”、“連接”、“配合”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，一體地連接，也可以是可拆卸連接；可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連；“配合”可以是面與面的配合，也可以是點(diǎn)與面或線與面的配合，也包括孔軸的配合，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。
[0033]本發(fā)明所提供的金屬掩模板組件組裝設(shè)備一種實(shí)施例立體示意圖如圖4所示，其包括:機(jī)臺(tái)51，機(jī)臺(tái)51作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺(tái)；繃網(wǎng)組件52，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，繃網(wǎng)組件52上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)521，金屬掩模板10的側(cè)邊可通過(guò)繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)521夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整；掩模板載臺(tái)57，掩模板載臺(tái)57用于承載未經(jīng)繃網(wǎng)組件52繃?yán)慕饘傺谀０迤?，掩模板載臺(tái)57包括掩模支撐板571和支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572，掩模支撐板571在支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572的驅(qū)動(dòng)下可以在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)整掩模支撐板571上表面相對(duì)繃網(wǎng)組件52夾持面所在位置；掩模外框載臺(tái)58,掩模外框載臺(tái)58用于承載掩模外框11,掩模外框11用于固定金屬掩模板10,掩模外框載臺(tái)58能夠調(diào)整掩模外框11的水平高度；運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53，運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53包括X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532以及Z軸導(dǎo)軌533，Y軸導(dǎo)軌532直接或間接的固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，X軸導(dǎo)軌設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532上，且可在Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，Z軸導(dǎo)軌533設(shè)置在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533可以在X軸導(dǎo)軌531上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)；金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括激光焊接裝置96，激光焊接裝置96直接或間接安裝在Z軸導(dǎo)軌533上，可隨Z軸導(dǎo)軌533在X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532上進(jìn)行Χ、Υ軸方向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌533上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，激光焊接裝置96包括一激光焊接頭，金屬掩模板10通過(guò)激光焊接裝置96的激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在掩模外框11上。圖5、圖6所述為本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的前視圖及俯視圖，結(jié)合圖4、圖5及圖6，可以更好的展示本實(shí)施例金屬掩模板組件組裝設(shè)備的整體結(jié)構(gòu)。
[0034]以下是對(duì)本實(shí)施例相關(guān)機(jī)構(gòu)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0035]圖7所示為激光焊接裝置裝配在運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌上的立體示意圖。本實(shí)施例中，金屬掩模板組件組裝設(shè)備包括橫梁71和X/Z軸平板91，橫梁71通過(guò)設(shè)置在兩端的滑塊一 72 (見(jiàn)圖6中所示)安裝在Y軸導(dǎo)軌532上，X軸導(dǎo)軌531安裝在橫梁71上，X/Z軸平板91通過(guò)滑塊二 92安裝在X軸導(dǎo)軌531上，Z軸導(dǎo)軌533安裝在X/Z軸平板91上。激光焊接裝置96安裝在滑塊三93上，滑塊三93可滑動(dòng)的安裝在Z軸導(dǎo)軌533上。
[0036]在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，構(gòu)成運(yùn)行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531及Z軸導(dǎo)軌533都至少各包含一條導(dǎo)軌，如圖7所示實(shí)施例中，X軸導(dǎo)軌531和Z軸導(dǎo)軌533均包含兩條平行設(shè)置的導(dǎo)軌。另外，在本發(fā)明中，構(gòu)成運(yùn)行導(dǎo)軌53的X軸導(dǎo)軌531、Y軸導(dǎo)軌532及Z軸導(dǎo)軌533的運(yùn)行均通過(guò)設(shè)置在導(dǎo)軌側(cè)邊的電機(jī)實(shí)現(xiàn)。如圖6所示，橫梁71在Y軸方向的運(yùn)動(dòng)通過(guò)設(shè)置在Y軸導(dǎo)軌532側(cè)邊的直線電機(jī)73的控制實(shí)現(xiàn)；如圖7所示，X/Z軸平板91上設(shè)置有步進(jìn)電機(jī)99，以控制滑塊三93在Z軸方向的運(yùn)動(dòng)。
