自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，特別是適用于對液態(tài)有機(jī)蒸鍍材料進(jìn)行真空蒸發(fā)鍍膜的鍍膜裝置，其特征在于：所述真空蒸鍍室與所述真空預(yù)熱室之間設(shè)置有一可啟閉的閘閥；所述真空預(yù)熱室內(nèi)設(shè)置有加液系統(tǒng)、推送機(jī)構(gòu)、加熱裝置和坩堝，所述加液系統(tǒng)向所述坩堝中加注蒸鍍所述防污膜的膜料，所述加熱裝置承載并加熱所述坩堝，所述推送機(jī)構(gòu)通過推送桿連接所述坩堝，以使所述坩堝實(shí)現(xiàn)在所述真空蒸鍍室和所述真空預(yù)熱室之間的往返移動(dòng)。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是：可以進(jìn)行自動(dòng)化、連續(xù)式鍍膜；可以對液態(tài)鍍膜材料進(jìn)行精確定量的鍍膜，不但提高了鍍膜精度，同時(shí)降低了因使用固態(tài)藥片所導(dǎo)致的高成本。
【專利說明】自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜領(lǐng)域，尤其涉及自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，特別是適用于對液態(tài)有機(jī)蒸鍍材料進(jìn)行真空蒸發(fā)鍍膜的鍍膜裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜方法是制作薄膜產(chǎn)品的一種重要方法，目前，以真空鍍膜方法制備的薄膜產(chǎn)品已經(jīng)滲透到眾多應(yīng)用領(lǐng)域。在真空蒸鍍方法中，鍍膜材料可以是無機(jī)物和有機(jī)物。對于一般的無機(jī)膜料，可以直接放入坩堝或鍍舟中進(jìn)行真空蒸鍍。對于有機(jī)鍍膜原料(在此指防污膜料)，可以采用如下方法實(shí)現(xiàn)真空鍍膜:首先，將有機(jī)膜料溶解于有機(jī)溶劑從而形成有機(jī)溶液；而后，將此有機(jī)溶液注入多孔吸附載體中；最后，將吸附有有機(jī)膜料的載體放入坩堝進(jìn)行蒸鍍。目前的常規(guī)方法是將上述吸附有有機(jī)膜料的載體進(jìn)行特殊處理制成固體藥片作為鍍膜原料，然后進(jìn)行蒸鍍。不過這種方法制成的膜料藥片成本高，同時(shí)亦需要將藥片在特定環(huán)境條件下保存以保持藥片的鍍膜效果。
[0003]防污膜可應(yīng)用于觸摸屏、鏡片和鏡頭等領(lǐng)域。在這些光學(xué)產(chǎn)品中，基板材料上通常先鍍制一些光學(xué)薄膜(比如增透膜)，然后再蒸鍍防污膜。特別是，近年來隨著信息技術(shù)的發(fā)展，以智能手機(jī)、平板電腦為主導(dǎo)的終端產(chǎn)品高度普及，觸摸屏產(chǎn)品需求迅猛增長。為了增加以觸摸屏主的多種光電產(chǎn)品的防污效果，在多種光學(xué)產(chǎn)品表面上鍍制防污膜已經(jīng)成為必不可少的工序。
[0004]目前，防污膜一般采用前述的真空蒸鍍方法進(jìn)行鍍膜。對于常規(guī)的防污膜鍍膜設(shè)備，每鍍完一罩膜均需要打開鍍膜腔體來放置防污膜原料，這樣不利于生產(chǎn)效率的提高；同時(shí)，由于防污膜料的有機(jī)物特性，罩間鍍膜腔體的開門時(shí)間和抽真空時(shí)間過長將大大增加膜料特性改變的風(fēng)險(xiǎn)。鑒于上述原因，并為了應(yīng)對市場需求的激增，研發(fā)自動(dòng)化程度高、可以實(shí)現(xiàn)不間斷生產(chǎn)的連續(xù)式防污膜鍍膜設(shè)備變得日益重要。