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金屬導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的形成方法與流程

文檔序號:11267949閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種金屬導(dǎo)線結(jié)構(gòu)的形成方法,包括:形成金屬粉末層于基底上;對金屬粉末層的第一部分進(jìn)行第一激光燒結(jié),以形成金屬層;及在氧氣的存在下,對金屬粉末層的第二部分進(jìn)行第二激光燒結(jié),以形成金屬氧化物層,金屬氧化物層作為第一介電層。本實施例通過選擇性激光燒結(jié)技術(shù)可在封裝體各個表面的任意位置上燒結(jié)出金屬結(jié)構(gòu)及/或介電結(jié)構(gòu),并可得到各種不同的電路圖案,進(jìn)而完成晶片等級的封裝,更具有工藝簡單及成本低等優(yōu)點。另外,由于激光燒結(jié)所形成的金屬結(jié)構(gòu)具有極強(qiáng)的結(jié)構(gòu)特性,故可提高封裝的穩(wěn)定性;且通過激光燒結(jié)所形成的金屬氧化物結(jié)構(gòu),其導(dǎo)熱效果較一般塑膠或高分子物質(zhì)更佳,故可改善元件過熱的問題。

技術(shù)研發(fā)人員:何羽軒
受保護(hù)的技術(shù)使用者:華邦電子股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.03.16
技術(shù)公布日:2017.09.26
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