技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種具有超高硬度的Si摻雜納米復合涂層的制備工藝，包括以下步驟：（1）基體清洗，包括超聲波清洗和離子清洗；（2）TiN過渡層制備：將步驟（1）處理后的基體送到濺射室進行沉積100～200nm的TiN過渡層；（3）TiAlSiN納米復合涂層制備：將涂覆TiN過渡層后的基材，利用射頻陰極控制的TiAlSi復合靶材，沉積2～5μm厚度的TiAlSiN納米復合涂層。本發(fā)明所得TiAlSiN涂層不但具有高于40GPa的硬度，而且具有優(yōu)良的抗高溫氧化性能和耐腐蝕性能，同時本發(fā)明涉及的涂層制備方法不僅具有工藝簡單、沉積速度快、成本低、結合強度高等特點，并且具有生產(chǎn)效率高、能耗低，對設備要求較低等優(yōu)點，可作為高速、干式切削的刀具涂層和其他領域的保護涂層。

技術研發(fā)人員：張笑;李偉;劉京京
受保護的技術使用者：上海仟納真空鍍膜科技有限公司
技術研發(fā)日：2016.05.25
技術公布日：2017.09.22