在開發(fā)連續(xù)式防污膜鍍膜設(shè)備方面，可以在防污膜料的預(yù)熱室和蒸鍍室中設(shè)置防污膜料傳輸帶，將防污膜料不間斷的運(yùn)送到真空鍍膜室以實(shí)現(xiàn)連續(xù)鍍膜。但上述方法中，很難保證防污膜的預(yù)熱室和蒸鍍室完全隔離，由于防污膜料的熱揮發(fā)特性，因此會(huì)導(dǎo)致真空鍍膜室的污染。還有，防污膜通常是在其他功能性薄膜鍍膜完成后進(jìn)行；在連續(xù)鍍膜過程中，防污膜與其他薄膜的鍍膜是交替進(jìn)行的。因此，前述傳輸帶式的連續(xù)鍍膜裝置會(huì)造成防污膜料與其他膜料的互相污染，劣化薄膜質(zhì)量。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是根據(jù)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，通過將盛放防污膜膜料的坩堝在真空預(yù)熱室和真空蒸鍍室之間自動(dòng)、連續(xù)的往返傳遞，利用真空預(yù)熱室和真空蒸鍍室之間壓力差所實(shí)現(xiàn)的船閘原理，保證有機(jī)膜料在加藥、預(yù)熱過程中不影響真空蒸鍍室的環(huán)境，實(shí)現(xiàn)連續(xù)式多種功能薄膜鍍膜。
[0006]本發(fā)明目的實(shí)現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成: 一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，所述鍍膜裝置包括真空蒸鍍室和至少一個(gè)真空預(yù)熱室，所述真空蒸鍍室的內(nèi)腔和所述真空預(yù)熱室的內(nèi)腔之間構(gòu)成連通，其特征在于:所述真空蒸鍍室與所述真空預(yù)熱室之間設(shè)置有一可啟閉的閘閥；所述真空預(yù)熱室內(nèi)設(shè)置有加液系統(tǒng)、推送機(jī)構(gòu)、加熱裝置和坩堝，所述加液系統(tǒng)向所述坩堝中加注蒸鍍所述防污膜的膜料，所述加熱裝置承載并加熱所述坩堝，所述推送機(jī)構(gòu)通過推送桿連接所述坩堝，以使所述坩堝實(shí)現(xiàn)在所述真空蒸鍍室和所述真空預(yù)熱室之間的往返移動(dòng)。
[0007]所述真空預(yù)熱室內(nèi)的真空度小于所述真空蒸鍍室內(nèi)的真空度。
[0008]所述真空預(yù)熱室與所述真空蒸鍍室之間設(shè)置有一過渡室，所述過渡室內(nèi)的真空度大于所述真空預(yù)熱室內(nèi)的真空度，且小于所述真空蒸鍍室內(nèi)的真空度。
[0009]所述加液系統(tǒng)至少包括一套加藥裝置，所述加藥裝置由加藥控制器、容積式計(jì)量閥和滴藥閥構(gòu)成，所述容積式計(jì)量閥的藥液進(jìn)口與所述防污膜料藥液瓶連通，所述容積式計(jì)量閥的藥液出口與所述滴藥閥連通，所述滴藥閥的滴藥口通向所述坩堝，所述加藥控制器分別連接控制所述容積式計(jì)量閥和所述滴藥閥。
[0010]所述滴藥閥具有排液管道，所述排液管道的上部開口與所述容積式計(jì)量閥的藥液出口連通，所述排液管道的下部開口為滴藥口，所述滴藥閥內(nèi)、位于所述排液管道上部開口處設(shè)置有一密封堵頭，由所述加液控制器控制所述密封堵頭的起落。
[0011]所述密封堵頭底部固定連接一密封針，所述密封針與所述排液管道的內(nèi)輪廓形狀、大小吻合適配，所述密封針的長度不小于所述排液管道的長度，且當(dāng)所述密封堵頭封堵于所述排液管道的上部開口時(shí)，所述密封針的端頭部伸出于所述滴藥口。
[0012]所述加熱裝置包括加熱片、外引線和對外引線柱，所述外引線一端導(dǎo)通所述加熱片，另一端導(dǎo)通所述對外引線柱，所述對外引線柱由一導(dǎo)電支座支承，所述外引線外圍套裝包覆有一散熱件，所述散熱件自所述外引線與所述加熱片的連接處起沿所述外引線的延伸方向布設(shè)；所述散熱件外圍涂覆有散熱絕緣層。