[0037]在本發(fā)明中，由于軌道運(yùn)動(dòng)會(huì)帶動(dòng)各種導(dǎo)線的運(yùn)動(dòng)，故在一些特定區(qū)域設(shè)置有放置導(dǎo)線的拖鏈，以防止導(dǎo)線對(duì)設(shè)備的運(yùn)行帶來(lái)不必要干擾或者防止設(shè)備的運(yùn)動(dòng)繞斷導(dǎo)線引起事故，如圖7所示，橫梁71上方設(shè)置有X軸拖鏈97及固定拖鏈的拖鏈固定板98。
[0038]在本實(shí)施例中，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐55，如圖4、圖5所示，Y軸導(dǎo)軌支撐55直接安裝在機(jī)臺(tái)51上，Y軸導(dǎo)軌532安裝在Y軸導(dǎo)軌支撐55上，Y軸導(dǎo)軌532通過(guò)Y軸導(dǎo)軌支撐55間接的固定安裝在機(jī)臺(tái)51上。
[0039]圖8所示為繃網(wǎng)組件、掩模板載臺(tái)與掩模外框載臺(tái)裝配在機(jī)臺(tái)上的示意圖，繃網(wǎng)組件52固定安裝在機(jī)臺(tái)51上，其設(shè)置在掩模板載臺(tái)57與掩模外框載臺(tái)58的外圍，本實(shí)施例中，繃網(wǎng)組件52包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)521的安裝座522，每組夾持機(jī)構(gòu)包含若干夾持機(jī)構(gòu)521，安裝座522上設(shè)有安裝軌道523，夾持機(jī)構(gòu)521底部設(shè)置有與安裝軌道523匹配的運(yùn)行滑塊(即圖9中5215)，夾持機(jī)構(gòu)521通過(guò)設(shè)置在底部的運(yùn)行滑塊5215可在安裝軌道523上滑動(dòng)。本實(shí)施例中，四組夾持機(jī)構(gòu)521以及安裝座522在機(jī)臺(tái)51上呈對(duì)稱(chēng)設(shè)置，具體如圖8所示，四組安裝在安裝座522上夾持機(jī)構(gòu)521分別設(shè)置在矩形的4個(gè)邊上。
[0040]如圖8中所示，繃網(wǎng)組件52 —對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)均含3個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521，另一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含4個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521 ;在另一具體的實(shí)施例中(無(wú)視圖)，一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含7個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521，另一對(duì)邊的兩組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)均含8個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521。在實(shí)際應(yīng)用中，繃網(wǎng)組件52的每組夾持機(jī)構(gòu)中的每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量一般為I?10個(gè)，具體數(shù)量根據(jù)金屬掩模板10的尺寸確定，在金屬掩模板10尺寸比較大時(shí)，每組夾持機(jī)構(gòu)包含夾持機(jī)構(gòu)521的數(shù)量可以超過(guò)10個(gè)；另外，在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，構(gòu)成繃網(wǎng)組件52的每一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521可通過(guò)固定機(jī)構(gòu)固定在安裝軌道523上確定位置(圖中未示出)。
[0041]另外，在一些實(shí)施例中考慮到安裝的穩(wěn)定性，每個(gè)安裝座522上至少設(shè)置有2條安裝軌道523，圖8中所示每個(gè)安裝座522上即有2條安裝軌道523。
[0042]圖9所示是夾持機(jī)構(gòu)521的一種實(shí)施例示意圖，夾持機(jī)構(gòu)521包含夾頭5211、底板5212、夾頭引軌5213、電機(jī)5214、底板滑塊5215，夾頭引軌5213固定設(shè)置在底板5212上，夾頭5211下端通過(guò)與夾頭引軌5213相匹配的滑塊(圖中未標(biāo)識(shí))滑動(dòng)的設(shè)置在夾頭引軌5213上，夾持機(jī)構(gòu)整體通過(guò)設(shè)置在底板5212下部的底板滑塊5215與繃網(wǎng)組件52的安裝座522上安裝軌道523相匹配。夾頭5211在電機(jī)5214的帶動(dòng)下可在夾頭引軌5213上往返運(yùn)動(dòng)；另外，夾頭5211自身通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)夾緊與放松動(dòng)作。構(gòu)成繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)通過(guò)夾頭5211夾緊金屬掩模板10后通過(guò)電機(jī)5214實(shí)現(xiàn)金屬掩模板的繃緊。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，底板5212上設(shè)置有若干個(gè)螺紋通孔，與之匹配的設(shè)置有若干長(zhǎng)度合適的螺桿，通過(guò)旋轉(zhuǎn)螺桿可以實(shí)現(xiàn)螺桿與安裝座522上表面頂緊，從而實(shí)現(xiàn)每一個(gè)夾持機(jī)構(gòu)521固定在安裝軌道523上某一確定位置(圖中未示出)。
