本發(fā)明涉及一種負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體薄膜設(shè)備的應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體薄膜制備設(shè)備中，負(fù)載模塊需要按期開腔以便對(duì)腔體內(nèi)進(jìn)行清理。由于腔體內(nèi)部在抽真空狀態(tài)下，上蓋板通常會(huì)和腔體密封圈黏連，因此上蓋板開啟需要起升力，采用手動(dòng)開蓋的方式費(fèi)時(shí)費(fèi)力。所以，需要一種具有較大的開合角度，實(shí)現(xiàn)開蓋的自動(dòng)化，節(jié)省開蓋時(shí)間、提高生產(chǎn)效率的負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明以解決上述問題為目的，提供了一種負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)，該開蓋結(jié)構(gòu)采用四桿機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)開閉上蓋板，具有較大的開合角度，使用便捷、省時(shí)省力，提高產(chǎn)能。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：

一種負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)，該開蓋結(jié)構(gòu)包括上蓋板，曲連桿，負(fù)載腔體，氣缸，直連桿及氣缸套；所述上蓋板與負(fù)載腔體之間通過曲連桿與直連桿相連接，兩個(gè)所述氣缸套分別固定安裝在負(fù)載腔體的上表面兩側(cè)，上蓋板兩側(cè)分別固定有氣缸，所述氣缸插入氣缸套中活動(dòng)連接。

進(jìn)一步地，所述直連桿為兩個(gè)。

進(jìn)一步地，所述氣缸在氣缸套中可伸縮。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于：

1、本發(fā)明的負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用，自動(dòng)化程度高，節(jié)省開蓋時(shí)間，提高產(chǎn)能；

2、本發(fā)明的負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)具有較大的開合角度，機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例中的負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)閉合時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合實(shí)施例進(jìn)一步對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明，但發(fā)明保護(hù)內(nèi)容不局限于所述實(shí)施例：

參照?qǐng)D1-2，一種負(fù)載模塊開蓋結(jié)構(gòu)，該開蓋結(jié)構(gòu)包括上蓋板1，曲連桿2，負(fù)載腔體3，氣缸4，直連桿5及氣缸套6；所述上蓋板1與負(fù)載腔體3之間通過曲連桿2與直連桿5相連接，兩個(gè)所述氣缸套6分別固定安裝在負(fù)載腔體3的上表面兩側(cè)，上蓋板1兩側(cè)分別固定有氣缸4，所述氣缸4插入氣缸套6中活動(dòng)連接。

所述直連桿5為兩個(gè)。

所述氣缸4在氣缸套6中可伸縮。

閉合時(shí)，負(fù)載模塊各結(jié)構(gòu)如圖2所示；當(dāng)上蓋板1需要開啟時(shí)，打開上蓋板1，氣缸4從氣缸套6中伸出，向上推動(dòng)上蓋板1沿曲連 桿2和直連桿5組成的四桿機(jī)構(gòu)，達(dá)到開蓋的目的；當(dāng)上蓋板1需要閉合時(shí)，拉下下蓋板1，氣缸4從氣缸套6中收縮，向下拉動(dòng)上蓋板1沿曲連桿2和直連桿5組成的四桿機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，達(dá)到關(guān)閉上蓋板1的功能。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。