本發(fā)明涉及一種彈性夾片及應用該彈性夾片夾緊硅片的載具裝置，實現了在原子層沉積設備中，兩片硅片可以緊密重疊放置，避免了原子層沉積鍍膜技術帶來的繞鍍問題。

背景技術：

為了提高太陽能電池的效率，通常會在電池的背側上添加一個電介質鈍化層，形成鈍化發(fā)射極背面接觸太陽能電池(PERC)，減少電子和空穴的復合，提高了電池轉化效率。

目前本領域中為了形成鈍化發(fā)射極背面接觸的光伏電池(或稱太陽能電池)，通常采用AL2O3作為鈍化層鍍在光伏電池上，而針對光伏電池的優(yōu)選的鍍膜方式主要有兩種，一種是等離子增強的化學氣相沉積方式(PECVD)，另一種是原子層沉積的鍍膜方式(ALD)。

相比與原子層沉積的鍍膜方式，化學氣相沉積方式(PECVD)存在昂貴化學源利用率低、維護周期頻繁(小于7天)、成膜質量較低且膜厚20nm以下時無法精確控制成膜厚度、薄膜有針孔、缺陷和雜質比較多等缺點，因此，為了獲得更高的薄膜質量，更精確的薄膜厚度以及較低的生產成本，原子層沉積的鍍膜方式具有更大的市場價值和更好的前景。

然而，原子層沉積鍍膜方式由于其本身良好的繞鍍性，導致其在給硅片背側(單側)鍍膜時，需要解決防繞鍍的技術問題。針對這一問題，目前有一種解決方式，見專利US2015086729A1，其中提出了一種可用于光伏電池鈍化的鍍膜方法，這種方法是在基片上下均設置氣體噴頭，若僅鍍一面的話，可僅在一側噴反應氣體，另一側噴惰性氣體來避免繞鍍，但這種方法存在昂貴化學源利用率低、單位時間產量低等缺點。

技術實現要素：

1、本發(fā)明所要解決的技術問題

本專利申請要解決的技術問題是利用原子層沉積鍍膜獲得高質量薄膜的同時避免繞鍍并且進一步提高單位時間鍍膜產量。

2、本發(fā)明所要采用的技術方案

本發(fā)明發(fā)明了一種彈簧夾片，彈簧夾片由連接端以及由連接端向外側延伸的一對彈片構成，兩個彈片彼此相對設置，所述彈片在遠離連接端的一側相互靠近，形成夾持部。所述彈片在夾持部沿一定的弧度相互靠近且距離最小的部位不在彈片的端部，從而減小對硅片的刮擦。

夾持部用于夾持硅片，在本專利申請中，將待單面鍍膜的硅片，兩兩重疊放置，夾持在彈片的夾持部，在兩硅片的貼合面上，不能形成鍍膜。

彈簧夾片的兩個彈片角度的優(yōu)選范圍為10-30度，本專利中兩個彈片的角度是指夾持部兩彈片上距離最近的兩點與連接端頂點連線的夾角。

當彈簧夾片被卡接在卡槽中時，彈簧夾片的兩個彈片由于受到卡槽的約束而相互靠近，而遠離連接端的相互靠近的部分因兩者之間的距離減小而對兩者之間的物體具有一定的夾持力，并且，彈簧夾片的夾持力可通過改變卡接部與夾持部之間的距離或者彈簧夾片兩彈片之間的夾角來改變。

彈片靠近彈簧夾片的連接端設有卡接部，所述卡接部卡接于基座，彈簧夾片與基座之間使用卡接而非焊接的連接方式有效的避免了安裝時裝置的變形，且使得彈簧夾片的置換性強。

為了避免彈簧夾片對硅片的磨損和刮擦，彈簧夾片選擇耐高溫彈性材料，如可以選擇不銹鋼，不銹鋼加工方便，但硬度太大，容易造成刮傷，因此，優(yōu)選的可以在彈簧夾片上鍍一層耐高溫且硬度較小的材料，如特氟龍，材料選擇時耐受溫度的參考范圍均是250-300度。