[0013]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是:1、可以進(jìn)行自動(dòng)化、連續(xù)式鍍膜。2、可以對液態(tài)鍍膜材料進(jìn)行精確定量的鍍膜，不但提高了鍍膜精度，同時(shí)降低了因使用固態(tài)藥片所導(dǎo)致的高成本。3、通過設(shè)置防污膜的預(yù)熱室、蒸鍍室、閘閥、推送機(jī)構(gòu)，以及船閘原理的應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)有機(jī)膜料在加藥、預(yù)熱過程中不影響真空蒸鍍室的環(huán)境，保證連續(xù)式多種功能薄膜鍍膜的薄膜質(zhì)量。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本發(fā)明的第一種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明的第二種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為本發(fā)明的第三種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4為本發(fā)明的第四種結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5為本發(fā)明中加液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖6為本發(fā)明中加液滴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7為本發(fā)明中加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖通過實(shí)施例對本發(fā)明特征及其它相關(guān)特征作進(jìn)一步詳細(xì)說明，以便于同行業(yè)技術(shù)人員的理解:
如圖1-7所示，圖中標(biāo)記1-41為:預(yù)熱室1、閘閥2、蒸鍍室3、加液系統(tǒng)4、坩堝5、驅(qū)動(dòng)汽缸6、支桿7、滴嘴8、加熱頭9、噴孔10、蒸鍍噴頭11、鍍膜基板12、真空泵13、過渡室14、上位工控機(jī)15、加液控制器16、容積式計(jì)量閥17、藥液入口 18、防污膜料藥液瓶19、藥液出口 20、滴藥閥21、密封針22、排液管道23、二位五通閥24、液體管路25、控制管路26、氣體管路27、壓縮空氣出入口 28、密封堵頭29、滴藥口 30，加熱頭法蘭31、陶瓷管32、散熱件33、陶瓷加熱片34、加熱頭支座35、外引線36、對外引線柱37、支承孔38、連接孔39、導(dǎo)電支座40、散熱絕緣層41。
[0016]實(shí)施例一:如圖1所示，本實(shí)施例中的自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置包括預(yù)熱室I和蒸鍍室3，兩者的內(nèi)腔相連通，其中預(yù)熱室I用于進(jìn)行鍍膜原液的滴注和預(yù)加熱，蒸鍍室3用來實(shí)現(xiàn)膜料的真空蒸鍍。預(yù)熱室I和蒸鍍室3之間的連接處設(shè)置有可受控啟閉的閘閥2，用于通過啟閉控制預(yù)熱室I和蒸鍍室3之間的聯(lián)通和關(guān)斷。預(yù)熱室I內(nèi)設(shè)置有加液系統(tǒng)4、?甘禍5、由驅(qū)動(dòng)氣缸6和支桿7構(gòu)成的推送機(jī)構(gòu)以及加熱頭9。