本發(fā)明涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)。雙電缸倒置安裝，同步控制，兩側(cè)提供舉升力開啟腔體上蓋板。屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制造技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在調(diào)試或生產(chǎn)時(shí)需要進(jìn)行零部件的拆裝及維護(hù)，因此設(shè)備的腔蓋需要能夠?qū)崿F(xiàn)開啟及關(guān)閉以便進(jìn)行開腔操作。在不存在自動(dòng)傳片的小型實(shí)驗(yàn)設(shè)備中，往往需要通過(guò)開、關(guān)腔蓋來(lái)進(jìn)行取、送晶圓的操作。

因?yàn)榍惑w的蓋板并不是獨(dú)立存在的，其上往往安裝了其他附屬的功能部件或管路等，僅憑手動(dòng)實(shí)現(xiàn)開關(guān)腔的操作可能會(huì)造成人體的疲勞、損傷，這樣的設(shè)計(jì)是不完善的，而且也比較容易出現(xiàn)安全事故，傷及人員或設(shè)備。

現(xiàn)有的設(shè)備往往是翻轉(zhuǎn)式蓋板操作，有使用氣彈簧增力或是使用其他電動(dòng)或氣動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行開關(guān)腔動(dòng)作，以便減少對(duì)人體的傷害及提高效率。

但對(duì)于一些半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備在進(jìn)行沉積反應(yīng)時(shí)，為節(jié)約寶貴的特氣資源及加快反應(yīng)時(shí)間、提高設(shè)備效率，往往對(duì)腔內(nèi)體積有較嚴(yán)格的控制要求。所以半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的腔內(nèi)結(jié)構(gòu)往往設(shè)計(jì)的非常緊湊。腔內(nèi)沒(méi)有空間可以容納翻轉(zhuǎn)式開腔結(jié)構(gòu)。

針對(duì)上述現(xiàn)象的存在所以有些設(shè)備會(huì)選擇垂直式的開腔方式，這樣可以避免翻轉(zhuǎn)動(dòng)作造成的設(shè)備損傷或碰撞。因?yàn)榘雽?dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的腔體屬于精密部件，應(yīng)最大限度的避免部件碰撞，這就需要腔體開腔時(shí)，蓋板平穩(wěn)、準(zhǔn)確的移動(dòng)。蓋板因受力不均而產(chǎn)生的彎曲變形是不被容許的。以往的垂直升降式開腔方式往往采用單動(dòng)力源控制，即選用一個(gè)電缸或氣缸做為升降動(dòng)作的執(zhí)行部件。因?yàn)樵O(shè)備的中心往往有重要的功能部件占據(jù)，升降執(zhí)行部件僅能安裝在腔 體一側(cè)，這樣就會(huì)使整個(gè)設(shè)備在升降過(guò)程中單邊受力造成偏載，腔體蓋板在開腔過(guò)程中不能完全保持水平，造成部件碰撞的隱患。

半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備功能復(fù)雜，構(gòu)件眾多，配件布局必須合理緊湊，使設(shè)備體積盡量縮小，并且維修方便。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種解決現(xiàn)有的垂直開腔方式不能平穩(wěn)的開腔的問(wèn)題的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，包括：

上蓋板，設(shè)置在腔體上，用于開啟與開閉；

兩個(gè)電機(jī)，分別固定安裝在兩個(gè)電缸主體上，與電缸主體一起倒置設(shè)置在上蓋板的上方，通過(guò)電缸主體與上蓋板固定；

電缸推桿，穿過(guò)上蓋板與電機(jī)的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體上。

本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)，電缸推桿對(duì)稱安裝在上蓋板的一側(cè)，兩導(dǎo)桿與電缸推桿相對(duì)應(yīng)穿過(guò)上蓋板的另一側(cè)后固定在腔體上。

本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)，上蓋板沿著電缸推桿可滑動(dòng)。

本發(fā)明進(jìn)一步的改進(jìn)，上蓋板沿著導(dǎo)桿可滑動(dòng)。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于：

