一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置。該裝置包括從上至下依次布置的一上料斗、一下料斗、一原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)以及一原材料輸送機(jī)構(gòu)；原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括一上下方向的通道、設(shè)于通道內(nèi)的一旋轉(zhuǎn)軸以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；旋轉(zhuǎn)軸垂直于通道的長(zhǎng)度方向穿設(shè)于通道內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸的直徑與通道的寬度相匹配將通道封堵，旋轉(zhuǎn)軸的周向上設(shè)有至少兩個(gè)凹槽，這些凹槽容積相等，并以旋轉(zhuǎn)軸的軸心為中心呈對(duì)稱分布；并且，在通道內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸的上方設(shè)有一貼著旋轉(zhuǎn)軸表面的遮擋面，該遮擋面偏于通道內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸徑向上的一側(cè)，使旋轉(zhuǎn)軸上部徑向上的一側(cè)敞開(kāi)作為落料口，另一側(cè)被封擋。本實(shí)施例工作可靠，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)成本不高。
【專利說(shuō)明】一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種為半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置連續(xù)精確供應(yīng)原材料的裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]真空氣相沉積形成半導(dǎo)體薄膜是制備薄膜太陽(yáng)能電池組件的關(guān)鍵技術(shù)，尤其在碲化鎘薄膜太陽(yáng)電池領(lǐng)域。在真空沉積裝置中，加熱碲化鎘原材料，使之升華變成氣相物質(zhì)，然后沉積到已經(jīng)預(yù)熱到一定溫度的基板玻璃上形成碲化鎘薄膜。傳統(tǒng)的近空間升華((:33)技術(shù)能制備出高質(zhì)量的碲化鎘半導(dǎo)體薄膜，根據(jù)美國(guó)4207119號(hào)，6444043號(hào)和7220321號(hào)專利的描述，在他們采用的近空間升華過(guò)程中，首先在沉積前將原材料填加到坩禍內(nèi)，填加的量為坩禍可承受的最大容量。為了補(bǔ)充在薄膜沉積中消耗的原材料，就需要向坩禍內(nèi)定期的重復(fù)填加原材料。這一方面增加了生產(chǎn)線運(yùn)行的復(fù)雜性，需要定期，例如每隔7天，終止生產(chǎn)，冷卻坩禍，打開(kāi)真空腔體，填加原材料，然后再啟動(dòng)；另一方面隨著沉積的進(jìn)行，基板玻璃表面與原材料表面之間的距離增加，影響成膜速度和薄膜的晶格結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致薄膜質(zhì)量的不穩(wěn)定性。因此，連續(xù)均勻地向位于真空沉積腔內(nèi)薄膜沉積裝置提供原材料，是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄膜連續(xù)均勻沉積和確保薄膜質(zhì)量的必要條件。
[0003]美國(guó)第一太陽(yáng)能公司在專利8677932中披露了在半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積生產(chǎn)線中的進(jìn)料裝置，但其結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜、重復(fù)操作性差，因此，在大規(guī)模連續(xù)、高速、經(jīng)濟(jì)性地沉積碲化鎘半導(dǎo)體薄膜，制備碲化鎘薄膜太陽(yáng)電池組件中，有必要提供一種更可靠、簡(jiǎn)單和經(jīng)濟(jì)的原材料進(jìn)料裝置，本實(shí)用新型就是為了達(dá)到這一目的。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型目的是提供一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，以可靠、簡(jiǎn)單和經(jīng)濟(jì)的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)連續(xù)及精確的進(jìn)料。