加液系統(tǒng)4用于實(shí)現(xiàn)定時(shí)、定量通過滴嘴8向坩堝5內(nèi)輸送加注鍍膜原材料。坩堝5放置在加熱頭9上，加熱頭9用于對?甘禍5進(jìn)行加熱。推送機(jī)構(gòu)中的支桿7的一端由驅(qū)動(dòng)氣缸6的輸出端連接驅(qū)動(dòng),另一端與盛放坩堝5的加熱頭9連接固定，以便將盛有鍍膜材料的坩堝5按鍍膜要求在預(yù)熱室I和蒸鍍室3內(nèi)自動(dòng)往返移動(dòng)。蒸鍍室3內(nèi)設(shè)置有帶有噴孔10的蒸鍍噴頭11和鍍膜基板12。蒸鍍噴頭11可以被加熱至一定溫度以實(shí)現(xiàn)鍍膜材料的蒸鍍，被加熱的鍍膜材料通過噴孔10蒸發(fā)到鍍膜基板12上。鍍膜基板12可以借助機(jī)械機(jī)構(gòu)在蒸鍍室3內(nèi)移動(dòng)，并可以在完成鍍膜后移動(dòng)至蒸鍍室3之外，以便完成下一輪蒸鍍。蒸鍍噴頭11與鍍膜基板12平行放置，以保證鍍膜均一性。
[0017]預(yù)熱室I和蒸鍍室3分別連接有一真空泵13，真空泵13用于將在工作狀態(tài)時(shí)的預(yù)熱室I或蒸鍍室3內(nèi)部抽至真空。一般而言，預(yù)熱室I維持低真空即可對坩堝5內(nèi)盛放的鍍膜原材料進(jìn)行預(yù)熱動(dòng)作；而蒸鍍室3需要高真空度來保證鍍膜機(jī)版12上的鍍膜質(zhì)量。利用預(yù)熱室I和蒸鍍室3、兩個(gè)真空室之間的閘閥2、推送機(jī)構(gòu)的設(shè)置，并配合適時(shí)調(diào)整閘閥2的開合，就可利用船閘原理，將低真空的預(yù)熱室I中的鍍膜材料輸送到高真空的蒸鍍室3，并保證各個(gè)鍍膜過程的獨(dú)立性。
[0018]在此處，船閘原理的應(yīng)用為:預(yù)熱室I與外界連通的出口有兩個(gè)，分別為預(yù)熱室I中加藥用的滴藥口 30和閘閥2，以上兩個(gè)出口在任何情況下不會(huì)同時(shí)開啟，以保證蒸鍍室3的真空度不會(huì)由于預(yù)熱室I內(nèi)的加藥而發(fā)生明顯降低。加藥時(shí)，滴藥口 30開啟，閘閥2關(guān)閉，此時(shí)蒸鍍室3內(nèi)的真空度不受影響；向蒸鍍室3送藥時(shí)，滴藥口 30關(guān)閉，閘閥2開啟，此時(shí)蒸鍍室3與預(yù)熱室I連通，其內(nèi)部的真空度與預(yù)熱室I內(nèi)的真空度相均衡，但并不會(huì)與外界大氣相連通，所以真空度降低程度較小。在完成送藥之后，將蒸鍍室3內(nèi)的真空度抽至要求之后即可進(jìn)行蒸鍍防污膜。以上原理的應(yīng)用是為了實(shí)現(xiàn)較高的鍍膜效率。
[0019]本實(shí)施例在具體使用時(shí)，具有如下步驟:
I)閘閥2受控關(guān)閉，使預(yù)熱室I和蒸鍍室3之間處于相互隔離的狀態(tài)。利用加液系統(tǒng)4將鍍膜材料通過滴嘴8滴注到位于預(yù)熱室I中加熱頭9上所盛放的坩堝5之中。當(dāng)鍍膜材料的滴注量滿足鍍膜要求之后，關(guān)斷加液系統(tǒng)4的滴嘴8，此步驟應(yīng)保證膜料質(zhì)量精確以及加液系統(tǒng)4與預(yù)熱室I之間的隔離。
[0020]2)預(yù)熱室I通過真空泵13抽真空至設(shè)定值，其后通過加熱頭9對坩堝5中的鍍膜材料進(jìn)行預(yù)熱。同時(shí)，將待鍍膜基板12推送到蒸鍍室3內(nèi)的指定位置，之后蒸鍍室3開始通過真空泵13抽真空直至設(shè)定值。此時(shí)，在蒸鍍室3中，可以對鍍膜基板12進(jìn)行其他薄膜的蒸鍍。此處的其他薄膜是指，由于防污膜一般是通常是在其他功能性薄膜鍍膜完成后進(jìn)行的，所以在坩堝5預(yù)熱時(shí)，可進(jìn)行其他功能性薄膜的蒸鍍。待其他薄膜蒸鍍完成后，蒸鍍噴頭11開始加熱。