本發(fā)明通過(guò)雙電缸倒置式安裝，兩側(cè)提供舉升力，避免單邊受力造成上蓋板扭曲變形。電缸推桿安裝在腔體上，電缸主體安裝在上蓋板上，運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，杠桿伸出，使電缸主體與上蓋板一起運(yùn)動(dòng)。倒置式安裝方式，節(jié)省設(shè)備下方所需空間。

通過(guò)雙電缸垂直升降帶動(dòng)上蓋板開啟達(dá)到平穩(wěn)開腔的目的。雙電缸配合導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)，開腔時(shí)整個(gè)腔體上蓋板受力均勻，避免偏載導(dǎo)致的變形。

通過(guò)倒置的電機(jī)結(jié)構(gòu)，整個(gè)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)即可適用于小型精密實(shí)驗(yàn)設(shè)備又可應(yīng)用于大型生產(chǎn)設(shè)備。具有穩(wěn)定、準(zhǔn)確的控制能力及靈活、簡(jiǎn)單的適應(yīng)性。對(duì)設(shè)備的穩(wěn)定性、可靠性的提升及生產(chǎn)率的提高有較大的益處。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)正視圖

圖2是本發(fā)明實(shí)施例提供的雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)等軸測(cè)圖

圖中標(biāo)號(hào)為：1、電機(jī)；2、電缸主體；3、上蓋板；4、電缸推桿；5、腔體；6、導(dǎo)桿。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例以及附圖，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

實(shí)施例

參見圖1結(jié)合圖2，雙電缸垂直升降的開腔結(jié)構(gòu)，在腔體的頂部設(shè)置上蓋板3，用于腔體5的開啟與開閉，在上蓋板3的四個(gè)角設(shè)置導(dǎo)軌，上蓋板3隨著導(dǎo)軌滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)升降，其中一側(cè)的導(dǎo)軌通過(guò)實(shí)現(xiàn)上蓋板3上下移動(dòng)的電機(jī)1的電缸推桿4來(lái)實(shí)現(xiàn)，另一側(cè)的兩個(gè)導(dǎo)軌通過(guò)兩個(gè)獨(dú)立的導(dǎo)桿6來(lái)實(shí)現(xiàn)，電缸推桿4對(duì)稱安裝在上蓋板3的一側(cè)，兩導(dǎo)桿6與電缸推桿4相對(duì)應(yīng)穿過(guò)上蓋板3的另一側(cè)后固定在腔體5上，在上蓋板3的上下移動(dòng)過(guò)程中，由于四個(gè)角的支撐作用，受力不會(huì)偏載，上蓋板3在開腔過(guò)程中能完全保持水平，避免了造成部件碰撞的隱患。

兩個(gè)電缸推桿4穿過(guò)上蓋板后一側(cè)與腔體5固定在一起，起到支撐的作用，電缸推桿4穿過(guò)上蓋板3與電機(jī)1的輸出軸連接，其端部固定安裝在腔體5上，在上蓋板的上方倒置設(shè)置電機(jī)，電機(jī)固定安裝在兩個(gè)電缸主體2上，電缸主體2也在上蓋板3的上方，電缸主體2與上蓋板3固定，在電機(jī)1啟動(dòng)時(shí)，電缸推桿4推起電缸主體2與電機(jī)1向上運(yùn)行，此時(shí)帶動(dòng)上蓋板一起隨著電缸主體向上運(yùn)行。

要實(shí)現(xiàn)上蓋板的上下移動(dòng)，上蓋板沿著電缸推桿要實(shí)現(xiàn)可滑動(dòng)，但也要避免完全松動(dòng)或者結(jié)合過(guò)于緊。同理，要保證上蓋板沿著導(dǎo)桿可滑動(dòng)，但也要避 免完全松動(dòng)或者結(jié)合過(guò)于緊。

參見圖1，兩個(gè)電機(jī)要對(duì)稱設(shè)置，同時(shí)設(shè)置在電缸主體的內(nèi)側(cè)或者外側(cè)，保證受力的一致性。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。