優(yōu)選的，所述彈簧夾片的厚度為0.1-0.3mm。

一種應用彈簧夾片夾緊硅片的載具裝置，所述載具裝置由側板、基座以及彈簧夾片組成；所述基座的兩端固定至側板；所述彈簧夾片卡接在基座中；載具裝置還設有頂板。

載具裝置設有多個彈簧夾片，每個彈簧夾片夾持兩片重疊放置的硅片；基座上設有與彈簧夾片的卡接部相配合的卡槽，彈簧夾片通過卡槽固定至載具裝置中。

所述載具裝置設有至少兩個基座，每個基座上設有多個卡槽，每一個卡槽分別與一個彈簧夾片相對應?；木唧w位置設置可以根據實際需要進行，可以是對稱的設置方式也可以是非對稱的方式。

所述載具裝置底部設有承載硅片的硅片托桿，硅片托桿對硅片進行下限位。

所述載具裝置設有定位板，定位板卡接設置在基座上的定位板卡槽中；所述定位板設置在多個彈簧夾片的兩側。定位板卡構成對多個彈簧夾片的在基座上的限位。

載具裝置通過連接裝置固定于原子層沉積鍍膜設備，其中連接裝置可以使用支撐腳的形式，也可以使用支撐柱將裝置支撐至原子層沉積鍍膜裝置的支架中或者其他可以固定的形式。

3、采用本發(fā)明提供的技術方案，與已有的公知技術相比，具有如下顯著效果：

通過在原子層沉積設備中設置本申請中的裝置，使得在獲得使用原子層沉積鍍膜技術鍍高質量薄膜的同時，避免了原子層沉積鍍膜技術帶來的繞鍍問題，實現太陽能電池的背鈍化，同時保證了量產的需求。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的整體結構的主視圖。

圖2為本發(fā)明的整體結構的左視圖。

圖3為本發(fā)明的整體結構的仰視圖。

圖4為本發(fā)明裝置中的彈簧夾片單體圖。

圖5為基座的主視圖。

圖6為基座的左視圖。

圖7為基座的俯視圖。

附圖標記：1.側板，2.彈簧夾片，3.基座，4.支撐腳，5.硅片托桿，6.固定螺栓，7.硅片，8頂板，9.卡接部，10.夾持部，11.卡槽，12.定位板卡槽

具體實施方式

下面結合說明書附圖和具體的實施例，對本發(fā)明作詳細描述。

如圖4所示，彈簧夾片2由連接端以及由連接端向外側延伸的一對彈片構成，兩個彈片彼此相對設置，所述彈片在遠離連接端的一側相互靠近，形成夾持部10；所述彈片在夾持部沿一定的弧度相互靠近且距離最小的部位不在彈片的端部，夾持部末端帶有向兩彈片中間凹陷的彎弧，在夾持部夾持有硅片7。

彈片靠近彈簧夾片2的連接端設有卡接部9，所述卡接部9卡接于基座3。

如圖5所示，基座3上設有卡槽11，該卡槽11與彈簧夾片2的卡接部9相配合，卡接部9卡接在卡槽11內。

如圖1和圖3所示，所述載具裝置由側板1、基座3以及彈簧夾片2組成；所述基座3的兩端固定至側板1；所述彈簧夾片2卡接在基座3中；硅片7裝載在彈簧夾片2的夾持部10內；載具裝置還設有頂板8，硅片托桿5對安裝在基座3上的彈簧夾片2進行下限位。載具裝置通過支撐腳4固定在原子層沉積設備內。

本申請實施例的技術方案是是使用5個基座，基座的排列既可以規(guī)則按一定的順序對稱排列，也可以非對稱排列。

如圖2所示，載具裝置的側板1、支撐腳4及頂部8分別通過螺栓固定連接。

如圖6和7所示，基座3上分別設有與彈簧夾片2適配的卡槽11以及與定位板適配的定位板卡槽12；從圖中可見，彈簧夾片與定位板的安裝位置相互垂直。

以上示意性地對本發(fā)明的創(chuàng)造及其實施方式進行了描述，本發(fā)明的保護范圍包括但不限于上述的描述。附圖中所示的也只是本發(fā)明創(chuàng)造的實施方式之一，實際的結構并不局限于此。所以，如果本領域的普通技術人員受到本實用新的啟示，在不脫離本發(fā)明的創(chuàng)造宗旨的情況下，不經創(chuàng)造性的設計出與本發(fā)明的技術方案相似的結構方式及實施例，均應屬于本專利的保護范圍。