過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實用新型提供一種過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，該過濾裝置包括：N個過濾器組，各過濾器組包括M個過濾器與一個開關(guān)，各過濾器組并聯(lián)連接，其中，N≥2，M≥1，且N、M為整數(shù)。由于各過濾器組具有一開關(guān)且各過濾器組相互并聯(lián)，使得各過濾器組相互獨立，實際使用過程中，可通過開關(guān)的開啟與關(guān)閉對過濾器組的工作狀態(tài)進行控制，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關(guān)打開與閉合即可實現(xiàn)過濾器的切換，從而節(jié)約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的。
【專利說明】過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導體制造業(yè)中的過濾技術(shù)，尤其涉及一種過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,半導體技術(shù)中生產(chǎn)發(fā)光二極管(Light-emitting diode,LED)的設(shè)備主要是金屬有機化學氣相沉積(Metal-organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD)設(shè)備,MOCVD設(shè)備一般由德國愛思強(AIXTR0N)、美國維易科(VEECO)等國際廠商提供。
[0003]為避免廢棄物對真空設(shè)備的損壞并維持反應(yīng)腔壓力的穩(wěn)定，需在MOCVD設(shè)備中設(shè)置過濾裝置，由過濾裝置對反應(yīng)腔中產(chǎn)生的固體廢棄物進行過濾，避免固體廢棄物到達真空泵，對真空泵造成損壞從而影響反應(yīng)腔壓力。
[0004]然而，過濾裝置具有一定的生命周期，到達生命周期后需要更換，每次更換需要大量的時間，使得MOCVD設(shè)備生成效率低、LED造價成本高。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型提供一種過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，通過降低過濾裝置的更換頻率，實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的。
[0006]第一個方面，本實用新型提供一種過濾裝置，包括:
[0007]N個過濾器組，各所述過濾器組包括M個過濾器與一個開關(guān)，各所述過濾器組并聯(lián)連接，其中，N≥2，M≥1，且N、M為整數(shù)。
[0008]在第一個方面的第一種可能的實現(xiàn)方式中，當M=I時，各所述過濾器組中的過濾器與所述開關(guān)串聯(lián)連接。
[0009]在第一個方面的第二種可能的實現(xiàn)方式中，當M > 2時，各所述過濾器組中的各過濾器串聯(lián)連接，所述開關(guān)與串聯(lián)連接的各所述過濾器串聯(lián)連接；或者，
[0010]當M >2時，各所述過濾器組中的各過濾器并聯(lián)連接，所述開關(guān)與并聯(lián)連接的各所述過濾器串聯(lián)連接。
[0011]結(jié)合第一個方面、第一個方面的第一種或二種可能的實現(xiàn)方式，在第一個方面的第三種可能的實現(xiàn)方式中，所述N=4，所述M=I。
[0012]第二個方面，本實用新型實施例提供一種金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，其包括如上第一個方面、第一個方面的第一種、第二種或第三種所述的過濾裝置。
[0013]本實用新型提供的過濾裝置及金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，各過濾器組具有一開關(guān)且各過濾器組相互并聯(lián)，使得各過濾器組相互獨立，實際使用過程中，可通過開關(guān)的開啟與關(guān)閉對過濾器組的工作狀態(tài)進行控制，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關(guān)打開與閉合即可實現(xiàn)過濾器的切換，從而節(jié)約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型提供的一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為本實用新型提供的再一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3為本實用新型提供的又一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]為了更清楚的說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中多需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見的，下面描寫的附圖僅是本實用新型的一些實例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1為本實用新型提供的一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本實施例提供的過濾裝置包括N組過濾器，即N個過濾器組，第一過濾器組中包括串聯(lián)連接的一個開關(guān)與一個過濾器，第二過濾器組中包括串聯(lián)連接的一個開關(guān)與一個過濾器，第N過濾器組中包括串聯(lián)連接的一個開關(guān)與M個過濾器，其中，M個過濾器相互并聯(lián)連接。