[0043]在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，為便于繃網(wǎng)組件52的控制，夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)5214與夾頭5211之間還可以設(shè)置有拉力傳感器5216和電機(jī)運(yùn)動(dòng)限位機(jī)構(gòu)5217。
[0044]圖10所不為掩模板載臺(tái)一種實(shí)施例不意圖,掩模板載臺(tái)57包括掩模支撐板571和支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572，掩模支撐板571的上表面為玻璃平板，玻璃平板下部設(shè)置有光源(圖中未示出)，構(gòu)成掩模板載臺(tái)57的支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572由電機(jī)5721驅(qū)動(dòng)，電機(jī)5721通過(guò)絲杠5722驅(qū)動(dòng)設(shè)置在支撐板驅(qū)動(dòng)裝置上572方的掩模支撐板571在垂直方向上運(yùn)動(dòng)。作為一種比較好的實(shí)施方式，掩模支撐板571的上表面的玻璃平板為毛玻璃，設(shè)置在其下方的光源為均勻設(shè)置的燈帶，從而比較好的保證從掩模支撐板571上方發(fā)射的光線均勻一致。
[0045]圖11為掩模外框載臺(tái)一種實(shí)施例示意圖，本實(shí)施例中，基架581、調(diào)平機(jī)構(gòu)582以及外框承載板583構(gòu)成掩模外框載臺(tái)58的基本結(jié)構(gòu)(掩模外框載臺(tái)可僅由此三部分構(gòu)成)。在掩模外框載臺(tái)的另一些實(shí)施例中，掩模外框載臺(tái)58還可以包括定位機(jī)構(gòu)584和頂起機(jī)構(gòu)585，圖12所示為掩模外框載臺(tái)通過(guò)頂起機(jī)構(gòu)裝載掩模外框的一種實(shí)施例示意圖，圖13為圖12中I部分放大示意圖。以下是結(jié)合圖11、圖12、圖13，對(duì)掩模外框載臺(tái)58結(jié)構(gòu)的詳細(xì)描述。
[0046]所述基架581由底板5811及設(shè)置在底板5811上的側(cè)板5812構(gòu)成，其用于安裝調(diào)平機(jī)構(gòu)582 ;調(diào)平機(jī)構(gòu)582由4個(gè)垂直設(shè)置在所述基架底板5811上的電動(dòng)執(zhí)行器5821及設(shè)置在每個(gè)電動(dòng)執(zhí)行器5821上方的調(diào)平板5822構(gòu)成；外框承載板583設(shè)置在調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)平板5822上方，通過(guò)配合調(diào)節(jié)調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動(dòng)執(zhí)行器5821可以調(diào)整設(shè)置在調(diào)平板5822上方外框承載板583的水平位置,外框承載板583用于直接承載掩模外框11。在本發(fā)明一些實(shí)施例中，構(gòu)成調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動(dòng)執(zhí)行器5821通過(guò)浮動(dòng)接頭(圖中未示出)與調(diào)平板5822連接，電動(dòng)執(zhí)行器5821為調(diào)平機(jī)構(gòu)582提供動(dòng)力，調(diào)平板5822作為調(diào)平機(jī)構(gòu)582的外接口 ；每個(gè)電動(dòng)執(zhí)行器5821兩側(cè)還均設(shè)置有一個(gè)調(diào)平導(dǎo)向裝置5823，通過(guò)電動(dòng)執(zhí)行器5821兩側(cè)調(diào)平導(dǎo)向裝置5823的配合作用，可以有效的控制調(diào)平機(jī)構(gòu)582上調(diào)平板5822的
向。
[0047]為了便于掩模外框11裝載在掩模外框載臺(tái)58上,掩模外框載臺(tái)58設(shè)置有頂起機(jī)構(gòu)585，頂起機(jī)構(gòu)585由4個(gè)垂直設(shè)置在基架581上的升降驅(qū)動(dòng)裝置5851與2個(gè)水平設(shè)置在升降驅(qū)動(dòng)裝置5851上方的頂板5852構(gòu)成，頂板5852通過(guò)升降驅(qū)動(dòng)裝置5851的運(yùn)動(dòng)完成上升或下降動(dòng)作，外框承載板583上設(shè)置有與頂起機(jī)構(gòu)585相配合的通孔結(jié)構(gòu)，外框承載板583上表面設(shè)置有與頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得頂板5852下降到最低點(diǎn)時(shí)，頂板5852的上表面不高于外框承載板583的上表面,如圖11所不。另外，構(gòu)成頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852需要在垂直方向上進(jìn)行運(yùn)動(dòng)，即升降驅(qū)動(dòng)裝置5851只能驅(qū)動(dòng)頂板5852在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，為了使頂起機(jī)構(gòu)585能夠按預(yù)設(shè)路徑運(yùn)動(dòng)，頂起機(jī)構(gòu)585的每一個(gè)升降驅(qū)動(dòng)裝置5851側(cè)邊配套設(shè)置有頂起導(dǎo)向裝置5853，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動(dòng)裝置5851的上端通過(guò)浮動(dòng)接頭(圖中未示出)與頂板5852連接。
