一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,該方法為:對(duì)鈮板條進(jìn)行3~7次真空電子束熔煉,得到高純鈮鑄錠;所述真空電子束熔煉的比電能為8度/kg~12度/kg,真空度不大于5×10-3Pa。本發(fā)明設(shè)計(jì)合理、方法簡單、操作簡便,能有效解決傳統(tǒng)鈮鑄錠生產(chǎn)工藝所存在的實(shí)際問題,達(dá)到穩(wěn)定化、批量化生產(chǎn)射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求,采用3~7次真空電子束熔煉,通過控制比電能,制備的鈮鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
【專利說明】一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于高純鈮鑄錠制備【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]射頻超導(dǎo)腔是制作高能粒子加速器的關(guān)鍵部件,用于制備射頻超導(dǎo)腔的金屬鈮不僅要求高純度,還要求很高的殘余電阻率(RRR)。近年來隨著國內(nèi)、國際對(duì)高能粒子研宄的深入,高能粒子加速裝置的研宄和建設(shè)迅猛發(fā)展,用于制備射頻超導(dǎo)腔的高純鈮的需求日趨旺盛。使用要求鑄錠的RRR ^ 300,同時(shí)要求化學(xué)成分符合鉭< 500ppm ;硅< 10ppm ;鎢、鉬、鈦、錯(cuò)、銅、絡(luò)、镲、鐵均< 50ppm ;氧< 10ppm ;氮< 50ppm,碳< 20ppm,氫< lOppm。
[0003]但由于RRR ^ 300的指標(biāo)要求非常高,雜質(zhì)元素對(duì)RRR值的降低非常顯著。傳統(tǒng)的碳熱還原法鈮條雜質(zhì)含量高,經(jīng)過正常的兩次真空電子束熔煉后,鑄錠的化學(xué)成分和RRR值均達(dá)不到射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的技術(shù)要求。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法。該方法設(shè)計(jì)合理、方法簡單、操作簡便,能有效解決傳統(tǒng)鈮鑄錠生產(chǎn)工藝所存在的實(shí)際問題,達(dá)到穩(wěn)定化、批量化生產(chǎn)射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求,采用3?7次真空電子束熔煉,通過控制比電能,制備的鈮鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0005]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,該方法為:對(duì)鈮板條進(jìn)行3?7次真空電子束熔煉,得到高純鈮鑄錠;所述真空電子束熔煉的比電能為8度/kg?12度/kg,真空度不大于5X10_3Pa ;所述高純鈮鑄錠的RRR彡300,高純鈮鑄錠中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭< 500ppm,硅< lOOppm,鎢
<50ppmjg< 50ppm,鈦< lppm,錯(cuò)< IppmdHS lppm,絡(luò)< lppm,镲< lppm,鐵< lppm,氧 lOppm,氮< lOppm,碳< lOppm,氫< lppm。
[0006]上述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述鈮板條為鋁熱還原法生產(chǎn)的鈮板條。
[0007]上述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述鈮板條中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭< 420ppm,娃< lOOpprn,鶴< 50ppm,鉬< 50ppm,鈦< lOppm,錯(cuò)^ 10ppmj|^< lOppm,絡(luò) < lOppm,镲 < lOppm,鐵 < lOppm,氧< 50(^口111,氮< lOOpprn,碳
<lOOppm。
[0008]上述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述比電能隨真空電子束熔煉次數(shù)的增加逐次增大。
[0009]上述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,每次熔煉后將熔煉的鑄錠表面扒皮去掉Imm?3mm,然后將扒皮后的鑄錠用去離子水清洗干凈。
[0010]本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0011]1、本發(fā)明設(shè)計(jì)合理、方法簡單、操作簡便,能有效解決傳統(tǒng)鈮鑄錠生產(chǎn)工藝所存在的實(shí)際問題,達(dá)到穩(wěn)定化、批量化生產(chǎn)射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0012]2、本發(fā)明采用3?7次真空電子束熔煉,通過控制比電能,制備的鈮鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0013]下面通過實(shí)施例,對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)說明。
【具體實(shí)施方式】
[0014]實(shí)施例1
[0015]采用鋁熱還原法生產(chǎn)的鈮板條做原料,經(jīng)過3次真空電子束熔煉獲得鈮鑄錠,3次真空電子束熔煉的真空度均不大于4X 10_3Pa,3次真空電子束熔煉的比電能依次9度/kg,9.5度/kg和10度/kg,且每次熔煉后將熔煉的鑄錠表面扒皮去掉3mm,然后將扒皮后的鑄錠用去離子水清洗干凈。所用鈮板條中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為30ppm,硅為70ppm ;鶴< 1ppm^IK lOppm,鈦< 1ppmJi^S lOppm,銅< lOppm,絡(luò)< lOppm,镲< lOppm,鐵^ lOppm,氧為 lOOpprn,氮為 40ppm,碳< lOppm。
