一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與絕緣底座連接的螺孔，設(shè)條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)條狀壓緊本體上安裝后靠近ito靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。本實(shí)用新型將傳統(tǒng)用于壓緊ito靶材的條狀壓緊體的斜面去掉，改為直角，形成本新型壓緊裝置的條狀壓緊本體，從而消除了條狀壓緊本體與ito靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎屑導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在ito靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【專利說明】一種用于壓緊i to靶材的新型壓緊裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種磁控濺射工藝中用于壓緊Ho靶材的裝置，具體涉及一種可有效防止濺射過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]Ho靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)(1600度，通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體。Ho靶材用于生產(chǎn)ito薄膜，ito薄膜是利用ito革E材作為原材料，通過磁控派射把ito革E氣化派渡到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上形成的薄膜，ito薄膜具有導(dǎo)電性和透光性，厚度一般30納米-200納米。
[0003]在磁控濺射工藝中，需要壓緊裝置將Ho靶材壓緊固定，其中常用的壓緊Ho靶材的裝置為條狀壓緊體。
[0004]如圖1所示，傳統(tǒng)用于壓緊Ho靶材的條狀壓緊體I的外表面(安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面)與安裝后靠近Ho靶材的側(cè)面之間設(shè)有過渡的斜面3 (也稱為倒角)，條狀壓緊體I上設(shè)有用于安裝的螺孔2。如圖2和圖3所示，安裝時(shí)，使用螺桿6將條狀壓緊體I鎖緊在絕緣底座5上，利用條狀壓緊體I壓緊固定住Ho靶材7。ito靶材7為陰極，與陽極4之間通過絕緣底座5隔開。條狀壓緊體I一般采用不銹鋼材料，其斜面3與ito革El材7的側(cè)面之間形成臺(tái)階8。
[0005]如圖3所示，在使用過程中，條狀壓緊體I會(huì)受到一定程度的濺射，濺射的物質(zhì)在ito靶材7與斜面3之間的臺(tái)階8對(duì)應(yīng)的空隙內(nèi)沉積形成膜層，當(dāng)膜層增長到一定厚度，由于震動(dòng)、重力等作用，膜層脫落掉到Ho靶材7 (陰極)與陽極4之間形成導(dǎo)電碎片9，導(dǎo)電碎片9中含有鐵、镲等磁性材料成分，在陰極磁場(chǎng)的作用下可能會(huì)豎立起來，使ito革El材7(陰極)與陽極4之間接觸導(dǎo)致短路，從而導(dǎo)致濺射系統(tǒng)不能正常工作。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種可有效防止磁控濺射過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置。
[0007]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0008]一種用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，所述條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與所述絕緣底座連接的螺孔，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后靠近所述Ho靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
[0009]進(jìn)一步，所述條狀壓緊本體在安裝后其外表面與所述Ho靶材齊平，這樣能進(jìn)一步避免導(dǎo)電碎片的形成。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0011]本實(shí)用新型將傳統(tǒng)用于壓緊ito靶材的條狀壓緊體的斜面去掉，改為直角，形成本新型壓緊裝置的條狀壓緊本體，從而消除了條狀壓緊本體與Ho靶材之間的臺(tái)階，可有效防止在磁控濺射過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在Ho靶材的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是傳統(tǒng)條狀壓緊體的立體圖；
[0013]圖2是將傳統(tǒng)條狀壓緊體安裝于絕緣底座后的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖3是圖2中右側(cè)結(jié)構(gòu)的局部放大圖；
[0015]圖4是本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置的立體圖；
[0016]圖5是將本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置安裝于絕緣底座后的局部放大圖，與圖3的視角和部位區(qū)域一致。

【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0018]如圖4和圖5所示，本實(shí)用新型所述用于壓緊Ho靶材7的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座5上的條狀壓緊本體10，條狀壓緊本體10上設(shè)有多個(gè)用于與絕緣底座5連接的螺孔11，設(shè)條狀壓緊本體10上安裝后位于外側(cè)且與絕緣底座5相對(duì)的表面為外表面12，設(shè)條狀壓緊本體10上安裝后靠近Ho靶材7的側(cè)面為第一側(cè)面13，條狀壓緊本體10的外表面12與第一側(cè)面13之間直接連接且為直角，條狀壓緊本體10在安裝后其外表面12與Ho靶材7齊平。說明:上述直角是相對(duì)概念，從使用安全性角度來說，該直角也可以是微弧形角，如采用小于ImmXlmm的小倒角，這樣不會(huì)在使用過程中割傷皮膚，不過這是為了使用安全而采用的常規(guī)結(jié)構(gòu)，不對(duì)本實(shí)用新型的創(chuàng)新設(shè)計(jì)構(gòu)成影響。
[0019]如圖4和圖5所示，使用時(shí)，將螺桿6穿過條狀壓緊本體10的螺孔11再旋緊于絕緣底座5上，條狀壓緊本體10壓緊ito靶材7的邊部實(shí)現(xiàn)ito靶材7的安裝。圖5中的其它未說明部件與圖3中是相同的，見前述【背景技術(shù)】內(nèi)容。
[0020]對(duì)比圖3和圖5可知，條狀壓緊本體10與ito靶材7之間臺(tái)階沒有了，可有效防止在磁控濺射靶材過程中產(chǎn)生導(dǎo)電碎肩導(dǎo)致短路，濺射系統(tǒng)在Ho靶材7的使用壽命周期內(nèi)一直能穩(wěn)定工作。
【權(quán)利要求】
1.一種用于壓緊ito靶材的新型壓緊裝置，包括安裝于絕緣底座上的條狀壓緊本體，所述條狀壓緊本體上設(shè)有多個(gè)用于與所述絕緣底座連接的螺孔，其特征在于:設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后位于外側(cè)且與所述絕緣底座相對(duì)的表面為外表面，設(shè)所述條狀壓緊本體上安裝后靠近所述Ho靶材的側(cè)面為第一側(cè)面，所述條狀壓緊本體的外表面與第一側(cè)面之間直接連接且為直角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于壓緊Ho靶材的新型壓緊裝置，其特征在于:所述條狀壓緊本體在安裝后其外表面與所述Ho靶材齊平。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK204251693SQ201420714864
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2014年11月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月25日
【發(fā)明者】蔡家偉 申請(qǐng)人:重慶鼎祥鋼結(jié)構(gòu)工程有限公司