[0019]請參照圖1，由于各個過濾器組并聯(lián)連接，各過濾器組相互獨立。因此，可通過開關(guān)的打開與閉合控制各過濾器組的工作狀態(tài)。例如，打開第一過濾器組的開關(guān)，而閉合其他過濾器組的開關(guān)，此時，第一過濾器組工作，其他過濾器組處于備份狀態(tài)，當?shù)谝贿^濾器組堵塞后，可切換到第二過濾器組或其他過濾器組。在實際應(yīng)用中，可根據(jù)需求設(shè)置每個過濾器組中過濾器的數(shù)量和每次處于工作狀態(tài)的過濾器組的數(shù)量，例如，每次使用兩個過濾器，其余的過濾器組的開關(guān)保持閉合狀態(tài)，從而與主管道隔離。當需要更換過濾器時將未使用過的過濾器組開關(guān)打開，使其與主管道導通；將使用過的過濾器組開關(guān)關(guān)閉，使其與主管道隔離。如此一來，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關(guān)打開與閉合即可實現(xiàn)過濾器的切換，從而節(jié)約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的。
[0020]舉例來說，上述圖1實施例中，第一過濾器組中的串聯(lián)連接的過濾器也可以是多個，同理，第二過濾器組中的過濾器的數(shù)量也可以為多個。另外，第N過濾器組中的M個過濾器，也可以部分串聯(lián)后再與其他過濾器并聯(lián)連接，具體的，可參見圖2。
[0021]圖2為本實用新型提供的再一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。本實施例與上述圖1實施例的差異之處在于:本實施例中，第N過濾器組中的M個過濾器，假設(shè)以M=3為例，其中兩個過濾器串聯(lián)連接后與第三個過濾器并聯(lián)。
[0022]本實用新型實施例提供的過濾裝置，各過濾器組具有一開關(guān)且各過濾器組相互并聯(lián)，使得各過濾器組相互獨立，實際使用過程中，可通過開關(guān)的開啟與關(guān)閉對過濾器組的工作狀態(tài)進行控制，無需對整個過濾裝置進行替換，而是僅通過簡單的開關(guān)打開與閉合即可實現(xiàn)過濾器的切換，從而節(jié)約時間，降低過濾裝置的更換頻率，實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的。
[0023]圖3為本實用新型提供的又一個過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，作為本實用新型的優(yōu)選方案，本實施例提供的過濾裝置包括四個過濾器組，各過濾器組包括一個開關(guān)與一個過濾器。在實際的使用過程中，可以將其中的第一過濾器組與第二過濾器組的開關(guān)開啟，將第三過濾器組與第四過濾器組的開關(guān)閉合，即將第三過濾器組與第四過濾器組作為備用過濾器組。當?shù)谝贿^濾器組與第二過濾器組發(fā)生故障，如堵塞后，可開啟第三過濾器組與第四過濾器組的開關(guān)。該過程中，無需對過濾裝置進行更換，節(jié)約時間從而實現(xiàn)提高MOCVD設(shè)備生產(chǎn)效率、降低LED造價成本的目的。
[0024]另外，在上述過濾裝置的基礎(chǔ)上，本實用新型還提供一種MOCVD設(shè)備，其包括如上述圖1?圖3任一所示的過濾裝置，具體實現(xiàn)過程此處不再贅述。
[0025]最后應(yīng)說明的是:以上各實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述各實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分或者全部技術(shù)特征進行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種過濾裝置，其特征在于，包括: N個過濾器組，各所述過濾器組包括M個過濾器與一個開關(guān)，各所述過濾器組并聯(lián)連接，其中，N≥2，M≥1，且N、M為整數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，當M=I時，各所述過濾器組中的過濾器與所述開關(guān)串聯(lián)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，當M≥ 2時，各所述過濾器組中的各過濾器串聯(lián)連接，所述開關(guān)與串聯(lián)連接的各所述過濾器串聯(lián)連接；或者， 當M ≥ 2時，各所述過濾器組中的各過濾器并聯(lián)連接，所述開關(guān)與并聯(lián)連接的各所述過濾器串聯(lián)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項所述的過濾裝置，其特征在于，所述N=4，所述M=I。
5.一種金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1~4任一項所述的過濾裝置。
【文檔編號】C23C16/44GK203668511SQ201420014401
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2014年1月9日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月9日
【發(fā)明者】焦建軍, 鄭遠志, 周德保, 楊東, 陳向東, 康建, 梁旭東 申請人:圓融光電科技有限公司