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一種藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜及其制備方法與流程

文檔序號(hào):12251368閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜,在陽(yáng)光下呈藍(lán)綠色,其特征在于,所述窗膜的膜層結(jié)構(gòu)由內(nèi)向外依次為:

柔性透明PET基材層(1),厚度為23微米~50微米,其可見(jiàn)光透光率≥89%,霧度≤1.5;

第一高折射率層(2),厚度為30nm~32nm,折射率為2.36,所述第一高折射率層(2)由Nb2O5構(gòu)成;

第一金屬氧化物層(3),厚度為3nm~6nm的,所述第一金屬氧化物層(3)由ZnO:Al構(gòu)成;

第一銀合金層(4),厚度為8nm~10nm,所述第一銀合金層(4)由96%的Ag,4%的Cu構(gòu)成;

第一阻隔層(5),厚度為0.5nm~0.8nm,所述第一阻隔層(5)由Ti構(gòu)成;

第二高折射率層(6),厚度為66nm~70nm,折射率為2.36,所述第二高折射率層(6)由Nb2O5構(gòu)成;

第二金屬氧化物層(7),厚度為6nm~8nm,所述第二金屬氧化物層(7)由ZnO:Sn構(gòu)成;

第二銀合金層(8),厚度為11nm~13nm,所述第二銀合金層(8)由98%的Ag,2%的Pd構(gòu)成;

第二阻隔層(9),厚度為1.5nm~2nm,所述第二阻隔層(9)由Si構(gòu)成;

第三高折射率層(10),厚度為66nm~70nm,折射率為2.36,所述第三高折射率層(10)由Nb2O5構(gòu)成;

第三金屬氧化物層(11),厚度為3nm~6nm,所述第三金屬氧化物層(11)由ZnO:Al構(gòu)成;

第三銀合金層(12),厚度為9nm~11nm,所述第三銀合金層(12)由96%的Ag,4%的Cu構(gòu)成;

第三阻隔層(13),厚度為0.5nm~0.8nm,所述第三阻隔層(13)由Ti構(gòu)成;

第四高折射率層(14),厚度為36nm~38nm,折射率為2.36,所述第四高折射率層(14)由Nb2O5構(gòu)成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜,其特征在于,所述第一金屬氧化物層(3)的厚度小于等于所述第一銀合金層(4)的厚度的2/3;所述第二金屬氧化物層(7)的厚度小于等于所述第二銀合金層(8)的厚度的2/3;所述第三金屬氧化物層(11)的厚度小于等于所述第三銀合金層(12)的厚度的2/3。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜,其特征在于,所述第一阻隔層(5)的厚度小于等于所述第一銀合金層(4)的厚度的1/5;所述第二阻隔層(9)的厚度小于等于所述第二銀合金層(8)的厚度的1/5;所述第三阻隔層(13)的厚度小于等于所述第三銀合金層(12)的厚度的1/5。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜,其特征在于,所述柔性透明PET基材層(1)的厚度為23微米;所述第一高折射率層(2)的厚度為31nm;所述第一金屬氧化物層(3)的厚度為5nm;所述第一銀合金層(4)的厚度為9nm;所述第一阻隔層(5)的厚度為0.6nm;所述第二高折射率層(6)的厚度為68nm;所述第二金屬氧化物層(7)的厚度為7nm;所述第二銀合金層(8)厚度為12nm;所述第二阻隔層(9)的厚度為1.7nm;所述第三高折射率層(10)的厚度為68nm;所述第三金屬氧化物層(11)的厚度為5nm;所述第三銀合金層(12)的厚度為10nm;所述第三阻隔層(13)的厚度為0.6nm;所述第四高折射率層(14)的厚度為37nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜,其特征在于,所述藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜在可見(jiàn)光范圍的透光率為61%、在波長(zhǎng)為780nm~2500nm的紅外光范圍的透光率為5.1%、在波長(zhǎng)為950nm波長(zhǎng)處的紅外阻隔率為96%、在波長(zhǎng)為1400nm波長(zhǎng)處的紅外阻隔率為99.2%。

6.一種根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:

(1)提供柔性透明PET膜作為所述柔性透明PET基材層(1);

(2)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述柔性透明PET基材層(1)上沉積所述第一高折射率層(2);

(3)通過(guò)單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一高折射率層(2)上沉積所述第一金屬氧化物層(3);

(4)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一金屬氧化物層(3)上沉積所述第一銀合金層(4);

(5)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一銀合金層(4)上沉積所述第一阻隔層(5);

(6)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第一阻隔層(5)上沉積所述第二高折射率層(6);

(7)通過(guò)單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二高折射率層(6)上沉積所述第二金屬氧化物層(7);

(8)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二金屬氧化物層(7)上沉積所述第二銀合金層(8);

(9)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二銀合金層(8)上沉積所述第二阻隔層(9);

(10)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第二阻隔層(9)上沉積所述第三高折射率層(10);

(11)通過(guò)單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第三高折射率層(10)上沉積第三金屬氧化物層(11);

(12)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第三金屬氧化物層(11)上沉積第三銀合金層(12);

(13)通過(guò)單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第三銀合金層(12)上沉積第三阻隔Ti層(13);

(14)通過(guò)雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射的方式在所述第三阻隔層(13)上沉積第四高折射率層(14)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,在磁控濺射沉積鍍膜時(shí),所有腔室內(nèi)的溫度分別恒定在-15℃~15℃。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)、步驟(3)、步驟(6)、步驟(7)、步驟(10)、步驟(11)、步驟(14)均包括:相應(yīng)腔室中通入體積比為10:1~100:1的氬氣和氧氣的混合氣體,設(shè)定濺射真空度10-6Torr,鍍膜穩(wěn)定氣壓為10-3Torr;雙旋轉(zhuǎn)陰極、中頻反應(yīng)磁控濺射功率為20Kw~50Kw;單旋轉(zhuǎn)陰極、直流反應(yīng)磁控濺射功率為2Kw~5Kw。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藍(lán)綠色三銀低輻射節(jié)能窗膜的制備方法,其特征在于,所述步驟(4)、步驟(5)、步驟(8)、步驟(9)、步驟(12)、步驟(13)均包括:相應(yīng)腔室中通入純度不小于99.99%的氬氣,設(shè)定濺射真空度10-6Torr,鍍膜穩(wěn)定氣壓為10-3Torr;單平面陰極、直流反應(yīng)磁控濺射功率為0.5Kw~8Kw。

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