一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置及方法，該裝置包括上蓋、勻氣室、腔體、基板及排氣裝置，腔體內(nèi)設(shè)有壓力引管，壓力引管包括伸縮引管及套在伸縮引管外的定長(zhǎng)引管，定長(zhǎng)引管和伸縮引管之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕，定長(zhǎng)引管的固定端伸出腔體的底部并設(shè)有外接口，腔體外設(shè)有引管位置改變裝置，引管位置改變裝置包括與腔體連接的支架，支架螺紋連接有螺桿，螺桿的上端通過轉(zhuǎn)換軸承連接有與定長(zhǎng)引管連接的轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)換器上固定有高度指針，及可上下伸縮的伸縮套管，伸縮套管的端部連接有角度指針，支架對(duì)應(yīng)高度指針、腔體的外底壁對(duì)應(yīng)角度指針均設(shè)有相應(yīng)的刻度。該結(jié)構(gòu)可測(cè)量腔體內(nèi)一定空間范圍任一點(diǎn)的壓力值。
【專利說明】一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置及方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種集成電路(1C)裝備，特別是一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置及方法。

【背景技術(shù)】
[0002]完成集成電路(Integrated Circuit，1C)芯片生產(chǎn)中四種主要工藝過程(光刻、薄膜沉積、刻蝕、離子注入)的裝備中，有一類含工藝腔室的1C裝備(如刻蝕機(jī)、PECVD、MOCVD等沉積、鍍膜和刻蝕工藝設(shè)備)，其基本原理是將氣態(tài)的物質(zhì)注入工藝腔室內(nèi)，在基座上的載片表面發(fā)生反應(yīng)，從而沉積出所需要的薄膜。從反應(yīng)氣體輸入到副產(chǎn)物排出，其氣流動(dòng)力學(xué)對(duì)沉積出均勻的膜很重要。
[0003]如何精確控制載片表面上沉積層的厚度均勻性和組分一致性，保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性，是這類含工藝腔室1C裝備面臨的最大挑戰(zhàn)，其關(guān)鍵點(diǎn)在于工藝腔室內(nèi)工藝氣體的輸運(yùn)過程。而工藝腔室內(nèi)的壓力分布，是影響輸運(yùn)過程關(guān)鍵因素之一。因此，探索1C裝備工藝腔室內(nèi)的氣體壓力分布規(guī)律，是提高這類1C裝備性能的理論基礎(chǔ)。
[0004]在實(shí)踐中，這類裝備的設(shè)計(jì)主要是利用仿真軟件進(jìn)行分析計(jì)算，但是由于仿真參數(shù)特別是邊界參數(shù)的局限性，其計(jì)算結(jié)果只能提供參考，并不能準(zhǔn)確說明這類1C裝備其工藝腔室內(nèi)的氣體真實(shí)運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，還需要根據(jù)經(jīng)驗(yàn)判斷，這就增加了設(shè)計(jì)的難度。因此，如果能實(shí)際測(cè)量出工藝腔室內(nèi)任一點(diǎn)的壓力，就顯得具有重要的實(shí)際意義。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供一種能實(shí)際測(cè)量工藝腔室內(nèi)一定空間范圍任一點(diǎn)壓力的用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置及方法。
[0006]本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，包括上蓋、勾氣室、腔體、基板及排氣裝置，所述腔體上端敞口并可拆卸連接有所述的上蓋，上蓋上端連接有進(jìn)氣管，所述勻氣室連接在上蓋的下表面上并與進(jìn)氣管相連通，所述勻氣室設(shè)有出氣孔，所述基板設(shè)于腔體內(nèi)并位于勻氣室下方，所述排氣裝置設(shè)于腔體外并通過腔體底部的排氣孔與腔體內(nèi)部連通；所述腔體內(nèi)設(shè)有壓力引管，所述壓力引管包括定長(zhǎng)引管和伸縮引管，所述伸縮引管平行于基板上表面，所述定長(zhǎng)引管套在伸縮引管外，所述定長(zhǎng)引管和伸縮引管之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕，所述定長(zhǎng)引管遠(yuǎn)離伸縮引管的一端伸出腔體的底部并設(shè)有連接氣體壓力測(cè)量?jī)x器的外接口 ；
所述腔體外設(shè)有引管位置改變裝置，所述引管位置改變裝置包括與腔體固定連接的支架，所述支架螺紋連接有螺桿，螺桿的上端通過轉(zhuǎn)換軸承連接有與定長(zhǎng)引管連接的轉(zhuǎn)換器，所述轉(zhuǎn)換器上固定有用于指示刻度的高度指針，及可上下伸縮的伸縮套管，所述伸縮套管的端部連接有用于指示刻度的角度指針，所述支架對(duì)應(yīng)高度指針、所述腔體的外底壁對(duì)應(yīng)角度指針均設(shè)有相應(yīng)的刻度。