[0048]掩模外框載臺(tái)58還包括定位機(jī)構(gòu)584，定位機(jī)構(gòu)由氣缸組件5841及定位塊5842構(gòu)成，定位機(jī)構(gòu)584設(shè)置在外框承載板583或頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5851上，掩模外框11通過(guò)定位機(jī)構(gòu)584放置在外框承載板583上的確定位置，從而保證掩模板組件組裝過(guò)程的穩(wěn)定性。如圖11、12所示，外框承載板的583的兩相鄰邊各設(shè)置有兩個(gè)氣缸組件5841，在沒(méi)有設(shè)置氣缸組件5841另兩相鄰邊均設(shè)置有定位塊5842，本實(shí)施例中，定位塊5842為長(zhǎng)條狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置在外框承載板583或頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852上。掩模外框11置于外框承載板583上后,定位機(jī)構(gòu)584的氣缸組件5841對(duì)掩模外框11提供一定的壓力，使得掩模外框11頂緊定位機(jī)構(gòu)585的定位塊5852,從而達(dá)到定位機(jī)構(gòu)585對(duì)掩模外框11固定，使得掩模外框11放置在外框承載板583上的確定位置。
[0049]在本發(fā)明中，頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852通過(guò)升降驅(qū)動(dòng)裝置5851的運(yùn)動(dòng)做上升或下降動(dòng)作，從而實(shí)現(xiàn)置于頂板5852上方的掩模外框11裝載到載臺(tái)的外框承載板583上?？紤]到頂起機(jī)構(gòu)585的作用本質(zhì)，作為本發(fā)明的另一些實(shí)施例，本發(fā)明中頂起機(jī)構(gòu)585可以包括超過(guò)4個(gè)升降驅(qū)動(dòng)裝置5851或超過(guò)2個(gè)水平設(shè)置在升降驅(qū)動(dòng)裝置5851上方的頂板5852，升降驅(qū)動(dòng)裝置5851可以采用氣缸或電缸驅(qū)動(dòng)。在本發(fā)明的另一些實(shí)施例中，由于掩模外框11的尺寸較大，調(diào)平機(jī)構(gòu)43采用的電動(dòng)執(zhí)行器的數(shù)量亦可以超過(guò)4個(gè)。
[0050]本發(fā)明中，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動(dòng)裝置5851與頂板5852之間、調(diào)平機(jī)構(gòu)582的電動(dòng)執(zhí)行器5821與調(diào)平板5822之間均采用浮動(dòng)接頭，活動(dòng)結(jié)構(gòu)的接頭有利于機(jī)械調(diào)節(jié)過(guò)程。
[0051]為了更好的理解本發(fā)明中掩模外框載臺(tái)58的工作方式，以下對(duì)掩模外框載臺(tái)的工作方法作詳細(xì)的描述。
[0052]本發(fā)明所涉及掩模外框載臺(tái)的調(diào)整方法，其包括以下步驟:
a、掩模外框裝載步驟，如圖12中所示，頂起機(jī)構(gòu)585的升降驅(qū)動(dòng)裝置5851驅(qū)動(dòng)頂板5852上升，到達(dá)合適位置后，將掩模外框11放置在頂板5852上方，升降驅(qū)動(dòng)裝置5851驅(qū)動(dòng)頂板5852下降，使得掩模外框11由所述外框承載板583支撐；
b、掩模外框定位步驟，通過(guò)調(diào)整定位機(jī)構(gòu)584，即通過(guò)氣缸5841的動(dòng)作，使得掩模外框11頂緊在定位機(jī)構(gòu)584的定位塊5842上，從而到達(dá)硬質(zhì)框架11定位在外框承載板44上的確定位置；
C、掩模外框調(diào)平步驟，通過(guò)配合調(diào)節(jié)調(diào)平結(jié)構(gòu)582的電動(dòng)執(zhí)行器5821，使得掩模外框11處于一定的高度位置，并且掩模外框11的上表面具有較好的平整度。
[0053]圖14所示為掩模板載臺(tái)與掩模外框載臺(tái)配合的示意圖，掩模板載臺(tái)57設(shè)置在掩模外框載臺(tái)58的內(nèi)部，在掩模外框載臺(tái)58內(nèi)部還設(shè)置有活動(dòng)的遮擋布586，遮擋布586可通過(guò)調(diào)節(jié)后覆蓋在掩模支撐板571上方，形成對(duì)掩模支撐板571的保護(hù)。
[0054]在本發(fā)明的實(shí)施例中，為強(qiáng)化本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的自動(dòng)化程度，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元(圖中未示出)，控制單元用于控制控制繃網(wǎng)組件52對(duì)金屬掩模板10的繃?yán)?、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的運(yùn)動(dòng)路徑、掩模板載臺(tái)57的支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572的動(dòng)作、掩模外框載臺(tái)58的調(diào)整動(dòng)作以及激光焊接裝置96的焊接方式等；另外，本發(fā)明中運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌53的運(yùn)動(dòng)均與高精密光柵尺相配合，以達(dá)到高精度控制的效果。
[0055]為了便于監(jiān)控掩模板開(kāi)口的開(kāi)口質(zhì)量，金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件94及平整度測(cè)量組件95，如圖7所示，機(jī)器視覺(jué)組件94及平整度測(cè)量組件95安裝在滑塊三93上，機(jī)器視覺(jué)組件94用于抓取所述金屬掩模板上開(kāi)口的形貌并配合軌道運(yùn)動(dòng)測(cè)量掩模板上需測(cè)量區(qū)域的尺寸，機(jī)器視覺(jué)組件94可以是高分辨率的CCD相機(jī)，機(jī)器視覺(jué)組件94使用過(guò)程中，根據(jù)需求可在掩模支撐板571內(nèi)部光源的輔助下完成；平整度測(cè)量組件95可以是高精度高度傳感器。在本發(fā)明中，控制單元亦可以根據(jù)機(jī)器視覺(jué)組件94及平整度測(cè)量組件95的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行調(diào)節(jié)金屬掩模板10的繃網(wǎng)組件52及其他機(jī)構(gòu)。
