一種用于拋光的多路徑融合方法
【專利摘要】本發(fā)明一種用于拋光的多路徑融合方法，屬于光學加工【技術(shù)領(lǐng)域】，解決了現(xiàn)有多路徑加工表面不均勻、加工痕跡殘留的技術(shù)問題；首先確定兩相鄰路徑的分界線并將其擴充為一定區(qū)域；然后對該交界區(qū)域內(nèi)的面形進行分割；將分割后的面形分別歸于左右區(qū)域，并重新計算兩區(qū)域的路徑與面形；根據(jù)兩區(qū)域的路徑與面形分別計算駐留時間；控制機床分別按兩路徑進行加工；重復以上過程直至加工結(jié)果滿足要求。本方法計算簡單、處理速度快，加工效果好，可充分利用不同路徑的優(yōu)點進行綜合加工。
【專利說明】一種用于拋光的多路徑融合方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于光學加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種用于拋光的多路徑融合方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 在光學加工中，通常機床帶動拋光模沿一定的路徑來對光學元件表面進行加工。 目前常用的加工路徑有螺旋路徑、光柵掃描路徑、同心路徑以及在此基礎(chǔ)上衍生的其他路 徑等。但是每種路徑都有其各自的優(yōu)缺點，如螺旋路徑加工效率較高，但是在中心容易產(chǎn)生 奇點，給后續(xù)的加工帶來困難；而光柵掃描路徑則在整個表面范圍內(nèi)加工較均勻，但是加工 效率較低。這樣就產(chǎn)生了多種路徑相結(jié)合使用的需求。然而，簡單的路徑結(jié)合效果并不能 讓人滿意，如中心區(qū)域使用一種路徑，而邊緣區(qū)域使用另一種路徑，則由于兩種路徑本身的 差別，在路徑的結(jié)合區(qū)域會產(chǎn)生比較明顯的結(jié)合痕跡，而這種結(jié)合痕跡在頻段上往往屬于 中頻范圍，在后續(xù)加工中難以完全去除。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的是提供一種用于拋光的多路徑融合方法，解決現(xiàn)有技術(shù)多路徑結(jié)合 痕跡難以完全去除，加工表面不均勻的技術(shù)問題。
[0004] 本發(fā)明一種用于拋光的多路徑融合方法，具體步驟如下：
[0005] 步驟1 :確定多路徑中任意兩條相鄰路徑P和路徑Q的邊界線；
[0006] 步驟2 :將兩條相鄰路徑P和路徑Q的臨界線進行擴充，擴充的寬度為H，擴充后的 邊界線分別為邊界線A和邊界線B，邊界線A在路徑P的區(qū)域內(nèi)，邊界線B在路徑Q的區(qū)域 內(nèi)；
[0007] 步驟3 :將擴充后的邊界線A和邊界線B之間的面形進行分割，在路徑P的區(qū)域這 側(cè)的面形為M，在路徑Q的區(qū)域這側(cè)的面形為N;
[0008] 步驟4 :將面形M與路徑P所在區(qū)域的面形合并，得到路徑P所在區(qū)域的總面形α; 將面形N與路徑Q所在區(qū)域的面形合并，得到路徑Q所在區(qū)域的總面形β;
[0009] 步驟5 :在合并后的面形區(qū)域內(nèi)重新生成路徑P和路徑Q，路徑P延拓至邊界線B 處，路徑Q延拓至邊界線A處；
[0010] 步驟6 :根據(jù)重新生成的路徑P以及路徑P所在區(qū)域的總面形α，計算在路徑P中 駐留點的駐留時間；根據(jù)重新生成的路徑Q以及路徑Q所在區(qū)域的總面形β，計算在路徑 Q中駐留點的駐留時間；
[0011] 步驟7 :根據(jù)在路徑P和在路徑Q中駐留點的駐留時間，控制機床分別沿重新生成 的路徑P和路徑Q運動，以修正元件的面形誤差；
[0012] 步驟8:檢測修正后的元件的面形誤差，重復步驟1至步驟7,直到元件面形誤差滿 足加工要求；
[0013] 對多路徑中的任意兩相鄰路徑的融合重復步驟1至步驟8。
[0014] 所述多路徑中任意兩相鄰路徑的面形分割通過如下方法進行分割：
[0015]

【權(quán)利要求】
1. 一種用于拋光的多路徑融合方法，其特征在于，具體步驟如下： 步驟1 :確定多路徑中任意兩條相鄰路徑P和路徑Q的邊界線； 步驟2 :將兩條相鄰路徑P和路徑Q的臨界線進行擴充，擴充的寬度為H，擴充后的邊界 線分別為邊界線A和邊界線B，邊界線A在路徑P的區(qū)域內(nèi)，邊界線B在路徑Q的區(qū)域內(nèi)； 步驟3 :將擴充后的邊界線A和邊界線B之間的面形進行分割，在路徑P的區(qū)域這側(cè)的 面形為M，在路徑Q的區(qū)域這側(cè)的面形為N ; 步驟4:將面形M與路徑P所在區(qū)域的面形合并，得到路徑P所在區(qū)域的總面形a ;將 面形N與路徑Q所在區(qū)域的面形合并，得到路徑Q所在區(qū)域的總面形0 ; 步驟5 :在合并后的面形區(qū)域內(nèi)重新生成路徑P和路徑Q，路徑P延拓至邊界線B處，路 徑Q延拓至邊界線A處； 步驟6 :根據(jù)重新生成的路徑P以及路徑P所在區(qū)域的總面形a，計算在路徑P中駐 留點的駐留時間；根據(jù)重新生成的路徑Q以及路徑Q所在區(qū)域的總面形0，計算在路徑Q 中駐留點的駐留時間； 步驟7 :根據(jù)在路徑P和在路徑Q中駐留點的駐留時間，控制機床分別沿重新生成的路 徑P和路徑Q運動，以修正元件的面形誤差； 步驟8 :檢測修正后的元件的面形誤差，重復步驟1至步驟7,直到元件面形誤差滿足加 工要求。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于拋光的多路徑融合方法，其特征在于，對多路徑中 的任意兩相鄰路徑的融合重復步驟1至步驟8。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于拋光的多路徑融合方法，其特征在于，所述多路徑 中任意兩相鄰路徑的面形分割通過如下方法進行分割：
其中，1為在邊界線A和邊界線B之間的任意一點到邊界線A的距離；F (1)為距離邊界 線A為1的點處的分割后的面形值；F(A)為A邊界處的面形值；〇為分割參數(shù)。
【文檔編號】B24B13/06GK104493665SQ201410838054
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年12月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月30日
【發(fā)明者】王紹志, 劉健, 隋永新, 楊懷江 申請人:中國科學院長春光學精密機械與物理研究所