[0005]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的方法技術(shù)方案是:一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，包括從上至下依次布置的一上料斗、一下料斗、一原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)以及一原材料輸送機(jī)構(gòu)；所述上料斗的下端口經(jīng)一第一閥門與下料斗的上端口連通，而所述下料斗的下端口連通原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的上端，所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的下端與原材料輸送機(jī)構(gòu)的進(jìn)口連通，該原材料輸送機(jī)構(gòu)的出口供接半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置；并且，所述上料斗的上端設(shè)放料口，該放料口上設(shè)一蓋板，上料斗上接有抽真空裝置，上料斗還設(shè)一連通外部的放氣口，該放氣口上設(shè)有第二閥門，以此所述上料斗、下料斗、原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)以及原材料輸送機(jī)構(gòu)的內(nèi)腔連通成為一真空腔；
[0006]所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括一上下方向的通道、設(shè)于通道內(nèi)的一旋轉(zhuǎn)軸以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；所述旋轉(zhuǎn)軸垂直于通道的長(zhǎng)度方向穿設(shè)于通道內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸的直徑與通道的寬度相匹配將通道封堵，旋轉(zhuǎn)軸的周向上設(shè)有至少兩個(gè)凹槽，這些凹槽容積相等，并以旋轉(zhuǎn)軸的軸心為中心呈對(duì)稱分布；并且，在通道內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸的上方設(shè)有一貼著旋轉(zhuǎn)軸表面的遮擋面，該遮擋面偏于通道內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸徑向上的一側(cè)，使旋轉(zhuǎn)軸上部徑向上的一側(cè)敞開(kāi)作為落料口，另一側(cè)被封擋。
[0007]上述方案中，所述通道內(nèi)在旋轉(zhuǎn)軸的上方設(shè)一彈簧片，以該彈簧片形成所述遮擋面。
[0008]上述方案中，所述旋轉(zhuǎn)軸上的凹槽的截面為長(zhǎng)方形、正方形或三角形。
[0009]上述方案中，所述原材料輸送機(jī)構(gòu)為一螺旋給料機(jī)。
[0010]上述方案中，所述原材料輸送機(jī)構(gòu)為一振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)，該振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)包括一通道、設(shè)于通道內(nèi)的輸送槽以及帶動(dòng)輸送槽振動(dòng)的振動(dòng)器，所述輸送槽一端高一端低傾斜設(shè)置，其高端近通道的進(jìn)口，其低端近通道的出口。
[0011]上述方案中，所述上料斗上還接有運(yùn)載氣體氣源。
[0012]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0013]本實(shí)用新型能夠連續(xù)及精確的向半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置供給半導(dǎo)體原料，并且工作可靠，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)成本不高，非常適合作為大規(guī)模連續(xù)、高速地沉積半導(dǎo)體薄膜裝置的配套設(shè)備。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例結(jié)構(gòu)主視示意圖；
[0015]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的工作過(guò)程示意圖一；
[0016]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的工作過(guò)程示意圖二 ；
[0017]圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的工作過(guò)程示意圖三；
[0018]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)的另一種變化方案的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例原材料輸送機(jī)構(gòu)的另一種變化方案的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]以上附圖中:1、上料斗；2、下料斗；3、原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)；4、原材料輸送機(jī)構(gòu)；5、第一閥門；6、氣體流量計(jì)；7、半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置；8、蓋板；9、抽真空裝置；10、放氣口 ；11、第二閥門；12、通道；13、旋轉(zhuǎn)軸；14、凹槽；141、第一凹槽；142、第二凹槽；143、第三凹槽；144、第四凹槽；15、遮擋面；16、落料口 ；17、彈簧片；18、通道；19、輸送槽；20、振動(dòng)器；21、運(yùn)載氣體氣源；22、橫向通道；23、旋轉(zhuǎn)螺桿；24、驅(qū)動(dòng)器；25、顆粒物質(zhì)流量計(jì)；26、觀察窗；27、真空泵；28、真空計(jì)；29、第三閥門；30、第四閥門；31、擋板；32、第五閥門。