[0056]另外，本實(shí)施例中的激光焊接裝置96直接固定在滑塊三93上，在本發(fā)明的其它一些實(shí)施例中，機(jī)器視覺(jué)組件94、平整度測(cè)量組件95及激光焊接裝置96通過(guò)其它連接機(jī)構(gòu)間接的安裝在滑塊三93上(圖中未示出)。
[0057]另外本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，裝配圖中未示出，邊料切除機(jī)構(gòu)可以設(shè)置在滑塊93上，受控制系統(tǒng)控制，以實(shí)現(xiàn)對(duì)焊接后的掩模組件的掩模外框11的外圍金屬片材的切除，邊料切除機(jī)構(gòu)可以是激光切割頭，也可以是可以實(shí)現(xiàn)金屬片材切割的刀具。
[0058]本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括碎屑收集裝置56，其設(shè)置在所述基臺(tái)內(nèi)部，用于收集組裝過(guò)程中產(chǎn)生的各種碎屑，及時(shí)的碎屑收集處理，防止掩模板制作過(guò)程中碎屑對(duì)設(shè)備正常運(yùn)行產(chǎn)生影響，例如，碎屑掉在運(yùn)行軌道53上會(huì)影響軌道運(yùn)行精度。碎屑收集裝置56內(nèi)可設(shè)置吸附設(shè)備。
[0059]由于本發(fā)明的金屬掩模板組件組裝設(shè)備具有較高精度要求，其要求機(jī)臺(tái)51具有較高穩(wěn)定性，如圖4、圖5所示，本發(fā)明中機(jī)臺(tái)51包括花崗石平臺(tái)511和基座512，花崗石平臺(tái)511安裝在基座512上，基座512為鋼架機(jī)構(gòu)，基座512直接或者通過(guò)腳墊間接與支撐基地接觸。
[0060]另外，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括激光發(fā)生器、顯示器、指令輸入等機(jī)構(gòu)，以形成一個(gè)完整組裝系統(tǒng)。
[0061]為了便于對(duì)本發(fā)明的理解，以下實(shí)施例揭示了本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的使用方法。
[0062]圖15所示為金屬掩模板10處于待夾持狀態(tài)示意圖，將金屬掩模板10放置在掩模板載臺(tái)57的掩模支撐板571上方，利用支撐板驅(qū)動(dòng)裝置572調(diào)整掩模支撐板571上表面相對(duì)繃網(wǎng)組件52夾持面所在位置，具體來(lái)講，即電機(jī)5721驅(qū)動(dòng)絲杠5722調(diào)整掩模支撐板571位置高度，使得置于掩模支撐板571上方的金屬片材邊緣比較容易設(shè)置在繃網(wǎng)組件52夾持機(jī)構(gòu)521的夾頭5211內(nèi)。
[0063]圖16所示為金屬掩模板經(jīng)繃網(wǎng)組件夾持繃緊的狀態(tài)示意圖，夾頭5211通過(guò)氣缸驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬片材邊緣的夾持；降低掩模支撐板571位置高度(防止影響后續(xù)金屬片材的繃?yán)?；通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)521的電機(jī)5214驅(qū)動(dòng)，繃網(wǎng)組件52的夾持機(jī)構(gòu)配合將金屬片材繃?yán)狡秸?。圖17所示為通過(guò)繃網(wǎng)組件繃?yán)饘傺谀０宓氖疽鈭D，掩模板10在繃網(wǎng)組件52的繃?yán)聦?shí)現(xiàn)表面張緊拉平。
[0064]圖18為將金屬掩模板焊接到掩模外框的狀態(tài)示意圖，金屬掩模板10通過(guò)激光焊接裝置96發(fā)射的激光焊接在掩模外框11上，在激光焊接固定金屬掩模板時(shí)，設(shè)置在掩模外框載臺(tái)58上的掩模外框11上表面在調(diào)平機(jī)構(gòu)582的調(diào)整下緊貼經(jīng)繃網(wǎng)組件52繃緊的金屬掩模板10的下表面(掩模外框11頂緊金屬掩模板10)，激光焊接裝置96在機(jī)器的控制單元下按照一定焊接方式將金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上，在金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11的過(guò)程中，調(diào)節(jié)遮擋布586，使得遮擋布586覆蓋在掩模支撐板571上方，形成對(duì)掩模支撐板571的保護(hù)。
[0065]圖19展示的是焊接在掩模外框上的金屬掩模板切割外邊的狀態(tài)示意圖，如圖所示，邊料切除機(jī)構(gòu)190為激光切割頭，激光切割頭190對(duì)金屬掩模板10留在掩模外框11外圍區(qū)域進(jìn)行切除，從而形成金屬掩模板組件。
[0066]圖20為組裝成型的金屬掩模組件處于檢測(cè)狀態(tài)的示意圖，在本步驟中，配合運(yùn)動(dòng)軌道53的運(yùn)動(dòng)采用機(jī)器視覺(jué)組件94對(duì)金屬掩模板10上開(kāi)口的形貌、區(qū)域尺寸、位置精度等金屬掩模板10上X-Y平面上的參數(shù)進(jìn)行測(cè)量，采用平整度測(cè)量組件95對(duì)金屬掩模板10的板面下垂量進(jìn)行測(cè)量，在對(duì)開(kāi)口區(qū)域相關(guān)參數(shù)進(jìn)行測(cè)量時(shí)，可以撤掉覆蓋在掩模板載臺(tái)57的掩模支撐板571上方的遮擋布586并打開(kāi)設(shè)置在掩模支撐板571的內(nèi)部光源。
