本發(fā)明屬于液晶玻璃基板薄化工藝研磨技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種液晶玻璃基板薄化后研磨處理方法。
背景技術(shù)：
平板顯示器包括等液晶顯示器(LCD)、觸摸屏(TP)、離子體顯示器(PDP)及有機(jī)電致發(fā)光器(OLED)。液晶顯示設(shè)置由于提供基于卓越的分辨率的鮮明的影像、耗電少、可較薄地制作顯示畫面的特性，在平板顯示設(shè)置中最受到關(guān)注。液晶顯示設(shè)置使用于包括手機(jī)、筆記本型PC的移動(dòng)用設(shè)備及電視。
目前液晶玻璃基板的薄化主要采用化學(xué)薄化技術(shù)，其工藝包括：封膠固化，化學(xué)薄化，薄化后清洗，研磨，研磨后手工清洗，水平清洗機(jī)清洗。隨著技術(shù)的發(fā)展，超大超薄液晶面板的減薄已成為行業(yè)內(nèi)主流，研磨液是液晶玻璃基板薄化工藝研磨拋光的主要材料，而研磨液對(duì)研磨后液晶基板表面良率狀況成為難點(diǎn)，傳統(tǒng)研磨液是以自來水與粒徑為1.7μm研磨粉配置而成，其過濾設(shè)置一般采用防靜電手套或絲襪過濾，研磨之后液晶基板表面大多會(huì)有機(jī)械劃傷及來料凹凸點(diǎn)未處理干凈，使得液晶基板良率不能滿足客戶需求及反拋髙影響生產(chǎn)效率。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是針對(duì)已有薄化研磨工藝技術(shù)的不足，提供液晶玻璃基板薄化后研磨處理方法，該方法可以有效方便地使得液晶玻璃基板表面的機(jī)械劃傷顯著減少，提高研磨后液晶玻璃基板表面粒良率，減少研磨再返研磨，提髙生產(chǎn)效率。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：
一種液晶玻璃基板薄化后研磨處理方法，包括如下步驟：
(1)研磨液的配制：研磨液為超純水和氧化鈰拋光粉混合形成；
從動(dòng)力部門接入超純水管道至研磨機(jī)臺(tái)；
先將研磨桶清洗干凈，確保內(nèi)壁無殘留異物或塊狀拋光粉；然后加入2/3桶超純水，開啟研磨液循環(huán)，將管道中殘留的研磨液沖刷干凈，再將研磨桶中剩余的純水倒掉，如果研磨桶內(nèi)還有異物，需繼續(xù)清洗至干凈；
加入超純水至研磨桶上方約5cm處，開啟攪拌，加入2000mL粒徑為1.0μm氧化鈰拋光粉；
在研磨機(jī)研磨液出液管道中的出液口設(shè)置短筒絲襪，并在絲襪外面再次設(shè)置一個(gè)密度為200目的過濾袋，設(shè)置完成后，用手輕輕拉扯過濾袋，如果發(fā)現(xiàn)輕易就將其扯動(dòng)，則需重新對(duì)過濾袋進(jìn)行設(shè)置，以防止其在研磨過程中掉落，導(dǎo)致品質(zhì)異常；
(2)研磨機(jī)清洗：
a)上定盤清洗：先將機(jī)臺(tái)調(diào)整為手動(dòng)操作狀態(tài)，然后手動(dòng)把上定盤打到水平位置，一手用水槍對(duì)上定盤表面進(jìn)行沖洗，另一手用毛刷對(duì)其表面進(jìn)行洗刷，將表面可去除的拋光粉殘留清洗潔凈；注意上定盤表面是否有玻璃殘?jiān)蚱渌参?，如有此類物品必須將其清除，若有部分結(jié)塊拋光粉殘留刷不掉，可將其留在上定盤表面，此過程需在2min內(nèi)完成；
b)拋光墊清洗：上定盤清洗潔凈后，將其上升至最高處后，手動(dòng)打開下定盤旋轉(zhuǎn)，一手用水槍對(duì)拋光墊表面進(jìn)行沖洗，另一手用毛刷對(duì)機(jī)臺(tái)表面進(jìn)行洗刷，洗刷順序由拋光墊中間位置開始向外逐一對(duì)整個(gè)拋光墊表面進(jìn)行洗刷，此過程需在1min內(nèi)完成；
c)研磨機(jī)臺(tái)清洗：拋光墊清洗完成后打開外接水管，用水管口對(duì)機(jī)臺(tái)擋板以及下定盤底部進(jìn)行沖洗，特別是下定盤底部殘留的拋光粉結(jié)塊，一定要沖洗掉。清洗完成后，關(guān)掉下定盤旋轉(zhuǎn)以及外接水管，此過程需在2min內(nèi)完成；
(3)研磨機(jī)研磨：研磨機(jī)臺(tái)清洗完成后，將研磨機(jī)臺(tái)調(diào)節(jié)為自動(dòng)狀態(tài)，根據(jù)不同型號(hào)基板拋光工藝參數(shù)要求，調(diào)節(jié)研磨機(jī)臺(tái)參數(shù)后正常運(yùn)轉(zhuǎn)工作。
本發(fā)明采用的氧化鈰拋光粉型號(hào)為蒙銳。