[0021]3)坩堝5中的鍍膜材料經(jīng)加熱頭9預(yù)熱，并且蒸鍍噴頭11加熱完成后，閘閥2打開。坩堝5在驅(qū)動(dòng)氣缸6以及支桿7的配合作用下運(yùn)動(dòng)至蒸鍍室3的蒸鍍噴頭11內(nèi)。坩堝5中的鍍膜材料隨即在蒸鍍噴頭11的高溫作用下蒸發(fā)，并從蒸鍍噴頭11的噴孔10中噴出，最終沉積于鍍膜基板12上形成薄膜。
[0022]4)此輪鍍膜完成后，坩堝5在推送機(jī)構(gòu)的作用下從蒸鍍室3回到預(yù)熱室1，閘閥2隨即關(guān)閉。蒸鍍室3內(nèi)，鍍完膜的鍍膜基板12被推送到蒸鍍室外，新的鍍膜基板12被推送至蒸鍍室3中的指定位置。預(yù)熱室I中，坩堝5運(yùn)動(dòng)至加液系統(tǒng)4的滴嘴8下方，加液系統(tǒng)4將鍍膜原材料加注至坩堝5中，并開始新一輪的鍍膜流程，即上述步驟I) - 4)的過程。
[0023]實(shí)施例二:本實(shí)施例相較實(shí)施例一的不同之處在于:本實(shí)施例中的蒸鍍噴頭11上噴孔10的開孔方向以及鍍膜基板12的放置方向均垂直于i甘禍5的推送方向，同樣也可完成鍍膜。
[0024]實(shí)施例三:本實(shí)施例相較實(shí)施例一或二的不同之處在于:在預(yù)熱室I和蒸鍍室3之間設(shè)置有串聯(lián)的過渡室14，過渡室14連接有一真空泵13。預(yù)熱室I和過渡室14之間、過渡室14和蒸鍍室3之間分別設(shè)置有閘閥2，以使三者相對隔離。過渡室14用于保證坩堝途徑的各個(gè)真空室之間的真空度差異不致太大。而過渡室14的設(shè)置目的也是利用上述的船閘原理:因?yàn)檎翦兪?必須保持較高的真空度才能開始鍍膜，而預(yù)熱室I的真空度一般不會(huì)很高。若預(yù)熱室I真空度與蒸鍍室3的差距較大，則閘閥2打開時(shí)，就會(huì)導(dǎo)致蒸鍍室3的真空度發(fā)生明顯下降，這樣，蒸鍍室3的真空泵13需要較長時(shí)間抽真空才能達(dá)到蒸鍍所需的真空度，由此，影響了鍍膜效率。但設(shè)置了過渡室14時(shí)，可利用真空泵將過渡室14的真空度抽至略小于或等于蒸鍍室3的真空度，這樣一來，當(dāng)閘閥2打開時(shí)，蒸鍍室3內(nèi)的真空度便不會(huì)發(fā)生明顯下降，有利于提高鍍膜效率。
[0025]實(shí)施例四:本實(shí)施例相較實(shí)施例一、二或三的不同之處在于:為了保證蒸鍍室3中的鍍膜均一性，可以在蒸鍍室3的一側(cè)并聯(lián)設(shè)置兩個(gè)或兩個(gè)以上的預(yù)熱室1，以擴(kuò)大蒸鍍噴頭11的覆蓋范圍以及保證噴孔10所噴出的鍍膜材料的均勻性。另外，此裝置還可以實(shí)現(xiàn)在只鍍防污膜情況下的連續(xù)不間斷鍍膜，即使兩個(gè)或兩個(gè)以上的預(yù)熱室I依次工作，當(dāng)其中一個(gè)預(yù)熱室工作完畢之后，將另一個(gè)預(yù)熱室投入使用，而使之前已經(jīng)完成工作的預(yù)熱室進(jìn)行加液、預(yù)熱等準(zhǔn)備工作。
[0026]上述實(shí)施例在具體實(shí)施時(shí):如圖5所示，加液系統(tǒng)4用于將防污膜料藥液瓶19內(nèi)的藥液加注到真空鍍膜時(shí)用于盛放藥液的坩堝5內(nèi)。加液系統(tǒng)包括加液控制器16以及由容積式計(jì)量閥17和滴藥閥21構(gòu)成的一套加液裝置。該加液裝置具有輸液線、氣動(dòng)線以及控制線，其中輸液線是指傳輸鍍膜藥液的管路，氣動(dòng)線為系統(tǒng)中的氣體運(yùn)動(dòng)路徑，這些氣體是藥液運(yùn)動(dòng)的動(dòng)力，而控制線是指控制閥門部件啟閉的線路。