[0007]作為上述技術(shù)方案的改進(jìn)，所述勻氣室下端敞口并可拆卸連接有二級(jí)勻氣板，勻氣室內(nèi)設(shè)有一級(jí)勻氣板，所述一級(jí)勻氣板通過螺栓與勻氣室上壁相連接，所述一級(jí)勻氣板、二級(jí)勻氣板上均勻分布有所述的出氣孔。
[0008]進(jìn)一步，所述定長(zhǎng)引管與腔體之間設(shè)置有用于防止氣體泄漏及對(duì)定長(zhǎng)引管的旋轉(zhuǎn)起阻尼作用的密封圈。
[0009]進(jìn)一步，所述調(diào)節(jié)旋鈕上設(shè)有可動(dòng)刻度線，所述定長(zhǎng)引管上設(shè)有與可動(dòng)刻度線配合的固定刻度線。
[0010]進(jìn)一步，所述定長(zhǎng)引管的側(cè)壁上螺接有用于鎖緊伸縮引管的鎖緊螺釘。
[0011]進(jìn)一步，所述支架沿螺桿的長(zhǎng)度方向上設(shè)有兩條橫桿，其中一條橫桿與螺桿螺紋連接，另一條橫桿設(shè)有供螺桿穿過的通孔。
[0012]進(jìn)一步，所述螺桿的下端設(shè)有便于握持的握持部。
[0013]進(jìn)一步，所述轉(zhuǎn)換器外表面設(shè)置有防滑紋。
[0014]本發(fā)明還提供一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的方法，包括上述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，測(cè)量時(shí)，先打開上蓋，通過調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)伸縮引管的長(zhǎng)度，接著蓋合上蓋，啟動(dòng)排氣裝置并向進(jìn)氣管通入反應(yīng)氣體，然后對(duì)照高度指針的指示通過旋轉(zhuǎn)螺桿來控制壓力引管的高度，或者對(duì)照角度指針的指示通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器來控制壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，并通過與外接口相連的氣體壓力測(cè)量?jī)x器讀取壓力數(shù)值。
[0015]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明通過在腔體內(nèi)設(shè)置具有定長(zhǎng)引管和伸縮引管的壓力引管，在定長(zhǎng)引管和伸縮引管之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕控制壓力引管的水平長(zhǎng)度，并在腔體外設(shè)置引管位置改變裝置，通過旋轉(zhuǎn)與定長(zhǎng)引管連接的轉(zhuǎn)換器控制壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，同時(shí)由于轉(zhuǎn)換器通過轉(zhuǎn)換軸承與螺桿連接，螺桿與固定在腔體上的支架連接，因而在轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿時(shí)轉(zhuǎn)換器隨螺桿升降但不隨螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，可通過轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿控制壓力引管的高度，從而可實(shí)現(xiàn)壓力引管的三維調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)腔體內(nèi)一定空間范圍任一點(diǎn)壓力的測(cè)量。此外，本發(fā)明通過高度指針和角度指針的指示刻度，可以在一次測(cè)量過程中準(zhǔn)確調(diào)節(jié)壓力引管的高度和旋轉(zhuǎn)角度，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0017]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明中的引管位置改變裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3和圖4示出了不同腔體在水平面內(nèi)的可測(cè)量區(qū)域；