【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0022]實(shí)施例:參見(jiàn)圖1-6所示:
[0023]本實(shí)施例涉及一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，該裝置包括從上至下依次布置的一上料斗1、一下料斗2、一原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3以及一原材料輸送機(jī)構(gòu)4，見(jiàn)圖1所示，所述上料斗1的下端口經(jīng)一第一閥門5與下料斗2的上端口連通，而所述下料斗2的下端口連通原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的上端，所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的下端與原材料輸送機(jī)構(gòu)4的進(jìn)口連通，該原材料輸送機(jī)構(gòu)4的出口供接半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7。并且，所述上料斗1的上端設(shè)放料口，該放料口上設(shè)一蓋板8，上料斗1上接有抽真空裝置9，上料斗1還設(shè)一連通外部的放氣口 10，該放氣口 10上設(shè)有第二閥門11，以此所述上料斗1、下料斗2、原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3以及原材料輸送機(jī)構(gòu)4的內(nèi)腔連通成為一真空腔。
[0024]具體如圖2-4所示，所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3包括一上下方向的通道12、設(shè)于通道12內(nèi)的一旋轉(zhuǎn)軸13以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸13轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置(圖中未畫出\所述旋轉(zhuǎn)軸13垂直于通道12的長(zhǎng)度方向穿設(shè)于通道12內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸13的直徑與通道12的寬度相匹配將通道封堵，旋轉(zhuǎn)軸13的周向上設(shè)有至少兩個(gè)凹槽14 (如圖2-4所示舉例凹槽14的數(shù)量為四個(gè)，具體為第一凹槽141、第二凹槽142、第三凹槽143及第四凹槽144),這些凹槽14容積相等，并以旋轉(zhuǎn)軸13的軸心為中心呈對(duì)稱分布；并且，在通道12內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸13的上方設(shè)有一貼著旋轉(zhuǎn)軸13表面的遮擋面15，該遮擋面15偏于通道12內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸13徑向上的一側(cè)，使旋轉(zhuǎn)軸13上部徑向上的一側(cè)敞開(kāi)作為落料口 16，另一側(cè)被封擋。
[0025]具體如圖2-4所示，是在所述通道12內(nèi)在旋轉(zhuǎn)軸13的上方設(shè)一彈簧片17，該彈簧片17由一豎向段和豎向段下端連接的一與旋轉(zhuǎn)軸13的表面貼合的弧形段組成，以該彈簧片17形成所述遮擋面15，采用彈簧片17的優(yōu)點(diǎn)是具有彈性，能夠更可靠地貼合于旋轉(zhuǎn)軸表面，刮除露出凹槽口的原材料顆粒。具體，如圖2-4所示，所述旋轉(zhuǎn)軸13上的凹槽14的截面舉例為正方形，實(shí)際中也可以是長(zhǎng)方形、正方形或三角形，甚至是其他異形也可。并且，每個(gè)凹槽14只要容積相等即可，具體的形狀是可以不同的，如一個(gè)凹槽14為方形，另一個(gè)為三角形，這也能達(dá)到相同的效果的。具體，通道12以正方或長(zhǎng)方形為優(yōu)選，旋轉(zhuǎn)軸13是通過(guò)動(dòng)密封同設(shè)置在通道12外面的驅(qū)動(dòng)裝置(圖中沒(méi)有顯示)連接。
[0026]如圖1所示，所述原材料輸送機(jī)構(gòu)4具體為一螺旋給料機(jī)，該螺旋給料機(jī)是由一橫向的通道22、一穿置于橫向通道22內(nèi)的旋轉(zhuǎn)螺桿23以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)螺桿23轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)器24組成，橫向通道22的一端上部開(kāi)設(shè)進(jìn)口，該進(jìn)口與原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的通道12的下端口連通，橫向通道22的另一端作為出口供接半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7。