[0027]輸液線:容積式計(jì)量閥17的藥液入口 18和防污膜料藥液瓶19通過液體管路25構(gòu)成連通以實(shí)現(xiàn)抽吸藥液，容積式計(jì)量閥17的藥液出口 20與滴藥閥21內(nèi)的排液管道23的上部開口通過液體管路25相連通以實(shí)現(xiàn)傳輸藥液。容積式計(jì)量閥17可以被精確設(shè)定加藥量。防污膜原液的精確計(jì)量對于鍍膜效果有重要作用，藥液量不準(zhǔn)確將導(dǎo)致防污膜厚度異常，影響光學(xué)元件的光學(xué)特性。排液管道23的下部開口(滴藥口 30)對準(zhǔn)坩堝5的放置位置以完成加注藥液。
[0028]氣動(dòng)線:容積式計(jì)量閥17上的藥液入口 18和藥液出口 20以及滴藥閥21分別與二位五通閥24通過氣體管路27連通，二位五通閥24由加液控制器16連接控制并連通外界的入氣管。容積式計(jì)量閥17的藥液入口 18還與防污膜料藥液瓶19相連通，防污膜料藥液瓶19連通有一入氣管，該入氣管用以將藥液通過藥液入口 18壓入容積式計(jì)量閥17內(nèi)。容積式計(jì)量閥17內(nèi)的藥液通過二位五通閥24所輸入的氣體壓入滴藥閥21內(nèi)。藥液出口20和滴藥閥21的啟閉保持同步，即藥液出口 20打開時(shí)，滴藥閥21同時(shí)打開完成對坩堝5進(jìn)行加液。
[0029]控制線:加液控制器16通過控制管路26精確連接控制設(shè)定容積式計(jì)量閥17內(nèi)的每次加液量(藥液量)。加液控制器16還控制二位五通閥24的工作狀態(tài)，通過控制二位五通閥24以精確控制藥液的添加過程。
[0030]如圖5、6所示，滴藥閥21的底部開設(shè)有一中空的排液管道23，排液管道23的上部開口與容積式計(jì)量閥17的藥液出口 20相連通以傳輸藥液，排液管道23的下部開口為滴藥口 30，滴藥口 30對準(zhǔn)坩堝5，坩堝5為鍍膜時(shí)的鍍液盛放容器。如圖6所示，呈中空的排液管道23上方具有一密封堵頭29，密封堵頭29封堵排液管道23的上部開口 ；排液管道23與密封堵頭29之間的相鄰面互相對應(yīng)設(shè)置有斜面，以實(shí)現(xiàn)二者的相鄰面在互相接觸時(shí)構(gòu)成相互限位。密封堵頭29由二位五通閥24控制起、落動(dòng)作，其起、落動(dòng)作作用于排液管道23的打開或關(guān)斷。密封堵頭29的底部固定連接有一密封針22，密封針22的外輪廓形狀、大小與排液管道23的內(nèi)輪廓形狀、大小吻合適配，密封針22的長度不小于排液管道23的長度，以使密封針22的端頭部隨著密封堵頭29下落后突出于滴藥口 30外部，以保證排液管道23內(nèi)的管道被密封針22完全封堵密封。滴藥閥21—側(cè)連接有氣體管路27，氣體管路27即為二位五通閥24氣動(dòng)控制密封堵頭29的氣動(dòng)線。
[0031]加液控制器16在實(shí)際使用時(shí)，可輔以上位控制機(jī)15進(jìn)行操作控制，例如PLC上位機(jī)或計(jì)算機(jī)等。
[0032]加液控制器16用于對每次加液量的精確設(shè)定，同時(shí)接收上位工控機(jī)15指令在指定時(shí)刻控制容積式計(jì)量閥17與滴藥閥21配合加藥。容積式計(jì)量閥17可以被精確設(shè)定加藥量。滴藥閥21與容積式計(jì)量閥17同步動(dòng)作；加藥完畢后滴藥閥21自動(dòng)關(guān)閉防止泄漏。加液控制器16由單片機(jī)作為處理器，籍觸摸屏進(jìn)行人機(jī)交互設(shè)定加液量，上接上位工控機(jī)指令，并按預(yù)定設(shè)置讓容積式計(jì)量閥17及關(guān)閉閥同步工作。容積式計(jì)量閥17的工作原理是通過絲桿調(diào)節(jié)加藥容積，在往復(fù)運(yùn)動(dòng)中吸排定量容積液體。滴藥閥21配合容積式計(jì)量閥的開關(guān)而開關(guān)，避免泄漏；同時(shí)滴藥閥21內(nèi)密封堵頭29與密封針22的配合結(jié)構(gòu)可以自動(dòng)清理排液管道23內(nèi)鍍液結(jié)晶所造成的堵塞。
