藍寶石襯底加工夾具的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及藍寶石襯底加工設備領域，尤其是一種藍寶石襯底加工夾具，它包括襯底本體和夾具本體，所述夾具本體的頂面向內凹陷形成凹腔，凹腔在夾具本體頂面的輪廓尺寸小于襯底本體的外圍尺寸，夾具本體的頂面的外圍尺寸大于或等于襯底本體的外圍尺寸；在凹腔外圍的夾具本體的頂面上設有密封層；在夾具本體的底部設有與凹腔連通的抽真空管道，在抽真空管道上設有控制閥門。該藍寶石襯底加工夾具，使用夾具本體內的凹腔的設置，對其進行抽真空，可實現(xiàn)襯底本體與夾具本體的連接，而且夾具本體可隨著襯底本體的生產(chǎn)加工的需求自由移動，并裝夾在不同的加工設備上使用，方便了對襯底本體的裝夾，提高對藍寶石襯底的加工效率。
【專利說明】藍寶石襯底加工夾具

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及藍寶石襯底加工設備領域，尤其是一種藍寶石襯底加工夾具。

【背景技術】
[0002]對于制作120芯片來說，襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該采用哪種合適的襯底，需要根據(jù)設備和[￡0器件的要求進行選擇。市面上一般有三種材料可作為襯底:藍寶石(八1203〉、硅(31 ?、碳化硅610。通常，6^基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優(yōu)點:首先，藍寶石襯底的生產(chǎn)技術成熟、器件質量較好；其次，藍寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運用在高溫生長過程中；最后，藍寶石的機械強度高，易于處理和清洗。因此，大多數(shù)工藝一般都以藍寶石作為襯底。
[0003]藍寶石襯底在生產(chǎn)過程中，其在研磨、倒角、拋光等工序中的技術難度較高，尤其是對藍寶石的夾持固定，需要采用復雜的夾具，在每個工序中進行一次或多次裝夾固定，工序復雜，難度大，而且會對藍寶石襯底造成一定影響。
實用新型內容
[0004]本實用新型的目的是為了解決上述技術的不足而提供一種適用于多種加工設備，可移動、拆裝的用于加工過程對藍寶石襯底進行夾持的藍寶石襯底加工夾具。
[0005]為了達到上述目的，本實用新型所設計的藍寶石襯底加工夾具，它包括襯底本體和夾具本體，所述夾具本體的頂面向內凹陷形成凹腔，凹腔在夾具本體頂面的輪廓尺寸小于襯底本體的外圍尺寸，夾具本體的頂面的外圍尺寸大于或等于襯底本體的外圍尺寸；在凹腔外圍的夾具本體的頂面上設有密封層；在夾具本體的底部設有與凹腔連通的抽真空管道，在抽真空管道上設有控制閥門。
[0006]上述技術方案，在對藍寶石襯底進行拋光、打磨等加工前，將襯底本體放置在夾具本體上，并利用襯底本體將凹腔全部覆蓋，同時控制襯底本體的各個部位與密封層的接觸寬度基本保持一直，使用抽真空裝置與抽真空管道連接，將凹腔內部抽至真空或真空度達到一定程度，使凹腔內外的壓強差產(chǎn)生的壓力足以將襯底本體牢固的固定在夾具本體即可，此時關閉控制閥門；即完成了將襯底本體固定在夾具本體上。同時使得襯底本體與夾具本體成為獨立單元，兩者的連接無需借助其他設備；對于襯底本體的后續(xù)打磨、拋光等處理時，均可通過將夾具本體固定在設備上即可完成對襯底本體的固定，更加方便，適合多種設備使用，只需一次裝夾即可完成多項加工處理，更加簡單方便，可提高生產(chǎn)加工效率；而且由于夾具本體的高度必然遠遠大于襯底本體的厚度，增大了與加工設備之間的夾持面，大大提高了夾持的穩(wěn)定性，可降低設備的成本。
[0007]所述的密封層的厚度小于襯底本體。該結構可減少密封層在受到較大壓力時發(fā)生較大的變形，減少其變形幅度，從而使得襯底本體在夾具本體的定位更加精確。
[0008]作為優(yōu)化，在凹腔的內側壁上設有豎直向上的一根或多根支撐柱，支撐柱頂面的處于同一水平面內，且支撐柱的頂面位于密封層的上表面和下表面之間；支撐柱的高度與凹腔內的真空度的配合，實現(xiàn)在襯底本體將密封層下壓至最低處時與支撐柱的頂面接觸，使支撐柱對其產(chǎn)生支撐作用，避免因襯底本體整體受力過大、受力面積較小而造成損壞的情況，從而確保夾具本體對襯底本體夾持的安全性，提高設備的使用性能。
[0009]作為優(yōu)化，所述支撐柱間隔均勻的陣列在凹腔的內壁上。該結構可使得支撐柱均勻的支撐在襯底本體的下表面，從而確保襯底本體的受力更加均勻。
[0010]所述支撐柱為柱狀，該結構使得夾具本體的澆鑄更加方便，方便脫模等工序；或所述支撐柱為上大下小的錐形，該結構可在增加支撐柱與襯底本體接觸面積的同時確保凹腔內支撐柱密度較高時凹腔內的各個區(qū)域的空氣的流通順暢，保證凹腔的各個區(qū)域內的真空度一致；或所述支撐柱為上下兩端尺寸大、中間尺寸小的結構形狀，該結構可保證凹腔內支撐柱密度較高時凹腔內各個區(qū)域的真空度一致，又可提高支撐柱與夾具本體的連接牢固度。
[0011]夾具本體的整個側面或側面的中下部為正多邊形結構，且其邊的數(shù)量為偶數(shù)。該結構可使夾具本體的側面更易于夾持，使其與加工設備連接時更加方便，也便于對齊進行定位，同時可提聞裝夾效率。
[0012]本實用新型所得到的藍寶石襯底加工夾具，使用夾具本體內的凹腔的設置，對其進行抽真空，可實現(xiàn)襯底本體與夾具本體的連接，而且夾具本體可隨著襯底本體的生產(chǎn)加工的需求自由移動，并裝夾在不同的加工設備上使用，方便了對襯底本體的裝夾，提高對藍寶石襯底的加工效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型的結構示意圖。