[0067]以上揭示的本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的使用方法旨在加強(qiáng)對(duì)本發(fā)明的理解，本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的實(shí)際使用并不局限如此。例如，在將具有開(kāi)口圖形的金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上之前一般會(huì)增加金屬掩模板表面參數(shù)的測(cè)量環(huán)節(jié)，即在將金屬掩模板10焊接固定在掩模外框11上之前，需要先采用機(jī)器視覺(jué)組件94和平整度測(cè)量組件95對(duì)繃緊的金屬掩模板10的開(kāi)口質(zhì)量、開(kāi)口位置精度、板面的下垂量等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。將得到的結(jié)果與產(chǎn)品要求做對(duì)比，若開(kāi)口質(zhì)量存在問(wèn)題，則報(bào)廢該金屬掩模板，若金屬掩模板的開(kāi)口位置精度或著板面的下垂量不符合規(guī)定值范圍，可以通過(guò)配合調(diào)節(jié)繃網(wǎng)組件52以及掩模外框載臺(tái)58的調(diào)平機(jī)構(gòu)582，在相關(guān)參數(shù)達(dá)到規(guī)定值范圍時(shí)，再將金屬掩模板10焊接固定到掩模外框11上。
[0068]由于掩模外框11 一般都具有較大質(zhì)量，完全由人工搬移到掩模外框載臺(tái)58上難度比較大，故本發(fā)明金屬掩模板組件組裝設(shè)備的一些實(shí)施例中設(shè)置有上料機(jī)構(gòu)59，上料機(jī)構(gòu)59用于掩模外框11的搬運(yùn)，即將掩模外框11由機(jī)臺(tái)外部傳送至掩模外框載臺(tái)58上,其一種實(shí)施例整體示意圖如圖21所示
為便于對(duì)本發(fā)明中上料機(jī)構(gòu)的理解，圖22提供了一種上料機(jī)構(gòu)的示意圖，上料機(jī)構(gòu)59由上料支撐平臺(tái)591及上料傳送平臺(tái)592構(gòu)成，上料傳送平臺(tái)592可在Y軸方向上運(yùn)動(dòng)，掩模外框11放置在上料支撐平臺(tái)591上，由上料傳送平臺(tái)592夾持并傳送至掩模外框載臺(tái)58上方，以下作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0069]圖23為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料支撐平臺(tái)的立體示意圖，上料支撐平臺(tái)591包括:上料支撐平臺(tái)基架5911、上料支撐平臺(tái)底座5912、上料支撐平臺(tái)滑動(dòng)組件5913、上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914、上料支撐平臺(tái)定位機(jī)構(gòu)5915。圖24為圖23中II部分的放大示意圖，結(jié)合圖21、圖22、圖23、圖24所示，上料支撐平臺(tái)基架5911的結(jié)構(gòu)與繃網(wǎng)組件52結(jié)構(gòu)相適應(yīng)，本實(shí)施例中，上料支撐平臺(tái)基架5911的內(nèi)部為全鏤空結(jié)構(gòu)，不會(huì)對(duì)繃網(wǎng)組件52的運(yùn)行帶來(lái)干擾；上料支撐平臺(tái)基架5911的底部設(shè)置有上料支撐平臺(tái)底座5912，上料支撐平臺(tái)591通過(guò)上料支撐平臺(tái)底座5912設(shè)置在機(jī)臺(tái)51上；上料支撐平臺(tái)滑動(dòng)組件5913由若干鋼珠滾輪按一定分布方式構(gòu)成，其分布方式與掩模外框11的外形相適應(yīng)，在其他一些實(shí)施例中，滾輪鋼珠可以用其它起相同作用的零件替換；如圖所示，上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914設(shè)置在上料支撐平臺(tái)基架5911的兩側(cè)，其與掩模外框11的外形相適應(yīng)，在一些實(shí)施例中，為便于掩模外框11的裝載，上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914的內(nèi)側(cè)還設(shè)置有導(dǎo)向滑動(dòng)機(jī)構(gòu)14a，導(dǎo)向滑動(dòng)機(jī)構(gòu)14a可以是滾珠；上料支撐平臺(tái)定位機(jī)構(gòu)5915設(shè)置在上料支撐平臺(tái)基架5911上，通過(guò)支撐平臺(tái)定位機(jī)構(gòu)5915使得掩模外框11裝載在上料支撐平臺(tái)591上的確定位置。
[0070]圖25所示為將掩模外框裝載到上料支撐平臺(tái)的過(guò)程示意圖，按如圖所示的箭頭方向裝載掩模外框11，掩模外框11由上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914導(dǎo)向,在上料支撐平臺(tái)滑動(dòng)組件5913上滑動(dòng)直至一端接觸上料支撐平臺(tái)定位機(jī)構(gòu)5915，即完成在上料支撐平臺(tái)591上的裝載。在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，上料支撐平臺(tái)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)5914可在垂直于導(dǎo)向方向的方向上(即圖中所示X軸方向上)進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，從而適應(yīng)不同寬度尺寸掩模外框的裝載。
[0071]圖26為構(gòu)成上料機(jī)構(gòu)的的上料傳送平臺(tái)的立體示意圖，上料傳送平臺(tái)592包括:傳送平臺(tái)夾持頭5921、傳送平臺(tái)基架5922、傳送平臺(tái)連桿5923、傳送平臺(tái)橫梁5924、傳送平臺(tái)運(yùn)動(dòng)滑塊5925。傳送平臺(tái)夾持頭5921用于夾持掩模外框11，并能將掩模外框11提高至一定位置，具體而言，傳送平臺(tái)夾持頭5921夾持掩模外框11后，將掩模外框11提起，使得掩模外框11的下表面離開(kāi)上料支撐平臺(tái)591，傳送平臺(tái)夾持頭5921通過(guò)電動(dòng)或氣動(dòng)控制；本實(shí)施例中上料傳送平臺(tái)592包括4個(gè)傳送平臺(tái)夾持頭5921，4個(gè)傳送平臺(tái)夾持頭5921分散的設(shè)置在傳送平臺(tái)基架5922上；傳送平臺(tái)基架5922通過(guò)傳送平臺(tái)連桿5923鏈接在傳送平臺(tái)橫梁5924，傳送平臺(tái)橫梁5924兩端設(shè)置有傳送平臺(tái)運(yùn)動(dòng)滑塊5925，傳送平臺(tái)運(yùn)動(dòng)滑塊5925可在Y軸導(dǎo)軌532上滑動(dòng)。
