可持續(xù)供應(yīng)mo源的裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置，所述包括有MO源氣體儲(chǔ)罐、出氣管、高純載氣管，所述MO源氣體儲(chǔ)罐上連接有出氣管，所述出氣管與高純載氣管的末端相連通后連接在MOCVD設(shè)備上，所述MO源氣體儲(chǔ)罐設(shè)置在加熱包里，所述MO源氣體儲(chǔ)罐上設(shè)置有壓力溫度探頭；將MO源與高純載氣混合到需要的配比濃度，然后加壓存儲(chǔ)在高壓容器中，高壓容器放置在在較高溫度，這樣MO源全部氣化并且不會(huì)分解溫度，最后通過(guò)管道直接將混合氣輸送到MOCVD設(shè)備，通過(guò)質(zhì)量流量控制器控制使用量，當(dāng)壓力溫度探頭檢測(cè)到壓力下降到報(bào)警點(diǎn)時(shí)，會(huì)自動(dòng)切換到備用MO源氣體存儲(chǔ)罐進(jìn)行工作，解決了MO源持續(xù)供應(yīng)麻煩的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種充裝裝置，尤其一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] M0源即高純金屬有機(jī)化合物，或叫化合物半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料，是先進(jìn)的金屬有機(jī) 化學(xué)氣相沉積（簡(jiǎn)稱(chēng)M0CVD)等技術(shù)生長(zhǎng)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的支撐材料，其優(yōu)異的電學(xué)、光 學(xué)和磁學(xué)等性能，可將半導(dǎo)體和集成電路推向更高的頻率、更快的速度、更低的噪音和更 大的功率。半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r是衡量一個(gè)國(guó)家電子信息技術(shù)發(fā)展水平的 重要標(biāo)志。在我國(guó)M0源已被大量用于LED、太陽(yáng)能電池、航空航天技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域，是一 項(xiàng)高新材料生產(chǎn)技術(shù)。M0源在M0CVD設(shè)備中使用非常特殊，物料在使用時(shí)需要保持恒溫 (±0. 1°C)，恒壓（±ltorr)，穩(wěn)定氣體流量（±lsccm)，M0源存儲(chǔ)在鋼瓶(一般稱(chēng)為鼓泡器） 中，惰性氣體例如氫氣或氮?dú)?，通過(guò)深入鋼瓶?jī)?nèi)部的管道進(jìn)入鼓泡器中，經(jīng)過(guò)M0源時(shí)產(chǎn)生 鼓泡效應(yīng)，M0源在鼓泡過(guò)程中大量蒸發(fā)，形成M0源的飽和蒸汽與惰性氣體混合輸送出來(lái)。
[0003] 現(xiàn)有供應(yīng)M0源的技術(shù)存在以下缺點(diǎn)：1. M0源的可燃性，遇到空氣會(huì)自燃，在鼓泡 器拆裝是要充分對(duì)管道系統(tǒng)進(jìn)行置換，對(duì)管道接頭進(jìn)行氦質(zhì)譜簡(jiǎn)陋，操作過(guò)程繁瑣，時(shí)間 長(zhǎng)，很容易因?yàn)椴僮鞑划?dāng)而引起火災(zāi)；2.更好新的鼓泡器后，鼓泡器和恒溫水浴槽需要進(jìn) 行熱交換來(lái)達(dá)到恒定溫度，所需熱交換的進(jìn)行時(shí)間較長(zhǎng)；3.鼓泡器中M0源沒(méi)有計(jì)量和監(jiān)控 設(shè)備，無(wú)法準(zhǔn)確判斷殘余量。因此，解決M0源持續(xù)供應(yīng)麻煩、二次供應(yīng)所需時(shí)間較長(zhǎng)、無(wú)法 準(zhǔn)確判斷殘余量、易引發(fā)火災(zāi)的問(wèn)題尤為重要。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型提供了一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，通過(guò)設(shè)置有加熱包和M0源氣體 儲(chǔ)罐來(lái)代替鼓泡器和恒溫浴水槽，將M0源于高純載氣混合到需要的配比濃度，通過(guò)管道直 接將混合氣輸送到M0CVD設(shè)備，以解決解決M0源供應(yīng)麻煩、二次供應(yīng)所需時(shí)間較長(zhǎng)、無(wú)法準(zhǔn) 確判斷殘余量、易引發(fā)火災(zāi)的問(wèn)題。
[0005] 為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，所述包括有M0 源氣體儲(chǔ)罐、出氣管、高純載氣管，所述M0源氣體儲(chǔ)罐上連接有出氣管，所述出氣管與高純 載氣管的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲(chǔ)罐設(shè)置在加熱包里，所述M0 源氣體儲(chǔ)罐上設(shè)置有壓力溫度探頭。
[0006] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述M0源氣體儲(chǔ)罐的右側(cè)設(shè)置有備用M0源氣體儲(chǔ)罐，防止M0 源氣體儲(chǔ)罐中M0源不夠無(wú)法工作。
