一種用于板式pecvd的石墨載板的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種用于板式PECVD的石墨載板，其上設(shè)有多格硅片承載區(qū)，每格硅片承載區(qū)為156mm×156mm的結(jié)構(gòu)，每格硅片承載區(qū)的兩個(gè)豎邊上各設(shè)有2個(gè)鉤針、兩個(gè)橫邊上各設(shè)有2個(gè)檔針，鉤針、檔針分別沿各邊中點(diǎn)對(duì)稱設(shè)置，每條邊上的兩個(gè)鉤針/檔針之間的距離為75～98mm。本發(fā)明提供的裝置克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，通過重新設(shè)計(jì)鉤針和檔針的距離，在不改變機(jī)器的情況下，實(shí)現(xiàn)了多種規(guī)格硅片的承載。
【專利說明】一種用于板式PECVD的石墨載板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種用于板式PECVD (等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)的石墨載板，尤其涉及一種平板式鍍膜機(jī)中的石墨載板的技術(shù)改進(jìn)，屬于晶硅太陽能電池【技術(shù)領(lǐng)域】。

【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池生產(chǎn)過程中一個(gè)很重要的環(huán)節(jié)是鍍減反射膜，一般通過平板式PECVD或者管式PECVD，其中平板式PECVD使用石墨載板來搭載硅片。
[0003]目前，市面上的石墨載板的主要形式如圖1所示，每一塊石墨載板承載硅片的數(shù)量為45片，橫排5片，豎排9片，在石墨載板上通過垂直設(shè)置的豎梁和橫梁分隔成45格硅片承載區(qū)，每格硅片承載區(qū)為156mmX 156mm的正方形結(jié)構(gòu)，每格硅片承載區(qū)的兩個(gè)豎邊上各設(shè)有2個(gè)鉤針1、兩個(gè)橫邊上各設(shè)有2個(gè)檔針2，沿各邊中點(diǎn)對(duì)稱設(shè)置，鉤針和檔針分別如圖2和圖3所示，結(jié)合圖4，每條邊上的兩個(gè)鉤針I(yè)/檔針2之間的距離為a = 103mm。為了使鉤針I(yè)和檔針2在使用過程中能夠在石墨載板上面保持位置的固定，在石墨載板上面相應(yīng)的位置設(shè)有定位卡槽，定位卡槽的深度為0.5?1.0mm,寬度為0.9?1.6mm。
[0004]上述石墨載板做多晶娃片時(shí)只適用于156-156(長(zhǎng)156mm，寬156mm)規(guī)格，而常見的多晶硅片還有156-145、156-130、156-125、156-104等規(guī)格，上述石墨載板無法用于做其它規(guī)格的寬104?145mm的多晶硅片。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是在不改變機(jī)器的情況下，通過改變石墨載板上鉤針和檔針的距離位置，實(shí)現(xiàn)多種規(guī)格硅片的承載。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是提供一種用于板式PECVD的石墨載板，其上設(shè)有多格硅片承載區(qū)，每格硅片承載區(qū)為156_X 156mm的結(jié)構(gòu)，每格硅片承載區(qū)的兩個(gè)豎邊上各設(shè)有2個(gè)鉤針、兩個(gè)橫邊上各設(shè)有2個(gè)檔針，鉤針、檔針分別沿各邊中點(diǎn)對(duì)稱設(shè)置，其特征在于:每條邊上的兩個(gè)鉤針/檔針之間的距離為75?98mm。
[0007]本發(fā)明提供的石墨載板主要改進(jìn)的地方為:1、改變了鉤針的距離位置，以前的鉤針距離位置只可以承載156-156的硅片，本發(fā)明重新設(shè)計(jì)了兩個(gè)鉤針之間的距離位置，從而可以使石墨承載多種規(guī)格的硅片；2、改變了檔針的距離位置，以前的檔針距離位置只可以使156-156的硅片在做工藝時(shí)不從載板上掉下來，本發(fā)明重新設(shè)計(jì)了兩個(gè)檔針之間的距離位置，可以更好的配合鉤針的改變，防止多規(guī)格的硅片從石墨載板上掉下來。
[0008]本發(fā)明提供的裝置克服了現(xiàn)有技術(shù)的不足，通過重新設(shè)計(jì)鉤針和檔針的距離，在不改變機(jī)器的情況下，實(shí)現(xiàn)了多種規(guī)格硅片的承載。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為現(xiàn)有石墨載板結(jié)構(gòu)不意圖；
[0010]圖2為檔針示意圖；
[0011]圖3為鉤針示意圖；
[0012]圖4為現(xiàn)有石墨載板上每格硅片承載區(qū)鉤針、檔針設(shè)置示意圖；
[0013]圖5為實(shí)施例1中提供的石墨載板上每格硅片承載區(qū)鉤針、檔針設(shè)置示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014]為使本發(fā)明更明顯易懂，茲以幾個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，并配合附圖作詳細(xì)說明如下。
[0015]實(shí)施例1
[0016]本發(fā)明提供的新型石墨載板的結(jié)構(gòu)，主要改變了每格硅片承載區(qū)的每條邊上的兩個(gè)鉤針I(yè)/檔針2之間的距離位置，將每條邊上的兩個(gè)鉤針I(yè)/檔針2之間的距離改為b =75mm，如圖5所示。鉤針和檔針的厚度均為1.0mm，橫梁和豎梁上卡槽的深度為0.8mm、寬度為 1.1mnin
[0017]經(jīng)過改裝后的石墨載板可以承載多種規(guī)格多晶硅片，例如156-156，156-145，156-130，156-125，156-104等。常見的多晶硅片中，寬度最小的即為104mm，工程試驗(yàn)表明，對(duì)于寬度為104mm的多晶硅片，一條邊上的兩個(gè)鉤針之間的距離至少為75mm，才能防止硅片從石墨載板上掉下來。按照工程習(xí)慣及整體美觀性要求，將一條邊上的兩個(gè)檔針之間的距離也設(shè)為75mm。
[0018]實(shí)施例2
[0019]本發(fā)明提供的新型石墨載板的結(jié)構(gòu)，主要改變了每格硅片承載區(qū)的每條邊上的兩個(gè)鉤針I(yè)/檔針2之間的距離位置，將每條邊上的兩個(gè)鉤針I(yè)/檔針2之間的距離改為98mm。經(jīng)過改裝后的石墨載板不僅可以承載156-156規(guī)格多晶硅片，還可以承載156-145規(guī)格多晶娃片O
【權(quán)利要求】
1.一種用于板式PECVD的石墨載板，其上設(shè)有多格硅片承載區(qū)，每格硅片承載區(qū)為156mmX 156mm的正方形結(jié)構(gòu)，每格硅片承載區(qū)的兩個(gè)豎邊上各設(shè)有2個(gè)鉤針(I)、兩個(gè)橫邊上各設(shè)有2個(gè)檔針(2)，鉤針(1)、檔針(2)分別沿各邊中點(diǎn)對(duì)稱設(shè)置，其特征在于:每條邊上的兩個(gè)鉤針(I) /檔針⑵之間的距離為75?98mm。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK104465465SQ201410797561
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年12月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月19日
【發(fā)明者】王利鋒 申請(qǐng)人:百力達(dá)太陽能股份有限公司