[0033]上述加液系統(tǒng)在具體實(shí)施時(shí)具有如下工作流程:
I)上位工控機(jī)15發(fā)出吸藥指令，加液控制器16控制容積式計(jì)量閥17的藥液入口 18打開，待其從防污膜原液瓶19抽吸定量液體后，其藥液入口 18關(guān)閉。
[0034]2)上位工控機(jī)15發(fā)出加藥指令；加液控制器16控制容積式計(jì)量閥17的藥液出口 20打開，待定量液體注入到滴藥閥21中后，其藥液出口 20關(guān)閉。
[0035]3)與此同時(shí)，滴藥閥21的藥液進(jìn)口打開，滴藥閥21末端的密封針22被向上提升，藥液進(jìn)入滴藥閥21，并通過排液管道23排送藥液至坩堝5后，滴藥閥21末端的密封針22插入排液通道10，完成一次自動(dòng)清理通道。滴藥閥末端的密封針22對于排液管道23的打開和關(guān)斷與容積式計(jì)量閥17的藥液出口 20的打開與關(guān)斷同步。
[0036]其中2)、3)兩個(gè)步驟同時(shí)進(jìn)行，這種同步是在加液控制器16的控制下，由二位五通閥24來實(shí)現(xiàn)的。
[0037]如圖7所示，加熱頭9由加熱頭法蘭31、陶瓷加熱片34、陶瓷加熱片35、外引線36、對外引線柱37和導(dǎo)電支座40構(gòu)成。支桿7與加熱頭法蘭31之間軸孔配合，兩者的組合作為坩堝加熱頭與其它真空鍍膜部件相連接的連接部。加熱頭法蘭31相對于支桿7的另一側(cè)裝配有導(dǎo)電支座40，導(dǎo)電支座40上開設(shè)有貫通的支承孔38，支承孔38內(nèi)插裝有對外引線柱37。導(dǎo)電支座40相對于加熱頭法蘭31的另一側(cè)裝配有熱頭支座6，兩者之間配合連接固定。陶瓷加熱片35上放置有陶瓷加熱片34，陶瓷加熱片34用于加熱放置在其表面的坩堝5。陶瓷加熱片34的加熱方式為電加熱，其片體一側(cè)連接有外引線36的一端，外引線36的另一端穿過開設(shè)于導(dǎo)電支座40表面的連接孔39與對外引線柱37焊接固定，使得陶瓷加熱片34與對外引線柱37之間通過外引線36構(gòu)成導(dǎo)通；而對外引線柱37與外部電源導(dǎo)通。但由于外引線36與陶瓷加熱片34兩者的材質(zhì)不同，所以兩者的焊接區(qū)域就會(huì)由于熱量積聚效應(yīng)而產(chǎn)生變形以至斷裂，使陶瓷加熱片不能繼續(xù)發(fā)揮加熱功能，影響了連續(xù)生產(chǎn)。
[0038]如圖1所示，外引線36的外圍套裝包覆有散熱件33，散熱件33以外引線36與陶瓷加熱片34的連接處為始端，沿外引線36的延伸方向布置。散熱件33的長度可根據(jù)散熱需要進(jìn)行選擇。而位于散熱件33末端的外引線36的外圍套裝包覆有同樣用以散熱的陶瓷管32。陶瓷管32以散熱件33的末端為始端布置，其長度應(yīng)滿足外引線36末端的余留長度能與對外引線柱37之間構(gòu)成焊接固定的要求。在散熱件33和陶瓷管32的外圍涂覆有散熱絕緣層41，該散熱絕緣層41既對包裹外引線36的散熱件33起到散熱效果，又對其起到絕緣效果，保持其與周圍部件絕緣。
[0039]雖然以上述實(shí)施例已經(jīng)參照附圖對本發(fā)明目的的構(gòu)思和實(shí)施例做了詳細(xì)說明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認(rèn)識到，在沒有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下，仍然可以對本發(fā)明作出各種改進(jìn)和變換，如:預(yù)熱室I的數(shù)量和位置、位于預(yù)熱室I中的推送機(jī)構(gòu)、力口熱裝置、加液裝置的具體結(jié)構(gòu)組成，故在此不一一贅述。