[0007] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述出氣管和高純載氣管的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器，控 制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用量。
[0008] 進(jìn)一步改進(jìn)在于：所述出氣管上設(shè)置有減壓閥。
[0009] 本實(shí)用新型的有益效果是：1. M0源濃度根據(jù)客戶(hù)要求直接配比，使用時(shí)不存在濃 度變化問(wèn)題。
[0010] 2.對(duì)于一些固體M0源，也同樣適用本方法。
[0011] 3. M0CVD設(shè)備節(jié)省了壓力控制器、恒溫水浴槽及鼓泡器，設(shè)備成本下降，設(shè)備內(nèi)部 空間增加。
[0012] 4.通過(guò)直接更換儲(chǔ)存氣瓶，完全能夠達(dá)到穩(wěn)定供應(yīng)目的。
[0013] 5.通過(guò)對(duì)儲(chǔ)罐的壓力進(jìn)行監(jiān)控能夠有效監(jiān)測(cè)M0源狀態(tài)。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014] 圖1是本實(shí)用新型的示意圖。
[0015] 其中：1-M0源氣體儲(chǔ)罐，2-出氣管，3-高純載氣管，4-加熱包，5-壓力溫度探頭， 6_質(zhì)量流量控制器，7-減壓閥，8-高壓容器。

【具體實(shí)施方式】
[0016] 為了加深對(duì)本實(shí)用新型的理解，下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述， 該實(shí)施例僅用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限定。
[0017] 如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，所述包括有M0源氣體 儲(chǔ)罐1、出氣管2、高純載氣管3,所述M0源氣體儲(chǔ)罐1上連接有出氣管2,所述出氣管2與 高純載氣管3的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲(chǔ)罐1設(shè)置在加熱包4 里，所述M0源氣體儲(chǔ)罐1上設(shè)置有壓力溫度探頭5。所述M0源氣體儲(chǔ)罐1的右側(cè)設(shè)置有備 用M0源氣體儲(chǔ)罐，防止M0源氣體儲(chǔ)罐中M0源不夠無(wú)法工作。所述出氣管2和高純載氣管 3的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器6,控制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用量。所述出 氣管2上設(shè)置有減壓閥7,用來(lái)控制出氣管2中的壓力。
[0018] 將M0源與高純載氣混合到需要的配比濃度，然后加壓存儲(chǔ)在高壓容器8中，高壓 容器8放置在在較高溫度，這樣M0源全部氣化并且不會(huì)分解溫度，最后通過(guò)管道直接將混 合氣輸送到M0CVD設(shè)備，通過(guò)質(zhì)量流量控制器6控制使用量。加熱包4用來(lái)控制溫度和加 熱，出氣管2和高純載氣管3具有保溫的作用。當(dāng)壓力溫度探頭5檢測(cè)到壓力下降到報(bào)警 點(diǎn)時(shí)，會(huì)自動(dòng)切換到備用M0源氣體存儲(chǔ)罐進(jìn)行工作。所述M0源氣體儲(chǔ)罐1可同時(shí)對(duì)三組 M0CVD設(shè)備進(jìn)行輸氣。
【權(quán)利要求】
1. 一種可持續(xù)供應(yīng)MO源的裝置，其特征在于：包括有MO源氣體儲(chǔ)罐（1 )、出氣管（2)、 高純載氣管（3)，所述M0源氣體儲(chǔ)罐（1)上連接有出氣管（2)，所述出氣管（2)與高純載氣 管（3 )的末端相連通后連接在M0CVD設(shè)備上，所述M0源氣體儲(chǔ)罐（1)設(shè)置在加熱包（4 )里， 所述M0源氣體儲(chǔ)罐（1)上設(shè)置有壓力溫度探頭（5 )。
2. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述M0源氣體儲(chǔ)罐（1) 的右側(cè)設(shè)置有備用M0源氣體儲(chǔ)罐，防止M0源氣體儲(chǔ)罐中M0源不夠無(wú)法工作。
3. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述出氣管（2)和高純 載氣管（3)的末端上設(shè)置有質(zhì)量流量控制器（6)，控制混合氣體輸送到M0CVD設(shè)備中的使用 量。
4. 如權(quán)利要求1所述的可持續(xù)供應(yīng)M0源的裝置，其特征在于：所述出氣管（2)上設(shè)置 有減壓閥（7)。
【文檔編號(hào)】C23C16/455GK203846102SQ201420204366
【公開(kāi)日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月25日
【發(fā)明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申請(qǐng)人:安徽亞格盛電子新材料有限公司