[0016]本實(shí)施例制備的鈮鑄錠經(jīng)檢測,RRR值為420,雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為35ppm,硅(lppm, 1? ^ Ippm^IK lppm,鈦 < lppm,錯(cuò) <lppm,絡(luò) < lppm,镲 < lppm,鐵(lppm,氧為6.5ppm,氮< 5ppm,碳< 3ppm,氫〈lppm。制備的銀鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0017]實(shí)施例2
[0018]采用鋁熱還原法生產(chǎn)的鈮板條做原料,經(jīng)過5次真空電子束熔煉獲得鈮鑄錠,5次真空電子束熔煉的真空度均不大于3X 10_3Pa,5次真空電子束熔煉的比電能依次8度/kg、9度/kg、10度/kg、10.5度/kg和11度/kg,且每次熔煉后將熔煉的鑄錠表面扒皮去掉2mm,然后將扒皮后的鑄錠用去離子水清洗干凈。所用鈮板條中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為 320ppm,娃為 10ppm ;鶴為 33ppm,鉬為 40ppm,鈦< lOppm,錯(cuò)< lOppm,銅 < lOppm,絡(luò)^ lOppm^;!^ lOppm,鐵< lOppm,氧為 180ppm,氮為 60ppm,碳為 35ppm。
[0019]本實(shí)施例制備的鈮鑄錠經(jīng)檢測,RRR值為380,雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為35ppm,鎢為 28ppm,鉬為 16ppm,娃< lppm,鈦< lppm,錯(cuò)< lppm,銅< lppm,絡(luò)< lppm,镲< lppm,鐵(lppm,氧為8ppm,氮彡7ppm,碳彡6ppm,氫〈lppm。制備的銀鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0020]實(shí)施例3
[0021]采用鋁熱還原法生產(chǎn)的鈮板條做原料,經(jīng)過7次真空電子束熔煉獲得鈮鑄錠,7次真空電子束熔煉的真空度均不大于5X 10_3Pa,7次真空電子束熔煉的比電能依次8度/kg、9度/kg, 10度/kg, 10.5度/kg, 11度/kg, 11.5度/kg和12度/kg,且每次熔煉后將熔煉的鑄錠表面扒皮去掉1mm,然后將扒皮后的鑄錠用去離子水清洗干凈。所用鈮板條中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為420ppm,娃為90ppm ;鶴為42ppm,鉬為35ppm,鈦< lOppm,錯(cuò)< lOppm,銅^ lOppm,絡(luò)< lOppm^;!^ lOppm,鐵< lOppm,氧為 320ppm,氮為 80ppm,碳為 55ppm。
[0022]本實(shí)施例制備的鈮鑄錠經(jīng)檢測,RRR值為310,雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭為345ppm,鎢為 33ppm,鉬為 25ppm,娃< lppm,鈦< lppm,錯(cuò)< lppm,銅< lppm,絡(luò)< lppm,镲< lppm,鐵(lppm,氧為lOppm,氮彡8ppm,碳彡9ppm,氫〈lppm。制備的銀鑄錠的RRR值和成分均符合射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的要求。
[0023]以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例,并非對(duì)本發(fā)明做任何限制,凡是根據(jù)發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,該方法為:對(duì)鈮板條進(jìn)行3?7次真空電子束熔煉,得到高純鈮鑄錠;所述真空電子束熔煉的比電能為8度/kg?12度/kg,真空度不大于5X 10_3Pa ;所述高純鈮鑄錠的RRR彡300,高純鈮鑄錠中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭< 500ppm,娃< 100ppm,|^< 50ppmjg< 50ppm,鈦< lppm,錯(cuò)< IppmdH^ lppm,絡(luò)< lppm,镲< lppm,鐵< lppm,氧< 1(^口!11,氮< 1(^口!11,碳< 1(^口!11,氫< lppm。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述鈮板條為鋁熱還原法生產(chǎn)的鈮板條。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述銀板條中雜質(zhì)的質(zhì)量含量為:鉭< 420ppm,娃< 100ppm,|^< 50ppm,鉬< 50ppm,鈦^ lOppm,錯(cuò) < lOppm,銅 < lOppm,絡(luò) < lOppm,镲 < lOppm,鐵 < lOppm,氧< 500ppm,氮< 100卩卩!11,碳< 10ppm0
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,所述比電能隨真空電子束熔煉次數(shù)的增加逐次增大。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種射頻超導(dǎo)腔用高純鈮鑄錠的制備方法,其特征在于,每次熔煉后將熔煉的鑄錠表面扒皮去掉Imm?3mm,然后將扒皮后的鑄錠用去離子水清洗干凈。
【文檔編號(hào)】C22B9/22GK104480319SQ201410789578
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月17日
【發(fā)明者】張英明, 郭學(xué)鵬, 席恩平, 王娟, 吝靖玉, 譚江 申請(qǐng)人:西北有色金屬研究院