【權(quán)利要求】
1.一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，所述鍍膜裝置包括真空蒸鍍室和至少一個(gè)真空預(yù)熱室，所述真空蒸鍍室的內(nèi)腔和所述真空預(yù)熱室的內(nèi)腔之間構(gòu)成連通，其特征在于:所述真空蒸鍍室與所述真空預(yù)熱室之間設(shè)置有一可啟閉的閘閥；所述真空預(yù)熱室內(nèi)設(shè)置有加液系統(tǒng)、推送機(jī)構(gòu)、加熱裝置和坩堝，所述加液系統(tǒng)向所述坩堝中加注蒸鍍所述防污膜的膜料，所述加熱裝置承載并加熱所述坩堝，所述推送機(jī)構(gòu)通過推送桿連接所述坩堝，以使所述坩堝實(shí)現(xiàn)在所述真空蒸鍍室和所述真空預(yù)熱室之間的往返移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述真空預(yù)熱室內(nèi)的真空度小于所述真空蒸鍍室內(nèi)的真空度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述真空預(yù)熱室與所述真空蒸鍍室之間設(shè)置有一過渡室，所述過渡室內(nèi)的真空度大于所述真空預(yù)熱室內(nèi)的真空度，且小于所述真空蒸鍍室內(nèi)的真空度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述加液系統(tǒng)至少包括一套加藥裝置，所述加藥裝置由加藥控制器、容積式計(jì)量閥和滴藥閥構(gòu)成，所述容積式計(jì)量閥的藥液進(jìn)口與所述防污膜料藥液瓶連通，所述容積式計(jì)量閥的藥液出口與所述滴藥閥連通，所述滴藥閥的滴藥口通向所述坩堝，所述加藥控制器分別連接控制所述容積式計(jì)量閥和所述滴藥閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述滴藥閥具有排液管道，所述排液管道的上部開口與所述容積式計(jì)量閥的藥液出口連通，所述排液管道的下部開口為滴藥口，所述滴藥閥內(nèi)、位于所述排液管道上部開口處設(shè)置有一密封堵頭，由所述加液控制器控制所述密封堵頭的起落。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述密封堵頭底部固定連接一密封針，所述密封針與所述排液管道的內(nèi)輪廓形狀、大小吻合適配，所述密封針的長度不小于所述排液管道的長度，且當(dāng)所述密封堵頭封堵于所述排液管道的上部開口時(shí)，所述密封針的端頭部伸出于所述滴藥口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)化連續(xù)式防污膜鍍膜裝置，其特征在于:所述加熱裝置包括加熱片、外引線和對外引線柱，所述外引線一端導(dǎo)通所述加熱片，另一端導(dǎo)通所述對外引線柱，所述對外引線柱由一導(dǎo)電支座支承，所述外引線外圍套裝包覆有一散熱件，所述散熱件自所述外引線與所述加熱片的連接處起沿所述外引線的延伸方向布設(shè)；所述散熱件外圍涂覆有散熱絕緣層。
【文檔編號】C23C14/56GK104498889SQ201410786581
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月18日
【發(fā)明者】范賓, 渡邊優(yōu), 張洪, 汪洋 申請人:光馳科技(上海)有限公司