圖5是本發(fā)明中的壓力引管的局部示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0018]參照?qǐng)D1至圖5，本發(fā)明的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，包括上蓋1、勻氣室2、腔體3、基板4及排氣裝置5，所述腔體3上端敞口并可拆卸連接有所述的上蓋1，上蓋1上端連接有進(jìn)氣管11，所述勻氣室2連接在上蓋1的下表面上并與進(jìn)氣管11相連通，所述勻氣室2設(shè)有出氣孔，所述基板4設(shè)于腔體3內(nèi)并位于勻氣室2下方，所述排氣裝置5設(shè)于腔體3外并通過腔體3底部的排氣孔31與腔體3內(nèi)部連通，所述腔體3內(nèi)設(shè)有壓力引管，所述壓力引管包括定長(zhǎng)引管60和伸縮引管62，所述伸縮引管62平行于基板4上表面，所述定長(zhǎng)引管60套在伸縮引管62外，所述定長(zhǎng)引管60和伸縮引管62之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管62長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕61，所述調(diào)節(jié)旋鈕61與定長(zhǎng)引管60連接成一體，所述定長(zhǎng)引管60與伸縮引管62之間通過螺旋傳動(dòng)。所述定長(zhǎng)引管60遠(yuǎn)離伸縮引管62的一端伸出腔體3的底部并設(shè)有連接氣體壓力測(cè)量?jī)x器的外接口 601。所述腔體3外設(shè)有引管位置改變裝置，所述引管位置改變裝置包括與腔體3固定連接的支架70，所述支架70螺紋連接有螺桿71，螺桿71的上端通過轉(zhuǎn)換軸承72連接有與定長(zhǎng)引管60連接的轉(zhuǎn)換器73，所述轉(zhuǎn)換器73上固定有用于指示刻度的高度指針74，及可上下伸縮的伸縮套管75，所述伸縮套管75的端部連接有用于指示刻度的角度指針76，所述支架70對(duì)應(yīng)高度指針74、所述腔體3的外底壁對(duì)應(yīng)角度指針76均設(shè)有相應(yīng)的刻度，該刻度可以直接印刷或刻印在支架70或腔體3的外底壁上，也可以通過粘貼刻度貼紙形成，還通過在支架70或腔體3的外底壁上固定刻度盤形成。
[0019]本發(fā)明通過在腔體3內(nèi)設(shè)置具有定長(zhǎng)引管60和伸縮引管62的壓力引管，在定長(zhǎng)引管60和伸縮引管62之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管62長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕61，通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕61控制壓力引管的水平長(zhǎng)度，并在腔體3外設(shè)置引管位置改變裝置，通過旋轉(zhuǎn)與定長(zhǎng)引管60連接的轉(zhuǎn)換器73控制壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，同時(shí)由于轉(zhuǎn)換器73通過轉(zhuǎn)換軸承72與螺桿71連接，螺桿71與固定在腔體3上的支架70連接，因而在轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿71時(shí)轉(zhuǎn)換器73隨螺桿71升降但不隨螺桿71轉(zhuǎn)動(dòng)，可通過轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿71控制壓力引管的高度，從而可實(shí)現(xiàn)壓力引管的三維調(diào)節(jié)，可實(shí)現(xiàn)腔體3內(nèi)一定區(qū)域內(nèi)任一點(diǎn)壓力的測(cè)量。本發(fā)明通過高度指針74和角度指針76的指示刻度，可以在一次測(cè)量過程中準(zhǔn)確調(diào)節(jié)壓力引管的高度和旋轉(zhuǎn)角度，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。本發(fā)明在查看角度指針76指示刻度時(shí)，可通過拉動(dòng)伸縮套管75使角度指針76與腔體3外底壁上的刻度保持合適的距離，以避免壓力引管下降后角度指針76與腔體3外底壁之間的距離太遠(yuǎn)而影響角度數(shù)值的讀取。
[0020]進(jìn)一步，所述勻氣室2下端敞口并可拆卸連接有二級(jí)勻氣板22，勻氣室2內(nèi)設(shè)有一級(jí)勻氣板21，所述一級(jí)勻氣板21通過螺栓23與勻氣室2上壁相連接，所述一級(jí)勻氣板21、二級(jí)勻氣板22上均勻分布有所述的出氣孔。上述結(jié)構(gòu)可以更換不同的一級(jí)勻氣板21、二級(jí)勻氣板22，如更換不同出氣孔結(jié)構(gòu)、不同曲面結(jié)構(gòu)的一級(jí)勻氣板21或二級(jí)勻氣板22，方便測(cè)量不同條件下的腔體3內(nèi)的壓力值，對(duì)研宄真實(shí)工藝腔室中的氣流特性具有極其重要的實(shí)際意義。
[0021]進(jìn)一步，為了防止氣體從定長(zhǎng)引管60和腔體3底部之間的連接處泄漏，所述定長(zhǎng)引管60與腔體3之間設(shè)置有密封圈，該密封圈還可以對(duì)定長(zhǎng)引管60的旋轉(zhuǎn)起到阻尼作用，從而防止旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器73時(shí)過于靈敏而造成壓力引管角度調(diào)節(jié)精度低的問題。
