本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置。

背景技術(shù)：

真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時，蒸發(fā)出來的原子或分子就會吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法，一是蒸發(fā)鍍膜，一是濺射鍍膜。

采用真空方式蒸鍍有機(jī)薄膜，需要將有機(jī)物儲存在坩堝內(nèi)，通過加熱使有機(jī)物蒸發(fā)，但常常出現(xiàn)有機(jī)物凝固的情況出現(xiàn)，影響蒸鍍效率和成膜質(zhì)量，

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是解決上述問題，提供一種防止有機(jī)物凝固、提高成膜質(zhì)量的OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置，包括用于放置有機(jī)物的坩堝，坩堝通過坩堝固定裝置安裝在腔體底部，坩堝固定裝置穿設(shè)于腔體的底部；坩堝內(nèi)設(shè)有攪拌軸，攪拌軸的下端固定在坩堝底部，坩堝的下端通過連接部與在腔體外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)相連。

優(yōu)選地，所述攪拌軸上設(shè)有至少一個攪拌漿。

優(yōu)選地，所述攪拌軸和攪拌漿的材料相同，由鋁或鎢制成。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明所提供的OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置，在坩堝內(nèi)安裝攪拌軸，將坩堝連接在真空腔體外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)上，為了防止有機(jī)物凝固，在等待蒸鍍的一段時間內(nèi)，旋轉(zhuǎn)坩堝，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使坩堝在蒸鍍有機(jī)薄膜的過程中也一直保持旋轉(zhuǎn)，從而在基板上形成均勻厚度的有機(jī)膜。

附圖說明

圖1是本發(fā)明中OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明中攪拌軸和攪拌漿的示意圖。

附圖標(biāo)記說明：40、坩堝；42、有機(jī)物；50、攪拌軸；52、攪拌漿；60、固定裝置；70、腔體；80、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；82、連接部。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的說明：

如圖1和圖2所示，本發(fā)明的OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置，包括用于蒸鍍有機(jī)薄膜的真空的腔體70以及用于放置有機(jī)物42的坩堝40，坩堝40通過坩堝固定裝置60安裝在腔體 70底部，坩堝固定裝置60穿設(shè)于腔體70的底部，從而坩堝40的一部分固定在腔體70內(nèi)，剩下的部分固定在腔體70外；坩堝40內(nèi)設(shè)有攪拌軸50，攪拌軸50的下端固定在坩堝底部，坩堝40的下端通過連接部82與在腔體70外部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)80相連，當(dāng)坩堝40旋轉(zhuǎn)時，坩堝固定裝置60是不旋轉(zhuǎn)的，這樣可以維持腔體70內(nèi)的真空狀態(tài)，攪拌軸50上設(shè)有至少一個攪拌漿52；攪拌軸50和攪拌漿52的材料相同，由導(dǎo)熱率大的材料制成，從而可以把熱量均勻的散發(fā)在有機(jī)物42中，防止其凝固，具體的，攪拌軸50和攪拌漿52可以由鋁或鎢制成。

本發(fā)明所提供的OLED器件蒸發(fā)鍍膜裝置，在等待蒸鍍的一段時間內(nèi)，旋轉(zhuǎn)坩堝防止有機(jī)物凝固，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使坩堝在蒸鍍有機(jī)薄膜的過程中也一直保持旋轉(zhuǎn)，從而在基板上形成均勻厚度的有機(jī)膜。

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。