一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種噴淋管可以擺動(dòng)和伸縮的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，包括：安裝座，安裝座中活動(dòng)穿設(shè)有進(jìn)水管，進(jìn)水管的頂端設(shè)置有彎管接頭，彎管接頭的另一端通過伸縮調(diào)節(jié)密封機(jī)構(gòu)設(shè)置有噴淋管，使得噴淋管可以在彎管接頭中伸縮而不漏水，并且，噴淋管上設(shè)置有若干噴淋頭；所述的安裝座包括：水平布置的安裝板、以及設(shè)置有安裝板底面上的至少一塊垂直方向布置的立板，其中的一塊立板上設(shè)置有減速電機(jī)，減速電機(jī)的輸出軸上設(shè)置有主動(dòng)齒輪，所述的進(jìn)水管活動(dòng)穿設(shè)在安裝板中，進(jìn)水管上設(shè)置有與主動(dòng)齒輪相配合的從動(dòng)齒輪。該清洗裝置尤其適用于加裝在晶片拋光機(jī)上。
【專利說明】 —種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到一種清洗裝置機(jī)，尤其涉及到一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體行業(yè)中，通常要對(duì)晶片進(jìn)行拋光處理。目前，在對(duì)晶片進(jìn)行拋光處理之后，需要移送到專用的清洗設(shè)備進(jìn)行清洗。事實(shí)證明，由于晶片在拋光過程中，其表面會(huì)附著很多細(xì)小顆粒，這些細(xì)小顆粒在從拋光機(jī)轉(zhuǎn)送到清洗機(jī)的過程中會(huì)發(fā)生氧化反應(yīng)，使得晶體表面的質(zhì)量大大降低，從而影響到晶片最終的成品率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種噴淋管可以擺動(dòng)和伸縮的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為:一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，包括:安裝座以及沿垂直方向布置的進(jìn)水管和沿水平方向布置的噴淋管，噴淋管的頂壁上穿設(shè)有若干個(gè)等間距布置的噴淋頭，進(jìn)水管活動(dòng)穿設(shè)在安裝座中，進(jìn)水管的頂端通過彎管接頭與噴淋管的一端相連，噴淋管的另一端的端口中設(shè)置有堵頭，所述的彎管接頭與噴淋管之間的連接方式為:所述的噴淋管上沿周向?qū)ΨQ設(shè)置有一對(duì)水平布置的定位座，定位座在靠近彎管接頭一側(cè)設(shè)置有與噴淋管相平行的定位桿，定位桿上設(shè)置有鎖緊螺紋，所述的彎管接頭在靠近噴淋管的一端設(shè)置有與鎖定桿相配合的定位法蘭，定位法蘭的內(nèi)壁上開設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設(shè)置有密封圈，噴淋管穿設(shè)在定位法蘭和彎管接頭中，定位法蘭上還設(shè)置有與定位桿相配合的定位通孔，定位桿穿設(shè)在相應(yīng)的定位通孔中，并在定位法蘭的兩側(cè)分別設(shè)置有定位螺母；所述的安裝座包括:水平布置的安裝板以及設(shè)置在安裝板底面上的至少一塊垂直方向布置的立板，其中的一塊立板上設(shè)置有減速電機(jī)，減速電機(jī)的輸出軸上設(shè)置有主動(dòng)齒輪，所述的進(jìn)水管活動(dòng)穿設(shè)在安裝板中，進(jìn)水管上設(shè)置有與主動(dòng)齒輪相配合的從動(dòng)齒輪。
[0005]作為一種優(yōu)選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置中，所述的噴淋頭通過噴淋閥設(shè)置在噴淋管上。
[0006]作為一種優(yōu)選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置中，所述的噴淋閥采用電磁閥。
[0007]作為一種優(yōu)選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置中，所述的進(jìn)水管與安裝板的安裝結(jié)構(gòu)包括:穿設(shè)在安裝板中的軸承座，所述的軸承座中自下而上依次設(shè)置有與進(jìn)水管過盈配合的軸承、以及與進(jìn)水管間隙配合的隔套，隔套與進(jìn)水管和軸承座之間分別設(shè)置有密封圈。