[0072]結(jié)合以上實(shí)施例，將掩模外框裝載到掩模外框載臺(tái)58上的流程為:
a、待裝載的掩模外框11在裝載到上料支撐平臺(tái)591上特定位置，如圖25所示；
b、控制上料傳送平臺(tái)592，傳送平臺(tái)夾持頭5921夾持掩模外框11并將掩模外框11提起離開(kāi)上料支撐平臺(tái)591 ；
C、通過(guò)手動(dòng)推送或電動(dòng)控制，上料傳送平臺(tái)592在Y軸導(dǎo)軌532上滑動(dòng)到掩模外框載臺(tái)58上方；
d、掩模外框載臺(tái)頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852在升降驅(qū)動(dòng)裝置5851的驅(qū)動(dòng)下上升至一定高度(接觸或靠近掩模外框11的下表面);
e、釋放傳送平臺(tái)夾持頭5921，頂起機(jī)構(gòu)585的頂板5852在升降驅(qū)動(dòng)裝置5851的驅(qū)動(dòng)下下降，使得掩模外框11由外框承載板583支撐，并將上料傳送平臺(tái)592移到Y(jié)軸導(dǎo)軌端部附近。
[0073]以上是將掩模外框裝載到掩模外框載臺(tái)58上的流程，組裝完畢后的掩模板組件亦可以通過(guò)以上流程的逆過(guò)程實(shí)現(xiàn)掩模板組件的卸載。
[0074]作為集成設(shè)備，本發(fā)明集成了金屬掩模板的繃網(wǎng)、焊接、測(cè)量、邊料切除等功能，合理的配置保證了在金屬掩模板的組裝過(guò)程中，金屬掩模板不宜出現(xiàn)折痕，能夠減少人為因素帶來(lái)的報(bào)廢，可有效保證成品金屬掩模板的質(zhì)量。
[0075]本發(fā)明中任何提及“ 一個(gè)實(shí)施例”、“實(shí)施例”、“示意性實(shí)施例”等意指結(jié)合該實(shí)施例描述的具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中。在本說(shuō)明書(shū)各處的該示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例。而且，當(dāng)結(jié)合任何實(shí)施例描述具體構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)時(shí)，所主張的是，結(jié)合其他的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)這樣的構(gòu)件、結(jié)構(gòu)或者特點(diǎn)均落在本領(lǐng)域技術(shù)人員的范圍之內(nèi)。
[0076]盡管參照本發(fā)明的多個(gè)示意性實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行了詳細(xì)的描述，但是必須理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)出多種其他的改進(jìn)和實(shí)施例，這些改進(jìn)和實(shí)施例將落在本發(fā)明原理的精神和范圍之內(nèi)。具體而言，在前述公開(kāi)、附圖以及權(quán)利要求的范圍之內(nèi)，可以在零部件和/或者從屬組合布局的布置方面作出合理的變型和改進(jìn)，而不會(huì)脫離本發(fā)明的精神。除了零部件和/或布局方面的變型和改進(jìn)，其范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其包括: 機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)作為所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備的支撐基臺(tái)； 繃網(wǎng)組件，所述繃網(wǎng)組件固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，其上設(shè)置有若干夾持機(jī)構(gòu)，所述金屬掩模板側(cè)邊可通過(guò)所述繃網(wǎng)組件的夾持機(jī)構(gòu)夾持并繃?yán)_(dá)到表面平整； 掩模板載臺(tái)，所述掩模板載臺(tái)用于承載未經(jīng)所述繃網(wǎng)組件繃?yán)慕饘傺谀０迤?，所述掩模板載臺(tái)包括掩模支撐板和支撐板驅(qū)動(dòng)裝置，所述掩模支撐板在所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可以在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，從而調(diào)整所述掩模支撐板上表面相對(duì)所述繃網(wǎng)組件夾持面所在位置； 掩模外框載臺(tái)，所述掩模外框載臺(tái)用于承載掩模外框，所述掩模外框用于固定所述金屬掩模板，所述掩模外框載臺(tái)能夠調(diào)整所述掩模外框的的水平高度； 運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌，所述運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌包括X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌以及Z軸導(dǎo)軌，所述Y軸導(dǎo)軌直接或間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述X軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述Y軸導(dǎo)軌上，且可在所述Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Y軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述Z軸導(dǎo)軌設(shè)置在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌可以在所述X軸導(dǎo)軌上進(jìn)行X軸方向的運(yùn)動(dòng)； 