[0027]具體的，在下料斗2的上端口與第一閥門5之間還串有顆粒物質(zhì)流量計(jì)25，下料斗2的下端口與原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3之間還串有觀察窗26，原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的下端與原材料輸送機(jī)構(gòu)4之間串有顆粒物質(zhì)流量計(jì)25。并且，所述下料斗2上也沒(méi)有一放氣口 10，該放氣口 10設(shè)有第三閥門29，此下料斗2的放氣口 10的第三閥門29是在需要整體打開(kāi)檢修時(shí)才開(kāi)啟的，是為了破下料斗2的真空。
[0028]所述抽真空裝置9如圖1所示，是由真空泵27、真空計(jì)28以及一第四閥門30組成，真空泵27經(jīng)真空計(jì)28和第四閥門30接上料斗1。
[0029]上料斗1和下料斗2中均設(shè)有擋板31，以助于防止原材料在料斗內(nèi)集合結(jié)塊。并且，上料斗1上經(jīng)一氣體流量計(jì)6也接運(yùn)載氣體氣源21。
[0030]本實(shí)施例使用狀態(tài)，如圖1所示，半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7的坩鍋經(jīng)一管道接通一運(yùn)載氣體氣源21，而本實(shí)施例進(jìn)料裝置的原材料輸送機(jī)構(gòu)4的出口也接于該管道上，該管道上設(shè)置一第五閥門32，供進(jìn)料裝置檢修時(shí)同第三閥門29配合使用。本實(shí)施例進(jìn)料裝置提供顆粒或粉末狀的原材料，而運(yùn)載氣體氣源21提供運(yùn)載氣體，工作時(shí)是由運(yùn)載氣體攜帶顆粒或粉末狀的原材料送入半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7坩鍋內(nèi)，原材料在坩禍內(nèi)受熱、升華變成氣相物質(zhì)，然后沉積在在基板襯底表面，形成半導(dǎo)體薄膜。
[0031]參見(jiàn)圖1-4所示，本實(shí)施例進(jìn)料裝置的使用過(guò)程如下:
[0032]工作人員先關(guān)閉第一閥門5，打開(kāi)設(shè)置在上料斗1的第二閥門11破上料斗1的真空，打開(kāi)蓋板8，向上料斗1內(nèi)裝入一定數(shù)量而且顆粒大小一致的原材料，合上蓋板8，關(guān)閉第二閥門11，然后相繼打開(kāi)真空泵27和第四閥門30，當(dāng)真空計(jì)28顯示以下時(shí)，關(guān)閉第四閥門30，關(guān)閉真空泵27，完成從大氣向一級(jí)上料斗20加料的過(guò)程。
[0033]加料完成后，將第一閥門5打開(kāi)，同時(shí)運(yùn)載氣體氣源21通過(guò)氣體流量計(jì)6向真空腔內(nèi)注入惰性氣體，降低上料斗1內(nèi)的真空度，使上料斗1內(nèi)的氣體壓力高于半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7的真空沉積室的氣體壓力5-10？3，上料斗1中的原材料通過(guò)已經(jīng)處于打開(kāi)狀態(tài)的第一閥門5在重力作用下漏入下料斗2，漏入速度通過(guò)調(diào)節(jié)第一閥門5和顆粒物質(zhì)流量計(jì)25來(lái)實(shí)現(xiàn)，實(shí)現(xiàn)進(jìn)料速度的初步控制，進(jìn)入下料斗2的原材料直接進(jìn)入原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3中，觀察窗26可以用于觀察下料斗2內(nèi)的原材料情況，通過(guò)原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3將原材料精確地從下料斗2轉(zhuǎn)移進(jìn)入原材料輸送機(jī)構(gòu)4，再由原材料輸送機(jī)構(gòu)4將原材料連續(xù)、均勻地送出，最后同運(yùn)載氣體氣源21出來(lái)的運(yùn)載氣體一起進(jìn)入半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7坩鍋內(nèi)。在這過(guò)程中，原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的結(jié)構(gòu)是核心，它起到了對(duì)原材料精確定量的作用，而原材料輸送機(jī)構(gòu)4作用是將原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3送來(lái)的原材料進(jìn)一步進(jìn)行均勻分配，實(shí)現(xiàn)供料的連續(xù)性。