[0008]作為一種優(yōu)選方案，在所述的可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置中，所述的立板至少有四塊，所有的立板與安裝板圍成向下開口的箱體。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:由于本實(shí)用新型中的噴淋管可以在彎管接頭中伸縮，從而可以根據(jù)拋光時(shí)晶片所在的位置來調(diào)整噴淋頭，由于所述的一對(duì)定位座沿水平方向布置，即該對(duì)定位座位于噴淋管的前、后側(cè)，這樣在調(diào)節(jié)定位桿時(shí)就不會(huì)碰到彎管接頭，從而大大提高了調(diào)節(jié)范圍；此外，由于噴淋管還可以繞著進(jìn)水管轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣就可以對(duì)眾多晶片進(jìn)行掃描式清洗，大大提高了清洗的效果；此外，由于還設(shè)置了噴淋閥，使用時(shí)可以將不用的噴淋頭關(guān)掉，以達(dá)到節(jié)約用水的目的，降低使用成本；另外，由于安裝板與所有的立板圍成向下開口的箱體，從而很好地保護(hù)了置于該箱體中的零部件，使其免于淋水。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型所述清洗裝置的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖之一。
[0011]圖2是本實(shí)用新型所述清洗裝置的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖之二。
[0012]圖1至圖2中的附圖標(biāo)記:1、堵頭，2、彎管接頭，21、定位法蘭，3、噴淋管，31、定位座，32、定位桿，321、鎖緊螺紋，33、定位螺母，4、噴淋頭，5、噴淋閥，6、進(jìn)水管，7、隔套，8、軸承座，9、安裝板，91、立板，93、角座，10、減速電機(jī)，11、主動(dòng)齒輪，12、從動(dòng)齒輪，13、軸承，16、第一緩沖墊，17、第二緩沖墊。

【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖，詳細(xì)描述本實(shí)用新型所述的一種用于晶片拋光機(jī)的清洗裝置的具體實(shí)施方案:
[0014]如圖1所示，一種用于晶片拋光機(jī)的清洗裝置，包括:由安裝板9和設(shè)置在安裝板9底面上的四塊立板91構(gòu)成的向下開口的箱體式安裝座以及垂直方向布置的進(jìn)水管6和水平方向布置的噴淋管3，噴淋管3的頂壁上穿設(shè)有若干個(gè)等間距布置的噴淋閥5，每個(gè)噴淋閥5上連接有一個(gè)噴淋頭4，所述的進(jìn)水管6活動(dòng)穿設(shè)在安裝板9中，具體設(shè)置方式為:安裝板9中穿設(shè)有軸承座8,軸承座8中自下而上依次設(shè)置有與進(jìn)水管6過盈配合的軸承13、以及與進(jìn)水管6間隙配合的隔套7，隔套7的內(nèi)壁上嵌設(shè)有兩道用于與進(jìn)水管6密封的密封圈，軸承座8的內(nèi)壁上嵌設(shè)有一道用于與隔套7密封的密封圈；所述的進(jìn)水管6的頂端通過彎管接頭2與噴淋管3的一端相連，如圖2所示，噴淋管3的另一端的端口中設(shè)置有堵頭1，所述的彎管接頭2與噴淋管3之間的連接方式為:所述的噴淋管3沿周向?qū)ΨQ設(shè)置有一對(duì)水平布置的定位座31，即這一對(duì)定位座31對(duì)稱設(shè)置在噴淋管3的前、后側(cè)，定位座31在靠近彎管接頭2的一側(cè)設(shè)置有與噴淋管3相平行的定位桿32，定位桿32上設(shè)置有鎖緊螺紋321，所述的彎管接頭2在靠近噴淋管3的一端設(shè)置有與鎖定桿32相配合的定位法蘭21，如圖2所示，定位法蘭21的內(nèi)壁上開設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設(shè)置有密封圈，噴淋管3穿設(shè)在定位法蘭2和彎管接頭2中，定位法蘭21上還設(shè)置有與定位桿32相配合的定位通孔，定位桿32穿設(shè)在相應(yīng)的定位通孔中，并在定位法蘭21的兩側(cè)分別設(shè)置有定位螺母18 ;在所述的箱體式安裝座中，右側(cè)的一塊立板91通過角座93設(shè)置有減速電機(jī)10，減速電機(jī)10的輸出軸上設(shè)置有主動(dòng)齒輪11，進(jìn)水管6上設(shè)置有與主動(dòng)齒輪11相配合的從動(dòng)齒輪12 ;為了減小減速電機(jī)10轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的震動(dòng)，角座93的豎板與減速電機(jī)10之間設(shè)置有第一緩沖墊16，角座93的橫板與減速電機(jī)10之間設(shè)置有第二緩沖墊17。