優(yōu)選地，氧化鈰拋光粉與超純水的質(zhì)量比為8:100。
優(yōu)選地，研磨液的濃度范圍大于等于1.02g/cm2。
本發(fā)明的有益效果有：
(1)本發(fā)明的研磨液為超純水和氧化鈰拋光粉混合形成，氧化鈰拋光粉，具有切削力強(qiáng)、拋光時(shí)間短、使用壽命長、拋光精度高、粒度均勻等優(yōu)點(diǎn)；超純水有利于提高液晶玻璃基板的表面研磨效果；
(2)本發(fā)明的方法，能有效地改進(jìn)液晶玻璃基板薄化工藝中研磨后基板表面機(jī)械劃傷等表面不良；在研磨機(jī)出液口設(shè)置了短筒絲襪，并在絲襪外面再次設(shè)置一個(gè)密度為200目過濾袋，液晶玻璃基板表面的機(jī)械劃傷顯著減少，提高了研磨后液晶玻璃基板表面粒良率；
(3)本發(fā)明可以減少研磨再返研磨，大幅降低了液晶玻璃基板薄化工藝中研磨后反拋率，降低了研磨機(jī)研磨時(shí)間，提升了生產(chǎn)效率。
附圖說明
圖1為本發(fā)明的工藝流程圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
實(shí)施例1
一種液晶玻璃基板薄化后研磨處理方法，包括如下步驟：
(1)研磨液的配制：研磨液為超純水和氧化鈰拋光粉混合形成；
從動(dòng)力部門接入超純水管道至研磨機(jī)臺(tái)；
先將研磨桶清洗干凈，確保內(nèi)壁無殘留異物或塊狀拋光粉；然后加入2/3桶超純水，開啟研磨液循環(huán)，將管道中殘留的研磨液沖刷干凈，再將研磨桶中剩余的純水倒掉，如果研磨桶內(nèi)還有異物，需繼續(xù)清洗至干凈；
加入超純水至研磨桶上方約5cm處，開啟攪拌，加入2000mL粒徑為1.0μm氧化鈰拋光粉；本發(fā)明采用的氧化鈰拋光粉型號(hào)為蒙銳；氧化鈰拋光粉與超純水的質(zhì)量比為8:100；研磨液的濃度范圍大于等于1.02g/cm2。
在研磨機(jī)研磨液出液管道中的兩個(gè)出液口設(shè)置短筒絲襪，并在絲襪外面再次設(shè)置一個(gè)密度為200目，長150mm寬90mm的過濾袋，設(shè)置完成后，用手輕輕拉扯過濾袋，如果發(fā)現(xiàn)輕易就將其扯動(dòng)，則需重新對(duì)過濾袋進(jìn)行設(shè)置，以防止其在研磨過程中掉落，導(dǎo)致品質(zhì)異常；
(2)研磨機(jī)清洗：
a)上定盤清洗：先將機(jī)臺(tái)調(diào)整為手動(dòng)操作狀態(tài)，然后手動(dòng)把上定盤打到水平位置，一手用水槍對(duì)上定盤表面進(jìn)行沖洗，另一手用毛刷對(duì)其表面進(jìn)行洗刷，將表面可去除的拋光粉殘留清洗潔凈；注意上定盤表面是否有玻璃殘?jiān)蚱渌参铮缬写祟愇锲繁仨殞⑵淝宄?，若有部分結(jié)塊拋光粉殘留刷不掉，可將其留在上定盤表面，此過程需在2min內(nèi)完成；
b)拋光墊清洗：上定盤清洗潔凈后，將其上升至最高處后，手動(dòng)打開下定盤旋轉(zhuǎn)，一手用水槍對(duì)拋光墊表面進(jìn)行沖洗，另一手用毛刷對(duì)機(jī)臺(tái)表面進(jìn)行洗刷，洗刷順序由拋光墊中間位置開始向外逐一對(duì)整個(gè)拋光墊表面進(jìn)行洗刷，此過程需在1min內(nèi)完成；
c)研磨機(jī)臺(tái)清洗：拋光墊清洗完成后打開外接水管，水量需控制在一定范圍內(nèi)，若水量過大，清洗后廢水會(huì)從切液口溢流到拋光桶內(nèi)，造成拋光液的污染，影響產(chǎn)品拋光品質(zhì)，若水量過小，機(jī)臺(tái)不能清洗潔凈也會(huì)影響產(chǎn)品拋光品質(zhì)。用水管口對(duì)機(jī)臺(tái)擋板以及下定盤底部進(jìn)行沖洗，特別是下定盤底部殘留的拋光粉結(jié)塊，一定要沖洗掉。清洗完成后，關(guān)掉下定盤旋轉(zhuǎn)以及外接水管，此過程需在2min內(nèi)完成；
(3)研磨機(jī)研磨：研磨機(jī)臺(tái)清洗完成后，將研磨機(jī)臺(tái)調(diào)節(jié)為自動(dòng)狀態(tài)，根據(jù)不同型號(hào)基板拋光工藝參數(shù)要求，調(diào)節(jié)研磨機(jī)臺(tái)參數(shù)后正常運(yùn)轉(zhuǎn)工作。
以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形、改進(jìn)及替代，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。