[0034]所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的工作過(guò)程，見(jiàn)圖2-4所示，詳細(xì)介紹如下:原材料下落于落料口 16(如圖中所示落料口 16位于左側(cè)),旋轉(zhuǎn)軸13沿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，彈簧片17清理旋轉(zhuǎn)軸13外表面上的原材料顆粒物，阻擋在旋轉(zhuǎn)軸13表面上的原材料顆粒物進(jìn)入旋轉(zhuǎn)軸13和通道12右壁之間的空間里，進(jìn)而保證旋轉(zhuǎn)軸13的旋轉(zhuǎn)速度恒定，確保進(jìn)料速度不變，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸13處于圖2位置時(shí)，位于落料口 16處(即頂部的)的第一凹槽141已經(jīng)被原材料填滿，隨著旋轉(zhuǎn)軸13繼續(xù)旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)軸13表面離軸心半徑以外的原材料被彈簧片17阻擋，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)到圖3位置時(shí)，第一凹槽141中的原材料開(kāi)始脫離進(jìn)入下面的原材料輸送機(jī)構(gòu)4，此時(shí)位于落料口 16處(即頂部的)的第二凹槽142已經(jīng)被原材料填滿，當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸13旋轉(zhuǎn)到圖4位置時(shí)，第一凹槽141已位于旋轉(zhuǎn)軸13的下部，其中的原材料全部進(jìn)入原材料輸送機(jī)構(gòu)4，第二凹槽142中的原材料開(kāi)始脫離，而位于落料口 16處(即頂部的)第三凹槽143已經(jīng)被原材料填滿，第四凹槽144也開(kāi)始填入原材料，依次重復(fù)。原材料的轉(zhuǎn)移速度同凹槽14的尺寸大小、凹槽在旋轉(zhuǎn)軸13上的數(shù)量和旋轉(zhuǎn)軸13的旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)。
[0035]如圖1所示，當(dāng)上料斗1中的原材料全部進(jìn)入下料斗2時(shí)，關(guān)閉位于上料斗1和下料斗2之間的第一閥門5，在上料斗1中加入新的原材料，確保下料斗2中始終都有原材料存在，進(jìn)而保證連續(xù)供料。
[0036]如圖1所示，原材料輸送機(jī)構(gòu)4的工作原理是:旋轉(zhuǎn)螺桿23在驅(qū)動(dòng)器24帶動(dòng)下以一定的速度勻速旋轉(zhuǎn)，進(jìn)入橫向通道22的原材料顆粒在一直旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)螺桿23的作用下沿著橫向通道22傳送，使得在橫向通道22的出口處的原材料顆粒連續(xù)不斷、均勻地落入運(yùn)載氣體的氣流中，達(dá)到原材料顆粒在運(yùn)載氣體中均勻分布的目的。
[0037]圖5是本實(shí)施例原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)3的另一變化方案，凹槽14的截面為三角形，數(shù)量為八個(gè)，同樣以軸心為中心呈對(duì)稱分布，其工作原理相同，同樣是隨著旋轉(zhuǎn)軸13的旋轉(zhuǎn)，從下料斗2落入凹槽14中的原材料依次進(jìn)入原材料輸送機(jī)構(gòu)4中。
[0038]圖6是本實(shí)施例原材料輸送機(jī)構(gòu)4的另一變化方案，具體為一振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)，該振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)包括一通道18、設(shè)于通道18內(nèi)的輸送槽19以及帶動(dòng)輸送槽19振動(dòng)的振動(dòng)器20，所述輸送槽19 一端高一端低傾斜設(shè)置(具體輸送槽19與水平面成1-20度傾斜角，較優(yōu)為5-15度傾斜角，最佳為10度傾斜角),其高端近通道18的進(jìn)口，其低端近通道18的出口。工作時(shí)，輸送槽19在振動(dòng)器20帶動(dòng)下以一定頻率振動(dòng)，原材料從通道18的進(jìn)口落入輸送槽19的高端中，原材料沿著輸送槽19在振動(dòng)器20的作用下勻速送至輸送槽19的低端，再經(jīng)通道18的出口輸出。調(diào)節(jié)振動(dòng)器20的振動(dòng)頻率，確保原材料顆粒物均勻、連續(xù)地排出。
[0039]本實(shí)施例能夠連續(xù)及精確的向半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置7供給半導(dǎo)體原料，并且工作可靠，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)現(xiàn)成本不高，非常適合作為大規(guī)模連續(xù)、高速地沉積半導(dǎo)體薄膜裝置的配套設(shè)備。