[0022]本實(shí)施例中，所述調(diào)節(jié)旋鈕61上設(shè)有可動(dòng)刻度線611，所述定長(zhǎng)引管60上設(shè)有與可動(dòng)刻度線611配合的固定刻度線601，該固定刻度線601與可動(dòng)刻度線611相配合，方便測(cè)量者準(zhǔn)確調(diào)節(jié)伸縮引管62的長(zhǎng)度，從而準(zhǔn)確定位壓力引管的測(cè)量端部的水平位置。更進(jìn)一步，所述定長(zhǎng)引管60的側(cè)壁上螺接有用于鎖緊伸縮引管62的鎖緊螺釘，測(cè)量者可在調(diào)節(jié)好伸縮引管62的長(zhǎng)度后擰緊該鎖緊螺釘，防止伸縮引管62因測(cè)量者不小心的碰觸或者在測(cè)量過程中因腔體3內(nèi)溫度過高而發(fā)生長(zhǎng)度變化，提高測(cè)量的精度。
[0023]進(jìn)一步，所述支架70沿螺桿71的長(zhǎng)度方向上設(shè)有兩條橫桿701，其中一條橫桿701與螺桿71螺紋連接，另一條橫桿701設(shè)有供螺桿71穿過的通孔，使得螺桿71始終保持上下移動(dòng)而不會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)、可靠。本實(shí)施例中，所述螺桿71的下端設(shè)有便于握持的握持部711，測(cè)量者通過轉(zhuǎn)動(dòng)該握持部711即可旋轉(zhuǎn)螺桿71，從而調(diào)節(jié)壓力引管的高度，當(dāng)然，除手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺桿71外，還可通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)，即所述螺桿71的下端連接有步進(jìn)電機(jī)。優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)換器73外表面設(shè)置有防滑紋，該防滑紋增加了轉(zhuǎn)換器73外表面與手部的摩擦力，方便測(cè)量者旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器73。
[0024]本發(fā)明還公開了一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的方法，包括上述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，測(cè)量時(shí)，先打開上蓋1，通過調(diào)節(jié)旋鈕61調(diào)節(jié)伸縮引管62的長(zhǎng)度，接著蓋合上蓋1，啟動(dòng)排氣裝置5并向進(jìn)氣管11通入反應(yīng)氣體，然后對(duì)照高度指針74的指示通過旋轉(zhuǎn)螺桿71來控制壓力引管的高度，或者對(duì)照角度指針76的指示通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器73來控制壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，并通過與外接口 601相連的氣體壓力測(cè)量?jī)x器讀取壓力數(shù)值。上述壓力測(cè)量方法可在一次測(cè)量過程中，通過旋轉(zhuǎn)螺桿71調(diào)節(jié)壓力引管的高度及通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器73調(diào)節(jié)壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，從而實(shí)現(xiàn)壓力引管兩個(gè)維度的調(diào)節(jié)，可測(cè)量以轉(zhuǎn)換器73為圓心、以壓力引管的水平長(zhǎng)度為半徑的豎直弧面內(nèi)任一點(diǎn)的壓力值，每次測(cè)量時(shí)通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕61調(diào)節(jié)伸縮引管62的長(zhǎng)度，實(shí)現(xiàn)壓力引管第三個(gè)維度的調(diào)節(jié)，從而可以測(cè)量腔體3內(nèi)從壓力引管的最短水平長(zhǎng)度到壓力引管的最長(zhǎng)水平長(zhǎng)度之間的三維空間內(nèi)任一點(diǎn)的壓力值。當(dāng)腔體3內(nèi)部為圓形腔室時(shí)，在水平面內(nèi)，可測(cè)量區(qū)域A如圖3所示；當(dāng)腔體3內(nèi)部為方形腔室時(shí)，在水平面內(nèi)，可測(cè)量區(qū)域A如圖4所示。