[0015]在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，所述的噴淋閥5可以采用電磁閥；并將箱式安裝座固定在拋光機(jī)上。
[0016]實(shí)際使用時(shí)，一方面可以通過相應(yīng)的噴淋閥5將不用的噴淋頭4關(guān)掉，另一方面可以根據(jù)拋光時(shí)晶片所在的位置來調(diào)整噴淋頭4的位置。當(dāng)拋光工序結(jié)束后，啟動(dòng)減速電機(jī)10，通過控制其正反轉(zhuǎn)，使得噴淋管3繞著進(jìn)水管6來回?cái)[動(dòng)，對(duì)拋光后的晶片及時(shí)進(jìn)行清洗。
[0017]綜上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本實(shí)用新型實(shí)施的范圍，凡依本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所作的均等變化與修飾，均應(yīng)包括在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，包括:安裝座以及沿垂直方向布置的進(jìn)水管和沿水平方向布置的噴淋管，噴淋管的頂壁上穿設(shè)有若干個(gè)等間距布置的噴淋頭，進(jìn)水管活動(dòng)穿設(shè)在安裝座中，進(jìn)水管的頂端通過彎管接頭與噴淋管的一端相連，噴淋管的另一端的端口中設(shè)置有堵頭，其特征在于，所述的彎管接頭與噴淋管之間的連接方式為:所述的噴淋管上沿周向?qū)ΨQ設(shè)置有一對(duì)水平布置的定位座，定位座在靠近彎管接頭一側(cè)設(shè)置有與噴淋管相平行的定位桿，定位桿上設(shè)置有鎖緊螺紋，所述的彎管接頭在靠近噴淋管的一端設(shè)置有與鎖定桿相配合的定位法蘭，定位法蘭的內(nèi)壁上開設(shè)有環(huán)形密封槽，環(huán)形密封槽中設(shè)置有密封圈，噴淋管穿設(shè)在定位法蘭和彎管接頭中，定位法蘭上還設(shè)置有與定位桿相配合的定位通孔，定位桿穿設(shè)在相應(yīng)的定位通孔中，并在定位法蘭的兩側(cè)分別設(shè)置有定位螺母；所述的安裝座包括:水平布置的安裝板以及設(shè)置在安裝板底面上的至少一塊垂直方向布置的立板，其中的一塊立板上設(shè)置有減速電機(jī)，減速電機(jī)的輸出軸上設(shè)置有主動(dòng)齒輪，所述的進(jìn)水管活動(dòng)穿設(shè)在安裝板中，進(jìn)水管上設(shè)置有與主動(dòng)齒輪相配合的從動(dòng)齒輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，其特征在于，所述的噴淋頭通過噴淋閥設(shè)置在噴淋管上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，其特征在于，所述的噴淋閥采用電磁閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，其特征在于，所述的進(jìn)水管與安裝板的安裝結(jié)構(gòu)包括:穿設(shè)在安裝板中的軸承座，所述的軸承座中自下而上依次設(shè)置有與進(jìn)水管過盈配合的軸承、以及與進(jìn)水管間隙配合的隔套，隔套與進(jìn)水管和軸承座之間分別設(shè)置有密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的一種可加裝在晶片拋光機(jī)上的清洗裝置，其特征在于，所述的立板至少有四塊，所有的立板與安裝板圍成向下開口的箱體。
【文檔編號(hào)】B24B29/02GK204108799SQ201420567924
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月29日
【發(fā)明者】戚林 申請(qǐng)人:江蘇中科晶元信息材料有限公司