[0040]上述實(shí)施例只為說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項(xiàng)技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:包括從上至下依次布置的一上料斗(I)、一下料斗(2)、一原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(3)以及一原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)；所述上料斗(I)的下端口經(jīng)一第一閥門(5)與下料斗(2)的上端口連通，而所述下料斗(2)的下端口連通原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(3)的上端，所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(3)的下端與原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)的進(jìn)口連通，該原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)的出口供接半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積裝置(7);并且，所述上料斗(I)的上端設(shè)放料口，該放料口上設(shè)一蓋板(8)，上料斗(I)上接有抽真空裝置(9 )，上料斗(I)還設(shè)一連通外部的放氣口( 10 )，該放氣口( 10 )上設(shè)有第二閥門(11)，以此所述上料斗(I)、下料斗(2)、原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(3)以及原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)的內(nèi)腔連通成為一真空腔； 所述原材料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)(3)包括一上下方向的通道(12)、設(shè)于通道(12)內(nèi)的一旋轉(zhuǎn)軸(13)以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸(13)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置；所述旋轉(zhuǎn)軸(13)垂直于通道(12)的長(zhǎng)度方向穿設(shè)于通道(12)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)軸(13)的直徑與通道(12)的寬度相匹配將通道封堵，旋轉(zhuǎn)軸(13)的周向上設(shè)有至少兩個(gè)凹槽(14)，這些凹槽(14)容積相等，并以旋轉(zhuǎn)軸(13)的軸心為中心呈對(duì)稱分布；并且，在通道(12)內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸(13)的上方設(shè)有一貼著旋轉(zhuǎn)軸(13)表面的遮擋面(15),該遮擋面(15)偏于通道(12)內(nèi)旋轉(zhuǎn)軸(13)徑向上的一側(cè)，使旋轉(zhuǎn)軸(13)上部徑向上的一側(cè)敞開(kāi)作為落料口(16)，另一側(cè)被封擋。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:所述通道(12)內(nèi)在旋轉(zhuǎn)軸(13)的上方設(shè)一彈簧片(17)，以該彈簧片(17)形成所述遮擋面(15)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)軸(13)上的凹槽(14)的截面為長(zhǎng)方形、正方形或三角形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:所述原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)為一螺旋給料機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:所述原材料輸送機(jī)構(gòu)(4)為一振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)，該振動(dòng)輸送機(jī)構(gòu)包括一通道(18)、設(shè)于通道(18)內(nèi)的輸送槽(19)以及帶動(dòng)輸送槽(19)振動(dòng)的振動(dòng)器(20)，所述輸送槽(19) 一端高一端低傾斜設(shè)置，其高端近通道(18)的進(jìn)口，其低端近通道(18)的出口。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體薄膜真空氣相沉積的連續(xù)自動(dòng)進(jìn)料裝置，其特征在于:所述上料斗(I)上還接有運(yùn)載氣體氣源(21)。
【文檔編號(hào)】C23C14/24GK204251690SQ201420689524
【公開(kāi)日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月17日
【發(fā)明者】彭壽, 屠友明, 夏申江, 王蕓 申請(qǐng)人:中建材光電裝備（太倉(cāng)）有限公司, 中國(guó)建材國(guó)際工程集團(tuán)有限公司, 蚌埠玻璃工業(yè)設(shè)計(jì)研究院