[0025]當(dāng)然，本發(fā)明除了上述實(shí)施方式之外，還可以有其它結(jié)構(gòu)上的變形，這些等同技術(shù)方案也應(yīng)當(dāng)在其保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，包括上蓋(1)、勻氣室(2)、腔體(3)、基板(4)及排氣裝置(5)，所述腔體(3)上端敞口并可拆卸連接有所述的上蓋(1)，上蓋(I)上端連接有進(jìn)氣管(11)，所述勻氣室(2)連接在上蓋(I)的下表面上并與進(jìn)氣管(11)相連通，所述勻氣室(2)設(shè)有出氣孔，所述基板(4)設(shè)于腔體(3)內(nèi)并位于勻氣室(2)下方，所述排氣裝置(5)設(shè)于腔體(3)外并通過腔體(3)底部的排氣孔(31)與腔體(3)內(nèi)部連通，其特征在于: 所述腔體(3)內(nèi)設(shè)有壓力引管，所述壓力引管包括定長(zhǎng)引管(60)和伸縮引管(62)，所述伸縮引管(62)平行于基板(4)上表面，所述定長(zhǎng)引管(60)套在伸縮引管(62)外，所述定長(zhǎng)引管(60)和伸縮引管(62)之間設(shè)有調(diào)節(jié)伸縮引管(62)長(zhǎng)度的調(diào)節(jié)旋鈕(61)，所述定長(zhǎng)引管(60)遠(yuǎn)離伸縮引管(62)的一端伸出腔體(3)的底部并設(shè)有連接氣體壓力測(cè)量?jī)x器的外接口(601)； 所述腔體(3)外設(shè)有引管位置改變裝置，所述引管位置改變裝置包括與腔體(3)固定連接的支架(70 )，所述支架(70 )螺紋連接有螺桿(71)，螺桿(71)的上端通過轉(zhuǎn)換軸承(72 )連接有與定長(zhǎng)引管(60)連接的轉(zhuǎn)換器(73)，所述轉(zhuǎn)換器(73)上固定有用于指示刻度的高度指針(74)，及可上下伸縮的伸縮套管(75)，所述伸縮套管(75)的端部連接有用于指示刻度的角度指針(76)，所述支架(70)對(duì)應(yīng)高度指針(74)、所述腔體(3)的外底壁對(duì)應(yīng)角度指針(76)均設(shè)有相應(yīng)的刻度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述勻氣室(2)下端敞口并可拆卸連接有二級(jí)勻氣板(22)，勻氣室(2)內(nèi)設(shè)有一級(jí)勻氣板(21)，所述一級(jí)勻氣板(21)通過螺栓(23)與勻氣室(2)上壁相連接，所述一級(jí)勻氣板(21)、二級(jí)勻氣板(22)上均勻分布有所述的出氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述定長(zhǎng)引管(60)與腔體(3)之間設(shè)置有用于防止氣體泄漏及對(duì)定長(zhǎng)引管(60)的旋轉(zhuǎn)起阻尼作用的密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述調(diào)節(jié)旋鈕(61)上設(shè)有可動(dòng)刻度線(611)，所述定長(zhǎng)引管(60)上設(shè)有與可動(dòng)刻度線(611)配合的固定刻度線(601)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述定長(zhǎng)引管(60)的側(cè)壁上螺接有用于鎖緊伸縮引管(62)的鎖緊螺釘。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述支架(70)沿螺桿(71)的長(zhǎng)度方向上設(shè)有兩條橫桿(701)，其中一條橫桿(701)與螺桿(71)螺紋連接，另一條橫桿(701)設(shè)有供螺桿(71)穿過的通孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述螺桿(71)的下端設(shè)有便于握持的握持部(711)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，其特征在于:所述轉(zhuǎn)換器(73)外表面設(shè)置有防滑紋。
9.一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的方法，其特征在于:包括權(quán)利要求1~8任一所述的一種用于低壓模擬工藝腔室內(nèi)壓力測(cè)量的裝置，測(cè)量時(shí)，先打開上蓋(I )，通過調(diào)節(jié)旋鈕(61)調(diào)節(jié)伸縮引管(62)的長(zhǎng)度，接著蓋合上蓋(1)，啟動(dòng)排氣裝置(5)并向進(jìn)氣管(11)通入反應(yīng)氣體，然后對(duì)照高度指針(74)的指示通過旋轉(zhuǎn)螺桿(71)來控制壓力引管的高度，或者對(duì)照角度指針(76)的指示通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換器(73)來控制壓力引管的旋轉(zhuǎn)角度，并通過與外接口(601)相連的氣體壓力測(cè)量?jī)x器讀取壓力數(shù)值。
【文檔編號(hào)】C23C16/52GK104480454SQ201410742735
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年12月4日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月4日
【發(fā)明者】楊鐵牛, 周玉林, 黃尊地, 李昌明, 黃輝, 張祁莉, 李鶴喜 申請(qǐng)人:五邑大學(xué)