激光焊接裝置，所述激光焊接裝置直接或間接安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上，可隨Z軸導(dǎo)軌在所述X軸導(dǎo)軌、Y軸導(dǎo)軌上進(jìn)行Χ、γ軸方向的運(yùn)動(dòng)，也可以在Z軸導(dǎo)軌上做Z軸方向的運(yùn)動(dòng)，所述激光焊接裝置包括一激光焊接頭，所述金屬掩模板通過(guò)所述激光焊接頭發(fā)射的激光焊接固定在所述掩模外框上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺(tái)包括:基架、調(diào)平機(jī)構(gòu)以及外框承載板，所述基架由底板及設(shè)置在所述底板上的側(cè)板構(gòu)成，用于安裝所述調(diào)平機(jī)構(gòu)；所述調(diào)平機(jī)構(gòu)由若干個(gè)垂直設(shè)置在所述基架底板上的電動(dòng)執(zhí)行器及設(shè)置在每個(gè)電動(dòng)執(zhí)行器上方的調(diào)平板構(gòu)成；所述外框承載板設(shè)置在所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的調(diào)平板上方，通過(guò)配合調(diào)節(jié)所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的所述電動(dòng)執(zhí)行器可以調(diào)整所述外框承載板的水平位置，所述外框承載板用于直接承載所述掩模外框。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺(tái)還包括頂起機(jī)構(gòu)，所述頂起機(jī)構(gòu)由至少4個(gè)垂直設(shè)置在所述基架上的升降驅(qū)動(dòng)裝置與至少2個(gè)水平設(shè)置在所述升降驅(qū)動(dòng)裝置上方的頂板構(gòu)成，所述頂板通過(guò)所述升降驅(qū)動(dòng)裝置的運(yùn)動(dòng)完成上升或下降動(dòng)作，所述調(diào)平機(jī)構(gòu)的外框承載板上表面設(shè)置有與所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板相適應(yīng)的凹陷結(jié)構(gòu)，使得所述頂板下降到最低點(diǎn)時(shí)，所述頂板的上表面不高于所述外框承載板的上表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述掩模外框載臺(tái)還包括定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由定位塊及氣缸組件構(gòu)成，所述定位機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述外框承載板或所述頂起機(jī)構(gòu)的頂板上，所述掩模外框通過(guò)所述定位機(jī)構(gòu)放置在所述外框承載板上的確定位置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括控制單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述繃網(wǎng)組件包括四組夾持機(jī)構(gòu)以及用于安裝夾持機(jī)構(gòu)的安裝座，所述安裝座上設(shè)有安裝軌道，所述夾持機(jī)構(gòu)底部設(shè)置有運(yùn)行滑塊，所述四組夾持裝置通過(guò)所述運(yùn)行滑塊安裝于所述安裝座的所述安裝軌道上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括橫梁和X/Z軸平板，所述橫梁通過(guò)設(shè)置在所述橫梁兩端的滑塊一安裝在所述Y軸導(dǎo)軌上，所述X軸導(dǎo)軌安裝在所述橫梁上，所述X/Z軸平板通過(guò)滑塊二安裝在所述X軸導(dǎo)軌上，所述Z軸導(dǎo)軌安裝在所述X/Z軸平板上，所述激光焊接裝置的支撐機(jī)構(gòu)通過(guò)滑塊三安裝在所述Z軸導(dǎo)軌上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括Y軸導(dǎo)軌支撐，所述Y軸導(dǎo)軌支撐直接安裝在所述機(jī)臺(tái)上，所述Y軸導(dǎo)軌安裝在所述Y軸導(dǎo)軌支撐上，所述Y軸導(dǎo)軌通過(guò)所述Y軸導(dǎo)軌支撐間接的固定安裝在所述機(jī)臺(tái)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括機(jī)器視覺(jué)組件及平整度測(cè)量組件，所述機(jī)器視覺(jué)組件及所述平整度測(cè)量組件安裝在所述滑塊三上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1、2、8或9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述掩模板載臺(tái)的所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置由電機(jī)驅(qū)動(dòng)，電機(jī)通過(guò)絲杠驅(qū)動(dòng)設(shè)置在所述支撐板驅(qū)動(dòng)裝置上方的所述掩模支撐板在垂直方向上運(yùn)動(dòng)，構(gòu)成所述掩模板載臺(tái)的所述掩模支撐板上表面為玻璃平板，所述玻璃平板下部設(shè)置有光源。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還設(shè)置有一邊料切除機(jī)構(gòu)，所述邊料切除機(jī)構(gòu)設(shè)置在滑塊三上，以實(shí)現(xiàn)對(duì)焊接后的掩模組件的所述掩模外框的外圍金屬片材的切除，所述邊料切除機(jī)構(gòu)為激光切割頭或刀具。
12.根據(jù)權(quán)利要求1、2、8或9所述的金屬掩模板組件組裝設(shè)備，其特征在于，所述金屬掩模板組件組裝設(shè)備還包括掩模外框上料機(jī)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】C23C14/04GK104294213SQ201410501854
【公開(kāi)日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月27日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月27日
【發(fā)明者】魏志凌, 孫杰, 張璞 申請(qǐng)人:昆山允升吉光電科技有限公司