【具體實施方式】
[0014]下面通過實施例結合附圖對本實用新型作進一步的描述。
[0015]實施例1:
[0016]如圖1所示，本實施例描述的藍寶石襯底加工夾具，它包括襯底本體1和夾具本體2，所述夾具本體2的頂面向內凹陷形成凹腔4，凹腔4在夾具本體2頂面的輪廓尺寸小于襯底本體1的外圍尺寸，夾具本體2的頂面的外圍尺寸大于襯底本體1的外圍尺寸；在凹腔4外圍的夾具本體2的頂面上設有密封層3 ；在夾具本體2的底部設有與凹腔4連通的抽真空管道5，在抽真空管道5上設有控制閥門6。所述的密封層3的厚度小于襯底本體1，在凹腔4的內側壁上間隔均勻的陣列設有豎直向上的多根支撐柱7，支撐柱7頂面的處于同一水平面內，且支撐柱7的頂面位于密封層3的上表面和下表面之間；所述支撐柱7為柱狀；夾具本體2的側面的中下部為正六邊形結構。
【權利要求】
1.一種藍寶石襯底加工夾具,其特征是:它包括襯底本體和夾具本體,所述夾具本體的頂面向內凹陷形成凹腔，凹腔在夾具本體頂面的輪廓尺寸小于襯底本體的外圍尺寸，夾具本體的頂面的外圍尺寸大于或等于襯底本體的外圍尺寸；在凹腔外圍的夾具本體的頂面上設有密封層；在夾具本體的底部設有與凹腔連通的抽真空管道，在抽真空管道上設有控制閥門。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種藍寶石襯底加工夾具，其特征是:所述的密封層的厚度小于襯底本體。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的一種藍寶石襯底加工夾具，其特征是:在凹腔的內側壁上設有豎直向上的一根或多根支撐柱，支撐柱頂面的處于同一水平面內，且支撐柱的頂面位于密封層的上表面和下表面之間。
4.根據(jù)權利要求3所述的一種藍寶石襯底加工夾具，其特征是:所述支撐柱間隔均勻的陣列在凹腔的內壁上。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種藍寶石襯底加工夾具，其特征是:所述支撐柱為柱狀或為上大下小的錐形或為上下兩端尺寸大、中間尺寸小的結構形狀。
6.根據(jù)權利要求4所述的一種藍寶石襯底加工夾具，其特征是:夾具本體的整個側面或側面的中下部為正多邊形結構，且其邊的數(shù)量為偶數(shù)。
【文檔編號】B24B41/06GK204108828SQ201420598750
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月16日 優(yōu)先權日:2014年10月16日
【發(fā)明者】楊國峰, 楊文娟 申請人:杭州世明光電有限公司